CN105353497B - 一种双摆镜装调方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种双摆镜装调方法，属于光学装调技术领域。该方法包括：分别标出扫描部件中两个摆镜的几何中心，并使其始终停在零位；将一平晶固定在扫描部件的前基准面上，开启调校激光，使调校激光经平晶沿原光路返回，建立光学基准，去掉平晶，保持调校激光和扫描部件的壳体在后续调试过程中不发生位移；再将一平晶固定在扫描部件的后基准面上，调校两个摆镜，使调校激光依次穿过两个摆镜的几何中心，并经平晶沿原光路返回，建立调试基准；双摆镜上电摆动，每隔0.5°～1.5°下电，微调两个摆镜，使调校激光依次穿过两个摆镜的几何中心，并经平晶沿原光路返回，在双摆镜全行程内调校结果满足上述技术要求，即可。

Description

一种双摆镜装调方法

技术领域

本发明涉及一种双摆镜装调方法，属于光学装调技术领域。

背景技术

在光机扫描成像系统中，双摆镜扫描是常用的一种扫描方式，与固定反射镜部件相比，双摆镜扫描有利于提高系统的信噪比和辐射灵敏度，获得较好的图像质量。目前有关双摆镜装调的技术资料较少，而实际工作中尚存在以下技术问题亟待解决，即如何调试反射镜镜面与电机旋转轴平行度的精度，以及双摆镜全行程内两个摆镜镜面平行度的精度，因此亟需一种操作简便、实用性强、调试精度高的双摆镜装调方法。

发明内容

本发明的目的是提供一种双摆镜装调方法，该方法操作简便，实用性强且调试精度高。

为了实现以上目的，本发明所采用的技术方案是：

一种双摆镜装调方法，包括以下步骤：

1)分别标出扫描部件中两个摆镜的几何中心，并保持两个摆镜在后续调试过程中始终停在零位；

2)将一平晶固定在扫描部件的前基准面上，开启调校激光，使调校激光经平晶沿原光路返回，建立光学基准，去掉该平晶，并保持调校激光和扫描部件的壳体在后续调试过程中不发生位移；

3)再将一平晶固定在扫描部件的后基准面上，调校两个摆镜，使调校激光依次穿过两个摆镜的几何中心，并经平晶沿原光路返回，建立调试基准；

4)双摆镜上电摆动，每隔0.5°～1.5°下电，微调两个摆镜，使调校激光依次穿过两个摆镜的几何中心，并经平晶沿原光路返回(自准)，在双摆镜全行程内调校结果满足上述技术要求，即可。

步骤1)中先分别找出两个摆镜的几何中心(如采用万能工具显微镜)，再分别做标记。此外，在结构设计时一般采用电零位和机械零位两种形式，前者通过自身测角设备显示的零值体现，后者通过刻线对齐方式体现，在此前提下紧固摆镜的金属镜架即可。

步骤2)中建立光学基准是保证调校激光垂直入射扫描部件的前基准面；步骤3)中建立调试基准是保证两摆镜所在平面平行，且调校激光穿过两摆镜的几何中心并与控制两摆镜旋转角度的(电机)转动轴垂直。

步骤2)、3)中将平晶(反射平晶)贴在扫描部件的前基准面或后基准面上即可。

步骤4)中优选每隔1°下电。

本发明的有益效果：

本发明中双摆镜装调方法包括：分别标出扫描部件中两个摆镜的几何中心，并使其始终停在零位；将一平晶固定在扫描部件的前基准面上，开启调校激光，使调校激光经平晶沿原光路返回，建立光学基准，去掉平晶，保持调校激光和扫描部件的壳体在后续调试过程中不发生位移；再将一平晶固定在扫描部件的后基准面上，调校两个摆镜，使调校激光依次穿过两个摆镜的几何中心，并经平晶沿原光路返回，建立调试基准；双摆镜上电摆动，每隔0.5°～1.5°下电，微调两个摆镜，使调校激光依次穿过两个摆镜的几何中心，并经平晶沿原光路返回，在双摆镜全行程内调校结果满足上述技术要求，即可。该方法解决了反射镜镜面与电机旋转轴平行度的精度调试，以及双摆镜全行程内两个摆镜镜面平行度的精度调试问题，可广泛应用于光机双摆镜扫描成像系统的装调，具有广阔的应用前景。

附图说明

图1为双摆镜装调过程中各器件的安装结构示意图。

具体实施方式

下述实施例仅对本发明作进一步详细说明，但不构成对本发明的任何限制。

实施例1

双摆镜装调方法，包括以下步骤：

1)利用万能工具显微镜找出扫描部件中两个摆镜的几何中心，并用红点标记，保持两个摆镜在后续调试过程中始终停在零位；

2)将一平晶贴在扫描部件的前基准面上，开启红色调校激光，使红色调校激光经平晶沿原光路返回，建立光学基准(自准)，再去掉平晶，保持红色调校激光和扫描部件的壳体在后续调试过程中不发生位移；

3)再将一平晶贴在扫描部件的后基准面上，调校两个摆镜，使红色调校激光依次穿过两个摆镜的几何中心红点，并经平晶沿原光路返回，建立调试基准(自准)；

4)双摆镜上电摆动，每隔1°下电，微调两个摆镜，使红色调校激光依次穿过两个摆镜的几何中心红点，并经平晶沿原光路返回(自准)，在双摆镜全行程内调校结果满足上述技术要求，即可。

该方法通过在两摆镜中心标识红点并用红色调校激光和平晶完成双摆镜穿轴，解决了反射镜镜面与电机旋转轴平行度的精度调试，以及双摆镜全行程内两个摆镜镜面平行度的精度调试问题。

图1所示为双摆镜装调过程中各器件的安装结构示意图，1为红色调校激光发射器，2为建立光学基准的平晶在取下前的固定位置，3为安装有双摆镜的扫描部件，4为建立调试基准的平晶。图中带箭头的黑色实线代表调试过程中红色调校激光的光路，其中返回光路与原光路的黑线重合。

实施例2

双摆镜装调方法，包括以下步骤：

1)利用万能工具显微镜找出扫描部件中两个摆镜的几何中心，并用红点标记，保持两个摆镜在后续调试过程中始终停在零位；

2)将一平晶贴在扫描部件的前基准面上，开启红色调校激光，使红色调校激光经平晶沿原光路返回，建立光学基准(自准)，再去掉平晶，保持红色调校激光和扫描部件的壳体在后续调试过程中不发生位移；

3)再将一平晶贴在扫描部件的后基准面上，调校两个摆镜，使红色调校激光依次穿过两个摆镜的几何中心红点，并经平晶沿原光路返回，建立调试基准(自准)；

4)双摆镜上电摆动，每隔1.5°下电，微调两个摆镜，使红色调校激光依次穿过两个摆镜的几何中心红点，并经平晶沿原光路返回(自准)，在双摆镜全行程内调校结果满足上述技术要求，即可。

实施例3

双摆镜装调方法，包括以下步骤：

1)利用万能工具显微镜找出扫描部件中两个摆镜的几何中心，并用红点标记，保持两个摆镜在后续调试过程中始终停在零位；

2)将一平晶贴在扫描部件的前基准面上，开启红色调校激光，使红色调校激光经平晶沿原光路返回，建立光学基准(自准)，再去掉平晶，保持红色调校激光和扫描部件的壳体在后续调试过程中不发生位移；

3)再将一平晶贴在扫描部件的后基准面上，调校两个摆镜，使红色调校激光依次穿过两个摆镜的几何中心红点，并经平晶沿原光路返回，建立调试基准(自准)；

4)双摆镜上电摆动，每隔0.5°下电，微调两个摆镜，使红色调校激光依次穿过两个摆镜的几何中心红点，并经平晶沿原光路返回(自准)，在双摆镜全行程内调校结果满足上述技术要求，即可。

Claims (3)

1.一种双摆镜装调方法，其特征在于：包括以下步骤：

1)分别标出扫描部件中两个摆镜的几何中心，并保持两个摆镜在后续调试过程中始终停在零位；

2)将一平晶固定在扫描部件的前基准面上，开启调校激光，使调校激光经平晶沿原光路返回，建立光学基准，去掉该平晶，并保持调校激光和扫描部件的壳体在后续调试过程中不发生位移；

3)再将一平晶固定在扫描部件的后基准面上，调校两个摆镜，使调校激光依次穿过两个摆镜的几何中心，并经平晶沿原光路返回，建立调试基准；

4)双摆镜上电摆动，每隔0.5°～1.5°下电，微调两个摆镜，使调校激光依次穿过两个摆镜的几何中心，并经平晶沿原光路返回，在双摆镜全行程内调校结果满足所述调校激光能够依次穿过两个摆镜的几何中心，并经平晶沿原光路返回，即可。

2.根据权利要求1所述的双摆镜装调方法，其特征在于：步骤1)中先分别找出两个摆镜的几何中心，再分别做标记。

3.根据权利要求1所述的双摆镜装调方法，其特征在于：步骤4)中每隔1°下电。