CN105803401B - Imc蒸发舟皿组件 - Google Patents

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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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Abstract

本发明公开了一种IMC蒸发舟皿组件，所述IMC蒸发舟皿组件包括蒸发舟皿，所述蒸发舟皿具有限定池的顶面。存在具有绝热主体的绝热包装件，其中所述绝热主体容纳腔体。所述蒸发舟皿可移除地接纳在所述腔体内。所述蒸发舟皿可操作地连接到加热器。

Description

IMC蒸发舟皿组件
技术领域
本发明涉及可用于蒸发金属的金属间复合材料(IMC)蒸发舟皿组件。更具体地讲，本发明涉及IMC蒸发舟皿组件，该IMC蒸发舟皿组件包括IMC蒸发舟皿和携带IMC蒸发舟皿的绝热包装件。
背景技术
迄今为止，IMC蒸发舟皿已经可用于提供容器或平台，在所述容器或平台上熔化金属以便蒸发金属以用于沉积在基底上。涉及蒸发舟皿或其他加热装置的示例性专利文献如下：授予Hamister的美国专利No.2,840,458、授予Mandorf的美国专利No.3,181,968、授予Malkin的美国专利No.3,345,448、授予Montgomery的美国专利No.3,724,996、授予Shinko的美国专利No.4,264,803、授予Finicle的美国专利No.5,032,366、授予Finicle的美国专利No.5,182,149、授予Morris的美国专利No.5,239,612、授予Seifert的美国专利No.6,081,652、授予Seifert的美国专利No.6,085,025、授予Seifert的美国专利No.6,645,572、授予Montgomery等人的美国专利No.5,604,164、Epstein的美国专利申请公布NO.US 2009/0217876 A1、优司科高科技制陶有限公司(ESK Ceramics GmBH)的德国专利申请文件DE 102007 045 289，优司科高科技制陶有限公司的PCT专利申请公布WO 2006/117119 A1，以及优司科高科技制陶有限公司的PCT专利申请公布NO.WO 2008/025447 A1。
发明内容
在本发明的一种形式中，本发明为IMC蒸发舟皿组件，该IMC蒸发舟皿组件包括蒸发舟皿，其中蒸发舟皿包括限定池的顶面。存在包括绝热主体的绝热包装件，其中绝热主体容纳腔体。蒸发舟皿可移除地接纳在腔体内。蒸发舟皿可操作地连接到加热器。
附图说明
以下为形成本专利申请的一部分的附图说明：
图1为用于与IMC舟皿的具体实施例结合使用的绝热包装件的具体实施例的等轴视图；
图2为IMC蒸发舟皿组件的具体实施例的等轴视图，其中蒸发舟皿从图1的绝热包装件分解开；
图3为图1和图2的IMC舟皿组件的具体实施例的等轴视图，其中蒸发舟皿接纳在绝热包装件的腔体内；并且
图4为示出在其中具有IMC舟皿组件和基底的真空室的示意图。
具体实施方式
参见附图，图1至图3示出一般标记为20的IMC舟皿组件的具体实施例。IMC舟皿组件20包括通常标记为22的蒸发舟皿(或IMC蒸发舟皿)以及通常标记为24的绝热包装件，所述蒸发舟皿具有大致矩形的几何形状。蒸发舟皿22具有容纳池28的顶面26，其中保持壁30限定池28。蒸发舟皿22具有在相对侧33处的侧壁32、在相对两端35处的端壁34，以及底面36。蒸发舟皿22可由以下金属间复合材料中的任一种制成：BN-TiB2或BN-AlN-TiB2。
绝热包装件24包括绝热主体40，该绝热主体具有大致矩形的几何形状，该绝热主体容纳腔体42。腔体42沿着绝热主体40的纵向长度延伸。腔体42在其相对两端处开放，并且由侧壁44和底面48限定。侧壁44相对于垂直于底面48的线(b-b)以角度“A”(参见图1)设置。在图1中，角度“A”在约12度和约15度之间的范围内。然而，期望角度“A”可在约5度和约60度之间的范围内，并且进一步期望角度“A”取决于应用可具有甚至更宽的范围。
腔体42的几何形状使得其能够接纳蒸发舟皿22，其中蒸发舟皿22的侧壁32接触腔体42的侧壁44，并且蒸发舟皿22的底面36接触腔体42的底面48。当蒸发舟皿22接纳在绝热包装件24的腔体42内时，蒸发舟皿22的端壁34暴露(参见图3)。蒸发舟皿22的几何形状对应于绝热包装件24的几何形状，该绝热包装件包括绝热主体40。
绝热主体40由以下材料中的任一种制成：氧化铝-二氧化硅纤维或氧化铝纤维。如图2中的示意性形式所示，电加热器(50,52)电连接到蒸发舟皿22的每个端壁34。
图4以示意性形式示出在其中具有基底62和IMC舟皿组件20的真空室60。在操作中，将待蒸发的金属放置在(IMC舟皿组件20的)蒸发舟皿22的顶面36上的池28中，并且向电加热器(50,52)供电，所述待蒸发的金属通常呈线材的形式。蒸发舟皿22变热，这继而将热量转移到位于池28中的待蒸发的金属。最终，池28中的金属蒸发，并且通常将被拉延以在基底60的表面上形成涂层。在授予Cooper等人的美国专利No.3,113,889(据此以引用方式全文并入本文中)和授予Goodman等人的美国专利No.5,904,781(据此以引用方式全文并入本文中)中示出和描述了其中使用IMC蒸发舟皿组件的典型布置。
本发明的实施例提供了某些迄今无法获得的优点。就此而言，早期的IMC蒸发舟皿在操作中经历了显著的热损失，这是因为电流直接通过蒸发舟皿而无需任何绝缘。在本发明中，结合绝热包装件使用蒸发舟皿显著减少操作过程中的热损失。热量通过电加热器产生，并且蒸发舟皿在除顶面和端面以外的所有侧面上都被绝热包装件包围，这减少了操作过程中的热损失。
通过提供导致热损失减少有所改善的IMC蒸发舟皿组件，实现了对于整个金属蒸发过程的显著功率节省。通过减少操作过程中的热损失，需要更少的功率来操作整个金属蒸发过程。因此，与在金属蒸发过程中使用早期的蒸发舟皿相比，使用本发明的IMC蒸发舟皿组件由于对于整个过程的显著功率节省而提供了显著的操作优点。
本文指出的专利和其他文献中的每一者据此以引用方式全文并入本文。根据对本说明书的考虑或实施本文所公开的发明，本发明的其他实施例对于本领域的技术人员将是显而易见的。本说明书和实例仅是示例性的，无意限制本发明的范围。本发明的真实范围和精神由以下的权利要求书指出。

Claims (5)

1.一种IMC蒸发舟皿组件，所述IMC蒸发舟皿组件包括：
蒸发舟皿，所述蒸发舟皿包括限定池的顶面、侧壁、端壁、以及底面；
绝热包装件，所述绝热包装件包括绝热主体，其中所述绝热主体容纳腔体，所述绝热包装件中的所述腔体包括侧壁和底面；
所述蒸发舟皿可移除地接纳在所述腔体内，其中当所述蒸发舟皿接纳在所述绝热包装件的所述腔体内时，所述蒸发舟皿的所述侧壁接触所述绝热包装件的所述侧壁，所述蒸发舟皿的所述底面接触所述绝热包装件的所述底面，并且所述蒸发舟皿的所述端壁暴露；并且
所述蒸发舟皿可操作地连接到加热器。
2.根据权利要求1所述的蒸发舟皿组件，其中所述蒸发舟皿包括端壁中的一对相对的端壁，以及一对加热器，其中每个加热器都电连接到邻近所述端壁中的相应一者的所述蒸发舟皿。
3.根据权利要求1所述的蒸发舟皿组件，其中所述蒸发舟皿包含选自以下组的下述金属间复合材料中的一种：BN-TiB2或BN-AlN-TiB2。
4.根据权利要求1所述的蒸发舟皿组件，其中所述绝热主体包含选自以下组的所述材料中的一种：氧化铝-二氧化硅纤维或氧化铝纤维。
5.根据权利要求1所述的蒸发舟皿组件，其中所述蒸发舟皿包含选自以下组的下述金属间复合材料中的一种：BN-TiB2或BN-AlN-TiB2，并且所述绝热主体包含选自以下组的所述材料中的一种：氧化铝-二氧化硅纤维或氧化铝纤维。
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