CN105556133A - 改进的液压伺服阀 - Google Patents
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Abstract
一种伺服阀先导级组件,设置有具有第一孔(156)的第一流体管道(152)、具有第二孔(158)的第二流体管道(154)、具有位于所述第一孔和所述第二孔之间的可变形的第一区域(176)的挡板(44)、用于将所述挡板(44)从所述挡板的所述第一区域具有在所述第一孔和所述第二孔之间的第一宽度的第一状态驱动至所述挡板的所述第一区域具有在所述第一孔和所述第二孔之间的第二宽度的第二状态的致动器(24),所述第二宽度小于所述第一宽度。
Description
技术领域
本发明涉及液压伺服阀。更具体地,本申请涉及应用于包括但不限于航天、赛车和工业过程控制的各种行业的单级和多级喷嘴挡板式的液压伺服阀,。
伺服阀用于把相对低功率的输入信号(通常为大约为不到1瓦的电控制信号)放大到高功率的液压输出(大约为成千上万瓦)。多种类型的液压伺服阀是现有技术中已知的,例如为导流板喷式、喷管式以及喷嘴挡板式。上述伺服阀中的每一种都通过使用先导级在阀芯(主级)的两端生成压差进行工作。芯轴控制高压工作流体的流量。伺服阀一般包括从主级到先导级的某种机械或电子反馈系统。
背景技术
本发明涉及喷嘴挡板式液压伺服阀。喷嘴挡板式液压伺服阀是公知的现有技术。现有技术中的喷嘴挡板式伺服阀在附图的图1-2中被示出。
参照图1,图1示出了喷嘴挡板式电液伺服阀(nozzle-flappertypeelectro-hydraulicservovalve,EHSV)的示意图以及剖面图。伺服阀10包括先导级组件12和主级组件14,两者在下文中被仔细地描绘。
先导级组件12设有主中轴线A且包括壳体盖16和圆柱形基体18,所述圆柱形基体18和壳体盖16一起限定了封闭体积20。基体18包括密封壳体盖16的环形法兰88。基体18进一步设有沿着主中心轴A延伸的中心同轴孔,以及从主中轴线A径向延伸的两个在直径方向上对置的孔52、54。孔52、54中的每一个都与孔22流体流通。在每个孔52、54内设置有各自的管道53、55(只在图2中示出)从而设置了各自的流体喷嘴56、58。管道53、55在孔52、54内沿着共同的喷嘴轴Z是可调整的。
在体积20内设置有包括第一组线圈26和第二组线圈28的电磁致动器24。电枢30包括具有轴向向外延伸的第一脚34和第二脚36的圆柱形管状的主体38。第一脚34设置在第一组线圈26内,第二脚36设置在第二组线圈28内。
脚34、36为铁磁体,这样电枢就被设置成用于当各自的线圈26、28被控制信号通电时围绕电枢旋转轴R旋转,所述电枢旋转轴R相交于并垂直于主中轴线A。
此处还设有挡板44,其在结构上通常为圆柱形管状。挡板44具有与其同心的孔84。转到图2,挡板具有自由端75和固定端46。挡板44包括主体,其设有从自由端75开始经第一区域76、第二区域78、第三区域80(它比第一和第二区域具有更大的厚度)以及终止于肩部74的第四区域82。第一区域76和第二区域78的内径和外径相同,不同的是第一区域具有直径方向上对置的平坦部77、79。肩部74与环72在具有用于与电枢30的主体38进行过盈配合的直径尺寸的固定端46处连接。
此处还设有具有基本上为圆柱形管状且具有内孔41的柔性套筒40。柔性套筒具有第一端90和具有表面安装结构的第二端92。
此处还设有反馈线50,其为实芯圆柱形并从第一端51延伸至第二端53。第一端51包括实心环。
先导级组件12按如下方式被组装。
挡板44的环72被放入电枢30的主体上并使固定端46被固定至电枢从而使挡板44作为悬臂。挡板44从固定端46开始经过轴R延伸至自由端75。在不存在环72的情况下,在挡板44和电枢30的主体38之间具有环形间隙。
柔性套筒40被套设在挡板44上的第三区域80和第四区域82的部分,且尺寸被设置成使得第二端92在到达挡板的途中终止,在所述终止位置,挡板92被安装在本体18上并使挡板的内孔41与主体18的孔22连通。同样地,挡板位于挡板44和电枢的主体38之间的环形间隙中。柔性套筒40紧密地套设于提供了在柔性套筒40和电枢30的主体38之间的环形间隙的挡板44上。
反馈线50的第一端51安装于挡板44的固定端46。反馈线因此被固定于电枢内与挡板44相同的位置处。反馈线50穿过挡板44的自由端75延伸并伸出主体18。
挡板44延伸进主体18的孔22内从而使第一区域76位于喷嘴56、58之间并生成一个“液压桥”,即喷嘴56、58挡板44和喷嘴56、58的间隙以及内孔组成的结构。喷嘴56、58因此被引导至挡板44的平坦部77、79。每一个喷嘴56、58和挡板44之间都设置有间隙。
转到主级14,其设置有包括阀芯62的阀60。阀芯具有压力端面64、66。阀芯被设置成沿着阀芯轴B移动且通过阀60以已知的方式控制流动。在不同的应用场合,阀芯62的移动引导流体流动从而控制如致动器、泵等外部装置。
阀芯62沿着轴B的移动分别通过应用压力面64、66的压差而完成。每一个压力面64、66分别对各自的压力腔68、70是开放的。每一个腔经过供给管线6、8与高压源(未示出)流体连通。每个腔68、70与对应的先导级的主体18的第一及第二通道52、54中的一个流体连通(因此与导管53、55流体连通)。每个腔68、70也与外部压力源(未示出)连通。
在工作时,已知的电液伺服阀以如下的方式工作。
在图1示出的零位,没有线圈26、28的通电,挡板44等距地位于喷嘴出口56、58之间。同样地,阀芯62两端的压力相等。
如果阀芯被期望向左移动来控制通过阀60的流体,则第一和第二线圈26、28被通电从而使电枢30以逆时针方向关于电枢轴R旋转。这样具有旋转挡板44的效果,使第一区域76朝着喷嘴58移动并远离喷嘴56。在移动过程中,柔性套筒40凭借其与主体18的连接可弹性地变形。
喷嘴58和挡板44之间的流体间隙的减少使得导管55上游压力提升。并在腔70和阀芯62的第二压力面66同时生成高压。喷嘴56和挡板44之间的间隙的开口使导管53的上游压力减少并因此减少腔68和面64处的压力。因此,阀芯向左移动。
如图1所示,反馈线50连接至阀芯62的中部。随着阀芯62移动至其期望的位置,反馈线50变形且一个与电气产生的扭矩相反的扭矩在电枢30上生成。当到达期望的阀芯位置,机械和电力扭矩平衡以及挡板回到喷嘴(尽管有反馈线50的弯曲)之间的零位。在这种情况下,穿过阀芯62的压差为零且阀芯停止移动。换言之,这是阀芯62的负位反馈控制。
当线圈不通电,在电枢30的电扭矩被移除,然而因为阀芯仍然偏离中间位置,来自反馈线50的机械扭矩仍保持着。效果为在顺时针方向上旋转电枢30并使挡板44朝着喷嘴56移动并远离喷嘴58。这样会穿过阀芯62生成压差从而正向地驱动阀芯背离零位。当阀芯到达中间位置,反馈线不再弯曲、净扭矩为零且压差为零,从而阀芯在中间位置停止。
如提及的,电压伺服阀10连接腔68、70(通过线6、8)内的恒压源。在零位时,由于喷嘴56、48之间的间隙,在孔22内具有零位内泄露并流入泄液口。零位内泄露是不理想的——其会浪费能量并使得阀的操作效率低且昂贵。
发明内容
本发明的目的是减少在喷嘴挡板式液压伺服阀中的零位内泄露。(本部分以下内容,除了直接标出的修改之外,还请参照权利要求的对应内容来做统一的修改)
根据本发明的第一方面提供的伺服阀先导级组件包括:
具有第一孔的第一流体管道;具有第二孔的第二流体管道;具有位于所述第一孔和所述第二孔之间的可变形的第一区域的挡板;用于将所述挡板从所述挡板的第一区域具有在所述第一孔和所述第二孔之间的第一宽度的第一状态驱动至所述挡板的第一区域具有在所述第一孔和所述第二孔之间的第二宽度的第二状态的致动器,其中所述第二宽度比所述第一宽度小从而分开或进一步分开所述挡板和所述第一孔。
所谓“可变形”,是指所述第一区域可被弹性压缩从而减少自身的宽度。所述第一区域为有弹性地、或有恢复力地、可压缩的。
有利地,通过提供可变形的挡板,流量孔可位于更靠近所述挡板的零位并减少零位内泄露。在致动过程中,在所述挡板和所述孔之间的所需间隙通过所述挡板的弹性变形被生成。在本发明中,孔甚至可被放置于与挡板接触的零位从而大大地减少流量,或是几乎消除零位的流量(取决于挡板和排放口之间的密封效果)。在一些情况下,所述挡板可通过具有小于第一区域的挡板的未压缩的宽度的喷嘴之间的间隙。
优选地,所述第一区域为中空的且具有壁和中心腔。其有助于变形且允许反馈线从其通过。
所述挡板的第一区域被局部地、结构性地削弱以实现弹性变形。
挡板设有:
主纵向轴线;在孔之间延伸的宽度;以及,垂直于所述主纵向轴线和所述宽度延伸的深度;其中贯通所述挡板的所述第一区域的壁的相对的两侧形成有开口。有利地,如此的开口可通过局部减少挡板的硬度而产生弹性变形。
优选地,所述挡板包括靠近所述第一区域的自由端,以及所述开口为从所述自由端大致沿着所述主纵向轴线方向延伸的盲槽,所述盲槽通过所述第一区域从而在所述第一区域形成挡板的第一脚和第二脚。。这样的槽相对容易加工。
优选地,所述盲槽在直径方向上相对设置。
优选地,从曲线端区域终止的槽部分地为环形,且更优选地具有比接近环形曲线端区域的槽的宽度更大的直径。其作用是消除集中在槽的末端的压力。
槽基本上沿着它们的整个长度的具有恒定的宽度,或其可逐渐减少而改变挡板的特性。
优选地,分别开设有所述第一孔和第二孔的所述第一导管和所述第二导管中的至少一个在所述第一状态时与所述挡板的所述第一区域接触。优选地,开设有所述第一孔和第二孔的所述第一导管和所述第二导管在所述第一状态时与所述挡板的所述第一区域接触。挡板的第一区域具有比第一孔和第二孔之间的距离更大的恒定的宽度,从而使在第一状态时,挡板的第一区域被预先压缩。并减少零位内泄露流至绝对最低。
优选地,挡板的第一区域设有面向第一孔和第二孔的平坦部。这可提高与平坦的孔的密封接触。
优选地,第一孔和第二孔被开设在指向挡板的喷嘴中。
根据本发明的第二方面提供的伺服阀包括:
根据第一方面的伺服阀先导级组件:以及
被先导级控制的主级。
优选地,伺服阀包括具有设有第一端面与第一管道流体连通的阀芯的滑阀。
阀芯优选地设有与所述第二管道流体连通的第二相反端面。
优选地,
所述第一导管与以下部件流体连通:压力源,从而使所述第一孔成为出口;以及所述主级的第一部分;其中所述主级的第一部分的流体压力由所述挡板和所述第一孔之间的距离控制。
第一部分优选地与滑阀的端部流体连通从而使该端盖在第一轴向移动。
相似地,所述第二导管与以下部件流体连通:压力源,从而使第二孔成为出口;以及,所述主级的第二部分;其中所述主级的第二部分的流体压力由所述挡板和所述第二孔之间的距离控制。第二部分与滑阀的相反端流体连通,并使其在相反的方向移动,优选地在第一孔和第二孔之间设置有排泄口。
作为传统喷嘴对置式的阀的替代,伺服阀可为喷嘴对置式的阀:所述第一导管与压力源流体连通而使所述第一孔成为出口;
所述第二导管连接至泄液口而使所述第二孔成为出口;
第三导管设置在所述第一流体孔和第二流体孔之间并与所述主级的第一部分流体连通:
其中所述主级的第一部分的流体压力被在第一孔和第二孔之间的挡板的位置所控制。
有利地,这种类型的阀为单入口式,这样就减轻了潜在的“失控故障”故障模式。主级将可能需要返回机制。
附图说明
现在将参考附图对依照本发明的示例性的电液式伺服阀先导级进行描述:
图1为已知的电液式伺服阀的示意性的剖视图;
图2为图1的阀的一部分的细节图;
图3为第一种依照本发明的电液式伺服阀的一部分的细节图,类似于图2的图示;
图4a为图3的伺服阀的一部分的细节图;
图4b为沿图4a中的线BB的剖视图;
图5为图4a中的阀在变形状态时的示意图;
图6为依照本发明的第二种电液式伺服阀的一部分的细节图;以及
图7为依照本发明的第三种电液式伺服阀的一部分的细节图。
具体实施方式
参考图3,其中示出的部件适合应用于图1的伺服阀中,以及同样地,图1的描述同样可应用于下面所讨论的本发明的实施例中。
图3示出的图示类似于图2,以及根据在图3显示的本发明,电液式伺服阀100包括类似于图2中示出的挡板44的挡板144。挡板144在结构上为圆柱形管状。挡板144具有与其同心的孔184。挡板具有主体,所述主体设有第一区域176、第二区域178、壁厚度比第一区域和第一区域大的第三区域180,以及终止于肩部174的第四区域182。肩部174设有具有可与图1中示出的电枢30的主体进行过盈配合的直径尺寸的环172。这样,挡板144悬置在具有固定端146和自由端175的电枢上。
挡板144的更多细节在图4a中示出。图4b示出了第一区域176的剖面图。
与挡板144一样,一对直径方向上对置的平坦部177、179设置在第一区域176(参见图4b)上。平坦部177和平坦部179之间的距离限定了挡板未变形宽度N。
图3示出了基体118的一部分,基体118包括沿着主中心A延伸的中心同轴孔118,以及从主中轴线A径向延伸的两个在直径方向上对置的孔152、154。在孔152、154中的每一个内设置有分别开设了喷嘴156、158的喷管衬套153、155。喷嘴衬套153、155在孔152、154内可沿着共同的喷嘴轴Z移动。
挡板144和挡板44的主要区别为设有一对相同的在直径方向上对置的槽200、210。槽200具有宽度W且平行于挡板144的自由端175的主中轴线A延伸,通过第一区域176、通过第二区域178并进入第三区域180,在第三区域180内槽200终止于具有直径D的圆形区域202。槽202的宽度从自由端148到圆形区域202保持恒定不变,其具有小于D的宽度W。槽200、210在形状上相同。槽200、210导致在挡板144的自由端175上形成了第一脚201和第二脚203。第一脚201包括平坦部177以及第二脚203包括平坦部179。
如图4a所见,喷嘴156、158直接与挡板144的第一区域176的平坦部177、179接触。这从图4b中可以看到。
在操作时,电液式伺服阀100与阀10的操作方式大致相同。根据上文中现有技术所描述的相同的例子,电枢30的逆时针旋转将导致如图3所示的挡板144关于电枢轴R的逆时针旋转。由于挡板144与喷嘴156、158接触,挡板144的第一区域176不能在图5的右侧进一步移动。同样地,挡板的变形压缩了挡板144且关闭了槽200。在喷嘴之间(平坦部177、179之间)的挡板144的宽度从未变形时的宽度N减少到变形后的宽度D(其中D<N)。
凭借平坦部179和喷嘴158之间的作用,挡板144的第二脚203变形。挡板144的第一脚201保持平直,且远离喷嘴156移动,从而打开喷嘴156和平坦部177之间的间隙,并减少图1中腔68的压力。
同样地,尽管喷嘴158和平坦部179之间的接触被保持(同样地腔70内的压力也被保持),在平坦部177和喷嘴156之间的开放的平坦部降低了腔68内的压力,并移动阀芯至左侧。
当返回到零位时,挡板恢复到未变形的宽度N。挡板144的变形保持弹性从而避免永久的变形。
应当注意的是,本发明中,由于挡板144的平坦部177、179与喷嘴156、158接触,在零位处几乎没有的零位内泄露。
在进一步的实施例中,为了进一步减少零位内泄露,挡板144可通过与喷嘴156、158的接触而被轻微地压缩。换句话说,施加于挡板的预压力把平坦部压缩至预压宽度P,其中N>P>D。这可提供更好的密封从而减少零位内泄露。
仍然在进一步的实施例中,尽管喷嘴156、158与挡板144之间的间隙比现有技术小,但其仍可被示出。这些情况下,零位内泄漏被减少(尽管不能被消除)。这种技术的优势在于挡板向其移动的喷嘴所连接的腔内的压力将会提升。同样地,更高的压差也可被应用于阀芯。
转到图6-7,可替代的实施例被示出,其中全部槽200朝着挡板的自由端汇集,从而使槽宽度从w1到w2收窄(图6),或者全部槽200朝着挡板的自由端分散从而使槽宽度从w1到w2变宽(图7)。这样就改变了挡板的变形和弹簧的特性,允许挡板在其整个变形过程中的运行情况被调整到理想的应用状态。
图8为本发明中的液压结构的展示,显示了在喷嘴156、158之间的挡板144。喷嘴156、158和腔68、70通过分别穿过节流器308、310的压力管线304、306从共同的压力源300得到供给。喷嘴之间的间隙被供给至泄液口302。图8为具有两个压力输入管线304、306的传统的喷嘴挡板式配置。
转到图9,伺服阀(对置的喷嘴式配置)的替代式配置被示出。有时具有由单向压力导管供给的液压桥是有利的。这就是所谓“单入口”,参照图1描绘的传统的喷嘴/挡板桥为“双入口”,因为其具有两个输入孔。在应用中,双入口阀的不利在于可能存在污染。一块液载污染可能堵塞(或部分堵塞)输入孔中的一个从而引起显著的压力不平衡,这可导致阀移动至其行程的一端(失控故障)。这样的故障模式不会发生在单入口设备中。如果单入口开始堵塞,阀的通用性能将会恶化(通常阀芯不会很快产生反应),但是不会产生大的偏移,这会导致故障模式更加趋于良性。
转到图9,单向压力源400可将压力管线404供给至喷嘴156并继而供给至对置的喷嘴之间的间隙412。与喷嘴156对置的喷嘴158(如,与喷嘴对置的喷嘴,如与输入口对置的输出口)可在间隙412的另一端提供泄液口管道402。控制输出口406用于通过控制线路控制阀芯的移动。
控制输出口406的下游压力通过液压桥的状态而被确定。因此,挡板144向喷嘴158移动得越多,则在输入口406产生的压力越大。显然地,可变形挡板144的使用是有利的,因为从喷嘴156到喷嘴158流过的流量可在零位被最小化。如上的实施例,喷嘴156和喷嘴158可用于与挡板144接触。
不同于以上讨论的实施例,图9的实施例具有单向控制输出口406。因此,阀芯必须设置有用于施加反向力的机构,例如弹簧。
在本发明基础上所做出的变化均落入本发明的范围之内。
伺服阀并不必须为电磁-液压式伺服阀,且可通过其他装置,例如压电元件、直线力电机或有限转角力矩电机来致动。
除了机械反馈线50,主级可设置有运动传感器,用于提供电反馈信号至通过提供电源给绕组而控制电枢30的移动的控制器。同样地,电反馈可被设想为机械性反馈的一个可行的替代方案。
电位置反馈可被添加到先导元件驱动器,且其在一定的应用中是有利的。
Claims (28)
1.一种伺服阀先导级组件,包括:
具有第一孔的第一流体管道;
具有第二孔的第二流体管道;
具有位于所述第一孔和所述第二孔之间的可变形的第一区域的挡板;
用于将所述挡板从所述挡板的第一区域具有在所述第一孔和所述第二孔之间的第一宽度的第一状态驱动至所述挡板的第一区域具有在所述第一孔和所述第二孔之间的第二宽度的第二状态的致动器。
2.如权利要求1所述的伺服阀先导级组件,其特征在于,所述挡板的第一区域被局部地、结构性地削弱以实现弹性变形。
3.如权利要求2所述的伺服阀先导级组件,其特征在于,所述挡板设有:
主纵向轴线;
在孔之间延伸的宽度;以及,
垂直于所述主纵向轴线和所述宽度延伸的深度;
其中贯通所述挡板的所述第一区域的所述深度而形成有开口。
4.根据权利要求3所述的伺服阀先导级组件,其特征在于,所述挡板包括靠近所述第一区域的自由端,以及所述开口为从所述自由端大致沿着所述主纵向轴线方向延伸的盲槽,所述盲槽通过所述第一区域从而在所述第一区域形成挡板的第一脚和第二脚。
5.根据权利要求1或2所述的伺服阀先导级组件,其特征在于,所述第一区域为中空的,并具有壁和中心腔。
6.如权利要求5所述的伺服阀先导级组件,其特征在于,所述挡板设有:
主纵向轴线;
在孔之间延伸的宽度;以及,
垂直于所述主纵向轴线和所述宽度延伸的深度;
其中贯通所述挡板的所述第一区域的壁的相对的两侧形成有开口。
7.根据权利要求6所述的伺服阀先导级组件,其特征在于,挡板包括靠近所述第一区域的自由端,以及所述开口为从所述自由端大致沿着所述主纵向轴线方向延伸的盲槽,所述盲槽通过所述第一区域从而在所述第一区域形成挡板的第一脚和第二脚。
8.根据权利要求7所述的伺服阀先导级组件,其特征在于,所述盲槽在直径方向上相对设置。
9.根据权利要求4或7所述的伺服阀先导级组件,其特征在于,所述槽终止于弯曲端区域。
10.根据权利要求9所述的伺服阀先导级组件,其特征在于,所述弯曲端区域部分地为圆形。
11.根据权利要求10所述的伺服阀先导级组件,其特征在于,所述圆形弯曲端区域具有大于靠近圆形弯曲端区域的槽的宽度的直径。
12.根据权利要求4、7或9-11任一项所述的伺服阀先导级组件,其特征在于,所述槽基本上沿着它们的整个长度的具有恒定的宽度。
13.根据权利要求4、7或9-11任一项所述的伺服阀先导级组件,其特征在于,所述槽朝着所述挡板的所述自由端向外收窄。
14.根据权利要求4、7或9-11任一项所述的伺服阀先导级组件,其特征在于,所述槽朝着所述挡板的所述自由端向内收窄。
15.根据前述权利要求任一项所述的伺服阀先导级组件,其特征在于,分别开设有所述第一孔和第二孔的所述第一导管和所述第二导管中的至少一个在所述第一状态时与所述挡板的所述第一区域接触。
16.根据权利要求15所述的伺服阀先导级组件,其特征在于,分别开设有所述第一孔和第二孔的所述第一导管和所述第二导管在所述第一状态时都与所述挡板的所述第一区域接触。
17.根据权利要求16所述的伺服阀先导级组件,其特征在于,所述挡板的所述第一区域具有大于所述第一孔和所述第二孔之间距离的未变形的宽度,从而使在所述第一状态时所述挡板的所述第一区域被预先压缩。
18.根据前述权利要求任一项所述的伺服阀先导级组件,其特征在于,所述挡板的所述第一区域设有面向所述第一孔和所述第二孔的平坦部。
19.根据前述权利要求任一项所述的伺服阀先导级组件,其特征在于,所述第一孔和所述第二孔被开设在指向所述挡板的喷嘴中。
20.一种伺服阀,包括:
根据前述任一项权利要求所述的伺服阀先导级组件;以及,
被所述先导级控制的主级。
21.根据权利要求20所述的伺服阀,包括具有设有与所述第一导管流体连通的第一端面的阀芯的滑阀。
22.根据权利要求21所述的伺服阀,其特征在于:所述阀芯设有与第二导管流体连通的对置的第二端面。
23.根据权利要求20-22中任一项所述的伺服阀,其特征在于,所述第一导管与以下部件流体连通:
压力源,从而使所述第一孔成为出口;以及
所述主级的第一部分;
其中所述主级的第一部分的流体压力由所述挡板和所述第一孔之间的距离控制。
24.根据权利要求23所述的伺服阀,所述第二导管与以下部件流体连通:
压力源,从而使第二孔成为出口;以及,
所述主级的第二部分;
其中所述主级的第二部分的流体压力由所述挡板和所述第二孔之间的距离控制。
25.根据权利要求20-24中任一项所述的伺服阀,包括位于所述第一孔和所述第二孔之间的排泄口。
26.根据权利要求20所述的伺服阀,其特征在于:
所述第一导管与压力源流体连通而使所述第一孔成为出口;
所述第二导管连接至泄液口而使所述第二孔成为出口;
第三导管设置在所述第一流体孔和第二流体孔之间并与所述主级的第一部分流体连通:
其中所述主级的第一部分的流体压力被在第一孔和第二孔之间的挡板的位置所控制。
27.实质上参考或根据图3-9在此所描述的伺服阀先导级组件。
28.实质上参考或根据图3-9在此所描述的伺服阀。
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