CN105651316B - 磁性位置检测装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种磁性位置检测装置(1)，具备轴(20)、滑块(10)、磁检测部(40)以及位置检测部(70)。轴沿水平方向延伸，在轴向上交替排列有N极(20a)和S极(20b)。滑块配置成相对于轴能够沿轴向相对移动。磁检测部安装于滑块，包括对轴产生的磁通进行检测的第一磁元件(41)以及第二磁元件(42)。位置检测部基于第一磁元件以及第二磁元件各自的检测值对滑块相对于轴的位置进行检测。第一磁元件以及第二磁元件在与轴向正交的假想平面(F)上，以隔着轴的方式分别配置于由穿过轴的中心线(CL)的铅垂线(VL)以及水平线(HL)划分的区域中的相互不邻接的第一区域(R1)以及第二区域(R2)。
Description
技术领域
本发明涉及一种磁性位置检测装置。
背景技术
作为现有的磁性位置检测装置，已知有一种磁性位置检测装置，具备：沿水平方向延伸的轴；能够相对于轴沿轴的轴向相对移动的滑块；对轴产生的磁通进行检测的磁元件；以及基于磁元件的检测值，对滑块相对于轴的位置进行检测的位置检测部。在这样的磁性位置检测装置中，为了补偿轴朝铅垂方向的振动(挠曲以及/或者摆动)所造成的影响，有时在轴的正上方以及正下方分别配置有磁元件(例如，参照日本实开平2-14016号公报)。
在上述那样的磁性位置检测装置中，轴不仅沿铅垂方向而且还沿水平方向振动，因此由于轴朝铅垂方向以及水平方向的振动(挠曲以及/或者摆动)，滑块相对于轴的位置的检测精度有可能降低。
发明内容
因此，本发明的目的在于提供一种磁性位置检测装置，能够高精度地检测滑块相对于轴的位置。
本发明的磁性位置检测装置具备：轴，沿水平方向延伸，在轴向上交替排列有N极和S极；滑块，配置成能够相对于轴沿轴向相对移动；磁检测部，安装于滑块，包括对轴产生的磁通进行检测的第一磁元件以及第二磁元件；以及位置检测部，基于第一磁元件以及第二磁元件各自的检测值，对滑块相对于轴的位置进行检测，第一磁元件以及第二磁元件在与轴向正交的假想平面上，以隔着轴的方式分别配置于由穿过轴的中心线的铅垂线以及水平线划分的区域中、相互不邻接的第一区域以及第二区域。
在该构成的磁性位置检测装置中，第一磁元件以及第二磁元件在与轴的轴向正交的假想平面上，隔着轴以及穿过轴的中心线的水平线配置。因此，在轴相对于第一磁元件以及第二磁元件朝铅垂方向振动的情况下，一方的磁元件检测到的磁通减弱，另一方的磁元件检测到的磁通增强。即，第一磁元件以及第二磁元件分别检测到的检测值的例如加法值成为恒定。如此使用恒定的加法值来检测滑块的位置，因此能够补偿轴相对于第一磁元件以及第二磁元件的铅垂方向的振动。此外，在该构成的磁性位置检测装置中，在上述假想平面上第一磁元件以及第二磁元件隔着轴以及穿过轴的中心线的铅垂线配置。因此，在轴相对于第一磁元件以及第二磁元件朝水平方向振动的情况下，一方的元件检测到的磁通减弱，另一方的元件检测到的磁通增强。即，第一磁元件以及第二磁元件分别检测到的检测值的例如加法值成为恒定。如此使用恒定的加法值来检测滑块的位置，因此能够补偿轴相对于第一磁元件以及第二磁元件朝水平方向的振动。通过这些作用，即便轴由于挠曲以及/或者摆动而相对于第一磁元件以及第二磁元件朝铅垂方向以及/或者水平方向振动，也能够补偿该振动。结果，能够高精度地检测滑块相对于轴的位置。
在本发明的磁性位置检测装置中，也可以为，滑块具有：框体，具有供轴隔着间隙配置的孔部；以及线圈，收纳于框体，通过轴以及线圈的磁的相互作用，滑块能够沿轴向移动，第一磁元件以及第二磁元件以从线圈朝轴向偏移的状态安装于框体。
根据该构成，能够利用通过在线圈中流动电流而产生的磁场来驱动滑块。因此，无需另行设置用于使滑块移动的驱动部，就能够使滑块相对于轴相对地移动。此外，第一磁元件以及第二磁元件以从线圈朝轴向偏移的状态安装于框体，因此能够降低从线圈产生的磁通(漏磁通)的影响。由此，能够提高磁性位置检测装置的分辨率。
在本发明的磁性位置检测装置中，也可以为，在从轴向观察的情况下，第一磁元件以及第二磁元件配置于框体的外形的内侧。
根据该构成，能够将第一磁元件以及第二磁元件与轴接近地配置，因此能够进一步提高位置精度。
在本发明的磁性位置检测装置中，也可以为，磁检测部还包括对轴产生的磁通进行检测的第三磁元件以及第四磁元件，位置检测部基于第一磁元件、第二磁元件、第三磁元件以及第四磁元件各自的检测值，对滑块相对于轴的位置进行检测，第三磁元件以及第四磁元件在假想平面上，以隔着轴的方式分别配置于由铅垂线以及水平线划分的区域中、相互不邻接的第三区域以及第四区域，第一磁元件以及第二磁元件对磁通的第一方向成分进行检测，第三磁元件以及第四磁元件对与第一方向成分正交的磁通的第二方向成分进行检测。
另外，也可以为，第一区域以及第二区域所表示的区域与第三区域以及第四区域所表示的区域为相同相同的区域。
根据该构成，第一磁元件、第二磁元件、第三磁元件以及第四磁元件配置在同一假想平面上，因此与在轴的轴向上的多个部位设置第一磁元件～第四磁元件的情况相比，能够抑制轴的轴向的配置空间。
在本发明的磁性位置检测装置中，也可以为，第一磁元件、第二磁元件、第三磁元件以及第四磁元件围绕中心线以每次偏移π/2的状态配置。
根据该构成，能够抑制从轴的轴向观察的情况下的滑块尺寸变大。
在本发明的磁性位置检测装置中，也可以为，位置检测部包括：加法部，通过将第一磁元件以及第二磁元件各自的检测值相加，由此输出与第一三角波sin(x)×sin(ωt)对应的第一加法值，并且通过将第三磁元件以及第四磁元件各自的检测值相加，由此输出与第二三角波cos(x)×sin(ωt)对应的第二加法值；合成部，基于第一加法值以及第二加法值并使用加法定理，输出与合成波sin(ωt±x)或者cos(ωt±x)对应的合成值；零交检测部，基于合成值对合成波sin(ωt±x)或者cos(ωt±x)相对于基准波sin(ωt)或者cos(ωt)位移的相位x进行检测；以及位置计算部，基于零交检测部检测到的相位x，计算滑块的位置。
根据该构成，基于朝铅垂方向以及水平方向的振动被补偿的信号即合成值，计算滑块相对于轴的轴向位置。由此，能够高精度地计算滑块相对于轴的轴向位置。
在本发明的磁性位置检测装置中，也可以为，位置检测部包括：加法部，通过将第一磁元件以及第二磁元件各自的检测值相加，由此输出与第一三角波sin(x)×sin(ωt)对应的第一加法值，并且通过将第三磁元件以及第四磁元件各自的检测值相加，由此输出与第二三角波cos(x)×sin(ωt)对应的第二加法值；合成部，基于第一加法值以及第二加法值并使用加法的加法定理，输出与第一合成波sin(ωt±d+x1)或者cos(ωt±d+x1)对应的第一合成值，基于第一加法值和第二加法值并使用减法的加法定理，输出与第二合成波sin(ωt±d-x2)或者cos(ωt±d-x2)对应的第二合成值；零交检测部，基于第一合成值对第一合成波sin(ωt±d+x1)或者cos(ωt±d+x1)相对于基准波sin(ωt)或者cos(ωt)位移的第一相位±d+x1进行检测，并且基于第二合成值对第二合成波sin(ωt±d-x2)或者cos(ωt±d-x2)相对于基准波sin(ωt)或者cos(ωt)位移的第二相位±d-x2进行检测；以及位置计算部，基于零交检测部检测到的第一相位±d+x1以及第二相位±d-x2，计算除去了相位变动误差即±d的滑块的位置。
根据该构成，基于朝铅垂方向以及水平方向的振动被补偿的信号即合成值，计算滑块相对于轴的轴向的位置。由此，能够高精度地计算滑块相对于轴的轴向位置。并且，根据该构成，能够考虑将周边环境的温度变化等作为主要原因的相位变动误差，因此能够更高精度地计算滑块相对于轴的轴向位置。
在本发明的磁性位置检测装置中，也可以为，在假想平面上，由铅垂线以及水平线划分的区域由相互不邻接的第一区域以及第二区域、相互不邻接的第三区域以及第四区域构成，第一磁元件具有对轴产生的磁通进行检测的检测面，该第一磁元件配置为检测面的垂线以与轴的中心线不相交的方式指向第三区域以及第四区域中的一方的区域侧的姿态，第二磁元件具有对轴产生的磁通进行检测的检测面，该第二磁元件配置为检测面的垂线以与轴的中心线不相交的方式指向第三区域以及第四区域中的另一方的区域侧的姿态。
根据该构成，第一磁元件以及第二磁元件配置为，与检测面正交的垂线(检测方向)以与轴的中心线不相交的方式分别指向第三区域以及第四区域(或者第四区域以及第三区域)的姿态。第一磁元件以及第二磁元件成为这样的姿态，由此对于轴产生的磁通，第一磁元件以及第二磁元件分别对沿着相互相反的检测方向(检测面的垂线的方向)的磁通成分进行检测。此时，在轴振动的情况下，在一方的磁元件中检测到的磁通成分增强，在另一方的磁元件中检测到的磁通成分减弱。即，例如，在轴朝沿着将第一磁元件、第二磁元件以及轴的中心线连结的直线的方向摆动或者挠曲的情况下，轴相对于第一磁元件以及第二磁元件远离等距离量，因此作用于第一磁元件241以及第二磁元件242的磁通的强度同等地变化，但由于第一磁元件241以及第二磁元件242的姿态分别朝向相反的方向，因此由于检测的磁通成分的不同而一方的磁元件检测到的磁通减弱，另一方的磁元件检测到的磁通增强。第一磁元件以及第二磁元件分别检测到的检测值的加法值成为恒定，使用恒定的加法值来检测滑块的位置。因而，能够补偿假想平面F上的所有方向的轴20的振动。
发明的效果
根据本发明，能够高精度地检测滑块相对于轴的位置。
附图说明
图1是第一实施方式的磁性位置检测装置的立体图。
图2是图1的磁性位置检测装置的截面图。
图3是从轴的轴向观察图1的磁性位置检测装置的侧视图。
图4是表示图1的磁性位置检测装置的功能构成的框图。
图5是对图4的位置计算部的位置计算方法进行说明的图。
图6是从轴的轴向观察第二实施方式的磁性位置检测装置的侧视图。
图7是表示图6的磁性位置检测装置的功能构成的框图。
图8是从轴的轴向观察第三实施方式的磁性位置检测装置的侧视图。
符号的说明
1、101、201：磁性位置检测装置；10：滑块；11：框体；11a：顶面；11b：间隙嵌合孔(孔部)；13：线圈；20：轴；30：罩部；40、140、240：磁检测部；41、141、241：第一磁元件；42、142、242：第二磁元件；45、245：第三磁元件；46、246：第四磁元件；70：位置检测部；71：励磁信号输出部；72：加法部；73：相位位移部；74：合成部；75：零交检测部；76：位置计算部；140：磁检测部；170：位置检测部；171：励磁信号输出部；172：加法部；173：AD转换部；174：方向判别部；F：假想平面；HL：水平线；VL：铅垂线；R1：第一区域；R2：第二区域；R3：第三区域；R4：第四区域；CL：轴线(中心线)。
具体实施方式
以下，参照附图对实施方式进行详细说明。另外，对于相同或者相当的要素赋予相同的符号，并省略重复的说明。附图的尺寸比例并不一定与说明的尺寸比例一致。
(第一实施方式)
如图1所示，磁性位置检测装置1具备滑块10、轴20、磁检测部40以及位置检测部70。
轴20被配置成轴线(中心线)CL沿水平方向的一个方向即X轴方向延伸，并且N极20a和S极20b沿着轴向(X轴方向)交替排列。轴20是从轴向观察的截面形状为圆形的棒状部件。轴20的轴向长度例如能够设为4m以内。N极20a和S极20b例如能够以30mm的间距交替配置。
滑块10配置成能够沿着轴20的轴向相对移动。如图1以及图2所示，滑块10具有框体11以及线圈13。
框体11具有能够供轴20间隙嵌合的间隙嵌合孔11b(隔着间隙配置轴20的孔部)，框体11设置成能够相对于间隙嵌合于间隙嵌合孔11b的轴20沿轴向相对移动。
线圈13收纳于框体11，并配置在与间隙嵌合于间隙嵌合孔11b的轴20对置的位置。线圈13是构成U相、V相以及W相的线圈列，沿着X轴方向排列。各线圈的X轴方向的宽度相同。在磁性位置检测装置1中，通过轴20与线圈13的相互作用，滑块10能够沿轴20的轴向移动。具体而言，通过朝线圈13供给的、与在将极距(N极20a-S极20b间的间距)的相位设定为180度的情况下具有120度的相位差的位置相对应的三相电流、以及具有上述极距的轴20，产生使滑块10朝X轴方向移动的推力。通过与滑块10的位置相对应地对朝线圈13供给的电流进行控制，由此能够控制轴20朝X轴方向的移动。
如图3所示，磁检测部40具有第一磁元件41、第二磁元件42、第三磁元件45以及第四磁元件46。第一磁元件41、第二磁元件42、第三磁元件45以及第四磁元件46经由罩部30配置。第一磁元件41、第二磁元件42、第三磁元件45以及第四磁元件46例如是霍尔元件。
罩部30与框体11同样，具有能够供轴20间隙嵌合的间隙嵌合孔30a(隔着间隙配置轴20的孔部)。罩部30在轴20的轴向上固定于框体11的一方的端部，并设置成能够与框体11一起相对于间隙嵌合于间隙嵌合孔30a的轴20沿轴向相对移动。
如图3所示，第一磁元件41、第二磁元件42、第三磁元件45以及第四磁元件46，在罩部30中配置在与轴20的轴向正交的相同的假想平面F上，从轴20的轴向观察，配置在轴20的轴线CL的周围。
第一磁元件41以及第二磁元件42在与轴20的轴向正交的假想平面F上，以隔着轴20的方式分别配置于由穿过轴20的轴线CL的铅垂线VL以及水平线HL划分的区域(R1～R4)中的相互不邻接的第一区域R1以及第二区域R2。换言之，第一磁元件41和第二磁元件42隔着轴20而相互配置，并且在上述假想平面F上分别配置在穿过轴20的中心且与水平线HL以及铅垂线VL不同方向的直线S1上。在本实施方式中，直线S1相对于铅垂线VL倾斜α1(π/4)。
此外，第一磁元件41以及第二磁元件42配置成，与对轴20产生的磁通进行检测的检测面正交的方向(检测方向)在假想平面F上朝向轴20的中心。
第三磁元件45以及第四磁元件46在假想平面F上，以隔着轴20的方式分别配置于由铅垂线VL以及水平线HL划分的区域(R1～R4)中的相互不邻接的第三区域R3以及第四区域R4。换言之，第三磁元件45以及第四磁元件46隔着轴20而相互配置，并且在上述假想平面F上分别配置在穿过轴20的中心且与水平线HL以及铅垂线VL不同方向的直线S2上。在本实施方式中，直线S2相对于铅垂线VL倾斜α2(π/4)。第三磁元件45以及第四磁元件46配置在同一假想平面上是指第三磁元件45以及第四磁元件46的检测面的重心位置位于同一假想平面F。
磁检测部40为，第一磁元件41、第二磁元件42、第三磁元件45以及第四磁元件46在假想平面F上沿轴20的周向(围绕轴20的轴线CL)以每次偏移π/2的状态配置。更详细来说，在假想平面F上，在从第一磁元件41的配置位置起以轴20的轴线CL为中心旋转90度后的位置配置有第四磁元件46，在从第四磁元件46的配置位置起以轴20的轴线CL为中心旋转90度后的位置配置有第二磁元件42，在从第二磁元件42的配置位置起以轴20的轴线CL为中心旋转90度后的位置配置有第三磁元件45，在从第三磁元件45的配置位置起以轴20的轴线CL为中心旋转90度后的位置配置有第一磁元件41。
如图2所示，第一磁元件41、第二磁元件42、第三磁元件45以及第四磁元件46为，在从轴20的轴向观察的情况下配置于比框体11的顶面(外形)11a更靠轴20侧(内侧)。换言之，第一磁元件41、第二磁元件42、第三磁元件45以及第四磁元件46在轴20的径向上配置于比框体11的顶面11a更靠轴20侧。此外，第一磁元件41、第二磁元件42、第三磁元件45以及第四磁元件46以从线圈13向轴20的轴向偏移了的状态配置。
返回到图3，第一磁元件41以及上述第二磁元件42对从轴20产生的磁通中的与轴20的径向平行的成分即第一方向成分进行检测。第三磁元件45以及第四磁元件46对从轴20产生的磁通中的与相对于轴20的径向正交的轴20的轴向平行的成分即第二方向成分进行检测。即，第一磁元件41以及上述第二磁元件42的磁通的检测面与第三磁元件45以及第四磁元件46的磁通的检测面相互正交。
图4所示的位置检测部70，基于将第一磁元件41检测到的第一检测值与第二磁元件42检测到的第二检测值相加而得到的加法值、以及将第三磁元件45检测到的第三检测值与第四磁元件46检测到的第四检测值相加而得到的加法值，计算轴20的轴向(X轴方向)上的滑块10的位置x。另外，也可以基于对第一磁元件41以及第二磁元件42分别检测到的检测值进行平均而得到的平均值、以及对第三磁元件45以及第四磁元件46分别检测到的检测值进行平均而得到的平均值，计算轴20的轴向(X轴方向)上的滑块10的位置x。
接着，主要参照图4对在位置检测部70中检测滑块10的位置x的方法进行具体说明。励磁信号输出部71对第一磁元件41、第二磁元件42、第三磁元件45以及第四磁元件46进行励磁。励磁信号输出部71具有对规定的高速时钟脉冲进行计数的计数器，并基于规定的计数值输出励磁用的交流信号(Asin(ωt))。为了便于说明，将该计数值的0设为与基准信号sin(ωt)的0相位对应。例如，当假定在计数器的计数值从0到最大值为止循环一次的期间、产生基准信号sin(ωt)的从0相位到最大相位为止的1个周期时，在与该基准信号sin(ωt)相同的相位从励磁信号输出部71输出励磁用的交流信号sin(ωt)。
同时，滑块10相对于轴20能够沿轴20的轴向相对移动。第一磁元件41、第二磁元件42、第三磁元件45以及第四磁元件46为，伴随着滑块10的移动而检测的磁通变化。即，第一磁元件41以及第二磁元件42、第三磁元件45以及第四磁元件46输出下述所示的两相的交流信号。即，第一磁元件41以及第二磁元件42输出交流信号SG1＝sin(x)×sin(ωt)，第三磁元件45以及第四磁元件46输出交流信号SG2＝cos(x)×sin(ωt)。
加法部72对从第一磁元件41以及第二磁元件42分别输出的交流信号SG1进行差动放大，并输出交流信号SG11＝sin(x)×sin(ωt)+sin(x)×sin(ωt)＝2sin(x)×sin(ωt)。同样，加法部72对从第三磁元件45以及第四磁元件46分别输出的交流信号SG2进行差动放大，并输出交流信号SG21＝cos(x)×sin(ωt)+cos(x)×sin(ωt)＝2cos(x)×sin(ωt)。
相位位移部73将交流信号SG1的相位位移90度，并输出交流信号SG12＝2sin(x)×cos(ωt)。
合成部74将交流信号SG12与交流信号SG21进行合成。具体而言，合成部74具有加法电路和减法电路。加法电路将从相位位移部73输出的交流信号SG12＝2sin(x)×cos(ωt)、与从加法部72输出的交流信号SG21＝2cos(x)×sin(ωt)相加，并输出成为其相加结果即SG12+SG21＝2sin(x)×cos(ωt)+2cos(x)×sin(ωt)＝2sin(ωt±d+x)的交流信号Y1。
减法电路将从相位位移部73输出的交流信号SG12＝2sin(x)×cos(ωt)减去由加法部72输出的交流信号SG21＝2cos(x)×sin(ωt)，并输出成为其相减结果即SG12-SG21＝2sin(x)×cos(ωt)-2cos(x)×sin(ωt)＝2sin(ωt±d-x)的交流信号Y2。此处，“±d”是根据温度特性而变动的交流信号的相位变动误差。
如此，得到具有与检测对象位置x对应地朝正方向位移了的相位角(+x)的交流信号Y1＝2sin(ωt±d+x)、以及具有与相同检测对象位置x对应地朝负方向位移了的相位角(-x)的交流信号Y2＝2sin(ωt±d-x)。
零交检测部75对从加法电路以及减法电路分别输入的交流信号Y1、Y2的零交进行检测。作为对零交进行检测的方法，例如对各交流信号Y1、Y2的振幅值从负向正变化的点进行检测。如图5所示，由零交检测部75检测到的各个零交检测脉冲，作为闩锁脉冲LP1、LP2，在各个闩锁脉冲LP1、LP2的定时对来自计数器的计数值进行闩锁。
如上所述，计数器与励磁用的交流信号(sin(ωt))的1个周期对应，其计数值的0与基准信号sin(ωt)的0相位对应。因此，由零交检测部75闩锁的相位偏移数据(第一相位)D1以及相位偏移数据(第二相位)D2，分别与各交流信号Y1、Y2相对于基准信号sin(ωt)的相位偏移对应。零交检测部75将相位偏移数据D1、D2输出至位置计算部76。
位置计算部76对检测相位差x(检测对象位置x)进行计算。具体而言，位置计算部76对根据温度特性而变动的交流信号的相位变动误差进行考虑，而计算从零交检测部75输入的相位偏移数据D1＝±d+x以及相位偏移数据D2＝±d-x的平均值“(D1+D2)/2”。由此，计算出相位变动误差±d。
(D1+D2)/2＝{(±d+x)+(±d-x)}/2＝±2d/2＝±d
从一方的相位偏移数据D1减去如此计算出的相位变动误差“±d”。即，位置计算部76进行“D1-(±d)”的减法，因此成为D1-(±d)＝±d+x-(±d)＝x，能够获得表示除去了相位变动误差“±d”的正确的检测相位差x的数据。由此，能够获得表示检测相位差x的数据(极距内的位置信息)。由此，位置计算部76能够根据表示检测相位差x的数据(极距内的位置信息)、以及表示以原点为基准的极距数的数据，来计算滑块10的绝对位置。关于极距数，例如通过每当通过极距时就进行计数，由此能够利用为位置计算时的数据。另外，位置计算部76也可以从另一方的相位偏移数据D2减去相位变动误差“±d”。
接着，对第一实施方式的磁性位置检测装置1的作用效果进行说明。在第一实施方式的磁性位置检测装置1中，如图3所示，第一磁元件41以及第二磁元件42相互隔着轴20而配置，并且在假想平面F上隔着穿过轴20的中心轴的水平线HL而配置。因此，在轴20相对于第一磁元件41以及第二磁元件42朝铅垂方向振动的情况下，一方的磁元件41(42)检测到的磁通减弱，另一方的磁元件42(41)检测到的磁通增强。即，第一磁元件41以及第二磁元件42分别检测到的检测值的加法值(SG11＝sin(x)×sin(ωt)+sin(x)×sin(ωt)＝2sin(x)×sin(ωt))成为恒定。由于像这样使用恒定的加法值来检测滑块10的位置，所以能够对轴20相对于第一磁元件41以及第二磁元件42朝铅垂方向的振动进行补偿。
在第一实施方式的磁性位置检测装置1中，如图3所示，第一磁元件41以及第二磁元件42相互隔着轴20而配置，并且在假想平面F上隔着穿过轴20的中心轴的铅垂线VL而配置。因此，在轴20相对于第一磁元件41以及第二磁元件42朝水平方向振动的情况下，一方的磁元件41(42)检测到的磁通减弱，另一方的磁元件42(41)检测到的磁通增强。即，第一磁元件41以及第二磁元件42分别检测到的检测值的例如加法值(SG1＝sin(x)×sin(ωt)+sin(x)×sin(ωt)＝2sin(x)×sin(ωt))成为恒定。由于像这样使用恒定的加法值来检测滑块10的位置，所以能够对轴20相对于第一磁元件41以及第二磁元件42朝水平方向的振动进行补偿。
通过这些作用，在第一实施方式的磁性位置检测装置1中，能够对轴20相对于第一磁元件41以及第二磁元件42朝铅垂方向以及水平方向的双方的振动进行补偿。结果，能够高精度地检测滑块10相对于轴20的位置。
在第一实施方式的磁性位置检测装置1中，能够利用通过在线圈13中流动电流而产生的磁场来驱动滑块10。因此，无需另行设置用于使滑块10移动的驱动部，就能够使滑块10相对于轴20相对地移动。
在第一实施方式的磁性位置检测装置1中，第一磁元件41、第二磁元件42、第三磁元件45以及第四磁元件46，以从线圈13沿轴向偏移的状态安装于框体11，因此能够降低从线圈13产生的磁通(漏磁通)的影响。由此，能够提高磁性位置检测装置1的分辨率。
在第一实施方式的磁性位置检测装置1中，第一磁元件41、第二磁元件42、第三磁元件45以及第四磁元件46，通过在轴20的径向上配置于比框体11的顶面11a更靠轴20侧，由此与轴20接近地配置。由此，能够进一步提高位置精度。
在第一实施方式的磁性位置检测装置1中，第一磁元件41、第二磁元件42、第三磁元件45以及第四磁元件46配置在同一假想平面F上，因此与在轴20的轴向上的多个部位设置第一磁元件～第四磁元件的情况相比，能够抑制轴20的轴向的配置空间。
(第二实施方式)
接着，主要使用图6以及图7对第二实施方式的磁性位置检测装置101进行说明。如图6所示，第二实施方式的磁性位置检测装置101与第一实施方式的磁性位置检测装置1的不同点在于：未设置第一实施方式的磁性位置检测装置1所具备的第三磁元件45以及第四磁元件46；以及位置检测部170的滑块10的位置检测方法不同。此处，对于与第一实施方式的磁性位置检测装置1相同的构成赋予相同的参照符号而省略说明，仅对与第一实施方式的磁性位置检测装置1不同的点进行说明。
如图6所示，磁检测部140具有第一磁元件41以及第二磁元件42。第一磁元件41以及第二磁元件42经由罩部30配置。第一磁元件41以及第二磁元件42例如是霍尔元件。第一磁元件41以及第二磁元件42在罩部30中配置在与轴20的轴向正交的同一假想平面F上，从轴20的轴向观察，配置于轴20的轴线CL的周围。
第一磁元件41以及第二磁元件42在与轴20的轴向正交的假想平面F上，以隔着轴20的方式分别配置于由穿过轴20的轴线CL的铅垂线VL以及水平线HL划分的区域(R1～R4)中的相互不邻接的第一区域R1以及第二区域R2。换言之，第一磁元件41和第二磁元件42隔着轴20相互配置，并且在上述假想平面F上分别配置在穿过轴20的中心且与水平线HL以及铅垂线VL不同的方向的直线S1上。在本实施方式中，直线S1相对于铅垂线VL倾斜α1(π/4)。
另外，第一磁元件41和第二磁元件42也可以在上述假想平面F上，配置在穿过轴20的轴线CL且与水平线HL以及铅垂线VL不同的方向的直线S2(相对于铅垂线VL倾斜α2(π/4)。)上。
此外，第一磁元件41以及第二磁元件42配置成，与磁通的检测面正交的方向在假想平面F上朝向轴20的中心。第一磁元件41以及上述第二磁元件42对从轴20产生的磁通中的与轴20的径向平行的成分即第一方向成分进行检测。
图7所示的位置检测部170，基于将第一磁元件41检测到的第一检测值与第二磁元件42检测到的第二检测值相加而得到的加法值，计算轴20的轴向(X轴方向)上的滑块10的位置x。另外，也可以基于对第一磁元件41检测到的第一检测值以及第二磁元件42检测到的第二检测值进行平均而得到的平均值，计算轴20的轴向(X轴方向)上的滑块10的位置x。
接着，主要参照图7对在位置检测部170中检测滑块10的位置x的方法进行具体说明。励磁信号输出部171对收纳于框体11的线圈13进行励磁。励磁信号输出部171输出励磁用的交流信号(Asin(ωt))。
同时，滑块10相对于轴20能够朝轴20的轴向相对移动。第一磁元件41以及第二磁元件42为，伴随着滑块10的移动而检测的磁通变化。即，第一磁元件41以及第二磁元件42输出下述所示的交流信号。即，第一磁元件41以及第二磁元件42输出交流信号C＝sin(x)×sin(ωt)。
加法部172对从第一磁元件41以及第二磁元件42分别输出的交流信号B进行差动放大，并输出交流信号C1＝sin(x)×sin(ωt)+sin(x)×sin(ωt)＝2sin(x)×sin(ωt)。
AD(模拟数字)转换部173从自加法部172输入的交流信号C1中提取sin(x)，并对其进行AD转换。
方向判别部174参照位移寄存器中所存储的过去的检测信息，来判别滑块10的移动方向。
位置计算部175基于由方向判别部174判别的结果、以及从AD(模拟数字)转换部173输出的数据，计算滑块10的位置。具体而言，根据极距内的位置信息以及极距数的信息对滑块10的绝对位置进行检测。
接着，对第二实施方式的磁性位置检测装置101的作用效果进行说明。在第二实施方式的磁性位置检测装置101中，与第一实施方式的磁性位置检测装置1相同，如图6所示，第一磁元件41以及第二磁元件42相互隔着轴20配置，并且在假想平面F上隔着穿过轴20的中心轴的水平线HL以及铅垂线VL分别配置。因此，在轴20相对于第一磁元件41以及第二磁元件42朝铅垂方向以及水平方向振动的情况下，即使一方的磁元件41(42)检测到的磁通减弱，而另一方的磁元件42(41)检测到的磁通增强。即，第一磁元件41以及第二磁元件42分别检测到的检测值的加法值(SG1＝sin(x)×sin(ωt)+sin(x)×sin(ωt)＝2sin(x)×sin(ωt)成为恒定。由于像这样使用恒定的加法值A1来检测滑块10的位置，所以能够对轴20相对于第一磁元件41以及第二磁元件42朝铅垂方向以及水平方向的振动进行补偿。结果，能够高精度地检测滑块10相对于轴20的位置。
此外，在第二实施方式的磁性位置检测装置101中，在与第一实施方式的磁性位置检测装置1共通的其他构成部分，能够获得与第一实施方式的磁性位置检测装置1相同的效果。
(第三实施方式)
接着，主要使用图8对第三实施方式的磁性位置检测装置201进行说明。第三实施方式的磁性位置检测装置201与第一实施方式的磁性位置检测装置1相比，不同点在于：对第一磁元件241、第二磁元件242、第三磁元件245以及第四磁元件246进行配置的姿态不同。此处，对于与第一实施方式的磁性位置检测装置1相同的构成赋予相同的参照符号而省略说明，仅对与第一实施方式的磁性位置检测装置1不同的点进行说明。
即，在上述第一实施方式的磁检测部40中，列举如下例子进行了说明：第一磁元件41以及第二磁元件42被配置成，与磁通的检测面正交的方向在假想平面F上朝向轴20的中心，但在第三实施方式的磁检测部240中，第一磁元件241以及第二磁元件242被配置成，在假想平面F上不朝向轴20的中心。换言之，第一磁元件241以及第二磁元件242被配置成如下姿态：与第一磁元件241以及第二磁元件242的检测面正交的垂线在假想平面F上与轴20的轴线(中心线)CL不相交的姿态。此外，第一磁元件241被配置成检测面的垂线指向第三区域R3侧，第二磁元件242被配置成检测面的垂线指向第四区域R4侧。
具体而言，第一磁元件241配置于以相对于铅垂线VL倾斜α1(π/4)的直线S1为基准、朝与直线S1正交的方向(轴的外周面的切线方向)偏置了规定量的位置，由此成为与检测面正交的垂线以与轴20的轴线不相交的方式指向第三区域R3侧的姿态。同样，第二磁元件242配置于以直线S1为基准、朝与直线S1正交的方向(轴的外周面的切线方向)且是与第一磁元件41的偏置方向相反的方向偏置了规定量的位置，由此成为与检测面正交的垂线以与轴20的轴线不相交的方式指向第四区域R4侧的姿态。此时，优选使第一磁元件241以及第二磁元件242的偏置量相同。
与第一磁元件241以及第二磁元件242相同，第三磁元件245以及第四磁元件246以相对于铅垂线VL倾斜α2(π/4)的直线S2为基准、分别朝与直线S2正交的方向偏置规定量。
接着，对第三实施方式的磁性位置检测装置201的作用效果进行说明。在第三实施方式的磁性位置检测装置201中，如图8所示，第一磁元件241以及第二磁元件242被配置为与检测面正交的垂线(检测方向)以与轴20的轴线CL不相交的方式分别指向第三区域R3侧以及第四区域R4侧的姿态。通过第一磁元件241以及第二磁元件242成为这样的姿态，由此对于轴20产生的磁通，第一磁元件241以及第二磁元件242分别对沿着相互相反的检测方向(检测面的垂线的方向)的磁通成分进行检测。此时，在轴相对于第一磁元件241以及第二磁元件242振动的情况下，在一方的磁元件中检测到的磁通成分增强，在另一方的磁元件中检测到的磁通成分减弱。即，例如在轴朝沿着直线S2的方向摆动或者挠曲的情况下，轴相对于第一磁元件241以及第二磁元件242远离等距离量，因此作用于第一磁元件241以及第二磁元件242的磁通的强度同等地变化，但由于第一磁元件241以及第二磁元件242的姿态分别朝向相反的方向，因此由于检测到的磁通成分的不同而一方的磁元件241(242)检测到的磁通减弱，另一方的磁元件242(241)检测到的磁通增强。第一磁元件241以及第二磁元件242分别检测到的检测值的加法值成为恒定，使用恒定的加法值来检测滑块10的位置。因而，能够对轴20沿着直线S2的方向(与将第一磁元件241、第二磁元件242以及轴20的轴线CL连结的线正交的方向)的振动进行补偿，能够对假想平面F上的所有方向的轴20的振动进行补偿。
以上，对第一～第三实施方式的磁性位置检测装置进行了说明，但本发明并不限定于上述实施方式。例如，在上述第一实施方式的磁性位置检测装置1中，列举如下例子进行了说明：位置检测部70中的合成部74，根据第一加法值(交流信号SG11)以及第二加法值(交流信号SG21)，基于加法的加法定理来输出第一合成波(交流信号Y1)，基于减法的加法定理来输出第二合成波(交流信号Y2)，但本发明并不限定于此。例如，也可以为，位置检测部70的合成部，根据第一加法值以及第二加法值，基于加法定理来输出与合成波sin(ωt±x)或者cos(ωt±x)对应的合成值，零交检测部基于合成值对合成波sin(ωt±x)或者cos(ωt±x)相对于基准波sin(ωt)或者cos(ωt)位移的相位x进行检测。
在上述第一实施方式的磁性位置检测装置1以及上述第三实施方式的磁性位置检测装置201中，列举如下例子进行了说明：以假想平面F上的从穿过轴20的轴线CL的铅垂线VL旋转45度的直线S1为基准，第一磁元件41、第二磁元件42、第三磁元件45以及第四磁元件46围绕轴线CL以每次偏移π/2的状态配置，但本发明并不限定于此。例如，也可以为，以假想平面F上的从穿过轴20的轴线CL的铅垂线VL旋转60度的直线为基准，第一磁元件41、第二磁元件42、第三磁元件45以及第四磁元件46围绕轴线CL以每次偏移π/2的状态配置。
在上述第一实施方式的磁性位置检测装置1以及上述第三实施方式的磁性位置检测装置201中，列举如下例子进行了说明：第一磁元件41(241)、第二磁元件42(242)、第三磁元件45(245)以及第四磁元件46(246)围绕假想平面F上的轴线CL以每次偏移等角度的状态配置，但本发明并不限定于此。例如，也可以为，第一磁元件41(241)、第二磁元件42(242)、第三磁元件45(245)以及第四磁元件46(246)围绕假想平面F上的轴线CL不是每次偏移等角度。
在上述第二实施方式的磁性位置检测装置1中，列举如下例子进行了说明：第一磁元件141以及第二磁元件142配置在假想平面F上的从穿过轴20的轴线CL的铅垂线VL旋转45度的直线S1上，但本发明并不限定于此。例如，也可以为，第一磁元件141以及第二磁元件142配置在假想平面F上的从穿过轴20的轴线CL的铅垂线VL旋转60度旋转的直线上。
在上述第一实施方式的磁性位置检测装置1以及上述第三实施方式的磁性位置检测装置201中，列举如下例子进行了说明：第一磁元件41(241)以及第二磁元件42(242)分别配置于第一区域R1以及第二区域R2，第三磁元件45(245)以及第四磁元件46(246)分别配置于第三区域R3以及第四区域R4，但本发明并不限定于此。例如，也可以为，第一磁元件41(241)以及第二磁元件42(242)分别配置于第一区域R1以及第二区域R2、第三磁元件45(245)以及第四磁元件46(246)分别配置于第一区域R1以及第二区域R2等，第一磁元件41(241)以及第二磁元件42(242)分别配置的区域与第三磁元件45(245)以及第四磁元件46(246)分别配置的区域相同。
在上述第三实施方式的磁性位置检测装置201中，第一磁元件241被配置成检测面的垂线指向第三区域R3侧，第二磁元件242被配置成检测面的垂线指向第四区域R4侧，但也可以为，第一磁元件241被配置成指向第四区域R4侧，第二磁元件242被配置成指向第三区域R3侧。
在上述第三实施方式的磁性位置检测装置201中，第一磁元件241、第二磁元件242、第三磁元件245以及第四磁元件246相对于直线S1或者直线S2偏置，但例如也可以为，第一磁元件241以及第二磁元件242相对于直线S1偏置，第三磁元件245以及第四磁元件246不配置而配置在直线S2上。
在上述第一实施方式的磁性位置检测装置1以及上述第三实施方式的磁性位置检测装置201中，第一磁元件41(241)以及第二磁元件42(242)相对于直线S1偏置，第三磁元件45(245)以及第四磁元件46(246)相对于直线S2偏置，但例如也可以以铅垂线或者水平线为基准来偏置。对于上述第二实施方式也同样，第一磁元件141以及第二磁元件142可以相对于直线S1偏置，也可以以铅垂线或者水平线为基准来偏置。
在上述第一实施方式的磁性位置检测装置1以及上述第三实施方式的磁性位置检测装置201中，使用四个磁元件，在上述第二的实施方式的磁性位置检测装置101中，使用两个磁元件，但只要使用至少两个磁元件即可，也可以使用三个或者五个以上的磁元件。
本发明在滑块的位置检测的位置转换中还能够应用于R/D转换方式或者A/D转换方式。
Claims (9)
1.一种磁性位置检测装置，具备：
轴，沿水平方向延伸，在轴向上交替排列有N极和S极；
滑块，配置成相对于上述轴能够沿上述轴向相对移动；
磁检测部，安装于上述滑块，包括对上述轴产生的磁通进行检测的第一磁元件以及第二磁元件；以及
位置检测部，基于上述第一磁元件以及上述第二磁元件各自的检测值，对上述滑块相对于上述轴的位置进行检测，
上述第一磁元件以及上述第二磁元件在与上述轴向正交的假想平面上，以隔着上述轴的方式分别配置于由穿过上述轴的中心线的铅垂线以及水平线划分的区域中的相互不邻接的第一区域以及第二区域，
上述磁检测部还包括对上述轴产生的磁通进行检测的第三磁元件以及第四磁元件，
上述位置检测部基于上述第一磁元件、上述第二磁元件、上述第三磁元件以及上述第四磁元件各自的检测值，对上述滑块相对于上述轴的位置进行检测，
上述第三磁元件以及上述第四磁元件在上述假想平面上，以隔着上述轴的方式分别配置于由上述铅垂线以及上述水平线划分的上述区域中的相互不邻接的第三区域以及第四区域，
上述第一磁元件以及上述第二磁元件对上述磁通的第一方向成分进行检测，
上述第三磁元件以及上述第四磁元件对与上述第一方向成分正交的上述磁通的第二方向成分进行检测。
2.如权利要求1所述的磁性位置检测装置，其中，
上述滑块具有：框体，具有隔着间隙配置上述轴的孔部；以及线圈，收纳于上述框体，
通过基于上述轴以及上述线圈的磁的相互作用，上述滑块能够沿上述轴向移动，
上述第一磁元件以及上述第二磁元件以从上述线圈朝上述轴向偏移的状态安装于上述框体。
3.如权利要求2所述的磁性位置检测装置，其中，
在从上述轴向观察的情况下，上述第一磁元件以及上述第二磁元件配置于上述框体的外形的内侧。
4.如权利要求1所述的磁性位置检测装置，其中，
上述第一磁元件、上述第二磁元件、上述第三磁元件以及上述第四磁元件围绕上述中心线以每次偏移π/2的状态配置。
5.如权利要求1至4中任一项所述的磁性位置检测装置，其中，
上述位置检测部包括：
加法部，通过将上述第一磁元件以及上述第二磁元件各自的上述检测值相加，由此输出与第一三角波sin(x)×sin(ωt)对应的第一加法值，并且通过将上述第三磁元件以及上述第四磁元件各自的上述检测值相加，由此输出与第二三角波cos(x)×sin(ωt)对应的第二加法值；
合成部，基于上述第一加法值以及上述第二加法值并使用加法定理，输出与合成波sin(ωt±x)或者cos(ωt±x)对应的合成值；
零交检测部，基于上述合成值对上述合成波sin(ωt±x)或者cos(ωt±x)相对于基准波sin(ωt)或者cos(ωt)位移的相位x进行检测；以及
位置计算部，基于上述零交检测部检测到的相位x，计算上述滑块的位置。
6.如权利要求1至4中任一项所述的磁性位置检测装置，其中，
上述位置检测部包括：
加法部，通过将上述第一磁元件以及上述第二磁元件各自的上述检测值相加，由此输出与第一三角波sin(x)×sin(ωt)对应的第一加法值，并且通过将上述第三磁元件以及上述第四磁元件各自的上述检测值相加，由此输出与第二三角波cos(x)×sin(ωt)对应的第二加法值；
合成部，基于上述第一加法值以及上述第二加法值并使用加法的加法定理，输出与第一合成波sin(ωt±d+x1)或者cos(ωt±d+x1)对应的第一合成值，基于上述第一加法值和上述第二加法值并使用减法的加法定理，输出与第二合成波sin(ωt±d-x2)或者cos(ωt±d-x2)对应的第二合成值；
零交检测部，基于上述第一合成值对上述第一合成波sin(ωt±d+x1)或者cos(ωt±d+x1)相对于基准波sin(ωt)或者cos(ωt)位移的第一相位±d+x1进行检测，并且基于上述第二合成值对上述第二合成波sin(ωt±d-x2)或者cos(ωt±d-x2)相对于基准波sin(ωt)或者cos(ωt)位移的第二相位±d-x2进行检测；以及
位置计算部，基于上述零交检测部检测到的上述第一相位±d+x1以及上述第二相位±d-x2，计算将相位变动误差即±d除去后的上述滑块的位置。
7.如权利要求1至4中任一项所述的磁性位置检测装置，其中，
在上述假想平面上，由上述铅垂线以及上述水平线划分的上述区域，由相互不邻接的上述第一区域以及第二区域、和相互不邻接的第三区域以及第四区域构成，
上述第一磁元件具有对上述轴产生的磁通进行检测的检测面，上述第一磁元件被配置为上述检测面的垂线以与上述轴的中心线不相交的方式指向上述第三区域以及上述第四区域中的一方的区域侧的姿态，
上述第二磁元件具有对上述轴产生的磁通进行检测的检测面，上述第二磁元件被配置为上述检测面的垂线以与上述轴的中心线不相交的方式指向上述第三区域以及上述第四区域中的另一方的区域侧的姿态。
8.如权利要求5所述的磁性位置检测装置，其中，
在上述假想平面上，由上述铅垂线以及上述水平线划分的上述区域，由相互不邻接的上述第一区域以及第二区域、和相互不邻接的第三区域以及第四区域构成，
上述第一磁元件具有对上述轴产生的磁通进行检测的检测面，上述第一磁元件被配置为上述检测面的垂线以与上述轴的中心线不相交的方式指向上述第三区域以及上述第四区域中的一方的区域侧的姿态，
上述第二磁元件具有对上述轴产生的磁通进行检测的检测面，上述第二磁元件被配置为上述检测面的垂线以与上述轴的中心线不相交的方式指向上述第三区域以及上述第四区域中的另一方的区域侧的姿态。
9.如权利要求6所述的磁性位置检测装置，其中，
在上述假想平面上，由上述铅垂线以及上述水平线划分的上述区域，由相互不邻接的上述第一区域以及第二区域、和相互不邻接的第三区域以及第四区域构成，
上述第一磁元件具有对上述轴产生的磁通进行检测的检测面，上述第一磁元件被配置为上述检测面的垂线以与上述轴的中心线不相交的方式指向上述第三区域以及上述第四区域中的一方的区域侧的姿态，
上述第二磁元件具有对上述轴产生的磁通进行检测的检测面，上述第二磁元件被配置为上述检测面的垂线以与上述轴的中心线不相交的方式指向上述第三区域以及上述第四区域中的另一方的区域侧的姿态。
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Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006109664A (ja) * | 2004-10-08 | 2006-04-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ｘｙロボット及び部品実装装置 |
| CN103069249A (zh) * | 2010-08-27 | 2013-04-24 | 日本精机株式会社 | 位置检测装置 |
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| TW201435303A (zh) * | 2013-01-10 | 2014-09-16 | Murata Machinery Ltd | 位移感測器及位移之檢測方法 |
Family Cites Families (3)
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|---|---|---|---|---|
| JPH0214016U (zh) * | 1988-07-13 | 1990-01-29 | ||
| JP2002122138A (ja) * | 2000-10-16 | 2002-04-26 | Seiko Instruments Inc | 磁気軸受装置 |
| US8664943B2 (en) * | 2010-07-07 | 2014-03-04 | Asahi Kasei Microdevices Corporation | Position detecting apparatus |
-
2014
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2015
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Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006109664A (ja) * | 2004-10-08 | 2006-04-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ｘｙロボット及び部品実装装置 |
| CN103069249A (zh) * | 2010-08-27 | 2013-04-24 | 日本精机株式会社 | 位置检测装置 |
| CN103547891A (zh) * | 2011-05-30 | 2014-01-29 | 日本精机株式会社 | 位置检测装置 |
| CN103988053A (zh) * | 2011-12-13 | 2014-08-13 | Zf腓德烈斯哈芬股份公司 | 传感器装置、用于位置检测的方法和用于传感器装置的磁元件 |
| TW201435303A (zh) * | 2013-01-10 | 2014-09-16 | Murata Machinery Ltd | 位移感測器及位移之檢測方法 |
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