CN105403537A - 消除bsdf测量中激光光源功率变化误差的系统和方法 - Google Patents

消除bsdf测量中激光光源功率变化误差的系统和方法 Download PDF

Info

Publication number
CN105403537A
CN105403537A CN201510918230.0A CN201510918230A CN105403537A CN 105403537 A CN105403537 A CN 105403537A CN 201510918230 A CN201510918230 A CN 201510918230A CN 105403537 A CN105403537 A CN 105403537A
Authority
CN
China
Prior art keywords
bsdf
light source
laser
laser light
catoptron
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201510918230.0A
Other languages
English (en)
Other versions
CN105403537B (zh
Inventor
李宗涛
陈家晓
汤勇
梁观伟
万珍平
袁伟
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
South China University of Technology SCUT
Original Assignee
South China University of Technology SCUT
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by South China University of Technology SCUT filed Critical South China University of Technology SCUT
Priority to CN201510918230.0A priority Critical patent/CN105403537B/zh
Publication of CN105403537A publication Critical patent/CN105403537A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN105403537B publication Critical patent/CN105403537B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/47Scattering, i.e. diffuse reflection
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/47Scattering, i.e. diffuse reflection
    • G01N2021/4704Angular selective
    • G01N2021/4711Multiangle measurement

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

本发明公开了一种消除BSDF测量中激光光源功率变化误差的系统和方法,所述系统包括激光光源、棱柱形反射镜、激光功率计探头、激光功率计、电机传动模块、运动控制卡、BSDF信号探头、BSDF信号处理器、PC机和遮光套筒。对被测样品进行BSDF测量时,在每个测量点测量之前,由电机传动模块驱动棱柱形反射镜转动,使其反射激光光源的光路至激光功率计中测量激光功率的变化,再传输到PC机中根据变化情况校正该测量点的BSDF结果,从而消除激光光源功率变化所引起的误差。

Description

消除BSDF测量中激光光源功率变化误差的系统和方法
技术领域
本发明涉及材料光学散射特性测量领域,特别涉及一种消除BSDF测量中激光光源功率变化误差的系统和方法。
背景技术
双向散射分布函数(BidirectionalScatteringDistributionFunction,即BSDF)是描述光照射到一个表面后向不同方向散射情况的函数。BSDF是一个既包括入射方向又包括散射方向的函数,因此称为“双向”的。
目前BSDF的测量常用相对测量法测量,即对反射率ρ已知的漫反射标准板和被测样品,用光源分别照射到二者的表面,然后在同一散射的测量点分别测量BSDF信号值,再根据以下公式原理即可得到被测样品的BSDF值:
式中,θi为被测样品的入射天顶角;为被测样品的入射方位角;θS为被测样品的出射天顶角;为被测样品的出射方位角;θr为漫反射标准板的出射天顶角;VS为被测样品的BSDF信号值;V0为漫反射标准板的BSDF信号值;ρ为漫反射标准板的半球反射率。
用相对测量法测量BSDF函数时,一般用激光作为光源,但由于激光光源的功率在测量过程中会发生变化,从而会给BSDF测量结果带来误差。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术的缺点与不足,消除用相对法测量材料BSDF时由于激光光源功率变化所引起的误差,提高测量结果的精确性,提供一种消除BSDF测量中激光光源功率变化误差的系统和方法。
本发明的目的通过如下技术方案实现:一种消除BSDF测量中激光光源功率变化误差的系统,其特征在于包括激光光源、棱柱形反射镜、激光功率计探头、激光功率计、电机传动模块、运动控制卡、BSDF信号探头、BSDF信号处理器、PC机和遮光套筒;所述激光光源、棱柱形反射镜、电机传动模块、激光功率计探头安装在所述遮光套筒中;所述棱柱形反射镜位于所述激光光源出光口的前端处,且其中心轴与所述电机传动模块的输出轴同心连接,并可由所述电机传动模块驱动进行旋转;所述棱形反射镜在旋转的过程中,可先使激光光路反射到所述激光功率计探头中测得激光此时的实际功率与其额定参考功率之间的偏差值,再使激光光路顺利通过并穿出所述遮光套筒的出光孔照射到被测样品表面进行BSDF测量,并按照所述激光光源功率的偏差值对测量结果进行相应的修正;
优选地,所述棱柱形反射镜为正多棱柱形并可绕其中心轴进行旋转,棱柱形反射镜的侧面为具有高反射率的镜面。
优选地,所述棱柱形反射镜的中心轴与所述激光光源的光路垂直而不相交,所述中心轴与激光光路的距离大于棱柱形反射镜底面的中心到底面侧边的距离,并小于棱柱形反射镜底面中心到底面端点的距离,从而使棱形反射镜在旋转至不同的位置时其侧面能使激光光路通过并照射到被测样品上,或者使光路反射至所述激光功率计的接收探头中。
优选地,所述激光功率计与所述PC机相连,所述激光功率计能够测量经由所述棱柱形反射镜反射后的激光功率并把功率数据传输到PC机中。
优选地,所述电机传动模块通过运动控制卡与PC机相连,且电机传动模块输出端连接到所述棱柱形反射镜的中心轴上由PC机通过运动控制卡控制驱动棱柱形反射镜进行旋转。
优选地,所述BSDF信号探头与BSDF信号处理器相连,BSDF信号处理器与PC机相连,BSDF信号探头与BSDF信号处理器采集被测样品的BSDF数据信号并传输至PC机中。
优选地,所述激光光源、棱柱形反射镜、激光功率计探头和电机传动模块均安装在所述遮光套筒中,从而保持相互间的相对位置不变以及隔绝环境光的影响;所述遮光套筒可绕被测样品的中心点在竖直平面内进行旋转,从而能够使激光以任意入射角照射到被测样品表面。
优选地,所述棱柱型反射镜为正四棱柱形反射镜。
一种消除BSDF测量中激光光源功率变化误差的方法,其特征在于包括以下步骤:
S1、测量漫反射标准板的激光光源的功率参考值和BSDF参考值,先使棱柱形反射镜转动到能够将激光光路反射至激光功率计接收探头的位置,测量此时激光光源的功率并传输PC机中并设为激光光源的功率参考值;
S2、迅速转动棱柱形反射镜到能使激光光路通过的位置,使激光照射到漫反射标准板上,由BSDF信号探头与BSDF信号处理器采集此时的BSDF信号值即为BSDF参考值;
S3、换上被测样品,对选定的测量点先使棱柱形反射镜转动将激光光路反射至激光功率计接收探头,测量此时激光光源的功率,用功率参考值除以此时的功率值即能够得到该测量点激光光源的功率校正系数;
S4、迅速转动棱柱形反射镜使激光光路通过并照射到被测样品上,由BSDF信号探头与BSDF信号处理器采集此时的BSDF信号值,结合BSDF参考值可求出该测量点的BSDF的值,再乘以功率校正系数即可得到校正后BSDF值,消除激光光源功率变化引起的测量误差;
S5、对被测样品的下一个测量点,重复所述S2-S4步骤,直至测完所有测量点,即能够完成被测样品的BSDF测量。
本发明与现有技术相比,具有如下优点和有益效果:
本发明在对被测样品进行BSDF测量的过程中,在每个测量点测量之前,可以测量激光光源实际功率与额定功率之间的变化误差,并根据变化误差校正该测量点的BSDF结果,从而消除激光光源功率变化所引起的误差。与传统用分光镜对激光分束从而测得激光光源功率的方法相比,本方法不存在由于分束而对激光的功率造成削弱的情况,也不存在由于分光镜的自身不稳定性的导致的结果误差。
附图说明
图1为激光光源的光路被改变时的系统示意图。
图2为激光光源的光路未被改变时的系统示意图。
图3为激光光源的光路被棱形反射镜反射至激光功率探头中的正视示意图。
图4为激光光源的光路通过棱形反射镜并出射到被测样品表面的正视示意图。
标号说明:1—激光光源;
2—棱柱形反射镜;
3—激光功率计探头;
4—电机传动模块;
5—BSDF信号探头;
6—PC机;
7—被测样品;
8—运动控制卡;
9—激光功率计;
10—BSDF信号处理器;
11—遮光套筒。
具体实施方式
下面结合实施例及附图对本发明作进一步详细的描述,但本发明的实施方式不限于此。
实施例1
如图1~2所示,一种消除BSDF测量中激光光源1功率变化误差的系统,其特征在于包括激光光源1、棱柱形反射镜2、激光功率计探头3、激光功率计9、电机传动模块4、运动控制卡8、BSDF信号探头5、BSDF信号处理器10、PC机6和遮光套筒11;所述激光光源1、棱柱形反射镜2、电机传动模块4、激光功率计探头3安装在所述遮光套筒11中;所述棱柱形反射镜2位于所述激光光源1出光口的前端处,且其中心轴与所述电机传动模块4的输出轴同心连接,并可由所述电机传动模块4驱动进行旋转;所述棱形反射镜2在旋转的过程中,可先使激光光路反射到所述激光功率计探头3中测得激光此时的实际功率与其额定参考功率之间的偏差值,再使激光光路顺利通过并穿出所述遮光套筒11的出光孔照射到被测样品7表面进行BSDF测量,并按照所述激光光源1功率的偏差值对测量结果进行相应的修正;
所述棱柱形反射镜2为正三棱柱形并可绕其中心轴进行旋转,棱柱形反射镜2的侧面为具有高反射率的镜面。
所述棱柱形反射镜2的中心轴与所述激光光源1的光路垂直而不相交,所述中心轴与激光光路的距离大于棱柱形反射镜2底面的中心到底面侧边的距离,并小于棱柱形反射镜2底面中心到底面端点的距离,从而使棱形反射镜在旋转至不同的位置时其侧面能使激光光路通过并照射到被测样品7上,或者使光路反射至所述激光功率计9的接收探头中。
所述激光功率计9与所述PC机相连,所述激光功率计9能够测量经由所述棱柱形反射镜2反射后的激光功率并把功率数据传输到PC机6中。
所述电机传动模块4通过运动控制卡8与PC机6相连,且电机传动模块4输出端连接到所述棱柱形反射镜2的中心轴上由PC机6通过运动控制卡8控制驱动棱柱形反射镜2进行旋转。
所述BSDF信号探头5与BSDF信号处理器10相连,BSDF信号处理器10与PC机6相连,BSDF信号探头5与BSDF信号处理器10采集被测样品7的BSDF数据信号并传输至PC机中。
所述激光光源1、棱柱形反射镜2、激光功率计探头3和电机传动模块4均安装在所述遮光套筒11中,从而保持相互间的相对位置不变以及隔绝环境光的影响;所述遮光套筒11可绕被测样品7的中心点在竖直平面内进行旋转,从而能够使激光以任意入射角照射到被测样品表面。
一种消除BSDF测量中激光光源1功率变化误差的方法,其特征在于包括以下步骤:
(1)测量漫反射标准板的激光光源1的功率参考值和BSDF参考值,先使棱柱形反射镜2转动到能够将激光光路反射至激光功率计9接收探头的位置,测量此时激光光源1的功率并传输PC机中并设为激光光源1的功率参考值;
(2)再迅速转动棱柱形反射镜2到能使激光光路通过的位置,使激光照射到漫反射标准板上,由BSDF信号探头5与BSDF信号处理器10采集此时的BSDF信号值即为BSDF参考值;
(3)换上被测样品7,对选定的测量点先使棱柱形反射镜2转动将激光光路反射至激光功率计9接收探头,测量此时激光光源1的功率,用功率参考值除以此时的功率值即可得到该测量点激光光源1的功率校正系数;
(4)再迅速转动棱柱形反射镜2使激光光路通过并照射到被测样品7上,由BSDF信号探头5与BSDF信号处理器10采集此时的BSDF信号值,结合BSDF参考值可求出该测量点的BSDF的值,再乘以功率校正系数即可得到校正后BSDF值,消除激光光源1功率变化引起的测量误差;
(5)对被测样品7的下一个测量点,重复以上(2)-(4)步骤,直至测完所有测量点,即可完成被测样品7的BSDF测量。
实施例2
实施例2与实施例1大致类似,其不同之处在于本实施例的棱柱形反射镜2为正四棱柱形。
上述实施例为本发明较佳的实施方式,但本发明的实施方式并不受上述实施例的限制,其他的任何未背离本发明的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化,均应为等效的置换方式,都包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.消除BSDF测量中激光光源功率变化误差的系统,其特征在于包括激光光源、棱柱形反射镜、激光功率计探头、激光功率计、电机传动模块、运动控制卡、BSDF信号探头、BSDF信号处理器、PC机和遮光套筒;所述激光光源、棱柱形反射镜、电机传动模块、激光功率计探头安装在所述遮光套筒中;所述棱柱形反射镜位于所述激光光源出光口的前端处,且其中心轴与所述电机传动模块的输出轴同心连接,并由所述电机传动模块驱动进行旋转;所述棱形反射镜在旋转的过程中,先使激光光路反射到所述激光功率计探头中测得激光此时的实际功率与其额定参考功率之间的偏差值,再使激光光路顺利通过并穿出所述遮光套筒的出光孔照射到被测样品表面进行BSDF测量,并按照所述激光光源功率的偏差值对测量结果进行相应的修正。
2.根据权利要求1所述的消除BSDF测量中激光光源功率变化误差的系统,其特征在于:所述棱柱形反射镜为正多棱柱形并可绕其中心轴进行旋转,棱柱形反射镜的侧面为具有高反射率的镜面。
3.根据权利要求1或2所述的消除BSDF测量中激光光源功率变化误差的系统,其特征在于:所述棱柱形反射镜的中心轴与所述激光光源的光路垂直而不相交,所述中心轴与激光光路的距离大于棱柱形反射镜底面的中心到底面侧边的距离,并小于棱柱形反射镜底面中心到底面端点的距离。
4.根据权利要求1所述的消除BSDF测量中激光光源功率变化误差的系统,其特征在于:所述激光功率计与所述PC机相连,所述激光功率计能够测量经由所述棱柱形反射镜反射后的激光功率并把功率数据传输到PC机中。
5.根据权利要求1所述的消除BSDF测量中激光光源功率变化误差的系统,其特征在于:所述电机传动模块通过运动控制卡与PC机相连,且电机传动模块输出端连接到所述棱柱形反射镜的中心轴上由PC机通过运动控制卡控制驱动棱柱形反射镜进行旋转。
6.根据权利要求1所述的消除BSDF测量中激光光源功率变化误差的系统,其特征在于:所述BSDF信号探头与BSDF信号处理器相连,BSDF信号处理器与PC机相连,BSDF信号探头与BSDF信号处理器采集被测样品的BSDF数据信号并传输至PC机中。
7.根据权利要求1所述的消除BSDF测量中激光光源功率变化误差的系统,其特征在于:所述激光光源、棱柱形反射镜、激光功率计探头和电机传动模块均安装在所述遮光套筒中并且相互位置保持不变;所述遮光套筒可绕被测样品的中心点在竖直平面内进行旋转,从而能够使激光以任意入射角照射到被测样品表面。
8.根据权利要求1所述的消除BSDF测量中激光光源功率变化误差的系统,其特征在于:所述棱柱型反射镜为正多棱柱形反射镜。
9.消除BSDF测量中激光光源功率变化误差的方法,其特征在于包括以下步骤:
S1、测量漫反射标准板的激光光源的功率参考值和BSDF参考值,先使棱柱形反射镜转动到能够将激光光路反射至激光功率计接收探头的位置,测量此时激光光源的功率并传输PC机中并设为激光光源的功率参考值;
S2、迅速转动棱柱形反射镜到能使激光光路通过的位置,使激光照射到漫反射标准板上,由BSDF信号探头与BSDF信号处理器采集此时的BSDF信号值即为BSDF参考值;
S3、换上被测样品,对选定的测量点先使棱柱形反射镜转动将激光光路反射至激光功率计接收探头,测量此时激光光源的功率,用功率参考值除以此时的功率值即能够得到该测量点激光光源的功率校正系数;
S4、迅速转动棱柱形反射镜使激光光路通过并照射到被测样品上,由BSDF信号探头与BSDF信号处理器采集此时的BSDF信号值,结合BSDF参考值可求出该测量点的BSDF的值,再乘以功率校正系数即可得到校正后BSDF值,消除激光光源功率变化引起的测量误差;
S5、对被测样品的下一个测量点,重复所述S2-S4步骤,直至测完所有测量点,即能够完成被测样品的BSDF测量。
CN201510918230.0A 2015-12-10 2015-12-10 消除bsdf测量中激光光源功率变化误差的系统和方法 Active CN105403537B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510918230.0A CN105403537B (zh) 2015-12-10 2015-12-10 消除bsdf测量中激光光源功率变化误差的系统和方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510918230.0A CN105403537B (zh) 2015-12-10 2015-12-10 消除bsdf测量中激光光源功率变化误差的系统和方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN105403537A true CN105403537A (zh) 2016-03-16
CN105403537B CN105403537B (zh) 2018-01-05

Family

ID=55469160

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201510918230.0A Active CN105403537B (zh) 2015-12-10 2015-12-10 消除bsdf测量中激光光源功率变化误差的系统和方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN105403537B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117169273A (zh) * 2023-09-07 2023-12-05 华南理工大学 一种基于反射法测量材料常温方向发射率的装置及方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1468367A (zh) * 2000-10-03 2004-01-14 ����ʢ���Ƽ���˾ 微分数值孔径方法及装置
CN102854149A (zh) * 2012-08-31 2013-01-02 哈尔滨工业大学 用于连续光谱双向散射分布函数的测量装置
US20140375797A1 (en) * 2012-01-31 2014-12-25 Jean-Pierre Lauret Optical system intended to measure BRDF, BSDF and BTDF
CN104677859A (zh) * 2015-02-10 2015-06-03 华南理工大学 一种消除环境光干扰的bsdf测量系统及测量方法
CN205404405U (zh) * 2015-12-10 2016-07-27 华南理工大学 消除bsdf测量中激光光源功率变化误差的系统

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1468367A (zh) * 2000-10-03 2004-01-14 ����ʢ���Ƽ���˾ 微分数值孔径方法及装置
US20140375797A1 (en) * 2012-01-31 2014-12-25 Jean-Pierre Lauret Optical system intended to measure BRDF, BSDF and BTDF
CN102854149A (zh) * 2012-08-31 2013-01-02 哈尔滨工业大学 用于连续光谱双向散射分布函数的测量装置
CN104677859A (zh) * 2015-02-10 2015-06-03 华南理工大学 一种消除环境光干扰的bsdf测量系统及测量方法
CN205404405U (zh) * 2015-12-10 2016-07-27 华南理工大学 消除bsdf测量中激光光源功率变化误差的系统

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
孙可等: "强光辐照下主镜表面散射引起的视场内杂光分布", 《光学精密工程》 *
谢鸣等: "复合材料表面双向反射分布函数实验研究", 《材料科学与工艺》 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117169273A (zh) * 2023-09-07 2023-12-05 华南理工大学 一种基于反射法测量材料常温方向发射率的装置及方法
CN117169273B (zh) * 2023-09-07 2024-04-26 华南理工大学 一种基于反射法测量材料常温方向发射率的装置及方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN105403537B (zh) 2018-01-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102435418B (zh) ArF激光光学薄膜元件综合偏振测量装置及测量方法
CN103162832B (zh) 包含参考光束的垂直入射宽带偏振光谱仪及光学测量系统
US10969299B2 (en) Lens refractive index detection device and method
CN107941477B (zh) 一种能精确控制入射角的分光镜测量方法及装置
CN103162831B (zh) 宽带偏振光谱仪及光学测量系统
CN103512864A (zh) 利用平行光测量衬底反射率和透射率的光学量测系统
CN106353766A (zh) 基于衍射光学元件的激光雷达多点测距系统
CN109470656A (zh) 一种新型双向反射分布函数快速测试系统及方法
CN108296759A (zh) 一种反射式激光对中装置
CN203299110U (zh) 测量玻璃不同角度颜色、亮度和反射率光谱的装置
CN109632717A (zh) 漫反射率检测装置与方法
CN207741917U (zh) 一种能精确控制入射角的分光镜测量装置
CN103698302B (zh) 激光增益介质包边剩余反射的多角度多点测量装置及方法
CN100462773C (zh) 运用Zernike系数精确确定激光收发同轴基准的方法
CN202793737U (zh) 一种平面反射镜反射率检测系统
CN105403537A (zh) 消除bsdf测量中激光光源功率变化误差的系统和方法
CN205404405U (zh) 消除bsdf测量中激光光源功率变化误差的系统
CN211262667U (zh) 一种用于退偏器退偏性能高精度检测的光学系统
CN209198785U (zh) 一种用于透镜组调整的调整装置
KR102139995B1 (ko) 수직입사 및 경사입사 결합형 타원계측기 및 이를 이용한 시편의 광물성 측정 방법
CN102607806A (zh) 一种平面反射镜反射率检测系统
CN109342317A (zh) 一种用于平面黑材料的光学参数测试装置及方法
CN115031928A (zh) 光学检测系统及其操作方法
CN209513614U (zh) 一种新型双向反射分布函数快速测试系统
CN104237137A (zh) 测量玻璃不同角度颜色、亮度和反射率光谱的装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant