CN105606847B - 一种面向压电式加速度传感器横向灵敏度标定的振动台 - Google Patents
一种面向压电式加速度传感器横向灵敏度标定的振动台 Download PDFInfo
- Publication number
- CN105606847B CN105606847B CN201610115317.9A CN201610115317A CN105606847B CN 105606847 B CN105606847 B CN 105606847B CN 201610115317 A CN201610115317 A CN 201610115317A CN 105606847 B CN105606847 B CN 105606847B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- hinge
- unit
- platform
- terminal platform
- acceleration transducer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P21/00—Testing or calibrating of apparatus or devices covered by the preceding groups
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
- Vibration Prevention Devices (AREA)
Abstract
本发明公开了属于机械制造技术领域的一种面向压电式加速度传感器横向灵敏度标定的振动台。所述振动台由柔性铰链机构固定在平面二轴振动发生装置上构成，柔性铰链机构由直梁型柔性铰链将位于中间部分的终端平台，位于终端平台的上边、下边、左边、右边的输入平台以及刚性连接基体连接组成。平面二轴振动发生装置通过压电陶瓷驱动器驱动柔性铰链机构运动，通过长度计对终端平台转换块的位移信号进行采集和反馈，带动终端平台转换块上的压电式加速度传感器在较高频率下运动；可以实现压电式加速度传感器的高频率高精度平面圆形轨迹运动，其向心加速度幅值稳定度和频率稳定度高，从而能够实现对压电式加速度传感器横向灵敏度的标定。
Description
技术领域
本发明属于机械制造技术领域，特别涉及一种面向压电式加速度传感器横向灵敏度标定的振动台。
背景技术
传感器是一种将被测非电量转换成与其呈对应关系电信号的装置，它是信息获取的核心，在当前科学技术进步中发挥着重要作用。目前，随着人类探知领域和空间的拓展，人们更加依赖于获取外界信息的采集技术，传感器已经渗透到工业生产、国防建设、宇宙开发、海洋探测、环境保护、资源勘察、医学诊断、生物工程，甚至是文物保护等极其广泛的领域。压电式加速度传感器于上世纪40年代末、50年代初开始大规模生产，具有尺寸小、重量轻、抗干扰能力强、环境特性好、安装方便等优点，现在已经广泛应用于航空、航天、兵器、船舶、桥梁和建筑的振动和冲击测试、信号分析、振动校准、机械动态实验等中，特别是在航空和宇航领域中更是有它的特殊地位。压电式加速度传感器在自动化仪器设备中的使用越来越广泛，其正确使用对仪器、设备的性能起着决定性影响，因此，压电式加速度传感器必须进行正确的标定。
加速度传感器横向灵敏度的标定主要是依照国际标准ISO16063-31。标定方法主要包括单轴振动台激振法，平面两轴振动台激振法和空间三轴振动台激振法等。其中，单轴振动台激振法需要手动安装测试，对传感器的安装位置要求较高，标定效率较低，使用受到一定的限制，而两轴振动台可以实现自动化标定，标定效率和精度高。
柔性铰链是利用材料的变形使相互连接的刚体产生微小位移及转动的一种柔性单元。若干个柔性铰链可以组成柔性铰链机构，柔性铰链机构被广泛应用于工业与航空制造、微操作、微电子制造、生物工程等领域。与传统的刚性机构相比，柔性机构具有许多优点：整体化设计和加工，可简化结构、减小体积和质量、免于装配；无间隙和摩擦，可实现高精度运动；免于磨损，提高寿命；免于润滑，避免污染；可增大结构刚度等。结合柔性铰链机构可以实现纳米级运动分辨率的特点，可以将柔性铰链机构作为平面两轴振动台，实现压电式加速度传感器横向灵敏度的自动化标定。作为两轴振动台的柔性铰链机构需要具有较高的工作频率，以产生较大的振动加速度，增大传感器的标定范围，具有良好的解耦特性，以便于进行两轴平面合成运动的精确控制，具有较大的承载能力，以满足更多压电式加速度传感器的标定。柔性铰链机构结构尺寸小，形状复杂，加工精度高，需要采用合理的柔性铰链机构设计方法进行构型综合，以两轴振动台的使用要求为优化目标，选用合理的优化方法进行机构的运动综合和优化设计。
目前，两轴振动台主要采用基于幅值比和相位差的谐振梁装置，谐振梁需要工作在共振频率附近，产生的加速度幅值稳定度和频率稳定度都有待于提高，控制困难。因此，结合柔性铰链机构的特点，以满足两轴振动台的性能要求为设计目标，研发设计一种面向压电式加速度传感器横向灵敏度标定的振动台具有重要的意义。
发明内容
本发明的目的是提出一种面向压电式加速度传感器横向灵敏度标定的振动台，该振动台由平面二轴振动发生装置上固定柔性铰链机构构成；其中，在平面二轴振动发生装置的气浮隔振台1上固定柔性铰链机构2；在对应于柔性铰链机构2的右端和下端分别固定第一输入平台联接块3和第二输入平台联接块4；第一输入平台联接块3通过其上的螺纹与第一压电陶瓷驱动器5连接，第二输入平台联接块4通过螺纹与第二压电陶瓷驱动器6连接，并保证第一压电陶瓷驱动器5和第二压电陶瓷驱动器6的导线接口竖直向上；第一压电陶瓷驱动器5的端部与第一轴端挡板7的中间凸台接触，第二压电陶瓷驱动器6的端部与第二轴端挡板8的中间凸台接触；第一轴端挡板7通过螺栓与柔性铰链机构2的刚性联接基体25右端外侧连接，第二轴端挡板8通过螺栓与柔性铰链机构2的刚性联接基体25下端外侧连接，在柔性铰链机构2的中间部分的终端平台20上固定终端平台转换块9；终端平台转换块9的上表面固定传感器螺纹接头10；传感器螺纹接头10上连接被测压电式加速度传感器11，并保证其敏感轴沿竖直方向；柔性铰链机构2的左端和上端的刚性联接基体25上表面分别与第一安装支座12和第二安装支座13的部分下表面接触；第一安装支座12和第二安装支座13的其余部分下表面固定在气浮隔振台1上；第一安装支座12和第二安装支座13上表面分别安装有第一长度计14和第二长度计15；第一长度计14通过第一夹紧盖板16和第一夹紧支座17固定在第一安装支座12上表面；第二长度计15通过第二夹紧盖板18和第二夹紧支座19固定在第二安装支座13的上表面。
所述柔性铰链机构的结构是：在柔性铰链中间部分设置，终端平台20的右边设置第一输入平台21、终端平台20的下边设置第二输入平台22、终端平台20的左边设置第三输入平台23、终端平台20的上边设置第四输入平台24、柔性铰链机构2的四周为刚性联接基体25；其中第一输入平台21和刚性联接基体25之间通过第一铰链单元26和第二铰链单元27连接，第二输入平台22和刚性联接基体25之间通过第三铰链单元28和第四铰链单元29连接，第三输入平台23和刚性联接基体25之间通过第五铰链单元30和第六铰链单元31连接，第四输入平台24和刚性联接基体25之间通过第七铰链单元32和第八铰链单元33连接；所述第一输入平台21和终端平台20之间通过第九铰链单元34连接，第二输入平台22和终端平台20之间通过第十铰链单元35联接，第三输入平台23和终端平台20之间通过第十一铰链单元36联接，第四输入平台24和终端平台20之间通过第十二铰链单元37联接；
所述第一铰链单元26、第二铰链单元27、第三铰链单元28、第四铰链单元29、第五铰链单元30、第六铰链单元31、第七铰链单元32和第八铰链单元33都由两个平行分布的直梁型柔性铰链组成；并且尺寸略大于第九铰链单元34、第十铰链单元35、第十一铰链单元36和第十二铰链单元37的两个平行分布的直梁型柔性铰链。
本发明的有益效果为：
1.本发明所述的一种面向压电式加速度传感器横向灵敏度标定的振动台，可以实现高频率、大幅值的圆周运动，从而产生幅值稳定度和频率稳定度高的径向振动加速度，因此可以用来标定压电式加速度传感器的横向灵敏度，标定效率高、成本低；
2.本发明所述的平面二轴振动发生装置，采用压电陶瓷驱动器驱动，响应速度快，终端平台的位移信息通过长度计进行采集和反馈，控制方式简单方便，产生的振动加速度的轨迹跟踪精度高；
3.本发明所述的柔性铰链机构，结构尺寸紧凑，采用一体式加工制造，具有较高的固有频率，较大的工作行程和良好的解耦特性。
4.本发明所述的柔性铰链机构，以直梁型铰链为基础，采用两个直梁型柔性铰链的组合形式连接各部件进行构型，该组合形式可以有效的减小机构运动方向的刚度，同时增加非运动方向的刚度。输入平台与终端平台之间的铰链单元尺寸比输入平台与刚性联接基体之间的铰链单元尺寸小，且整体机构采用对称形式分布，保证了机构的性能要求。终端平台联接块为中空结构，可以有效降低其质量，增加终端平台的负载质量。
附图说明
图1为横向灵敏度标定的振动台结构示意图。
图2为柔性铰链机构示意图。
图3为终端平台转换块示意图。
具体实施方式
本发明提出一种面向压电式加速度传感器横向灵敏度标定的振动台，下面结合附图和具体的实施例对本发明做详细的说明。该振动台由柔性铰链机构固定在平面二轴振动发生装置上构成。
如图1所示为横向灵敏度标定的振动台结构示意图：在平面二轴振动发生装置的气浮隔振台1上固定柔性铰链机构2；在对应于柔性铰链机构2的右端和下端分别固定第一输入平台联接块3和第二输入平台联接块4；第一输入平台联接块3通过其上的螺纹与第一压电陶瓷驱动器5连接，第二输入平台联接块4通过螺纹与第二压电陶瓷驱动器6连接，并保证第一压电陶瓷驱动器5和第二压电陶瓷驱动器6的导线接口竖直向上；第一压电陶瓷驱动器5的端部与第一轴端挡板7的中间凸台接触，第二压电陶瓷驱动器6的端部与第二轴端挡板8的中间凸台接触；第一轴端挡板7通过螺栓与柔性铰链机构2的刚性联接基体25右端外侧连接，第二轴端挡板8通过螺栓与柔性铰链机构2的刚性联接基体25下端外侧连接，在柔性铰链机构2的中间部分的终端平台20上固定终端平台转换块9；终端平台转换块9的上表面固定传感器螺纹接头10；传感器螺纹接头10上连接被测压电式加速度传感器11，并保证其敏感轴沿竖直方向；柔性铰链机构2的左端和上端的刚性联接基体25上表面分别与第一安装支座12和第二安装支座13的部分下表面接触；第一安装支座12和第二安装支座13的其余部分下表面固定在气浮隔振台1上；第一安装支座12和第二安装支座13上表面分别安装有第一长度计14和第二长度计15；第一长度计14通过第一夹紧盖板16和第一夹紧支座17固定在第一安装支座12上表面；第二长度计15通过第二夹紧盖板18和第二夹紧支座19固定在第二安装支座13的上表面。
如图2所示的柔性铰链机构的结构是：在柔性铰链中间部分设置，终端平台20的右边设置第一输入平台21、终端平台20的下边设置第二输入平台22、终端平台20的左边设置第三输入平台23、终端平台20的上边设置第四输入平台24、柔性铰链机构2的四周为刚性联接基体25；其中第一输入平台21和刚性联接基体25之间通过第一铰链单元26和第二铰链单元27连接，第二输入平台22和刚性联接基体25之间通过第三铰链单元28和第四铰链单元29连接，第三输入平台23和刚性联接基体25之间通过第五铰链单元30和第六铰链单元31连接，第四输入平台24和刚性联接基体25之间通过第七铰链单元32和第八铰链单元33连接；所述第一输入平台21和终端平台20之间通过第九铰链单元34连接，第二输入平台22和终端平台20之间通过第十铰链单元35联接，第三输入平台23和终端平台20之间通过第十一铰链单元36联接，第四输入平台24和终端平台20之间通过第十二铰链单元37联接；
所述第一铰链单元26、第二铰链单元27、第三铰链单元28、第四铰链单元29、第五铰链单元30、第六铰链单元31、第七铰链单元32和第八铰链单元33都由两个平行分布的直梁型柔性铰链组成；并且尺寸略大于第九铰链单元34、第十铰链单元35、第十一铰链单元36和第十二铰链单元37的两个平行分布的直梁型柔性铰链，即是第一铰链单元26、第二铰链单元27、第三铰链单元28、第四铰链单元29、第五铰链单元30、第六铰链单元31、第七铰链单元32、第八铰链单元33都由两个尺寸较大且平行分布的直梁型柔性铰链组成；第九铰链单元34、第十铰链单元35、第十一铰链单元36、第十二铰链单元37都由两个尺寸较小(与前面两个尺寸较大且平行分布的直梁型柔性铰链相比)且平行分布的直梁型柔性铰链组成。
本发明所述的一种面向压电式加速度传感器横向灵敏度标定的振动台的工作过程详述如下：
如图1，图3所示，本发明所述的平面二轴振动发生装置用于压电式加速度传感器横向灵敏度的标定，第一压电陶瓷驱动器5和第二压电陶瓷驱动器6驱动柔性铰链机构2运动，进而带动终端平台转换块9运动，通过第一长度计14和第二长度计15采集和反馈终端平台转换块9的位移信息，终端平台转换块9通过传感器螺纹接头10带动被测压电式加速度传感器11高频运动，具体的工作过程为：气浮隔振台1上固定联接柔性铰链机构2，可以有效消除外界振动对振动台的影响，柔性铰链机构2的右端和下端分别通过第一输入平台联接块3和第二输入平台联接块4与第一压电陶瓷驱动器5和第二压电陶瓷驱动器6联接，并通过第一轴端挡板7和第二轴端挡板8分别进行轴向预紧。第一压电陶瓷驱动器5和第二压电陶瓷驱动器6可以驱动柔性铰链机构2分别沿着第一压电陶瓷驱动器5和第二压电陶瓷驱动器6的轴向高频运动，第一压电陶瓷驱动器5输出一定幅值和频率的正弦信号，同时，第二压电陶瓷驱动器6输出相同幅值和频率的相位差相差90度的余弦信号，驱动终端平台转换块9运动，终端平台转换块9的下表面9-1与柔性铰链机构2的中间固定联接，能够产生半径与输入信号幅值相等的圆周运动，产生稳定的径向加速度，从而通过与终端平台转换块9上表面9-2连接的传感器螺纹接头10，带动被测压电式加速度传感器11产生高频振动，进而标定被测压电式加速度传感器11的横向灵敏度值。终端平台转换块9的两个侧面9-3和9-4经过研磨，分别与第一长度计14和第二长度计15的测头接触，并保证第一长度计14和第二长度计15的测头处于压缩状态。第一长度计14通过第一夹紧盖板16和第一夹紧支座17固定在第一安装支座12上表面，第二长度计15通过第二夹紧盖板18和第二夹紧支座19固定在第二安装支座13上表面，第一安装支座12和第二安装支座13通过螺栓固定联接在气浮隔振台1上。第一长度计14和第二长度计15可以通过接触式测量实时采集和反馈终端平台转换块9沿两个相互垂直方向的位移，并通过外部控制系统，实时控制第一压电陶瓷驱动器5和第二压电陶瓷驱动器6进行准确的信号输入，以保证终端平台转换块9的动态运动精度，使其能够在高频条件下产生幅值稳定度和频率稳定度高的振动加速度，保证压电式加速度传感器横向灵敏度标定的高精度和高效率。
标定被测压电式加速度传感器11的横向灵敏度值的基本思想是：通过传感器螺纹接头10将被测压电式加速度传感器11安装在终端平台转换块9上。传感器的输出值与所承受的加速度值之比即为加速度传感器的横向灵敏度值，横向灵敏度是有方向性的，在与主轴垂直的平面内的不同角度，横向灵敏度不同，通常所说的横向灵敏度即指该加速度传感器的最大横向灵敏度比。所述的第一压电陶瓷驱动器5的输入信号为：
ax(t)＝Xsin(wct) (1)
式中：X是正弦输入信号的幅值，wc是角加速度，t为时间。
同时，所述的第二压电陶瓷驱动器6的输入信号为：
ay(t)＝Ycos(wct) (2)
式中：Y是余弦输入信号的幅值。
终端平台转换块9的运动为平面合成运动，当幅值X＝Y时，为圆周运动，其向心加速度可以表示为：
那么，横向灵敏度值可以表示为：
式中：u(t)是加速度传感器的输出值。
如图2所示，本发明所述的柔性铰链机构用于实现高精度的高频圆周运动，产生幅值稳定度和频率稳定度高的径向振动加速度。在第一压电陶瓷驱动器5和第二压电陶瓷驱动器6的联合驱动下，终端平台20分别沿第一压电陶瓷驱动器5和第二压电陶瓷驱动器6的轴向高频运动，具体的工作过程如下：第一输入平台21在第一压电陶瓷驱动器5的驱动力作用下，使第一铰链单元26、第二铰链单元27产生横向弯曲变形，同时，第九铰链单元34和第十一铰链单元36将第一压电陶瓷驱动器5的驱动力传递给终端平台20和第三输入平台23，从而使第五铰链单元30和第六铰链单元31、第十铰链单元35和第十二铰链单元37发生横向弯曲变形。第一铰链单元26、第二铰链单元27、第五铰链单元30和第六铰链单元31、第十铰链单元35和第十二铰链单元37产生的横向弯曲变形使终端平台20沿第一压电陶瓷驱动器5的轴向高频往复运动；同理，第二输入平台22在第二压电陶瓷驱动器6的驱动力作用下，使第三铰链单元28、第四铰链单元29产生横向弯曲变形，同时，第十铰链单元35和第十二铰链单元37将第二压电陶瓷驱动器6的驱动力传递给终端平台20和第四输入平台24，从而使第七铰链单元32和第八铰链单元33、第九铰链单元34和第十一铰链单元36发生横向弯曲变形。第三铰链单元28、第四铰链单元29、第七铰链单元32和第八铰链单元33、第九铰链单元34和第十一铰链单元36产生的横向弯曲变形使终端平台20沿第二压电陶瓷驱动器6的轴向高频往复运动。
Claims (2)
1.一种面向压电式加速度传感器横向灵敏度标定的振动台，该振动台由平面二轴振动发生装置上固定柔性铰链机构构成；其中，在对应于柔性铰链机构(2)的右端和下端分别固定第一输入平台联接块(3)和第二输入平台联接块(4)；第一输入平台联接块(3)通过其上的螺纹与第一压电陶瓷驱动器(5)连接，第二输入平台联接块(4)通过螺纹与第二压电陶瓷驱动器(6)连接，并保证第一压电陶瓷驱动器(5)和第二压电陶瓷驱动器(6)的导线接口竖直向上；第一压电陶瓷驱动器(5)的端部与第一轴端挡板(7)的中间凸台接触，第二压电陶瓷驱动器(6)的端部与第二轴端挡板(8)的中间凸台接触；第一轴端挡板(7)通过螺栓与柔性铰链机构(2)的刚性联接基体(25)右端外侧连接，第二轴端挡板(8)通过螺栓与柔性铰链机构(2)的刚性联接基体(25)下端外侧连接，柔性铰链机构(2)的左端和上端的刚性联接基体(25)上表面分别与第一安装支座(12)和第二安装支座(13)的部分下表面接触；第一安装支座(12)和第二安装支座(13)的其余部分下表面固定在气浮隔振台(1)上；第一安装支座(12)和第二安装支座(13)上表面分别安装有第一长度计(14)和第二长度计(15)；其特征在于，柔性铰链机构(2)固定在平面二轴振动发生装置的气浮隔振台(1)上；在柔性铰链机构(2)的中间部分的终端平台(20)上固定终端平台转换块(9)；终端平台转换块(9)的上表面固定传感器螺纹接头(10)；传感器螺纹接头(10)上连接被测压电式加速度传感器(11)，并保证其敏感轴沿竖直方向；第一长度计(14)通过第一夹紧盖板(16)和第一夹紧支座(17)固定在第一安装支座(12)上表面；第二长度计(15)通过第二夹紧盖板(18)和第二夹紧支座(19)固定在第二安装支座(13)的上表面；
所述柔性铰链机构的结构是：在柔性铰链中间部分设置，终端平台(20)的右边设置第一输入平台(21)、终端平台(20)的下边设置第二输入平台(22)、终端平台(20)的左边设置第三输入平台(23)、终端平台(20)的上边设置第四输入平台(24)、柔性铰链机构(2)的四周为刚性联接基体(25)；其中第一输入平台(21)和刚性联接基体(25)之间通过第一铰链单元(26)和第二铰链单元(27)连接，第二输入平台(22)和刚性联接基体(25)之间通过第三铰链单元(28)和第四铰链单元(29)连接，第三输入平台(23)和刚性联接基体(25)之间通过第五铰链单元(30)和第六铰链单元(31)连接，第四输入平台(24)和刚性联接基体(25)之间通过第七铰链单元(32)和第八铰链单元(33)连接；所述第一输入平台(21)和终端平台(20)之间通过第九铰链单元(34)连接，第二输入平台(22)和终端平台(20)之间通过第十铰链单元(35)联接，第三输入平台(23)和终端平台(20)之间通过第十一铰链单元(36)连接，第四输入平台(24)和终端平台(20)之间通过第十二铰链单元(37)连接。
2.根据权利要求1所述一种面向压电式加速度传感器横向灵敏度标定的振动台，其特征在于，所述第一铰链单元(26)、第二铰链单元(27)、第三铰链单元(28)、第四铰链单元(29)、第五铰链单元(30)、第六铰链单元(31)、第七铰链单元(32)和第八铰链单元(33)都由两个平行分布的直梁型柔性铰链组成；并且尺寸略大于第九铰链单元(34)、第十铰链单元(35)、第十一铰链单元(36)和第十二铰链单元(37)的两个平行分布的直梁型柔性铰链。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201610115317.9A CN105606847B (zh) | 2016-03-01 | 2016-03-01 | 一种面向压电式加速度传感器横向灵敏度标定的振动台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201610115317.9A CN105606847B (zh) | 2016-03-01 | 2016-03-01 | 一种面向压电式加速度传感器横向灵敏度标定的振动台 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN105606847A CN105606847A (zh) | 2016-05-25 |
| CN105606847B true CN105606847B (zh) | 2019-03-05 |
Family
ID=55986937
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201610115317.9A Expired - Fee Related CN105606847B (zh) | 2016-03-01 | 2016-03-01 | 一种面向压电式加速度传感器横向灵敏度标定的振动台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN105606847B (zh) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107990859B (zh) * | 2016-10-27 | 2021-04-13 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种微位移传感器标定装置及其应用 |
| CN106514278B (zh) * | 2016-11-08 | 2021-02-09 | 江西理工大学 | 一种基于柔性并联机构的2维高频微幅振动器 |
| CN108180988B (zh) * | 2018-02-05 | 2020-03-24 | 浙江大学 | 正阶跃加速度激励装置 |
| CN108180987B (zh) * | 2018-02-05 | 2020-03-17 | 浙江大学 | 振动传感器的校准装置 |
| CN108344883B (zh) * | 2018-02-05 | 2020-04-03 | 浙江大学 | 一种正阶跃加速度激励装置 |
| CN108195462B (zh) * | 2018-02-05 | 2020-04-03 | 浙江大学 | 一种振动传感器的校准装置 |
| CN114878859B (zh) * | 2022-02-18 | 2023-03-24 | 太原理工大学 | 三轴加速度计灵敏度矩阵协同修正动态标定系统及方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006153754A (ja) * | 2004-11-30 | 2006-06-15 | Denso Corp | 多軸半導体加速度センサの検査方法 |
| JP2011047927A (ja) * | 2009-07-27 | 2011-03-10 | Sanko Controls Co Ltd | 振動発生装置 |
| CN102411066A (zh) * | 2011-11-25 | 2012-04-11 | 河南柴油机重工有限责任公司 | 三轴向加速度传感器的校准装置及其校准方法 |
| CN104020314A (zh) * | 2014-05-29 | 2014-09-03 | 西安交通大学 | 一种通过正弦位移控制的双轴解耦加速度动态标定台 |
| CN104895913A (zh) * | 2015-05-04 | 2015-09-09 | 清华大学 | 两自由度运动解耦柔性铰链机构 |
-
2016
- 2016-03-01 CN CN201610115317.9A patent/CN105606847B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006153754A (ja) * | 2004-11-30 | 2006-06-15 | Denso Corp | 多軸半導体加速度センサの検査方法 |
| JP2011047927A (ja) * | 2009-07-27 | 2011-03-10 | Sanko Controls Co Ltd | 振動発生装置 |
| CN102411066A (zh) * | 2011-11-25 | 2012-04-11 | 河南柴油机重工有限责任公司 | 三轴向加速度传感器的校准装置及其校准方法 |
| CN104020314A (zh) * | 2014-05-29 | 2014-09-03 | 西安交通大学 | 一种通过正弦位移控制的双轴解耦加速度动态标定台 |
| CN104895913A (zh) * | 2015-05-04 | 2015-09-09 | 清华大学 | 两自由度运动解耦柔性铰链机构 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN105606847A (zh) | 2016-05-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN105606847B (zh) | 一种面向压电式加速度传感器横向灵敏度标定的振动台 | |
| CN106226152B (zh) | 静动态载荷谱下材料力学性能原位测试系统与方法 | |
| CN106441675B (zh) | 一种无分载压电式推力测试装置 | |
| Zhang et al. | Development of a novel two-DOF pointing mechanism using a bending–bending hybrid piezoelectric actuator | |
| CN101968405B (zh) | 一种测试结合面动态特性装置及方法 | |
| CN2828774Y (zh) | 两维力/力矩传感器 | |
| Liu et al. | A rectangle-type linear ultrasonic motor using longitudinal vibration transducers with four driving feet | |
| CN108827571B (zh) | 两自由度柔性臂振动检测控制装置及方法 | |
| CN105006254A (zh) | 一种具有双位移放大的大行程快速响应x-y微动工作台 | |
| CN104895913A (zh) | 两自由度运动解耦柔性铰链机构 | |
| CN101493473A (zh) | 基于6-ss并联机构的压电式六维加速度传感器 | |
| Yu et al. | A novel piezoelectric stack for rotary motion by d 15 working mode: Principle, modeling, simulation, and experiments | |
| CN101504425A (zh) | 基于9-sps并联机构的压电式六维加速度传感器 | |
| CN104614112B (zh) | 组合式高精度三轴力传感器 | |
| He et al. | Design and experimental research on a deep-sea resonant linear ultrasonic motor | |
| Wu et al. | A two-DOF linear ultrasonic motor with high thrust force density and high power density utilizing torsional/centrosymmetric-bending/symmetric-bending modes | |
| Yang et al. | New excitation method for sandwich transducer using bending composite vibrations: Modeling, simulation, and experimental evaluation | |
| CN101038208A (zh) | 一种六轴微激振器系统 | |
| Zhang et al. | A linear piezoelectric actuator using “A-Shaped” structure | |
| Zhang et al. | A bending hybrid linear piezoelectric actuator using sectional excitation | |
| CN109622349B (zh) | 一种用于微纳加工的二维超声振动平台 | |
| Dong et al. | Analytical solutions for the transverse deflection of a piezoelectric circular axisymmetric unimorph actuator | |
| Wang et al. | Modeling and testing of the static deflections of circular piezoelectric unimorph actuators | |
| CN105827146A (zh) | 用于输送及定位的纵弯型行波压电振子及激励方式 | |
| CN106514278B (zh) | 一种基于柔性并联机构的2维高频微幅振动器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20190305 |