CN105739250A - 一种光刻机之照明光瞳均一性补偿装置及其补偿方法 - Google Patents

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Abstract

一种光刻机之照明光瞳均一性补偿装置，包括：滤片槽轮盘，其上呈圆周间隔设置滤片槽；锁固部件，其外圈设置卡口，并通过定位栓固定设置在滤片槽轮盘之滤片槽内，且外周上设置齿轮牙纹；补偿滤片，固定设置在锁固部件内圈；主动齿轮，其齿轮与锁固部件之齿轮牙纹相啮合，并通过联轴器在驱动电机的作用下转动。本发明通过在锁固部件的外周上设置齿轮牙纹，并与通过联轴器在驱动电机的作用下进行转动的主动齿轮之齿轮相啮合，以在驱动电机的作用下进行旋转，且通过驱动电机启动旋转固定计数，不仅可以实现补偿滤片进行90°自动旋转，减少相同补偿滤片的重复安装，而且使得同一补偿滤片根据需要可满足X、Y方向的亮度调节，节省滤片槽的位置。

Description

一种光刻机之照明光瞳均一性补偿装置及其补偿方法
技术领域
本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种光刻机之照明光瞳均一性补偿装置及其补偿方法。
背景技术
目前，在半导体光刻领域，光刻机的照明光瞳均一性系通过自动光瞳补偿滤片(AutoPupilCompensationFilter,AutoPCF)进行补偿，其功能是调整照明光瞳在X、Y方向上的四个位置之光亮均一性。
作为本领域技术人员，不难知道地，在补偿过程中，机械自动根据光瞳光亮的大小选择合适的滤片，以调整Ia、Ib、Ic、Id的光亮，具体为根据X、Y、XY的以下公式来判断光瞳均一性是否满足要求：
X＝{|Ic-Id|/(Ic+Id)}×100％
Y＝{|Ia-Ib|/(Ia+Ib)}×100％
XY＝{|(Ia+Ib)-(Ic+Id)×Rxy|/((Ia+Ib)+(Ic+Id)×Rxy)}×100％
但是，上述补偿结构具有如下缺点：每个滤片安装后仅能补偿X左右或者Y上下的光亮，如果X左右或者Y上下需要的滤片仅是存在角度差时，则一套补正机构需要同时安装两个同样的滤片，将占用两个滤片槽的位置。
故针对现有技术存在的问题，本案设计人凭借从事此行业多年的经验，积极研究改良，于是有了本发明一种光刻机之照明光瞳均一性补偿装置及其补偿方法。
发明内容
本发明是针对现有技术中，现有补偿结构的每个滤片安装后仅能补偿X左右或者Y上下的光亮，如果X左右或者Y上下需要的滤片仅是存在角度差时，则一套补正机构需要同时安装两个同样的滤片，将占用两个滤片槽的位置等缺陷提供一种光刻机之照明光瞳均一性补偿装置。
本发明之第二目的是针对现有技术中，现有补偿结构的每个滤片安装后仅能补偿X左右或者Y上下的光亮，如果X左右或者Y上下需要的滤片仅是存在角度差时，则一套补正机构需要同时安装两个同样的滤片，将占用两个滤片槽的位置等缺陷提供一种光刻机之照明光瞳均一性补偿装置的补偿方法。
为实现本发明之目的，本发明提供一种光刻机之照明光瞳均一性补偿装置，所述光刻机之照明光瞳均一性补偿装置，包括：滤片槽轮盘，所述滤片槽轮盘上呈圆周间隔设置滤片槽；锁固部件，所述锁固部件之外圈设置卡口，并通过设置在所述卡口内的定位栓固定设置在所述滤片槽轮盘之滤片槽内，且在所述锁固部件之外周上设置齿轮牙纹；补偿滤片，所述补偿滤片固定设置在所述锁固部件内圈；主动齿轮，所述主动齿轮之齿轮与所述锁固部件之外周上的齿轮牙纹相啮合，并通过联轴器在所述驱动电机的作用下进行转动。
可选地，所述锁固部件之外圈设置的卡口数量为4个。
可选地，所述锁固部件之外圈设置的卡口在X方向和Y方向上互成90°。
可选地，所述滤片槽轮盘上设置的滤片槽之数量为12个。
可选地，所述滤片槽内设置的补偿滤片具有不同的光学透过率。
为实现本发明之又一目的，本发明提供一种光刻机之照明光瞳均一性补偿装置的补偿方法，所述光刻机之照明光瞳均一性补偿装置的补偿方法，包括：当所述滤片槽转到补偿位置，且不需要改变补偿滤片90°位置时，通过所述定位栓将所述锁固部件固定设置在所述滤片槽轮盘之滤片槽处；当所述滤片槽转到补偿位置，且需要改变补偿滤片90°位置时，所述定位栓退避卡口，并在所述驱动电机的作用下旋转90°后再次回归卡口，实现锁固。
可选地，所述定位栓退避卡口和回归卡口的动作均通过压力气缸控制。
可选地，当所述压力气缸充满压缩干燥空气时，所述定位栓退避卡口；当所述压力气缸释放压缩空气时，所述定位栓回归卡口。
综上所述，本发明光刻机之照明光瞳均一性补偿装置通过在所述补偿滤片之锁固部件的外周上设置齿轮牙纹，并将所述齿轮牙纹与通过联轴器在所述驱动电机的作用下进行转动的主动齿轮之齿轮相啮合，以在所述驱动电机的作用下进行旋转，且通过所述驱动电机启动旋转固定计数，不仅可以实现补偿滤片进行90°自动旋转，减少相同补偿滤片的重复安装，而且使得同一补偿滤片根据需要可满足X、Y方向的亮度调节，节省滤片槽的位置。
附图说明
图1所示为本发明光刻机之照明光瞳均一性补偿装置之结构示意图。
具体实施方式
为详细说明本发明创造的技术内容、构造特征、所达成目的及功效，下面将结合实施例并配合附图予以详细说明。
目前，在半导体光刻领域，光刻机的照明光瞳均一性系通过自动光瞳补偿滤片(AutoPupilCompensationFilter,AutoPCF)进行补偿，其功能是调整照明光瞳在X、Y方向上的四个位置之光亮均一性。
作为本领域技术人员，不难知道地，在补偿过程中，机械自动根据光瞳光亮的大小选择合适的滤片，以调整Ia、Ib、Ic、Id的光亮，具体为根据X、Y、XY的以下公式来判断光瞳均一性是否满足要求：
X＝{|Ic-Id|/(Ic+Id)}×100％
Y＝{|Ia-Ib|/(Ia+Ib)}×100％
XY＝{|(Ia+Ib)-(Ic+Id)×Rxy|/((Ia+Ib)+(Ic+Id)×Rxy)}×100％
请参阅图1，图1所示为本发明光刻机之照明光瞳均一性补偿装置之结构示意图。所述光刻机之照明光瞳均一性补偿装置1，包括：滤片槽轮盘11，所述滤片槽轮盘11上呈圆周间隔设置滤片槽12；锁固部件13，所述锁固部件13之外圈设置卡口14，并通过设置在所述卡口14内的定位栓15固定设置在所述滤片槽轮盘11之滤片槽12内，且在所述锁固部件13之外周上设置齿轮牙纹131；补偿滤片16，所述补偿滤片16固定设置在所述锁固部件13内圈；主动齿轮17，所述主动齿轮17之齿轮(未图示)与所述锁固部件13之外周上的齿轮牙纹131相啮合，并通过联轴器18在驱动电机19的作用下转动。
为了更直观的揭露本发明之技术方案，凸显本发明之有益效果，现结合具体实施方式，对所述光刻机之照明光瞳均一性补偿装置及其补偿方法进行阐述。在具体实施方式中，所述光刻机之照明光瞳均一性补偿装置的各功能器件之具体结构、形状、数量等仅为列举，不应视为对本发明技术方案的限制。
请继续参阅图1，所述光刻机之照明光瞳均一性补偿装置1，包括：
滤片槽轮盘11，所述滤片槽轮盘11上呈圆周间隔设置滤片槽12；
更具体地，所述滤片槽轮盘11上设置的滤片槽12之数量为12个。所述滤片槽12内设置的补偿滤片16具有不同的光学透过率。
锁固部件13，所述锁固部件13之外圈设置卡口14，并通过设置在所述卡口14内的定位栓15固定设置在所述滤片槽轮盘11之滤片槽12内，且在所述锁固部件13之外周上设置齿轮牙纹131；
作为具体实施方式，非限制性地，所述锁固部件13为金属元件。
补偿滤片16，所述补偿滤片16固定设置在所述锁固部件13之内圈；
主动齿轮17，所述主动齿轮17之齿轮与所述锁固部件13之外周上的齿轮牙纹131相啮合，并通过联轴器18在驱动电机19的作用下转动。
作为具体的实施方式，当所述滤片槽12转到补偿位置，且不需要改变补偿滤片16之90°位置时，通过所述定位栓15将所述锁固部件13固定设置在所述滤片槽轮盘11之滤片槽12处；当所述滤片槽12转到补偿位置，且需要改变补偿滤片16之90°位置时，所述定位栓15退避卡口14，并在所述驱动电机19的作用下旋转90°后再次回归卡口14，实现锁固。其中，当所述定位栓15退避卡口14后，所述主动齿轮17抵近所述锁固部件13之齿轮牙纹131，并在所述驱动电机19的作用下进行旋转，且通过所述驱动电机19启动旋转固定计数。
在本实施方案中，优选地，所述定位栓15退避卡口14和回归卡口14的动作均通过压力气缸控制。更具体地，当所述压力气缸冲充满压缩干燥空气时，所述定位栓15退避卡口14；当所述压力气缸释放压缩空气时，所述定位栓15回归卡口14。
明显地，本发明所述光刻机之照明光瞳均一性补偿装置1通过在所述补偿滤片16之锁固部件13的外周上设置齿轮牙纹131，并将所述齿轮牙纹131与通过联轴器18在所述驱动电机19的作用下进行转动的主动齿轮17之齿轮相啮合，以在所述驱动电机19的作用下进行旋转，且通过所述驱动电机19启动旋转固定计数，不仅可以实现补偿滤片16进行90°自动旋转，减少相同补偿滤片16的重复安装，而且使得同一补偿滤片16根据需要可满足X、Y方向的亮度调节，节省滤片槽12的位置。
综上所述，本发明光刻机之照明光瞳均一性补偿装置通过在所述补偿滤片之锁固部件的外周上设置齿轮牙纹，并将所述齿轮牙纹与通过联轴器在所述驱动电机的作用下进行转动的主动齿轮之齿轮相啮合，以在所述驱动电机的作用下进行旋转，且通过所述驱动电机启动旋转固定计数，不仅可以实现补偿滤片进行90°自动旋转，减少相同补偿滤片的重复安装，而且使得同一补偿滤片根据需要可满足X、Y方向的亮度调节，节省滤片槽的位置。
本领域技术人员均应了解，在不脱离本发明的精神或范围的情况下，可以对本发明进行各种修改和变型。因而，如果任何修改或变型落入所附权利要求书及等同物的保护范围内时，认为本发明涵盖这些修改和变型。

Claims (8)

1.一种光刻机之照明光瞳均一性补偿装置，其特征在于，所述光刻机之照明光瞳均一性补偿装置，包括：
滤片槽轮盘，所述滤片槽轮盘上呈圆周间隔设置滤片槽；
锁固部件，所述锁固部件之外圈设置卡口，并通过设置在所述卡口内的定位栓固定设置在所述滤片槽轮盘之滤片槽内，且在所述锁固部件之外周上设置齿轮牙纹；
补偿滤片，所述补偿滤片固定设置在所述锁固部件内圈；
主动齿轮，所述主动齿轮之齿轮与所述锁固部件之外周上的齿轮牙纹相啮合，并通过联轴器在所述驱动电机的作用下进行转动。
2.如权利要求1所述光刻机之照明光瞳均一性补偿装置，其特征在于，所述锁固部件之外圈设置的卡口数量为4个。
3.如权利要求2所述光刻机之照明光瞳均一性补偿装置，其特征在于，所述锁固部件之外圈设置的卡口在X方向和Y方向上互成90°。
4.如权利要求1所述光刻机之照明光瞳均一性补偿装置，其特征在于，所述滤片槽轮盘上设置的滤片槽之数量为12个。
5.如权利要求4所述光刻机之照明光瞳均一性补偿装置，其特征在于，所述滤片槽内设置的补偿滤片具有不同的光学透过率。
6.一种如权利要求1所述光刻机之照明光瞳均一性补偿装置的补偿方法，其特征在于，当所述滤片槽转到补偿位置，且不需要改变补偿滤片90°位置时，通过所述定位栓将所述锁固部件固定设置在所述滤片槽轮盘之滤片槽处；当所述滤片槽转到补偿位置，且需要改变补偿滤片90°位置时，所述定位栓退避卡口，并在所述驱动电机的作用下旋转90°后再次回归卡口，实现锁固。
7.如权利要求6所述光刻机之照明光瞳均一性补偿装置的补偿方法，其特征在于，所述定位栓退避卡口和回归卡口的动作均通过压力气缸控制。
8.如权利要求7所述光刻机之照明光瞳均一性补偿装置的补偿方法，其特征在于，当所述压力气缸充满压缩干燥空气时，所述定位栓退避卡口；当所述压力气缸释放压缩空气时，所述定位栓回归卡口。
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