CN105359355A - 气体激光振荡装置、气体激光振荡方法以及气体激光加工机 - Google Patents

气体激光振荡装置、气体激光振荡方法以及气体激光加工机 Download PDF

Info

Publication number
CN105359355A
CN105359355A CN201480037321.7A CN201480037321A CN105359355A CN 105359355 A CN105359355 A CN 105359355A CN 201480037321 A CN201480037321 A CN 201480037321A CN 105359355 A CN105359355 A CN 105359355A
Authority
CN
China
Prior art keywords
laser
gas
laser gas
oscillation device
introducing port
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201480037321.7A
Other languages
English (en)
Inventor
持山智浩
小山贤起
江口聪
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Original Assignee
Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd filed Critical Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Publication of CN105359355A publication Critical patent/CN105359355A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
    • B23K26/0643—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms comprising mirrors
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
    • H01S3/0346—Protection of windows or mirrors against deleterious effects
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
    • H01S3/06—Construction or shape of active medium
    • H01S3/07—Construction or shape of active medium consisting of a plurality of parts, e.g. segments
    • H01S3/073—Gas lasers comprising separate discharge sections in one cavity, e.g. hybrid lasers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • H01S3/102—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation
    • H01S3/104—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation in gas lasers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Lasers (AREA)

Abstract

现有的气体激光振荡装置在导入激光气体的量比通常多时，在全反射镜、部分反射镜附近会产生紊流，放电变得不稳定，激光束的输出变得不稳定。本发明的气体激光振荡装置具有激光振荡部、第一激光气体供给口、激光气体排出口、第一激光气体导入口、激光气体循环路径以及第二激光气体导入口。第一激光气体导入口设置在全反射镜以及部分反射镜中的一方与第一放电管之间，并向激光振荡部导入激光气体。第二激光气体导入口设置于激光气体循环路径，并向激光气体循环路径导入激光气体。激光气体导入机构与第一激光气体导入口以及第二激光气体导入口连接。

Description

气体激光振荡装置、气体激光振荡方法以及气体激光加工机
技术领域
本发明涉及主要用于钣金切断用途的kW(千瓦)级的轴流型气体激光振荡装置、气体激光振荡方法以及气体激光加工机。
背景技术
使用图6来说明专利文献1所记载的现有的轴流型的气体激光振荡装置900。
在图6中，气体激光振荡装置900具有：放电管901；在放电管901的周边设置的电极902、903；以及与电极902、903连接的电源904。
放电空间905是位于放电管901的内部且夹持于电极902与电极903之间的空间。在放电管901的两端的外侧分别配置有全反射镜906和部分反射镜907。由此，形成光学谐振器，将激光束908从部分反射镜907输出。
在放电管901上连接有激光气体流路909，在激光气体流路909中设置有热交换器910、911和鼓风机912。在放电管901以及激光气体流路909内部，通过鼓风机912使激光气体沿箭头913的方向循环。
全反射镜906保持于全反射镜保持部914a，并经由无极放电管915、铜环916等与放电区域的左端连接。部分反射镜907保持于部分反射镜保持部914b，并经由无极放电管915、铜环916等与放电区域的右端连接。
铜环916上具有呈狭缝状开设的激光气体导入部917，无极放电管915与铜环916的连接部分由连接管918覆盖。全反射镜906侧的连接管918和部分反射镜907侧的连接管918与激光气体供给装置919连接。
在气体激光振荡装置900中，从激光气体供给装置919供给的激光气体通过连接管918、铜环916的激光气体导入部917、无极放电管915而供给至放电管901。由于激光气体导入部917为狭缝状的开口，因此在全反射镜906、部分反射镜907的周边不会产生激光气体的紊流。因此，气体激光振荡装置900能够稳定地输出激光束908。
若将气体激光振荡装置长期停止，则会成为在气体激光振荡装置的放电管以及激光气体流路中附着有杂质、尤其是水分子的状态。若在放电管、激光气体流路中附着有杂质的状态下再次使气体激光振荡装置运转，则放电会变得不稳定，激光束的输出下降。为了防止该激光束的输出下降，已知有如下的方法：在从放电开始起的规定时间的期间内，向放电管以及激光气体流路中导入比通常更多的激光气体。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2003-110171号公报
发明内容
然而，即便是激光气体导入部为狭缝状的开口的现有的气体激光振荡装置，当导入激光气体的量比通常多时，在全反射镜、部分反射镜附近会产生紊流。由于该激光气体的紊流，使得放电变得不稳定，从而使激光束的输出变得不稳定。
为了解决上述技术问题，本发明的气体激光振荡装置具有激光振荡部、第一激光气体供给口、激光气体排出口、第一激光气体导入口、激光气体循环路径、以及第二激光气体导入口。激光振荡部具有：设置于第一端部的全反射镜以及部分反射镜中的一方；设置于与第一端部相反侧的第二端部的全反射镜以及部分反射镜中的另一方；以及对激光气体进行激励的第一放电管。第一激光气体供给口设置在部分反射镜与第一放电管之间，并向激光振荡部供给激光气体。激光气体排出口设置在全反射镜与第一放电管之间，并从激光振荡部将激光气体排出。第一激光气体导入口设置在部分反射镜与第一放电管之间，并向激光振荡部导入激光气体。激光气体循环路将第一激光气体供给口与激光气体排出口连接。第二激光气体导入口设置于激光气体循环路径，并向激光气体循环路径导入激光气体。激光气体导入机构与第一激光气体导入口以及第二激光气体导入口连接。
本发明的气体激光振荡方法包括第一激光气体导入工序、循环工序、激光振荡工序、以及第二激光气体导入工序。在第一激光气体导入工序中，向激光振荡部导入激光气体。在循环工序中，通过与激光振荡部连接的激光气体循环路径而使激光气体振荡部的激光气体进行循环。在激光振荡工序中，向激光气体振荡部施加电压，从而对激光气体进行激励。在第二激光气体导入工序中，向激光气体循环路径导入激光气体。在激光振荡工序中，当检测到激光振荡时，开始第二激光气体导入工序，当经过规定时间时，结束第二激光气体导入工序。
本发明的气体激光加工机具有上述的气体激光振荡装置、反射镜、加工炬、以及工作台。反射镜对从气体激光振荡装置输出的激光进行反射。加工炬具有对由反射镜反射后的激光进行汇聚的聚光透镜。工作台保持加工工件，所述加工工件被照射由聚光透镜汇聚后的激光。
本发明的气体激光振荡装置、气体激光振荡方法以及气体激光加工机不会使向激光振荡部的全反射镜、部分反射镜附近导入的激光气体的量增加而能够增加激光振荡部中的激光气体的量。由此，在气体激光振荡装置的运转再次开始时，也能够迅速地输出稳定的激光束。
附图说明
图1是实施方式1所涉及的气体激光振荡装置的结构图。
图2是表示实施方式1所涉及的气体供给装置的操作步骤的流程图。
图3是使用了实施方式1所涉及的气体激光振荡装置的气体激光加工机的结构图。
图4是实施方式2所涉及的气体激光振荡装置的结构图。
图5是实施方式2所涉及的气体激光振荡装置的结构图。
图6是现有的气体激光振荡装置的结构图。
具体实施方式
以下参照附图，对用于实施本发明的方式进行说明。
(实施方式1)
首先，对实施方式1的气体激光振荡装置进行说明。
图1是本实施方式的轴流型的气体激光振荡装置100的结构图。如图1所示，轴流型的气体激光振荡装置100包括激光振荡部110、激光气体循环机构130、以及激光气体导入机构140。
激光振荡部110具有由玻璃等电介质形成的放电管111，放电管111的内部是放电部112。激光振荡部110具有放电部112、激光气体供给口113(第一激光气体供给口)、激光气体排出口114(第一激光气体排出口)、以及激光气体导入口115(第一激光气体导入口)。
在放电部112中，通过设置于放电管111的外侧的电极116(第一电极)和电极117(第二电极)而产生放电。在电极116与电极117之间，通过电源118来施加高电压。由此，在放电部112中产生放电，从而激励放电部112的内部的激光气体并发生激光振荡。另外，在激光振荡部110的一端(第一端部)设置有全反射镜119，在激光振荡部110的另一端(第二端部)设置有部分反射镜120。激光气体供给口113位于放电部112与部分反射镜120之间，激光气体排出口114位于放电部112与全反射镜119之间。激光气体导入口115位于比激光气体供给口113靠近部分反射镜120的位置。
在放电部112中振荡的激光在全反射镜119与部分反射镜120之间发生谐振，当超过规定的能量时，从部分反射镜120向激光振荡部110的外部作为激光121而输出。激光121用于激光加工等。
激光气体循环机构130以经由激光气体供给口113向激光振荡部110供给激光气体、并经由激光气体排出口114从激光振荡部110排出激光气体的方式与激光振荡部110连接。
激光气体循环机构130具有激光气体循环路径131、热交换器132、133、鼓风机134、激光气体导入口135(第二激光气体导入口)、激光气体取出口136、以及排气泵137。激光气体循环路径131表示从激光气体供给口113到激光气体排出口114为止的整体。热交换器132、激光气体取出口136、鼓风机134、热交换器133、激光气体导入口135从激光气体排出口114侧起依次设置于激光气体循环路径131中。热交换器132、133对由于激光振荡部110中的放电或鼓风机134的运转而成为高温的激光气体进行冷却。鼓风机134使激光气体以从激光气体排出口114朝向激光气体供给口113的方式循环。通过由鼓风机134进行的激光气体的循环，激光气体在放电部112中以约100m/秒进行流动。
激光气体导入机构140具有与激光气体导入口115连接的激光气体导入路径141、与激光气体导入口135连接的激光气体导入路径142、以及激光气体导入装置143。激光气体导入装置143具有计时器144、控制部145、激光气体气瓶146、以及开闭阀147、148。在激光气体导入路径141中设置有开闭阀147(第一开闭阀)，并且激光气体导入路径141与激光气体气瓶146连接。在激光气体导入路径142中设置有开闭阀148(第二开闭阀)，并且激光气体导入路径142与激光气体气瓶146连接。控制部145与计时器144、开闭阀147、148、电源118、以及排气泵137连接，分别对这些构件进行控制。
如以上那样，本实施方式的气体激光振荡装置除了具有向激光振荡部110导入激光气体的激光气体导入口115之外，还具有向激光气体循环路径131导入激光气体的激光气体导入口135。由此，在长期停止的气体激光振荡装置的运转再次开始时，向激光振荡部110导入的激光气体的量与通常运转时相同，且能够使激光振荡部110的内部的激光气体的流量比通常运转时多。由此，本实施方式的气体激光振荡装置100在运转再次开始时，也能够迅速地输出稳定的激光束。
接着，对本实施方式的气体激光振荡方法进行说明。
在通常运转中的气体激光振荡装置100中，激光振荡部110、激光气体循环机构130、以及激光气体导入机构140分别如以下那样进行驱动。
在激光振荡部110中，通过电源118向第一电极116和第二电极117施加高电压，从而激励放电部112的激光气体并发生激光振荡。在放电部112中振荡的激光在全反射镜119与部分反射镜120之间发生谐振，当超过规定的能量时，从部分反射镜120向激光振荡部110的外部作为激光121而输出。
在激光气体导入机构140中，开闭阀147打开，开闭阀148关闭。由此，仅从激光气体导入口115向激光振荡部110供给新的激光气体。
在激光气体循环机构130中，激光气体取出口136打开，从激光气体循环路径131向外部取出与从激光气体导入口115导入的激光气体同量的劣化了的激光气体。由此，能够将激光振荡部110的内部的压力保持为固定，并且能够将劣化了的激光气体替换为新的激光气体。另外，通过使热交换器132、133和鼓风机134运转，从而向激光振荡部110以固定速度供给冷却后的激光气体。
如上所述，在通常运转时，通过对激光气体进行冷却及替换，从而能够在激光振荡部110中进行稳定的激光振荡，能够从气体激光振荡装置100稳定地输出激光121。
接着，使用图2，对长期停止后再次运转气体激光振荡装置100的气体激光振荡方法进行说明。
当气体激光振荡装置100长期停止时，在激光振荡部110的内部蓄积有包含水分子在内的杂质，使放电变得不稳定。因此，在气体激光振荡装置100的运转再次开始时，需要使激光振荡部110的内部的激光气体的流量比通常运转时多，直至除去杂质为止。在本实施方式中，运转再次开始时的激光振荡部110的内部的激光气体的流量为通常运转时的5倍以上，并且将该激光气体流量维持5分钟。
首先，如图2的步骤S1所示，开闭阀147打开，激光气体从激光气体导入口115向激光振荡部110导入。此时，激光气体循环机构130与通常运转时同样，也是热交换器132、133和鼓风机134、排气泵137开始运转，且激光气体取出口136打开。
接着，如图2的步骤S2所示，控制部145控制激光振荡部110的电源118而向第一电极116以及第二电极117之间施加高电压。将表示电源118是否使放电部112中产生了放电的放电开始信号发送至控制部145。从激光气体导入口115向激光振荡部110导入激光气体并且通过激光气体循环机构130进行激光气体的循环，直至开始放电为止。
如图2的步骤S3所示，当放电部112中开始放电时，控制部145将开闭阀148打开，并从激光气体导入口135向激光气体循环路径131导入激光气体。同时，提高排气泵137的转速，使来自激光气体取出口136的激光气体的排出量增加。由此，将比通常运转时更多的激光气体供给至放电部112、激光气体循环路径131，从而使放电部112的激光气体流量增加。具体而言，将从激光气体导入口115导入的激光气体的量的四倍的激光气体从激光气体导入口135导入。大致与此同时，使从激光气体取出口136排出的激光气体的量成为五倍。由此，能够将通常运转时的五倍的流量的激光气体供给至放电部112、激光气体循环路径131。此时，放电部112等的激光气体的压力几乎不上升。
如图2的步骤S4所示，当控制部145将开闭阀148打开时，对计时器144进行重置。如图2的步骤S5所示，计时器144从被重置的时刻起，重新开始计时，并且向控制部145发送计时时间。如图2的步骤S6所示，若计时器144的计时时间小于5分钟，则控制部145维持开闭阀148打开的状态。
如图2的步骤S7所示，当计时器144的计时时间到5分钟时，控制部145将开闭阀148关闭，气体激光振荡装置100进行通常运转。关于通常运转时的控制如上所述。
如以上那样，在本实施方式的气体激光振荡方法中，在长期停止的气体激光振荡装置的运转再次开始时，向激光振荡部110导入的激光气体的量与通常运转时相同，且使激光振荡部110的内部的激光气体的流量提高至通常运转时的约五倍。由此，在本实施方式的气体激光振荡方法中，在运转再次开始时也能够迅速地输出稳定的激光束。
接着，对本实施方式的气体激光加工机进行说明。
如图3所示，本实施方式的气体激光加工机300具有气体激光振荡装置100、反射镜301、加工炬(torch)302、加工炬302内的聚光透镜303、工作台304、X轴马达305、以及Y轴马达306。另外，气体激光加工机300对搭载于工作台304的加工工件307进行焊接、切断等加工。
对气体激光加工机300所进行的加工进行说明。从气体激光振荡装置100输出的激光束被反射镜301以朝向加工炬302内的聚光透镜303的方式反射。聚光透镜303对入射的激光束进行汇聚并将汇聚后的激光向加工工件307照射。另外，加工炬302以与加工工件307的加工形状一致的方式在X轴马达305以及Y轴马达306的作用下移动。需要说明的是，也可以使工作台304以与加工工件307的加工形状一致的方式移动。
(实施方式2)
接着，对实施方式2的气体激光振荡装置进行说明。
图4是本实施方式的轴流型的气体激光振荡装置400的结构图，图5是本实施方式的轴流型的另一气体激光振荡装置500的结构图。针对与实施方式1的气体激光振荡装置100相同的结构以相同的附图标记示出，并省略说明。
气体激光振荡装置400与气体激光振荡装置100在以下方面不同。
如图4所示，气体激光振荡装置400的激光振荡部410与气体激光振荡装置100的激光振荡部110相比还具有放电管411(第二放电管)、放电部412(第二放电部)、激光气体供给口413(第二激光气体供给口)、激光气体导入口415(第三激光气体导入口)、电极416(第三电极)、电极417(第四电极)、以及电源418(第二电源)。控制部145对两个电源118、418进行控制。激光气体排出口114位于两个放电管111、411之间，各结构左右对称。
此外，激光气体循环机构430构成为在热交换器133的下游处，激光气体循环路径431被分为两支且与两个激光气体供给口113、413连接。另外，激光气体导入机构440构成为在开闭阀147的下游处，激光气体导入路径441被分为两支且与两个激光气体导入口115、415连接。
气体激光振荡装置400在左右设置放电部112、412，并且具有两个激光气体供给口113、413和两个激光气体导入口115、415。由此，能够减少每一个激光气体供给口、激光气体导入口中的激光气体量，能够抑制激光气体的紊流。
气体激光振荡装置500与气体激光振荡装置400在以下方面不同。
如图5所示，气体激光振荡装置500的激光气体导入机构540的激光气体导入路径542被分为两支。被分为了两支的激光气体导入路径542通过被分为了两支的激光气体循环路径431的激光气体导入口135和激光气体导入口535(第四激光气体导入口)进行连接。由此，不会对来自热交换器133的激光气体的流动造成影响而能够左右均等地导入新的激光气体。
另外，在图3所示的气体激光加工机中，可以取代气体激光振荡装置100而使用气体激光振荡装置400、气体激光振荡装置500。
另外，在实施方式1及实施方式2中，激光气体导入口115、415也可以形成为沿着激光振荡部110的侧面的狭缝形状。由此，激光气体从激光振荡部110的侧面整体导入，能够抑制从激光气体导入口115、415导入的激光气体的紊流。
工业上的可利用性
本发明的气体激光振荡装置、气体激光振荡方法以及气体激光加工机在气体激光振荡装置的运转再次开始时，也能够迅速地输出稳定的激光束，在切断、焊接的加工中是有用的。
附图标号说明
100、400、500、900气体激光振荡装置
110、410激光振荡部
111、411、901放电管
112、412放电部
113、413激光气体供给口
114、414激光气体排出口
115、135、415、535激光气体导入口
116、117、416、417、902、903电极
118、418、904电源
119、906全反射镜
120、907部分反射镜
121激光
130、430激光气体循环机构
131、431激光气体循环路径
132、133、910、911热交换器
134、912鼓风机
136激光气体取出口
137排气泵
140、440、540激光气体导入机构
141、142、441、542激光气体导入路径
143激光气体导入装置
144计时器
145控制部
146激光气体气瓶
147、148开闭阀
300气体激光加工机
301反射镜
302加工炬
303聚光透镜
304工作台
305X轴马达
306Y轴马达
307加工工件
905放电空间
908激光束
909激光气体流路
913箭头
914a全反射镜保持部
914b部分反射镜保持部
915无极放电管
916铜环
917激光气体导入部
918连接管
919激光气体供给装置

Claims (9)

1.一种气体激光振荡装置，其特征在于，具备：
激光振荡部，其具有设置于第一端部的全反射镜以及部分反射镜中的一方、设置于与所述第一端部相反侧的第二端部的全反射镜以及部分反射镜中的另一方、以及对激光气体进行激励的第一放电管；
第一激光气体供给口，其设置在所述第一端部与所述第一放电管之间，并向所述激光振荡部供给激光气体；
激光气体排出口，其设置在所述第二端部与所述第一放电管之间，并从所述激光振荡部将激光气体排出；
第一激光气体导入口，其设置在所述第一端部与所述第一放电管之间，并向所述激光振荡部导入激光气体；
激光气体循环路径，其将所述第一激光气体供给口与所述激光气体排出口连接；
第二激光气体导入口，其设置于所述激光气体循环路径，并向所述激光气体循环路径导入激光气体；以及
激光气体导入机构，其与所述第一激光气体导入口以及所述第二激光气体导入口连接。
2.根据权利要求1所述的气体激光振荡装置，其中，
所述气体激光振荡装置还具备鼓风机，所述鼓风机设置于所述激光气体循环路径，并使激光气体从所述激光气体排出口朝向所述第一激光气体供给口进行循环，
所述第二激光气体导入口设置在所述鼓风机与所述第一激光气体供给口之间。
3.根据权利要求2所述的气体激光振荡装置，其中，
所述气体激光振荡装置还具备激光气体取出口，所述激光气体取出口设置于所述激光气体循环路径，并从所述激光气体循环路径将激光气体取出，
所述激光气体取出口设置在所述鼓风机与所述激光气体排出口之间。
4.根据权利要求2或3所述的气体激光振荡装置，其中，
所述气体激光振荡装置还具备：
第一热交换器，其设置在所述激光气体循环路径中的、所述激光气体排出口与所述鼓风机之间；以及
第二热交换器，其设置在所述激光气体循环路径中的、所述第一激光气体供给口与所述鼓风机之间。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的气体激光振荡装置，其中，
所述第一激光气体导入口设置在所述第一激光气体供给口与所述第一端部之间。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的气体激光振荡装置，其中，
所述气体激光振荡装置还具备：
第二放电管，其设置在所述激光气体排出口与所述第二端部之间，并对激光气体进行激励；
第二激光气体供给口，其设置在所述第二端部与所述第二放电管之间，并向所述激光振荡部供给激光气体；以及
第三激光气体导入口，其设置在所述第二端部与所述第二放电管之间，并向所述激光振荡部导入激光气体，
所述激光气体循环路径与所述第二激光气体供给口连接。
7.根据权利要求6所述的气体激光振荡装置，其中，
所述气体激光振荡装置还具备第四激光气体导入口，所述第四激光气体导入口设置于所述激光气体循环路径，并向所述激光气体循环路径导入激光气体，
所述第四激光气体导入口设置在所述激光气体排出口与所述第二激光气体导入口之间。
8.一种气体激光振荡方法，其特征在于，包括：
第一激光气体导入工序，在该第一激光气体导入工序中，向激光振荡部导入激光气体；
循环工序，在该循环工序中，通过与所述激光振荡部连接的激光气体循环路径而使激光气体振荡部的激光气体进行循环；
激光振荡工序，在该激光振荡工序中，向所述激光气体振荡部施加电压，从而对激光气体进行激励；以及
第二激光气体导入工序，在该第二激光气体导入工序中，向所述激光气体循环路径导入激光气体，
在所述激光振荡工序中，当检测到激光振荡时，开始所述第二激光气体导入工序，当经过规定时间时，结束所述第二激光气体导入工序。
9.一种气体激光加工机，其具备：
权利要求1～7所述的气体激光振荡装置；
反射镜，其对从所述气体激光振荡装置输出的激光进行反射；
加工炬，其具有对由所述反射镜反射后的激光进行汇聚的聚光透镜；以及
工作台，其保持加工工件，所述加工工件被照射由所述聚光透镜汇聚后的激光。
CN201480037321.7A 2014-01-15 2014-08-18 气体激光振荡装置、气体激光振荡方法以及气体激光加工机 Pending CN105359355A (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014-004743 2014-01-15
JP2014004743 2014-01-15
PCT/JP2014/004202 WO2015107570A1 (ja) 2014-01-15 2014-08-18 ガスレーザ発振装置、ガスレーザ発振方法およびガスレーザ加工機

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN105359355A true CN105359355A (zh) 2016-02-24

Family

ID=53542499

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201480037321.7A Pending CN105359355A (zh) 2014-01-15 2014-08-18 气体激光振荡装置、气体激光振荡方法以及气体激光加工机

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20160111846A1 (zh)
EP (1) EP3021431A4 (zh)
JP (1) JPWO2015107570A1 (zh)
CN (1) CN105359355A (zh)
WO (1) WO2015107570A1 (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110253112A (zh) * 2019-07-12 2019-09-20 中船桂江造船有限公司 一种917钢板+1Cr18Ni9Ti异种钢焊接方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62214686A (ja) * 1986-03-17 1987-09-21 Amada Co Ltd 気体レ−ザ発振器におけるレ−ザガス注入方法
EP0314810A1 (en) * 1987-05-18 1989-05-10 Fanuc Ltd. Laser oscillator and method of providing laser gas to said laser oscillator
JP2003110171A (ja) * 2001-09-28 2003-04-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd ガスレーザ発振装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4849984A (en) * 1986-02-03 1989-07-18 Hill Alan E Large volume gaseous electric discharge system
JPH03200387A (ja) * 1989-12-27 1991-09-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd エキシマレーザ装置
JP2716833B2 (ja) * 1990-01-31 1998-02-18 三菱重工業株式会社 ガスレーザ管
JP3044060B2 (ja) * 1990-11-07 2000-05-22 株式会社アマダ 気体レーザ発振器に於けるレーザガス供給制御装置
JPH0521868A (ja) * 1991-07-17 1993-01-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd エキシマレーザ発振装置
US5450436A (en) * 1992-11-20 1995-09-12 Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho Laser gas replenishing apparatus and method in excimer laser system
US6965624B2 (en) * 1999-03-17 2005-11-15 Lambda Physik Ag Laser gas replenishment method

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62214686A (ja) * 1986-03-17 1987-09-21 Amada Co Ltd 気体レ−ザ発振器におけるレ−ザガス注入方法
EP0314810A1 (en) * 1987-05-18 1989-05-10 Fanuc Ltd. Laser oscillator and method of providing laser gas to said laser oscillator
JP2003110171A (ja) * 2001-09-28 2003-04-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd ガスレーザ発振装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110253112A (zh) * 2019-07-12 2019-09-20 中船桂江造船有限公司 一种917钢板+1Cr18Ni9Ti异种钢焊接方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP3021431A1 (en) 2016-05-18
JPWO2015107570A1 (ja) 2017-03-23
WO2015107570A1 (ja) 2015-07-23
EP3021431A4 (en) 2016-08-24
US20160111846A1 (en) 2016-04-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2014030719A1 (ja) 拡管治具、伝熱管の拡管方法、補修方法、閉塞方法及び電磁コイル
CN104602859A (zh) 激光加工装置
CN105359355A (zh) 气体激光振荡装置、气体激光振荡方法以及气体激光加工机
JP6282238B2 (ja) 過熱蒸気再利用装置及びその使用方法
KR20210016411A (ko) 접근하기 어려운 공작물의 레이저 가공장치
EP2388870B1 (en) Laser oscillator and laser material processing machine
US20160254635A1 (en) Temperature controllable gas laser oscillator
CN108901115A (zh) 一种等离子体发生器
JP5603691B2 (ja) レーザ加工ヘッド
EP3021432B1 (en) Gas laser oscillation device
JP2008004584A (ja) レーザ発振器
JP5037540B2 (ja) ガスレーザ発振器
CN202317443U (zh) 一种切割激光头
KR102214005B1 (ko) 터보머신 구성요소를 보수하기 위한 방법
RU114107U1 (ru) Лазерный ракетный двигатель
CN219703803U (zh) 一种摇摆振镜头
CN103430403A (zh) 气体激光振荡装置及激光气体置换方法
JP6444053B2 (ja) レーザ受光装置及びレーザ加工ユニット
JP2011119458A (ja) ガスレーザ発振装置
CN107200464A (zh) 裂纹熔合装置及其方法
RU2677489C1 (ru) Полупроводниковый многоканальный лазерный излучатель
JP2010212559A (ja) ガスレーザ発振装置
JP2014110321A (ja) ガスレーザ発振装置
JP2013026302A (ja) ガスレーザ発振装置およびレーザ加工機
KR20220117138A (ko) 가스레이저발진기

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20160224

WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication