CN105762645B - 基于微凹槽光纤的可调谐窄线宽激光输出方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种基于微凹槽光纤的可调谐窄线宽激光输出方法。本发明适用于可调谐窄线宽光纤激光器领域,以可调谐滤波器作为波长调谐器件,以掺铒光纤作为增益介质,利用了微凹槽光纤实现瑞利增益累积,进行线宽压缩,实现了可调谐窄线宽激光输出。本发明可以应用于光通信、气体传感、环境监测等领域,具有结构简单、成本低等优点。

Description

基于微凹槽光纤的可调谐窄线宽激光输出方法
技术领域
本发明属于激光技术领域,特别涉及了一种基于微凹槽光纤的可调谐窄线宽激光输出方法。
背景技术
窄线宽光纤激光器在光纤通信、光纤传感、军事、工业加工、光信息处理等领域具有广阔的应用前景。特别是可调谐窄线宽光纤激光器在波分复用光纤通信和光纤传感系统中扮演着重要的角色。
现有形成窄线宽单纵模激光束的方法主要有短腔、饱和吸收体、环形腔等方法,但大多存在结构复杂、体积较大、成本高昂、线宽压缩效果不理想的缺陷,限制了可调谐窄线宽单纵模激光束的应用。
理论已经证明,瑞利散射是一种有效的线宽压缩机制,如果能利用瑞利散射实现激光线宽压缩,超窄线宽激光器的结构将得到简化。通常情况下,布里渊散射和瑞利散射几乎同时存在,并且普通光纤对布里渊散射的增益系数比瑞利散射增益系数高几个数量级,而布里渊散射对线宽压缩具有负面影响,因此有效抑制布里渊散射,实现瑞利增益累积对形成可调谐窄线宽单纵模激光束具有重要意义。
发明内容
本发明就是针对现有技术的不足,提出了一种基于微凹槽光纤的可调谐窄线宽激光输出方法。
本发明的方法包括以下步骤:
步骤(1)选择微凹槽光纤,所述微凹槽光纤由普通单模光纤经飞秒激光微加工制作而成,用飞秒激光在单模光纤表面刻写两个深6~7微米的对称凹槽,通过多次刻写操作,在普通单模光纤上形成多对微凹槽区。所述微凹槽光纤接入激光器中,使激光器的谐振腔长度等于或大于100m,普通单模光纤上的多个微凹槽区可有效抑制布里渊散射,满足瑞利散射大量累积,实现激光线宽压缩效果。
为了使光在微凹槽光纤中的传输损耗和对布里渊增益的抑制效果取得较佳的平衡,微凹槽光纤的参数设置为:单个凹槽区的轴向长度在1.8~2cm范围,相邻两个微凹槽区的轴向中心间隔4.5~6m,微凹槽区的最小直径和普通单模光纤的外径数值比为在24:25~18:25之间。
步骤(2)选择一个输出功率大于100mW的980nm泵浦激光器,一个980nm/1550nm波分复用器,一段长度2米至10米的掺铒光纤,一个三端口环形器,一个可调窄带滤波器、一个三端口环形器、一个微凹槽光纤、一个可变光衰减器、一个萨格纳克环、一个1*2光耦合器;
步骤(3)将980nm泵浦激光器的端口与波分复用器的第1端口光纤连接,波分复用器的第2端口与掺铒光纤的一端光纤连接;掺铒光纤的另一端与可调窄带滤波器的一端光纤连接,可调窄带滤波器的另一端与三端口环形器的第1端口光纤连接,三端口环形器的第2端口与微凹槽光纤的一端光纤连接,微凹槽光纤的另一端光纤与可变光衰减器连接,可变光衰减器另一端与萨格纳克环连接;三端口环形器的第3端口与1*2端耦合器的输入端光纤连接,1*2端耦合器的第一输出端与波分复用器的第3端口光纤连接,1*2端耦合器的第2输出端作为超窄线宽激光的输出端。
步骤(4)开启980nm泵浦激光器,输出的980nm激光通过波分复用器进入掺铒光纤,掺铒光纤吸收980nm激光,从而提供一个宽带光源;可调窄带滤波器既是波长选择元件,也是波长调谐元件,经可调窄带滤波器选择的光通过三端口环形器的第2端口注入微凹槽光纤、可变光衰减器和萨格纳克环,三端口环形器的第3端口与1*2端耦合器、波分复用器的第3端口形成完整的环形激光腔。可变光衰减器和萨格纳克环为微凹槽光纤提供一个非常微弱的种子光,可变光衰减器对种子光的强度进行控制,以免窄线宽的后向瑞利信号被淹没掉,从而增加后向散射产生的概率,窄线宽的瑞利散射光在环形腔中循环,最终形成激光震荡,从1*2端耦合器的第2输出端向外输出窄线宽激光信号,通过调节可调窄带滤波器的波长可输出不同波长的超窄线宽激光。
本发明适用于可调谐窄线宽光纤激光器领域,利用了微凹槽光纤实现瑞利增益累积,进行线宽压缩,可与其他光纤器件兼容。
附图说明
图1a为本发明的结构示意图;
图1b为微凹槽光纤的结构示意图;
图2为本发明实施例中输出不同波长窄线宽激光的光谱图。
具体实施方式
如图1a和图1b所示,本实施例包括一个980nm泵浦激光器1、一个波分复用器2、一段掺铒光纤3、一个可调窄带滤波器4、一个三端口环形器5、一段微凹槽光纤6、一个可变光衰减器7、一个萨格纳克环8、一个1*2光耦合器9;
具体实现窄线宽激光输出的方法包括以下步骤:
(1)选择微凹槽光纤6,所述微凹槽光纤6由普通单模光纤10经飞秒激光微加工制作而成,用飞秒激光在单模光纤表面刻写两个深6~7微米的对称凹槽6-1,通过多次刻写操作,在普通单模光纤上形成多对微凹槽区。所述微凹槽光纤接入激光器中,使激光器的谐振腔长度等于或大于110m,普通单模光纤上的多个微凹槽区可有效抑制布里渊散射,满足瑞利散射大量累积,实现激光线宽压缩效果。
基本原理为:光纤的数值孔径是一个有限的值,普通单模光纤允许多模声波的传导;由于光可以被非零角度的声波所散射,若角度足够小,则散射光仍然能在普通单模光纤当中传播;在普通单模光纤中,光场的横向梯度远大于纵向梯度,而横向声波对受激布里渊起着至关重要的作用,本发明的微凹槽光纤结构可以起到如下作用:1)扩大光纤中光的模场分布,减小光场的横向梯度,间接地抑制光纤中的横向声波;2)使光纤形成变截面结构,破坏横向声波的传导条件;3)分布于普通单模光纤上的多个微凹槽区可以避免受激布里渊增益的累积效应。
单个微凹槽区的轴向长度为1.8~2cm,各个微凹槽区6-1是等间距设置,相邻两对微凹槽区的轴向中心之间间隔(见图1b中标记M所示范围)4.5~6m。微凹槽区6-1内的最小直径与普通单模光纤的外径比值在24:25~18:25之间。
(2)选择一个输出功率大于100mW的980nm泵浦激光器1,一个980nm/1550nm波分复用器2,一段长度2米至10米的掺铒光纤3,一个可调窄带滤波器4、一个三端口环形器5,一个可变光衰减器7、一个萨格纳克环8、一个1*2光耦合器9;
(3)将980nm泵浦激光器1的端口与波分复用器2的第1端口光纤连接,波分复用器2的第2端口与掺铒光纤3的一端光纤连接;掺铒光纤3的另一端与可调窄带滤波器4的一端光纤连接,可调窄带滤波器4的另一端与三端口环形器5的第1端口光纤连接,三端口环形器5的第2端口与微凹槽光纤6的一端光纤连接,微凹槽光纤6的另一端光纤与可变光衰减器7连接,可变光衰减器7的另一端与萨格纳克环8连接;三端口环形器5的第3端口与1*2端耦合器9的输入端光纤连接,1*2端耦合器9的第一输出端与波分复用器2的第3端口光纤连接,1*2端耦合器9的第2输出端作为超窄线宽激光的输出端。
(4)开启980nm泵浦激光器1,输出的980nm激光通过波分复用器2进入掺铒光纤3,掺铒光纤3吸收980nm激光,从而提供一个宽带光源;可调窄带滤波器4是波长选择元件,经可调窄带滤波器4选择的光通过三端口环形器5的第2端口注入微凹槽光纤6、可变光衰减器7和萨格纳克环8,三端口环形器5的第3端口与1*2端耦合器9、波分复用器2的第3端口形成完整的环形激光腔。萨格纳克环8和可变光衰减器7为微凹槽光纤6提供一个非常微弱的种子光,可变光衰减器6对种子光的强度进行控制,以免窄线宽的后向瑞利信号被淹没掉,从而增加后向散射产生的概率,窄线宽的瑞利散射光在环形腔中循环,最终形成激光震荡,从1*2端耦合器8的第2输出端向外输出窄线宽激光信号,通过调节可调窄带滤波器4可输出不同波长的窄线宽激光。图2为本发明实施例中输出波长从1549.57nm至1553.93nm连续可调谐窄线宽激光的光谱图。输出激光的线宽小于10kHz。
本发明适用于可调谐窄线宽光纤激光器领域,以可调谐滤波器作为波长调谐器件,以掺铒光纤作为增益介质,利用了微凹槽光纤实现瑞利增益累积,进行线宽压缩,实现了可调谐窄线宽激光输出。本发明可以应用于光通信、气体传感、环境监测等领域,具有结构简单、成本低等优点。

Claims (2)

1.基于微凹槽光纤的可调谐窄线宽激光输出方法,其特征在于该方法包括如下步骤:
步骤(1)制作微凹槽光纤,具体是用飞秒激光在单模光纤表面刻写两个深6~7微米的对称凹槽,通过多次刻写操作,在单模光纤上形成多对微凹槽区;所述微凹槽光纤接入激光器中,使激光器的谐振腔长度等于或大于100m;
步骤(2)选择一个输出功率大于100mW的980nm泵浦激光器,一个980nm/1550nm波分复用器,一段长度2米至10米的掺铒光纤,一个三端口环形器,一个可调窄带滤波器、一个三端口环形器、一个微凹槽光纤、一个可变光衰减器、一个萨格纳克环、一个1*2光耦合器;
步骤(3)将泵浦激光器的端口与波分复用器的第1端口光纤连接,波分复用器的第2端口与掺铒光纤的一端光纤连接;掺铒光纤的另一端与可调窄带滤波器的一端光纤连接,可调窄带滤波器的另一端与三端口环形器的第1端口光纤连接,三端口环形器的第2端口与微凹槽光纤的一端光纤连接,微凹槽光纤的另一端光纤与可变光衰减器连接,可变光衰减器另一端与萨格纳克环连接;三端口环形器的第3端口与1*2端耦合器的输入端光纤连接,1*2端耦合器的第一输出端与波分复用器的第3端口光纤连接,1*2端耦合器的第2输出端作为超窄线宽激光的输出端;
步骤(4)开启980nm泵浦激光器,输出的980nm激光通过波分复用器进入掺铒光纤,掺铒光纤吸收980nm激光,从而提供一个宽带光源;可调窄带滤波器既是波长选择元件,也是波长调谐元件,经可调窄带滤波器选择的光通过三端口环形器的第2端口注入微凹槽光纤、可变光衰减器和萨格纳克环,三端口环形器的第3端口与1*2端耦合器、波分复用器的第3端口形成完整的环形激光腔, 可变光衰减器和萨格纳克环为微凹槽光纤提供一个种子光,可变光衰减器对种子光的强度进行控制,以免窄线宽的后向瑞利信号被淹没掉,从而增加后向散射产生的概率,窄线宽的瑞利散射光在环形腔中循环,最终形成激光震荡,从1*2端耦合器的第2输出端向外输出窄线宽激光信号,通过调节可调窄带滤波器的波长可输出不同波长的超窄线宽激光。
2.根据权利要求1所述的基于微凹槽光纤的可调谐窄线宽激光输出方法,其特征在于:步骤(1)中单个凹槽区的轴向长度为1.8~2cm,相邻两个微凹槽区的轴向中心间隔4.5~6m,微凹槽区的最小直径与单模光纤的外径数值比为24:25~18:25。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107870392A (zh) * 2016-09-27 2018-04-03 福州高意光学有限公司 一种光纤耦合器的制备方法
CN118432707B (zh) * 2024-06-28 2024-09-10 长春香农科技有限公司 基于掺铒光纤饱和吸收窄线宽激光源光纤侦听光路结构

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101013791A (zh) * 2007-02-05 2007-08-08 北京交通大学 一种环形腔可调谐单频单偏振光纤激光器
CN103149628A (zh) * 2013-03-05 2013-06-12 重庆大学 用于制作超窄线宽光纤激光器的微拉锥光纤及激光器
US8885678B1 (en) * 2012-05-24 2014-11-11 Redfern Integrated Optics, Inc. Ultra-low frequency noise external cavity semiconductor laser with integrated waveguide grating and modulation section electronically stabilized by dual frequency feedback control circuitry
CN204333582U (zh) * 2014-02-27 2015-05-13 浙江师范大学 可切换可调谐掺铥光纤激光器
CN105244739A (zh) * 2015-10-22 2016-01-13 重庆大学 超窄线宽光纤激光器
CN105334566A (zh) * 2015-10-22 2016-02-17 重庆理工大学 点状凹槽型光纤包层表面Bragg光栅

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3898042B2 (ja) * 2001-11-30 2007-03-28 三菱電機株式会社 半導体レーザ装置および光増幅装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101013791A (zh) * 2007-02-05 2007-08-08 北京交通大学 一种环形腔可调谐单频单偏振光纤激光器
US8885678B1 (en) * 2012-05-24 2014-11-11 Redfern Integrated Optics, Inc. Ultra-low frequency noise external cavity semiconductor laser with integrated waveguide grating and modulation section electronically stabilized by dual frequency feedback control circuitry
CN103149628A (zh) * 2013-03-05 2013-06-12 重庆大学 用于制作超窄线宽光纤激光器的微拉锥光纤及激光器
CN204333582U (zh) * 2014-02-27 2015-05-13 浙江师范大学 可切换可调谐掺铥光纤激光器
CN105244739A (zh) * 2015-10-22 2016-01-13 重庆大学 超窄线宽光纤激光器
CN105334566A (zh) * 2015-10-22 2016-02-17 重庆理工大学 点状凹槽型光纤包层表面Bragg光栅

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Tao Zhu等."Tunable dual-wavelength fiber laser with ultranarrow linewidth based on rayleigh backsattering".《OPTICS EXPRESS》.2016, *

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