CN105258688B - 具有温度应力补偿和振动解耦能力的硅微谐振加速度计 - Google Patents

具有温度应力补偿和振动解耦能力的硅微谐振加速度计 Download PDF

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Abstract

本发明具有温度应力补偿和振动解耦能力的硅微谐振加速度计，包括质量块，杠杆，杠杆支撑悬臂，谐振音叉，质量块支撑臂等主要组成部分。当加速计所处环境温度发生改变时，谐振梁的长度将随之改变。杠杆支撑悬臂的热变形大小与谐振梁热应变保持匹配，使谐振梁轴向的热应力的到充分的释放，谐振音叉的谐振频率不受热应力的影响。音叉振动时，轴向产生微弱的位移牵动质量块振动，并牵连另一侧音叉形成振动耦合。两个音叉的振动频率相同时，振动频率不随载荷的变化而变化，形成灵敏度死区。这个范围的大小与振动耦合程度直接相关。所以本发明将加速度计结构整体分为对称的两部分，中间两个质量块由质量块支撑梁分别支撑，将灵敏度死区缩小到最小水平。

Description

具有温度应力补偿和振动解耦能力的硅微谐振加速度计
技术领域
本发明涉及一种具有温度应力补偿和振动解耦能力的硅微谐振加速度计，属于频率输出加速度计结构设计领域，温度应力及振动解耦技术方向。
背景技术
频率输出加速度计的温度补偿技术是加速度计设计调试过程中的关键技术问题。双音叉差动输出结构是温度补偿的一种有效方式，被各种频率输出加速度计结构所采用(法国ONERA，美国kearfort，Holleywell等)。但这种方式是后续处理补偿方式，每个单音叉的谐振频率仍旧随着温度而发生变化,音叉所感受到的温度应力并没有消除，问题没有从根本上得以解决。
在一些文献中报道了关于频率输出加速度计频率交叉点附近的灵敏度死区的问题。原因是两个谐振音叉的灵敏度系数符号相反，结构设计尺寸相同，所以在量程范围内总存在一个加速度载荷点，两个谐振音叉的谐振频率相同。如果两个音叉的振动未完全解耦，由于振动能量的相互传递作用，音叉的谐振频率在这个区域内将不再只取决于加速度载荷的大小，灵敏度相应衰减，形成灵敏度死区。
发明内容
本发明解决的技术问题为：本发明克服现有技术不足，提出一种具有温度应力补偿和振动解耦能力的硅微谐振加速度计，解决音叉在高低温条件下的热应力释放的问题，以及两音叉振动耦合产生的灵敏度死区的问题。
本发明解决的技术方案为：具有温度应力补偿和振动解耦能力的硅微谐振加速度计，包括：左部A，和右部B两个左右对称的部分，左部A与右部B能够独立感受加速度的大小，左部A与右部B的结构相同，并关于两部分的联接中线对称；左部A，右部B这两部分分别有各自的质量块相互独立，即左部A，右部B这两部分的质量块互不联接，实现结构左右两部分的力学隔离；
左部A，包括：谐振音叉(101)，音叉锚点(102)，上杠杆(103)，下杠杆(104)，第一杠杆悬臂支撑(105)，第一杠杆挠性支点(106)，第一杠杆悬臂支撑锚点(107)，第二杠杆悬臂支撑(108)，第二杠杆挠性支点(109)，第二杠杆悬臂支撑锚点(110)，质量块(111)，第一质量块支撑梁(112)，第二质量块支撑梁(113)，第一质量块支撑锚点(114)，第二质量块支撑锚点(115)，第三质量块支撑锚点(16)，第四质量块支撑锚点(17)，结构衬底(11)；
谐振音叉(101)的一端通过音叉锚点(102)与结构衬底(11)连接，形成刚性支撑；谐振音叉(101)的另一端与上杠杆(103)、下杠杆(104)连接，感受经过上杠杆(103)和下杠杆(104)放大的质量块(111)产生的惯性力，上杠杆(103)、下杠杆(104)关于谐振音叉(101)的轴线上下对称，上杠杆(103)和下杠杆(104)组成的杠杆的靠中间端与谐振音叉(101)的另一端挠性联接，上杠杆(103)和下杠杆(104)组成的杠杆的两个远端与质量块(111)挠性连接，上杠杆(103)的杆臂偏谐振音叉(101)一端为第一杠杆挠性支点(106)，上杠杆(103)与第一杠杆悬臂支撑(105)的一端通过第一杠杆挠性支点(106)连接在一起，第一杠杆悬臂支撑(105)与谐振音叉(101)平行分布，第一杠杆悬臂支撑(105)的另一端通过第一杠杆悬臂支撑锚点(107)固定于结构衬底(11)；上杠杆(103)与谐振音叉(101)呈90°角；
下杠杆(104)杆臂上偏音叉一端为第二杠杆挠性支点(109)，下杠杆(104)与第二杠杆悬臂支撑(108)的一端通过第二杠杆挠性支点(109)连接在一起，第二杠杆挠性支点(109)到下杠杆(104)与质量块(111)联接端的距离和第二杠杆挠性支点(109)到下杠杆(104)与谐振音叉(101)的联接端的距离的比值为杠杆比，第二杠杆悬臂支撑(108)与谐振音叉(101)平行分布，第二杠杆悬臂支撑(108)的另一端通过第二杠杆悬臂支撑锚点(110)固定于结构衬底(11)；
质量块(111)环绕谐振音叉(101)、音叉锚点(102)、上杠杆(103)、下杠杆(104)、第一杠杆悬臂支撑(105)、第一杠杆挠性支点(106)、第一杠杆悬臂支撑锚点(107)、第二杠杆悬臂支撑(108)、第二杠杆挠性支点(109)、第二杠杆悬臂支撑锚点(110)；
质量块(111)的左右两侧分别连接第一质量块支撑梁(112)，第二质量块支撑梁(113)，质量块(111)依靠第一质量块支撑梁(112)，第二质量块支撑梁(113)的作用悬空于结构衬底(11)之上，第一质量块支撑梁(112)通过第一质量块支撑锚点(114)、第二质量块支撑锚点(115)与结构衬底(11)固联；第二质量块支撑梁(113)通过第三质量块支撑锚点(16)，第四质量块支撑锚点(17)与结构衬底(11)固联。
第一杠杆悬臂支撑锚点(107)和音叉锚点(102)均为矩形块，第一杠杆悬臂支撑锚点(107)靠近上杠杆(103)的一侧边缘与音叉锚点(102)远离第一杠杆悬臂支撑锚点(107)一侧边缘平齐；
第二杠杆悬臂支撑锚点(110)和音叉锚点(102)均为矩形块，第二杠杆悬臂支撑锚点(110)靠近下杠杆(104)的一侧边缘与音叉锚点(102)远离第二杠杆悬臂支撑锚点(110)一侧边缘平齐，。
所述结构衬底(11)采用硅材料。
所述质量块(111)与谐振音叉(101)、音叉锚点(102)、上杠杆(103)、下杠杆(104)、第一杠杆悬臂支撑(105)、第一杠杆挠性支点(106)、第一杠杆悬臂支撑锚点(107)、第二杠杆悬臂支撑(108)、第二杠杆挠性支点(109)、第二杠杆悬臂支撑锚点(110)在同一平面内。
所述第一质量块支撑锚点(114)、第二质量块支撑锚点(115)与质量块(111)的外沿平齐，使第一质量块支撑梁(112)的两端和质量块(111)的外沿平齐；
所述第三质量块支撑锚点(16)、第四质量块支撑锚点(17)与质量块(111)的外沿平齐，使第二质量块支撑梁(113)的两端和质量块(111)的外沿平齐。
本发明与现有技术相比的优点在于：
(1)本发明通过左部A和右部B的对称设计实现对加速度的差动测量，能够抑制绝大部分的共模干扰；
(2)本发明通过左部A和右部B质量块独立支撑的方式隔离了左右两个谐振音叉(101)(201)的振动耦合，将两个谐振音叉输出交叉点附近的灵敏度死区降低到最低；
(3)本发明通过第一、第二杠杆悬臂支撑锚点(107)(110)靠近上、下杠杆(103)(104)的一侧边缘与音叉锚点(102)远离第一杠杆悬臂支撑锚点(107)一侧边缘平齐的方式实现了音叉轴向热应变的充分释放，实现温度应力补偿；
(4)本发明通过采用硅材料作为结构衬底(11)，使结构温度系数和衬底温度系数始终保持一致，进一步解决温度应变释放的问题，减小热应力对结构的影响；
(5)本发明设计的加速度计结构为平面结构，同MEMS结构加工工艺兼容，适合MEMS仪表低成本批量化的加工特点。
附图说明
图1为本发明的结构总体图；
图2为本发明左部A的具体结构图；
图3为本发明右部B的具体结构图；
图4为本发明中杠杆悬臂支撑的温度补偿原理图；
图5为本发明的立体图。
具体实施方式
本发明的基本思路为：具有温度应力补偿和振动解耦能力的硅微谐振加速度计，结构为相互独立且关于中线左右对称的A、B两个部分，两个部分实现差动测量。每个部分的质量块通过各自的质量块支撑梁悬空，感受加速度输入，产生加速度惯性力。加速度惯性力通过杠杆的力放大作用放大，并施加到音叉轴向，转化为音叉轴向力，改变音叉的工作振动模态的等效刚度，音叉的振动频率随之改变，通过检测音叉的谐振频率的变化可以解调出加速度载荷的大小。两个差动部分的灵敏度系数符号相反，频率变化的差作为加速度计的输出。
本发明具有温度应力补偿和振动解耦能力的硅微谐振加速度计，包括质量块，杠杆，杠杆支撑悬臂，谐振音叉，质量块支撑臂等主要组成部分。当加速计所处环境温度发生改变时，谐振梁的长度将随之改变。杠杆支撑悬臂的热变形大小与谐振梁热应变保持匹配，使谐振梁轴向的热应力的到充分的释放，谐振音叉的谐振频率不受热应力的影响。音叉振动时，轴向产生微弱的位移牵动质量块振动，并牵连另一侧音叉形成振动耦合。两个音叉的振动频率相同时，振动频率不随载荷的变化而变化，形成灵敏度死区。这个范围的大小与振动耦合程度直接相关。所以本发明将加速度计结构整体分为对称的两部分，中间两个质量块由质量块支撑梁分别支撑，将灵敏度死区缩小到最小水平。
音叉结构与杠杆支撑结构采用热应力匹配结构设计思路解决音叉轴向热应变释放的问题。当加速计所处环境温度发生改变时，谐振梁的长度将随温度改变。杠杆支撑悬臂的热应变大小与谐振梁热应变保持匹配，使谐振梁轴向的热应变得到充分的释放，谐振音叉的轴向应力不随温度变化而变化，降低加速度计频率输出的温度系数的目的。另外采用硅材料作为衬底材料，进一步使结构的各个部件的温度应变相互匹配，能够进一步改善仪表输出的温度系数。
硅微谐振加速度计结构采用质量块分体支撑结构解决音叉工作模态的振动耦合问题。质量块分体支撑结构是指结构分为对称的两部分，中间依靠质量块的支撑梁分别支撑两个质量块，实现两侧的谐振音叉的振动解耦，一侧音叉的振动牵连本侧的质量块振动，并不影响另一侧的质量块，从而将振动耦合隔离到最小水平，将灵敏度死区缩小到最小水平。音叉振动时，轴向产生微弱的位移，牵动质量块随其一起振动。质量块振动会牵连另一侧音叉，强迫其进入振动状态，形成振动耦合。联立两个音叉的振动方程，并且考虑到两个音叉的振动存在一定量级的振动耦合，可以得到如下的振动方程组：
其中y1为左部A的音叉的振动位移，ω1为左部A的音叉的谐振频率，y2为右部B的音叉的振动位移，ω2为右部B的音叉的谐振频率，α为两个音叉之间的振动耦合系数；方程组两端进行拉普拉斯变换
其中s为拉普拉斯算子，Y1为y1的拉普拉斯变换，Y2为y2的拉普拉斯变换；所以振动方程组的特征多项式
特征多项式的根既为谐振音叉的实际谐振频率。由于耦合系数α的存在，必然使得特征多项式的两个根相互远离，尤其是在ω1与ω2相互接近时，这种影响尤为明显。两个音叉的灵敏度系数符号相反，所以在量程范围内存在一个点，两个音叉的振动频率相同。在这个点附近范围两个音叉的振动频率不随载荷的变化而变化。这个范围的大小与振动耦合程度直接相关。所以结构设计的改进方向是尽量缩小耦合系数α的大小。
下面结合附图和具体实施例对本发明做进一步详细描述。
具有温度应力补偿和振动解耦能力的硅微谐振加速度计如图1所示，包括：左部A，和右部B两个左右对称的部分，左部A与右部B能够独立感受加速度的大小，左部A与右部B的结构相同，并关于两部分的联接中线对称；两个差动部分的灵敏度系数符号相反，频率变化的差作为加速度计的输出。
左部A如图2所示，包括：谐振音叉101，音叉锚点102，上杠杆103，下杠杆104，第一杠杆悬臂支撑105，第一杠杆挠性支点106，第一杠杆悬臂支撑锚点107，第二杠杆悬臂支撑108，第二杠杆挠性支点109，第二杠杆悬臂支撑锚点110，质量块111，第一质量块支撑梁112，第二质量块支撑梁113，第一质量块支撑锚点114，第二质量块支撑锚点(115)，第三质量块支撑锚点(16)，第四质量块支撑锚点17，结构衬底11；谐振音叉101的一端通过音叉锚点102与结构衬底11连接，形成刚性支撑；另一端与上杠杆103、下杠杆104连接，感受经过上杠杆103和下杠杆104放大的质量块111产生的惯性力，上杠杆103、下杠杆104关于谐振音叉101的轴线上下对称，上杠杆103和下杠杆104组成的杠杆的两个远端与质量块111挠性连接，作为杠杆放大机构的力输入端；上杠杆103和下杠杆104组成的杠杆的靠中间端与谐振音叉(101)的另一端挠性联接，将杠杆放大的惯性力施加于谐振音叉101上；上杠杆103的杆臂偏谐振音叉101一端为第一杠杆挠性支点106，上杠杆103与第一杠杆悬臂支撑105的一端通过第一杠杆挠性支点106连接在一起，第一杠杆悬臂支撑105与谐振音叉101平行分布，第一杠杆悬臂支撑105的另一端通过第一杠杆悬臂支撑锚点107固定于结构衬底11；上杠杆103与谐振音叉101呈90°角；下杠杆104杆臂上偏音叉一端为第二杠杆挠性支点109，下杠杆104与第二杠杆悬臂支撑108的一端通过第二杠杆挠性支点109连接在一起，第二杠杆挠性支点109到下杠杆104与质量块111联接端的距离和第二杠杆挠性支点109到下杠杆104与谐振音叉101的联接端的距离的比值为杠杆比，第二杠杆悬臂支撑108与谐振音叉101平行分布，第二杠杆悬臂支撑108的另一端通过第二杠杆悬臂支撑锚点110固定于结构衬底11；质量块111环绕谐振音叉101、音叉锚点102、上杠杆103、下杠杆104、第一杠杆悬臂支撑105、第一杠杆挠性支点106、第一杠杆悬臂支撑锚点107、第二杠杆悬臂支撑108、第二杠杆挠性支点109、第二杠杆悬臂支撑锚点110；质量块111的左右两侧分别连接第一质量块支撑梁112，第二质量块支撑梁113，质量块111依靠第一质量块支撑梁112，第二质量块支撑梁113的作用悬空于结构衬底11之上，第一质量块支撑梁112通过第一质量块支撑锚点114、第二质量块支撑锚点115与结构衬底11固联；第二质量块支撑梁113通过第三质量块支撑锚点16，第四质量块支撑锚点17与结构衬底11固联。
右部B如图3所示，包括：谐振音叉201，音叉锚点202，上杠杆203，下杠杆204，第一杠杆悬臂支撑205，第一杠杆挠性支点206，第一杠杆悬臂支撑锚点207，第二杠杆悬臂支撑208，第二杠杆挠性支点209，第二杠杆悬臂支撑锚点210，质量块211，第一质量块支撑梁212，第二质量块支撑梁213，第一质量块支撑锚点214，第二质量块支撑锚点(215)，第三质量块支撑锚点(16)，第四质量块支撑锚点17，结构衬底11；谐振音叉201的一端通过音叉锚点202与结构衬底11连接，形成刚性支撑；谐振音叉201的另一端与上杠杆203、下杠杆204连接，感受经过上杠杆203和下杠杆204放大的质量块211产生的惯性力，上杠杆203、下杠杆204关于谐振音叉201的轴线上下对称，上杠杆203和下杠杆204组成的杠杆的靠中间端与谐振音叉(201)的另一端挠性联接，上杠杆203和下杠杆204组成的杠杆的两个远端与质量块211挠性连接，上杠杆203的杆臂偏谐振音叉201一端为第一杠杆挠性支点206，上杠杆203与第一杠杆悬臂支撑205的一端通过第一杠杆挠性支点206连接在一起，第一杠杆悬臂支撑205与谐振音叉201平行分布，第一杠杆悬臂支撑205的另一端通过第一杠杆悬臂支撑锚点207固定于结构衬底11；上杠杆203与谐振音叉201呈90°角；下杠杆204杆臂上偏音叉一端为第二杠杆挠性支点209，下杠杆204与第二杠杆悬臂支撑208的一端通过第二杠杆挠性支点209连接在一起，第二杠杆挠性支点209到下杠杆204与质量块211联接端的距离和第二杠杆挠性支点209到下杠杆204与谐振音叉201的联接端的距离的比值为杠杆比，第二杠杆悬臂支撑208与谐振音叉201平行分布，第二杠杆悬臂支撑208的另一端通过第二杠杆悬臂支撑锚点210固定于结构衬底11；质量块211环绕谐振音叉201、音叉锚点202、上杠杆203、下杠杆204、第一杠杆悬臂支撑205、第一杠杆挠性支点206、第一杠杆悬臂支撑锚点207、第二杠杆悬臂支撑208、第二杠杆挠性支点209、第二杠杆悬臂支撑锚点210；质量块211的左右两侧分别连接第一质量块支撑梁212，第二质量块支撑梁213，质量块211依靠第一质量块支撑梁212，第二质量块支撑梁213的作用悬空于结构衬底11之上，第一质量块支撑梁212通过第一质量块支撑锚点214、第二质量块支撑锚点215与结构衬底11固联；第二质量块支撑梁213通过第三质量块支撑锚点16，第四质量块支撑锚点17与结构衬底11固联。
左部A，右部B这两部分分别有各自的质量块相互独立，即左部A，右部B这两部分的质量块中间部分隔开来，互不联接，实现结构左右两部分的力学隔离。通过这种隔离方式，将音叉振动耦合通道隔离，两个音叉的振动耦合系数α降低到最小水平，理论上此系数已降低至0。
如图4所示，是杠杆结构通过第一、第二杠杆悬臂支撑结构实现对音叉结构热应变匹配的原理图。第一杠杆悬臂支撑锚点107和音叉锚点102均为矩形块，第一杠杆悬臂支撑锚点107靠近上杠杆103的一侧边缘与音叉锚点102远离第一杠杆悬臂支撑锚点107一侧边缘平齐；第二杠杆悬臂支撑锚点110和音叉锚点102均为矩形块，第二杠杆悬臂支撑锚点110靠近下杠杆104的一侧边缘与音叉锚点102远离第二杠杆悬臂支撑锚点110一侧边缘平齐。通过这两种平齐的设计方式，当环境温度变化，音叉结构发生热胀冷缩的温度应变，两个杠杆悬臂支撑的热应变始终与音叉热应变保持一致，如图4中虚线所示。音叉轴向温度应变得到充分释放而不产生热应力，实现温度应力补偿的功能。
所述质量块111与谐振音叉101、音叉锚点102、上杠杆103、下杠杆104、第一杠杆悬臂支撑105、第一杠杆挠性支点106、第一杠杆悬臂支撑锚点107、第二杠杆悬臂支撑108、第二杠杆挠性支点109、第二杠杆悬臂支撑锚点110在同一平面内。通过这种方式，所设计结构同现有的MEMS平面加工工艺完全兼容，保证了设计方案的可实现性。
所述第一质量块支撑锚点114、第二质量块支撑锚点(115)与质量块111的外沿平齐，使第一质量块支撑梁112的两端和质量块111的外沿平齐；所述第三质量块支撑锚点(16)、第四质量块支撑锚点17与质量块111的外沿平齐，使第二质量块支撑梁113的两端和质量块111的外沿平齐，通过这种方案，结构整体外形为正方形，方便芯片划切裂片，保证结构与MEMS工艺兼容性，便于结构的大批量生产。
如图5所示，所述结构衬底11采用硅材料，实现材料温度系数匹配，进一步实现对仪表温度应力补偿的功能。
本发明未详细阐述部分属于本领域公知技术。

Claims (6)

1.具有温度应力补偿和振动解耦能力的硅微谐振加速度计，其特征在于：包括左部A，和右部B两个部分，左部A与右部B能够独立感受加速度的大小，左部A与右部B的结构相同，并关于两部分的联接中线对称；
左部A，包括：谐振音叉(101)，音叉锚点(102)，上杠杆(103)，下杠杆(104)，第一杠杆悬臂支撑(105)，第一杠杆挠性支点(106)，第一杠杆悬臂支撑锚点(107)，第二杠杆悬臂支撑(108)，第二杠杆挠性支点(109)，第二杠杆悬臂支撑锚点(110)，质量块(111)，第一质量块支撑梁(112)，第二质量块支撑梁(113)，第一质量块支撑锚点(114)，第二质量块支撑锚点(115)，第三质量块支撑锚点(16)，第四质量块支撑锚点(17)，结构衬底(11)；
谐振音叉(101)的一端通过音叉锚点(102)与结构衬底(11)连接，形成刚性支撑；谐振音叉(101)的另一端与上杠杆(103)、下杠杆(104)连接，感受经过上杠杆(103)和下杠杆(104)放大的质量块(111)产生的惯性力，上杠杆(103)、下杠杆(104)关于谐振音叉(101)的轴线上下对称，上杠杆(103)和下杠杆(104)组成的杠杆的靠中间端与谐振音叉(101)的另一端挠性联接，上杠杆(103)和下杠杆(104)组成的杠杆的两个远端与质量块(111)挠性连接，上杠杆(103)的杆臂偏谐振音叉(101)一端为第一杠杆挠性支点(106)，上杠杆(103)与第一杠杆悬臂支撑(105)的一端通过第一杠杆挠性支点(106)连接在一起，第一杠杆悬臂支撑(105)与谐振音叉(101)平行分布，第一杠杆悬臂支撑(105)的另一端通过第一杠杆悬臂支撑锚点(107)固定于结构衬底(11)；上杠杆(103)与谐振音叉(101)相互垂直；
下杠杆(104)杆臂上偏音叉一端为第二杠杆挠性支点(109)，下杠杆(104)与第二杠杆悬臂支撑(108)的一端通过第二杠杆挠性支点(109)连接在一起，第二杠杆挠性支点(109)到下杠杆(104)与质量块(111)联接端的距离和第二杠杆挠性支点(109)到下杠杆(104)与谐振音叉(101)的联接端的距离的比值为杠杆比，第二杠杆悬臂支撑(108)与谐振音叉(101)平行分布，第二杠杆悬臂支撑(108)的另一端通过第二杠杆悬臂支撑锚点(110)固定于结构衬底(11)；
质量块(111)环绕谐振音叉(101)、音叉锚点(102)、上杠杆(103)、下杠杆(104)、第一杠杆悬臂支撑(105)、第一杠杆挠性支点(106)、第一杠杆悬臂支撑锚点(107)、第二杠杆悬臂支撑(108)、第二杠杆挠性支点(109)、第二杠杆悬臂支撑锚点(110)；
质量块(111)的左右两侧分别连接第一质量块支撑梁(112)，第二质量块支撑梁(113)，质量块(111)依靠第一质量块支撑梁(112)，第二质量块支撑梁(113)的作用悬空于结构衬底(11)之上，第一质量块支撑梁(112)通过第一质量块支撑锚点(114)、第二质量块支撑锚点(115)与结构衬底固联；第二质量块支撑梁(113)通过第三质量块支撑锚点(16)，第四质量块支撑锚点(17)与结构衬底固联；
第一杠杆悬臂支撑锚点(107)和音叉锚点(102)均为矩形块，第一杠杆悬臂支撑锚点(107)靠近上杠杆(103)的一侧边缘与音叉锚点(102)靠近第一杠杆悬臂支撑锚点(107)一侧边缘平齐；
第二杠杆悬臂支撑锚点(110)和音叉锚点(102)均为矩形块，第二杠杆悬臂支撑锚点(110)靠近下杠杆(104)的一侧边缘与音叉锚点(102)靠近第二杠杆悬臂支撑锚点(110)一侧边缘平齐。
2.根据权利要求1所述具有温度应力补偿和振动解耦能力的硅微谐振加速度计，其特征在于：左部A，右部B这两部分分别有各自的质量块相互独立，即左部A，右部B这两部分的质量块中间部分隔开来，互不联接，实现结构左右两部分的力学隔离。
3.根据权利要求1所述具有温度应力补偿和振动解耦能力的硅微谐振加速度计，其特征在于：所述结构衬底(11)采用硅材料。
4.根据权利要求1所述具有温度应力补偿和振动解耦能力的硅微谐振加速度计，其特征在于：所述质量块(111)与谐振音叉(101)、音叉锚点(102)、上杠杆(103)、下杠杆(104)、第一杠杆悬臂支撑(105)、第一杠杆挠性支点(106)、第一杠杆悬臂支撑锚点(107)、第二杠杆悬臂支撑(108)、第二杠杆挠性支点(109)、第二杠杆悬臂支撑锚点(110)在同一平面内。
5.根据权利要求1所述具有温度应力补偿和振动解耦能力的硅微谐振加速度计，其特征在于：所述第一质量块支撑锚点(114)、第二质量块支撑锚点(115)与质量块(111)的外沿平齐，使第一质量块支撑梁(112)的两端和质量块(111)的外沿平齐。
6.根据权利要求1所述具有温度应力补偿和振动解耦能力的硅微谐振加速度计，其特征在于：所述第三质量块支撑锚点(16)、第四质量块支撑锚点(17)与质量块(111)的外沿平齐，使第二质量块支撑梁(113)的两端和质量块(111)的外沿平齐。
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