CN105536326A - 液态四氯化硅过滤器结构及清理方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种液态四氯化硅过滤器结构及清理方法，具体结构除了具有顶盖、滤网、缸体、存储器、进料管、进料阀、出料管、出料阀、排出管和排出阀外，还具有进气管、进气阀、出气管、出气阀、爆气石和水解池。使用时通过进气阀输入不含水分的热空气10～90分钟后将滤网取出清理，此时滤网、杂质和缸体内壁上已经没有残留的液态四氯化硅了，也不会水解盐酸，因此不会对设备和操作人员造成危害，提供设备的使用寿命；气态四氯化硅随着热空气进入排出管和出气管，通过爆气石进入水解池中，与水解池中的水发生水解反应，再向水解池中加入碱性物质，将水解池中水的PH值调制到7左右进入后面处理程序，不会对环境造成危害。
Description
技术领域本发明涉及一种过滤器结构，尤其是在液态四氯化硅过滤时使用的过滤器结构及相应的清理方法。
背景技术气相法生产二氧化硅是将90℃左右的氢气、空气和四氯化硅气体混合后，在燃烧炉内燃烧高温水解生成二氧化硅，再经过聚集器聚集、气固分离、脱酸脱水，最后经真空包装成产品。液态四氯化硅是硅粉和氯化氢气体气固反应后精馏分离后的副产物。在液态四氯化硅中仍然含有极少量硅粉和二氧化硅。一般情况下，清除液态四氯化硅杂质的预处理工艺为过滤和精馏，但精馏成本较高。因此，在满足原料含量达标情况下采用过滤来清除杂质。
当前液态四氯化硅过滤器主要为不锈钢篮式过滤器和Y型过滤器，其滤材都为衬有冲孔不锈钢板的不锈钢滤网。过滤器使用一段时间后，杂质会堵塞滤网网孔而影响过滤效率，因此需要定期清理。当前的清理方法是：先关闭过滤器顶部的液态四氯化硅进料阀，打开过滤器底部阀门将过滤器内部的液态四氯化硅放入存储器内，再将过滤器顶盖打开，将滤网取出清理。由于液态四氯化硅在过滤器中有残存，打开过滤器顶盖和取出滤网时四氯化硅遇到空气中的水分发生剧烈水解作用，产生的盐酸不仅对过滤器的不锈钢滤材及密封件产生严重的腐蚀，造成过滤器的损坏，而且对操作人员的皮肤和眼睛造成较大的伤害，还污染环境。因此，如何在清理液态四氯化硅过滤器时避免盐酸对设备、环境和操作人员的危害，是一项重要的课题。
发明内容本发明的目的就是要提供一种液态四氯化硅过滤器结构及清理方法，改进过滤器结构并在此基础上形成新的清理方法，避免盐酸对环境、设备和操作人员的危害。
为了达到上述目的，本发明提供的液态四氯化硅过滤器结构除了具有顶盖、滤网、缸体、存储器、进料管、进料阀、出料管、出料阀、排出管和排出阀外，还具有进气管、进气阀、出气管、出气阀、爆气石和水解池，其中，所述进料管连接在顶盖上端，所述进料阀安置在进料管上；所述顶盖通过法兰连接固定在缸体顶端；所述滤网固定在顶盖下部并安置在缸体内；所述出料阀安置在过滤器缸体上部外侧的出料管上；所述排出管连接滤器缸体底部和存储器，所述排出阀安置在排出管上；所述进气管连接在进料阀和顶盖之间的进料管上，所述进气阀安置在进气管上；所述出气管连接在缸体底部和排出阀之间的排出管上，所述出气阀安置在出气管上；所述爆气石固定在出气管末端，出气管末端插入水解池中。另外，曝气石也叫气泡石，采用超硬金钢砂经过高温烧结而成，在气液交换时提供较大的接触面积，气泡扩散均匀，气体扩散性能好，耐腐蚀性强，此处使用能够大大增强气态四氯化硅在水解池中的溶解。
本发明提供的液态四氯化硅过滤器清理方法依托上述液态四氯化硅过滤器结构，具体包含如下步骤：
①、先关闭进料阀和出料阀，再打开进气阀和排出阀将缸体内的液态四氯化硅放入存储器内；
②、关闭排出阀后打开出气阀，再通过进气阀输入不含水分的热空气，热空气进入缸体内，将滤网、杂质和缸体内壁上残留的液态四氯化硅气化；
③、气态四氯化硅随着热空气进入排出管和出气管，通过爆气石进入水解池中，与水解池中的水发生水解反应，再向水解池中加入碱性物质，将水解池中水的PH值调制到7左右进入后面处理程序；
④、热空气通入10～90分钟后，将进气阀和出气阀关闭；此步骤完成后，滤网、杂质和缸体内壁上不再有残留的液态四氯化硅。热空气通入时间少于10分钟则滤网、杂质和缸体内壁上残留的液态四氯化硅气化不彻底，热空气通入时间多于90分钟则降低清理效率。
⑤、将过滤器顶盖打开，将滤网取出清理。此时滤网、杂质和缸体内壁上已经没有残留的液态四氯化硅了。
为进一步使本发明适于应用，通过进气阀输入不含水分热空气的温度为80～220℃。温度低于80℃则残留的液态四氯化硅无法气化，温度高于220℃则容易将滤网损坏。
为进一步使本发明适于应用，进气管和出气管均由不锈钢制造。这样能够避免四氯化硅腐蚀管体。
本发明提供的液态四氯化硅过滤器结构及清理方法具有积极的效果：关闭排出阀后打开出气阀，再通过进气阀输入不含水分的热空气，热空气进入缸体内，将滤网、杂质和缸体内壁上残留的液态四氯化硅气化，热空气通入10～90分钟后将过滤器顶盖打开，将滤网取出清理，此时滤网、杂质和缸体内壁上已经没有残留的液态四氯化硅了，也不会水解盐酸，因此不会对设备和操作人员造成危害，提供设备的使用寿命；气态四氯化硅随着热空气进入排出管和出气管，通过爆气石进入水解池中，与水解池中的水发生水解反应，再向水解池中加入碱性物质，将水解池中水的PH值调制到7左右进入后面处理程序，不会对环境造成危害。
附图说明本发明将结合附图作进一步的说明，请参看附图：
附图1表示本发明的示意图。
附图1所示的结构包括：进料管1，进料阀2，进气阀3，进气管4，法兰连接5，顶盖6，出料阀7，出料管8，滤网9，缸体10，出气阀11，出气管12，排出阀13，排出管14，水解池15，爆气石16，存储器17。
具体实施方式本发明提供的液态四氯化硅过滤器结构除了具有顶盖6、滤网9、缸体10、存储器17、进料管1、进料阀2、出料管8、出料阀7、排出管14和排出阀13外，还具有进气管4、进气阀3、出气管12、出气阀11、爆气石16和水解池15，其中，所述进料管1连接在顶盖6上端，所述进料阀2安置在进料管1上；所述顶盖6通过法兰连接5固定在缸体10顶端；所述滤网9固定在顶盖6下部并安置在缸体10内；所述出料阀7安置在过滤器缸体10上部外侧的出料管8上；所述排出管14连接滤器缸体10底部和存储器17，所述排出阀13安置在排出管14上；所述进气管4连接在进料阀2和顶盖6之间的进料管1上，所述进气阀3安置在进气管4上；所述出气管12连接在缸体10底部和排出阀13之间的排出管14上，所述出气阀11安置在出气管12上；所述爆气石16固定在出气管12末端，出气管12末端插入水解池15中。另外，曝气石也叫气泡石，采用超硬金钢砂经过高温烧结而成，在气液交换时提供较大的接触面积，气泡扩散均匀，气体扩散性能好，耐腐蚀性强，此处使用能够大大增强气态四氯化硅在水解池15中的溶解。
本发明提供的液态四氯化硅过滤器清理方法依托上述液态四氯化硅过滤器结构，具体包含如下步骤：
①、先关闭进料阀2和出料阀7，再打开进气阀3和排出阀13将缸体10内的液态四氯化硅放入存储器17内；
②、关闭排出阀13后打开出气阀11，再通过进气阀3输入不含水分的热空气，热空气进入缸体10内，将滤网9、杂质和缸体10内壁上残留的液态四氯化硅气化；
③、气态四氯化硅随着热空气进入排出管14和出气管12，通过爆气石16进入水解池15中，与水解池15中的水发生水解反应，再向水解池15中加入碱性物质，将水解池15中水的PH值调制到7左右进入后面处理程序；
④、热空气通入10～90分钟后，将进气阀3和出气阀11关闭；此步骤完成后，滤网9、杂质和缸体10内壁上不再有残留的液态四氯化硅。热空气通入时间少于10分钟则滤网9、杂质和缸体10内壁上残留的液态四氯化硅气化不彻底，热空气通入时间多于90分钟则降低清理效率。
⑤、将过滤器顶盖6打开，将滤网9取出清理。此时滤网9、杂质和缸体10内壁上已经没有残留的液态四氯化硅了。
为进一步使本发明适于应用，通过进气阀3输入不含水分热空气的温度为80～220℃。温度低于80℃则残留的液态四氯化硅无法气化，温度高于220℃则容易将滤网9损坏。
为进一步使本发明适于应用，进气管4和出气管12均由不锈钢制造。这样能够避免四氯化硅腐蚀管体。
本发明提供的液态四氯化硅过滤器结构及清理方法具有积极的效果：关闭排出阀13后打开出气阀11，再通过进气阀3输入不含水分的热空气，热空气进入缸体10内，将滤网9、杂质和缸体10内壁上残留的液态四氯化硅气化，热空气通入10～90分钟后将过滤器顶盖6打开，将滤网9取出清理，此时滤网9、杂质和缸体10内壁上已经没有残留的液态四氯化硅了，也不会水解盐酸，因此不会对设备和操作人员造成危害，提供设备的使用寿命；气态四氯化硅随着热空气进入排出管14和出气管12，通过爆气石16进入水解池15中，与水解池15中的水发生水解反应，再向水解池15中加入碱性物质，将水解池15中水的PH值调制到7左右进入后面处理程序，不会对环境造成危害。
本发明保护范围涉及上面所述的所有变化形式。
Claims (4)
1.一种液态四氯化硅过滤器结构，具有顶盖(6)、滤网(9)、缸体(10)、存储器(17)、进料管(1)、进料阀(2)、出料管(8)、出料阀(7)、排出管(14)和排出阀(13)，其中，所述进料管(1)连接在顶盖(6)上端，所述进料阀(2)安置在进料管(1)上；所述顶盖(6)通过法兰连接(5)固定在缸体(10)顶端；所述滤网(9)固定在顶盖(6)下部并安置在缸体(10)内；所述出料阀(7)安置在过滤器缸体(10)上部外侧的出料管(8)上；所述排出管(14)连接滤器缸体(10)底部和存储器(17)，所述排出阀(13)安置在排出管(14)上，其特征在于：具有进气管(4)、进气阀(3)、出气管(12)、出气阀(11)、爆气石(16)和水解池(15)；所述进气管(4)连接在进料阀(2)和顶盖(6)之间的进料管(1)上，所述进气阀(3)安置在进气管(4)上；所述出气管(12)连接在缸体(10)底部和排出阀(13)之间的排出管(14)上，所述出气阀(11)安置在出气管(12)上；所述爆气石(16)固定在出气管(12)末端，出气管(12)末端插入水解池(15)中。
2.一种液态四氯化硅过滤器清理方法，所述液态四氯化硅过滤器清理方法依托权利要求1所述液态四氯化硅过滤器结构，其特征在于包含如下步骤：
①、先关闭进料阀(2)和出料阀(7)，再打开进气阀(3)和排出阀(13)将缸体(10)内的液态四氯化硅放入存储器(17)内；
②、关闭排出阀(13)后打开出气阀(11)，再通过进气阀(3)输入不含水分的热空气，热空气进入缸体(10)内，将滤网(9)、杂质和缸体(10)内壁上残留的液态四氯化硅气化；
③、气态四氯化硅随着热空气进入排出管(14)和出气管(12)，通过爆气石(16)进入水解池(15)中，与水解池(15)中的水发生水解反应，再向水解池(15)中加入碱性物质，将水解池(15)中水的PH值调制到7左右进入后面处理程序；
④、热空气通入10～90分钟后，将进气阀(3)和出气阀(11)关闭；
⑤、将过滤器顶盖(6)打开，将滤网(9)取出清理。
3.权利要求1所述液态四氯化硅过滤器结构，其特征在于：通过进气阀(3)输入不含水分热空气的温度为80～220℃。
4.权利要求1所述液态四氯化硅过滤器结构，其特征在于：进气管(4)和出气管(12)均由不锈钢制造。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106075989A (zh) * | 2016-08-19 | 2016-11-09 | 太仓市金锚化工有限公司 | 一种四氯化硅多效过滤器 |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN2887413Y (zh) * | 2006-04-28 | 2007-04-11 | 周瑶琪 | 反冲式自排过滤装置 |
| WO2010074673A1 (en) * | 2008-12-23 | 2010-07-01 | Arise Technologies Corporation | Method and apparatus for the production of chlorosilanes |
| CN102515183A (zh) * | 2011-12-08 | 2012-06-27 | 飞潮（无锡）过滤技术有限公司 | 多晶硅生产中的氯硅烷液体的处理方法及装置 |
| CN103331057A (zh) * | 2013-07-19 | 2013-10-02 | 新特能源股份有限公司 | 一种液体氯硅烷中硅粉的过滤装置 |
| CN204735022U (zh) * | 2015-06-02 | 2015-11-04 | 中国恩菲工程技术有限公司 | 氯硅烷废液的净化回收装置 |
| CN105060297A (zh) * | 2015-07-28 | 2015-11-18 | 吴联凯 | 一种生产三氯甲硅烷的方法及装置 |
| CN105236414A (zh) * | 2015-09-21 | 2016-01-13 | 太仓市金锚新材料科技有限公司 | 一种四氯化硅的回收利用方法 |
| CN205310286U (zh) * | 2015-12-24 | 2016-06-15 | 天津复印技术研究所 | 一种用于生产大幅面光导鼓的机械手抓取装置 |
-
2016
- 2016-01-22 CN CN201610061502.4A patent/CN105536326A/zh active Pending
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN2887413Y (zh) * | 2006-04-28 | 2007-04-11 | 周瑶琪 | 反冲式自排过滤装置 |
| WO2010074673A1 (en) * | 2008-12-23 | 2010-07-01 | Arise Technologies Corporation | Method and apparatus for the production of chlorosilanes |
| CN102515183A (zh) * | 2011-12-08 | 2012-06-27 | 飞潮（无锡）过滤技术有限公司 | 多晶硅生产中的氯硅烷液体的处理方法及装置 |
| CN103331057A (zh) * | 2013-07-19 | 2013-10-02 | 新特能源股份有限公司 | 一种液体氯硅烷中硅粉的过滤装置 |
| CN204735022U (zh) * | 2015-06-02 | 2015-11-04 | 中国恩菲工程技术有限公司 | 氯硅烷废液的净化回收装置 |
| CN105060297A (zh) * | 2015-07-28 | 2015-11-18 | 吴联凯 | 一种生产三氯甲硅烷的方法及装置 |
| CN105236414A (zh) * | 2015-09-21 | 2016-01-13 | 太仓市金锚新材料科技有限公司 | 一种四氯化硅的回收利用方法 |
| CN205310286U (zh) * | 2015-12-24 | 2016-06-15 | 天津复印技术研究所 | 一种用于生产大幅面光导鼓的机械手抓取装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106075989A (zh) * | 2016-08-19 | 2016-11-09 | 太仓市金锚化工有限公司 | 一种四氯化硅多效过滤器 |
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