CN105483618A - 镜片的镀膜方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种镜片的镀膜方法，其包括：根据镜片的折射率选取镀膜膜系结构，镜片的折射率在1.49～2.0之间，镀膜膜系结构为(X+Y)^{^n}+Z，其中，n＝3或4，X表示氧化物或氟化物，Y表示含钛化合物，Z表示氟化物或氧化物；根据镜片的凹面的曲率半径设定镀膜时镜片的工件盘的蒸发角度，凹面的曲率半径小于5，蒸发角度范围为65°～75°；根据镀膜膜系结构及蒸发角度对镜片进行镀膜。上述镜片的镀膜方法，通过根据镜片的折射率选取镀膜膜系结构，及根据镜片的凹面的曲率半径设定工件盘的蒸发角度，使得镜片边缘的镀膜效果与镜片中心的镀膜效果相同或差异较小，同时也保证了镜片的凹面边缘膜层的分光。

Description

镜片的镀膜方法

技术领域

本发明涉及于镜片领域，更具体而言，涉及一种镜片的镀膜方法。

背景技术

随着汽车产业的繁荣发展，对车载镜片的需求量也在不断的加大，对镜片的要求也在不断的提高，特别是一些装在外置关键部位的镜片。

此类镜片往往为凹凸结构，为保证车载镜头性能，此类镜片凹面边缘膜层要求在不断的提高，以往的镀膜技术只能确保此类镜片凹面中心位置的分光，无法保证凹面边缘膜层的分光，而且由于镀膜技术的限制，边缘膜层牢固度，膜厚及分光都已经不能满足日益提升的技术要求。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明需要提供一种镜片的镀膜方法。

一种镜片的镀膜方法，包括：

根据该镜片的折射率选取镀膜膜系结构，该镜片的折射率在1.49～2.0之间，该镀膜膜系结构为(X+Y)^ⁿ+Z，其中，n＝3或4，X表示氧化物或氟化物，Y表示含钛化合物，Z表示氟化物或氧化物；

根据该镜片的凹面的曲率半径设定镀膜时该镜片的工件盘的蒸发角度，该凹面的曲率半径小于5，该蒸发角度范围为65°～75°；

根据该镀膜膜系结构及该蒸发角度对该镜片进行镀膜。

上述镜片的镀膜方法，通过根据镜片的折射率选取镀膜膜系结构，及根据镜片的凹面的曲率半径设定工件盘的蒸发角度，使得镜片边缘的镀膜效果与镜片中心的镀膜效果相同或差异较小，同时也保证了镜片的凹面边缘膜层的分光。

在一个实施例中，所述根据该镜片的折射率选取镀膜膜系结构，包括：

该镜片的折射率在1.49～1.60之间时，选取的该镀膜膜系结构为(X+Y)^³+Z，其中，X的材料为氧化铝或氟化镁，Y的材料为钛酸镧或五氧化三钛,Z的材料为二氧化硅或氟化镁。

在一个实施例中，所述根据该镜片的折射率选取该镀膜膜系结构，包括：

该镜片的折射率在1.60～2.0之间时，选取的该镀膜膜系结构为(X+Y)^⁴+Z，其中，X的材料为氧化铝或氟化镁，Y的材料为钛酸镧或五氧化三钛,Z的材料为二氧化硅或氟化镁。

在一个实施例中，该镀膜膜系结构包括：第一氧化铝层、形成在该第一氧化铝层上的第一钛酸镧层、形成在该第一钛酸镧层上的第二氧化铝层、形成在该第二氧化铝层上的第二钛酸镧层、形成在该第二钛酸镧层上的第三氧化铝层、形成在该第三氧化铝层上的第三钛酸镧层、形成在该第三钛酸镧层上的第四氧化铝层、形成在该第四氧化铝层上的第四钛酸镧层及形成在该第四钛酸镧层上的氟化镁层。该第一氧化铝层的膜厚为20～50nm；该第一钛酸镧层的膜厚为10～30nm；该第二氧化铝层的膜厚为100～140nm；该第二钛酸镧层的膜厚为10～30nm；该第三氧化铝层的膜厚为20～50nm；该第三钛酸镧层的膜厚为40～70nm；该第四氧化铝层的膜厚为20～50nm；该第四钛酸镧层的膜厚为20～50nm；该氟化镁层的膜厚为100～140nm。

在一个实施例中，所述根据该镜片的凹面的曲率半径设定镀膜时该镜片的工件盘的该蒸发角度，包括：

该凹面的曲率半径在4.0～5.0之间时，设定该蒸发角度为72°±0.5°。

在一个实施例中，所述根据该镜片的凹面的曲率半径设定镀膜时该镜片的工件盘的该蒸发角度，包括：

该凹面的曲率半径在2.5～4.0之间时，设定该蒸发角度为71°±0.5°。

在一个实施例中，所述根据该镜片的折射率选取镀膜膜系结构，包括：

当该镜片的折射率在1.73时，选取的该镀膜膜系结构为(X+Y)^⁴+Z；

所述根据该镜片的凹面的曲率半径设定镀膜时该镜片的工件盘的该蒸发角度，包括：

当该凹面的曲率半径4.388时，该蒸发角度范围为71.8°～72.2°。

在一个实施例中，在对该镜片进行镀膜前，该镜片的镀膜方法包括：

清洗该镜片。

在一个实施例中，该镜片的镀膜方法包括：

对镀膜后的该镜片进行分光测试。

在一个实施例中，该镜片的镀膜方法包括：

对镀膜后的该镜片进行水煮，并对水煮后的该镜片进行拉膜试验；及/或

对镀膜后的该镜片进行杂光测试。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是本发明较佳实施例的镜片的镀膜方法的流程示意图；

图2是本发明较佳实施例的镜片的镀膜方法所制得的镜片的中心反射率曲线图；

图3是本发明较佳实施例的镜片的镀膜方法所制得的镜片的边缘反射率曲线图。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

下文的公开提供了许多不同的实施例或例子用来实现本发明的不同结构。为了简化本发明的公开，下文中对特定例子的部件和设定进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本发明。此外，本发明可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施例和/或设定之间的关系。此外，本发明提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。

请参图1，本发明较佳实施例提供的一种镜片的镀膜方法，包括：

步骤S1：根据镜片的折射率选取镀膜膜系结构，镜片的折射率在1.49～2.0之间，镀膜膜系结构为(X+Y)^ⁿ+Z，其中，n＝3或4，X表示氧化物或氟化物，Y表示含钛化合物，Z表示氟化物或氧化物；

步骤S2：根据镜片的凹面的曲率半径(下称凹面R值)设定镀膜时镜片的工件盘的蒸发角度，凹面R值小于5，蒸发角度范围为65°～75°；

步骤S3：根据镀膜膜系结构及蒸发角度对镜片进行镀膜。

具体地，镜片的材料可选择为玻璃。在(X+Y)^ⁿ+Z的镀膜膜系结构中，(X+Y)表示X材料层与Y材料层所形成的叠合层，n表示叠合层的层叠数量，“+Z”表示在层叠后的叠合层上形成的Z材料层。

在步骤S1中，当镜片的折射率在1.49～1.60之间时，选取的镀膜膜系结构为(X+Y)^³+Z，其中，X的材料为氧化铝(AL₂O₃)或氟化镁(MgF₂)，Y的材料为钛酸镧或五氧化三钛(Ti₃O₅),Z的材料为二氧化硅(SiO₂)或氟化镁(MgF₂)。也就是说，镀膜膜系结构包括7层膜。

当镜片的折射率在1.60～2.0之间时，选取的镀膜膜系结构为(X+Y)^⁴+Z，其中，X的材料为氧化铝或氟化镁，Y的材料为钛酸镧或五氧化三钛，Z的材料为二氧化硅或氟化镁。也就是说，镀膜膜系结构包括9层膜。

较佳地，X的材料为氧化铝，Y的材料为钛酸镧，Z的材料为氟化镁。

在一个示例中，选取的镀膜膜系结构包括：第一氧化铝层、形成在第一氧化铝层上的第一钛酸镧层、形成在第一钛酸镧层上的第二氧化铝层、形成在第二氧化铝层上的第二钛酸镧层、形成在第二钛酸镧层上的第三氧化铝层、形成在第三氧化铝层上的第三钛酸镧层、形成在第三钛酸镧层上的第四氧化铝层、形成在第四氧化铝层上的第四钛酸镧层及形成在第四钛酸镧层上的氟化镁层。

第一氧化铝层的膜厚为20～50nm；第一钛酸镧层的膜厚为10～30nm；第二氧化铝层的膜厚为100～140nm；第二钛酸镧层的膜厚为10～30nm；第三氧化铝层的膜厚为20～50nm；第三钛酸镧层的膜厚为40～70nm；第四氧化铝层的膜厚为20～50nm；第四钛酸镧层的膜厚为20～50nm；氟化镁层的膜厚为100～140nm。

第一氧化铝层是形成在镜片的表面上。

在步骤S2中，蒸发角度可以理解为镜片所在的平面与水平面的之间的夹角，例如，当镜片平放时，蒸发角度为0度，当镜片垂直于水平面放置时，蒸发角度为90度。

凹面R值在4.0～5.0之间时，设定蒸发角度为72°±0.5°。

凹面R值在2.5～4.0之间时，设定蒸发角度为71°±0.5°。

在一个示例中，当镜片的折射率在1.73时，选取的镀膜膜系结构可为步骤S1中的示例，即为(X+Y)^⁴+Z，共9层膜，及当凹面R值4.388时，蒸发角度范围为71.8°～72.2°。

在步骤S3中，将镜片放入镀膜设备中，并放置在工件盘上，然后可利用电子枪热蒸镀的方式对镜片进行多层镀膜。在镀膜过程中，可利用离子源辅助镀膜或RF辅助镀膜(射频辅助镀膜)。

镀膜时所使用的镀膜材料可放置在坩埚里，在一个例子中，使用直径在Φ35mm的坩埚，共3～5个坩埚的镀膜材料。

镀膜后的镜片要求:镜片的凹面中心反射率和边缘反射率在420～680nm处的反射率最大值Rmax<0.5％,在420～700nm处的反射率平均值Rave<0.4％。在一个示例中，请参图2及图3，利用步骤S2中的示例，制得镀膜后的镜片的中心和边缘的反射率曲线(分光曲线的一种)在420～680nm最大反射率值为0.3％～0.49％，平均反射率低于0.4％，符合要求。

需要说明的是，图2中的两条曲线，是分别表示不同镀膜位置上的两个镜片的中心反射率曲线。图3中的10条曲线(可能有些曲线重合了，实际上是有10条曲线),是分别对应上述两个镜片的边缘反射率曲线，每5条对应于一个镜片的边缘反射率曲线。也就是说，可在每个镜片的边缘选取5个测试点进行曲线的绘制而形成5条边缘反射率曲线。

在一个例子中，镜片的边缘可理解为镜片周边垂直光轴2～4mm的范围部分。当然，镜片的边缘可根据镜片的实际尺寸及/或品质要求来定义，而不限定于本实施例的2～4mm的范围。

另外，为了避免镜片上的杂质影响镀膜品质，在对镜片进行镀膜前，镜片的镀膜方法还包括：步骤S0：清洗镜片。

具体地，将待镀膜的镜片排入镜片夹具中，然后利用超声波清洗位于镜片夹具中的待镀膜的镜片，将清洗干净的待镀膜的镜片放入净化设备中等待镀膜。

进一步地，为对镀膜后的镜片进行品质检验，镜片的镀膜方法还包括：

步骤S4：对镀膜后的镜片进行分光测试。

具体地，可利用分光测试设备对镀膜后的镜片进行5个点对比测试，例如，镜片的中心取一个测试点，镜片的边缘不同角度取四个测试点(如每隔90°取一个测试点)。

镀膜后的镜片中，5个测试点的整体曲线波长差别不超过20nm，反射率最大值差别不超过0.2％。因此，镜片为合格镜片。

另外，为对镀膜后的镜片的信赖性进行试验，镜片的镀膜方法还包括：信赖性试验步骤S5：

对镀膜后的镜片进行水煮，并对水煮后的镜片进行拉膜试验；及

对镀膜后的镜片进行杂光测试。

具体地，可对镀膜后的镜片进行水煮，煮2个小时以上后，然后使用强力胶带进行拉膜试验，经试验，镀膜后的镜片边缘无膜层脱落现象，信赖性高。

杂光测试为将镜片涂黑后进行杂光测试，经测试，镀膜后的镜片在涂黑后无杂光现象出现，信赖性高。

需要指出的是，在其它实施例中，镜片的镀膜方法可包括：对镀膜后的镜片进行水煮并对水煮后的镜片进行拉膜试验，及对镀膜后的镜片进行杂光测试中的其中一项。

另外，本实施例所说的两个数值“之间”的数值范围，是包括该两个数值本身。

进一步地，虽然在图1所示的流程图中，本实施例的步骤S1在步骤S2之前执行，可以理解，在其它实施例中，步骤S1及步骤S2可同时执行，或步骤S2在步骤S1之前执行。

上述镜片的镀膜方法，通过根据镜片的折射率选取镀膜膜系结构，及根据镜片的凹面的曲率半径设定工件盘的蒸发角度，使得镜片边缘的镀膜效果与镜片中心的镀膜效果相同或差异较小，同时也保证了镜片的凹面边缘膜层的分光。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合所述实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (10)

1.一种镜片的镀膜方法，其特征在于，包括：

根据该镜片的折射率选取镀膜膜系结构，该镜片的折射率在1.49～2.0之间，该镀膜膜系结构为(X+Y)^ⁿ+Z，其中，n＝3或4，X表示氧化物或氟化物，Y表示含钛化合物，Z表示氟化物或氧化物；

根据该镜片的凹面的曲率半径设定镀膜时该镜片的工件盘的蒸发角度，该凹面的曲率半径小于5，该蒸发角度范围为65°～75°；

根据该镀膜膜系结构及该蒸发角度对该镜片进行镀膜。

2.如权利要求1所述的镜片的镀膜方法，其特征在于，所述根据该镜片的折射率选取镀膜膜系结构，包括：

该镜片的折射率在1.49～1.60之间时，选取的该镀膜膜系结构为(X+Y)^³+Z，其中，X的材料为氧化铝或氟化镁，Y的材料为钛酸镧或五氧化三钛，Z的材料为二氧化硅或氟化镁。

3.如权利要求1所述的镜片的镀膜方法，其特征在于，所述根据该镜片的折射率选取该镀膜膜系结构，包括：

该镜片的折射率在1.60～2.0之间时，选取的该镀膜膜系结构为(X+Y)^⁴+Z，其中，X的材料为氧化铝或氟化镁，Y的材料为钛酸镧或五氧化三钛,Z的材料为二氧化硅或氟化镁。

4.如权利要求3所述的镜片的镀膜方法，其特征在于，该镀膜膜系结构包括：第一氧化铝层、形成在该第一氧化铝层上的第一钛酸镧层、形成在该第一钛酸镧层上的第二氧化铝层、形成在该第二氧化铝层上的第二钛酸镧层、形成在该第二钛酸镧层上的第三氧化铝层、形成在该第三氧化铝层上的第三钛酸镧层、形成在该第三钛酸镧层上的第四氧化铝层、形成在该第四氧化铝层上的第四钛酸镧层及形成在该第四钛酸镧层上的氟化镁层；

该第一氧化铝层的膜厚为20～50nm；该第一钛酸镧层的膜厚为10～30nm；该第二氧化铝层的膜厚为100～140nm；该第二钛酸镧层的膜厚为10～30nm；该第三氧化铝层的膜厚为20～50nm；该第三钛酸镧层的膜厚为40～70nm；该第四氧化铝层的膜厚为20～50nm；该第四钛酸镧层的膜厚为20～50nm；该氟化镁层的膜厚为100～140nm。

5.如权利要求1所述的镜片的镀膜方法，其特征在于，所述根据该镜片的凹面的曲率半径设定镀膜时该镜片的工件盘的该蒸发角度，包括：

该凹面的曲率半径在4.0～5.0之间时，设定该蒸发角度为72°±0.5°。

6.如权利要求1所述的镜片的镀膜方法，其特征在于，所述根据该镜片的凹面的曲率半径设定镀膜时该镜片的工件盘的该蒸发角度，包括：

该凹面的曲率半径在2.5～4.0之间时，设定该蒸发角度为71°±0.5°。

7.如权利要求1所述的镜片的镀膜方法，其特征在于，所述根据该镜片的折射率选取镀膜膜系结构，包括：

当该镜片的折射率在1.73时，选取的该镀膜膜系结构为(X+Y)^⁴+Z；

所述根据该镜片的凹面的曲率半径设定镀膜时该镜片的工件盘的该蒸发角度，包括：

当该凹面的曲率半径4.388时，该蒸发角度范围为71.8°～72.2°。

8.如权利要求1所述的镜片的镀膜方法，其特征在于，在对该镜片进行镀膜前，该镜片的镀膜方法包括：

清洗该镜片。

9.如权利要求1所述的镜片的镀膜方法，其特征在于，该镜片的镀膜方法包括：

对镀膜后的该镜片进行分光测试。

10.如权利要求1或9所述的镜片的镀膜方法，其特征在于，该镜片的镀膜方法包括：

对镀膜后的该镜片进行水煮，并对水煮后的该镜片进行拉膜试验；及/或

对镀膜后的该镜片进行杂光测试。