CN105235086A - 一种硅片切割机用喷水器 - Google Patents

一种硅片切割机用喷水器 Download PDF

Info

Publication number
CN105235086A
CN105235086A CN201510640392.2A CN201510640392A CN105235086A CN 105235086 A CN105235086 A CN 105235086A CN 201510640392 A CN201510640392 A CN 201510640392A CN 105235086 A CN105235086 A CN 105235086A
Authority
CN
China
Prior art keywords
sparge pipe
water
cover body
water spraying
gripper shoe
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201510640392.2A
Other languages
English (en)
Other versions
CN105235086B (zh
Inventor
陈小力
江辉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Zhejiang Hui Guang light Limited by Share Ltd
Original Assignee
ZHEJIANG HUIHONG PHOTOELECTRIC ENERGY Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ZHEJIANG HUIHONG PHOTOELECTRIC ENERGY Co Ltd filed Critical ZHEJIANG HUIHONG PHOTOELECTRIC ENERGY Co Ltd
Priority to CN201510640392.2A priority Critical patent/CN105235086B/zh
Publication of CN105235086A publication Critical patent/CN105235086A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN105235086B publication Critical patent/CN105235086B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)

Abstract

本发明涉及一种硅片切割机用喷水器，解决了现有技术中硅片切割机用喷水装置中的喷水管与导流架装配不方便的不足。本发明提供的一种硅片切割机用喷水器，喷水管固定在支撑板上，喷水管内设有过滤体，喷水管上还设置有过滤罩，由导流架进入切削现场的水都会经过两次过滤，优化了水的水质；另外，支撑板上设置有罩体，罩体配合导流架包围喷水管，喷水管在喷水过程中导流架、罩体均起到导向作用，以将喷水槽内喷出的水流引至切削现场，由于罩体的存在，喷水槽的喷水方向既可以朝向导流架，也可以朝向罩体，因此，喷水管与支撑板装配时不需要考虑喷水槽的喷水方向，喷水管与支撑板装配操作方便。

Description

一种硅片切割机用喷水器
技术领域
本发明涉及硅片切割机配件，尤其涉及一种硅片切割机用喷水器。
背景技术
硅片的生产之前采用的是钢线载砂浆切割，而如今直接用一种特制的金钢线带水切割，此技术不仅大大缩短了生产加工时间，并且使产品的整体质量上了一个台阶，生产成本同时大幅度下降。而金刚线切割技术对于水质的要求也很高，不仅要求用纯水和添加剂，而且要求水中无任何的固体小颗粒。如果水中固体杂物多，在切割时线网容易将杂物带到主辊上，从而引起跳线导致断线概率高，并且固体杂物粘附在硅棒的线缝里使水不能到达切割区域，容易产生断线和大量不良片。
现有技术中用于硅片切割机的喷水装置包括引流架，引流架上固定有具有通孔的喷水管，使用过程中液体进入喷水管以后由通孔排出，然后由引流架将液体引至切割现场；为了避免通孔堵塞，现有技术中将通孔的形状设置为长条形，提高了喷水管喷水时的稳定性；但是现有技术中的喷水管无过滤作用，并且，现有技术中喷水管的喷水方向不能随意变动，因此，喷水管与引流架装配时需考虑通孔的喷水方向，装配不方便。
发明内容
本发明提供的一种硅片切割机用喷水器，旨在克服现有技术中硅片切割机用喷水装置中的喷水管没有过滤性能，并且喷水管与引流架装配操作不方便的不足。
为了解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：一种硅片切割机用喷水器，包括横截面呈L形的导流架，所述导流架上固定有喷水管，所述导流架两端分别设有固定喷水管的支撑板，所述导流架上还设有罩体，所述罩体与导流架之间开设有使水流可以通过的排水口，所述支撑板上端设有支撑罩体的支撑块，所述支撑块与支撑板为一体式结构，所述罩体通过合页固定在导流架上；所述喷水管一端设有进水接口，所述喷水管的另一端通过塞子封闭，所述喷水管上开设有若干条喷水槽，所述喷水槽为条形槽，所述喷水槽的长度方向与喷水管的轴线平行，所述喷水管内填充有过滤体，所述喷水管外还罩设有过滤罩，所述喷水管两端分别套设有固定过滤罩的挡块，所述挡块通过螺纹连接固定在喷水管上，所述挡块上设有支撑过滤罩的凸台，所述过滤罩插接在凸台上。
上述构成中，通过设置罩体，罩体设置在导流架上以后，罩体与导流架配合将喷水管包围在罩体与导流架组成的腔体内，此时，罩体也起到对水流进行导向的作用，因此，通过设置导流架和罩体，开设于喷水管上的喷水槽可以均布在喷水管的圆周上，喷水槽的喷水方向沿喷水管的径向喷出，而并不需要喷水槽的喷水方向一定要朝向导流架，从而使得喷水管与导流架装配时操作方便；另外，通过设置过滤体和过滤罩，喷水管内的水会经过两次过滤后引至切削现场，喷水管具有过滤作用，大大提高了硅片切割机工作时的稳定性能。
一种可选的方案，所述挡块与凸台为一体式结构，所述喷水管上设置有外螺纹，所述凸台和挡块上均设有与喷水管上外螺纹配合的内螺纹，位于凸台上的内螺纹与位于挡块上的内螺纹同轴。凸台与挡块为一体式结构，并且凸台、挡块上均设有内螺纹，挡块、凸台更容易固定在喷水管上，过滤罩固定可靠，简化了喷水管的结构。
一种选的方案，所述塞子上设有外螺纹，所述喷水管内设有与塞子上外螺纹相配合的内螺纹，所述塞子上还开设有便于旋出塞子的装配槽；所述进水接口通过螺纹连接固定在喷水管上。塞子通过螺纹连接固定在喷水管上、进水接口通过螺纹连接固定在喷水管上，塞子和进水接口可以方便地从喷水管上拆除，从而可以方便地对填充在喷水管内的过滤体进行更换，操作方便。
一种可选的方案，所述支撑板上均开设有支撑喷水管的U形槽，所述喷水管上固定有限位部，所述限位部上开设有与支撑板配合的限位槽，所述限位部通过螺纹连接固定在喷水管上，所述限位部与喷水管同轴设置。喷水管上固定有限位部，喷水管放置在U形槽内以后，限位部与支撑板卡接在一起，喷水管与支撑板连接可靠。
所述支撑板上设有避免在打开罩体时罩体与支撑板产生干涉的倒角。简化了罩体和支撑板的结构，降低了罩体和支撑板的制造成本。
与现有技术相比，本发明提供的一种硅片切割机用喷水器，具有如下优点：喷水管固定在支撑板上，喷水管内设有过滤体，喷水管上还设置有过滤罩，由导流架进入切削现场的水都会经过两次过滤，优化了水的水质；
另外，支撑板上设置有罩体，罩体配合导流架包围喷水管，喷水管在喷水过程中导流架、罩体均起到导向作用，以将喷水槽内喷出的水流引至切削现场，由于罩体的存在，喷水槽的喷水方向既可以朝向导流架，也可以朝向罩体，因此，喷水管与支撑板装配时不需要考虑喷水槽的喷水方向，喷水管与支撑板装配操作方便。
附图说明
附图1是本发明一种硅片切割机用喷水器的主视图；
附图2是本发明一种硅片切割机用喷水器打开罩体后的示意图；
附图3是附图1中A-A处部视图；
附图4是附图1的右视图；
附图5是本发明一种硅片切割机用喷水器中限位部的示意图。
具体实施方式
下面结合附图，对本发明的一种硅片切割机用喷水器作进一步说明。如图1、图2、图3、图4、图5所示，一种硅片切割机用喷水器，包括横截面呈L形的导流架1，所述导流架1上固定有喷水管2，所述导流架1两端分别设有固定喷水管2的支撑板3，所述支撑板3与导流架1为一体式结构，所述导流架1上还设有罩体4，罩体4通过合页7固定在导流架1上，罩体4固定在导流架1上以后，参见图3，罩体4与导流架1形成一个腔体，所述喷水管2位于腔体内，罩体4与导流架1之间开设有使水流可以通过的排水口5，由喷水槽10喷出的水流经排水口5排出并被导流架1引至切削现场，由于导流架1与罩体4配合形成腔体，导流架1和罩体4均起到导流作用，喷水管2与支撑板3装配时，无需考虑喷水槽10的喷水方向，喷水管2与支撑板3装配方便，另外，由于罩体4的存在，喷水管2上可以设置多条喷水槽10，所有喷水槽10可以均布在喷水管2的圆周上；为了节约支撑板3的制造材料，可以在支撑板3上端设置支撑罩体4的支撑块6，所述支撑块6与支撑板3为一体式结构；
参见图1、图2，所述喷水管2一端设有进水接口8，该进水接口8与硅片切割机的供水系统相接，参见图4，所述喷水管2的另一端通过塞子9封闭，塞子9上设有外螺纹，喷水管2内设有内螺纹，塞子9通过螺纹连接固定在喷水管2内，并且为了使塞子9安装拆除方便，塞子9上还应设置装配槽15，参见图3，所述喷水管2上开设有若干条喷水槽10，所述喷水槽10为条形槽，所述喷水槽10的长度方向与喷水管2的轴线平行，所有喷水槽10均布在喷水管2的圆周上，所述喷水管2内填充有过滤体11，所述喷水管2外还罩设有过滤罩12，过滤体11和过滤罩12起到过滤的作用，过滤体11长期使用后会失效，塞子9和进水接口8均通过螺纹连接固定在喷水管2上，可以方便地将塞子9和进水接口8拆除，以更换喷水管2内的过滤体11；
参见图2，所述喷水管2两端分别套设有固定过滤罩12的挡块13，所述挡块13通过螺纹连接固定在喷水管2上，所述挡块13上设有支撑过滤罩12的凸台14，所述喷水管2上设有外螺纹，所述挡块13、凸台14上均设有内螺纹，位于凸台14上的内螺纹与位于挡块13上的内螺纹同轴，所述过滤罩12插接在凸台14上以后，调整两个凸台14的位置实现过滤罩12的固定，所述挡块13与凸台14为一体式结构。
装配过程中，先将过滤罩12固定在喷水管2上，然后将喷水管2与支撑板3固定，所述支撑板3上均开设有支撑喷水管2的U形槽16，参见图2、图5，所述喷水管2上固定有限位部17，所述限位部17上开设有与支撑板3配合的限位槽18，也就是说限位槽18与支撑板3形成间隙配合，所述限位部17通过螺纹连接固定在喷水管2上，所述限位部17可以通过与喷水管2配合的螺母预紧，所述限位部17也可以通过挡块13预紧，所述限位部17与喷水管2同轴设置；最后再将罩体4固定在导流架1上，当然，所述支撑板3上设有避免在打开罩体4时罩体4与支撑板3产生干涉的倒角；完成上述装配后，将导流架1固定于切割机上，然后再将位于导流架1上的进水接口8与切割机的供水相接，打开供水系统即可通过喷水管2向切削现场供水。
上述技术方案中，挡块13、凸台14、限位部17均通过螺纹连接固定在喷水管2上，设置时可以采用如下技术方案，在喷水管2上设置较长的外螺纹，然后挡块13、凸台14和限位部17上均设置与喷水管2上该条外螺纹配合的内螺纹，以进行装配。也就是说，凸台14、挡块13和限位部17上的内螺纹为同一条内螺纹。
以上仅为本发明的优选实施方式，旨在体现本发明的突出技术效果和优势，并非是对本发明的技术方案的限制。本领域技术人员应当了解的是，一切基于本发明技术内容所做出的修改、变化或者替代技术特征，皆应涵盖于本发明所附权利要求主张的技术范畴内。

Claims (5)

1.一种硅片切割机用喷水器，包括横截面呈L形的导流架(1)，所述导流架(1)上固定有喷水管(2)，其特征在于：所述导流架(1)两端分别设有固定喷水管(2)的支撑板(3)，所述导流架(1)上还设有罩体(4)，所述罩体(4)与导流架(1)之间开设有使水流可以通过的排水口(5)，所述支撑板(3)上端设有支撑罩体(4)的支撑块(6)，所述支撑块(6)与支撑板(3)为一体式结构，所述罩体(4)通过合页(7)固定在导流架(1)上；所述喷水管(2)一端设有进水接口(8)，所述喷水管(2)的另一端通过塞子(9)封闭，所述喷水管(2)上开设有若干条喷水槽(10)，所述喷水槽(10)为条形槽，所述喷水槽(10)的长度方向与喷水管(2)的轴线平行，所述喷水管(2)内填充有过滤体(11)，所述喷水管(2)外还罩设有过滤罩(12)，所述喷水管(2)两端分别套设有固定过滤罩(12)的挡块(13)，所述挡块(13)通过螺纹连接固定在喷水管(2)上，所述挡块(13)上设有支撑过滤罩(12)的凸台(14)，所述过滤罩(12)插接在凸台(14)上。
2.根据权利要求1所述的一种硅片切割机用喷水器，其特征在于：所述挡块(13)与凸台(14)为一体式结构，所述喷水管(2)上设置有外螺纹，所述凸台(14)和挡块(13)上均设有与喷水管(2)上外螺纹配合的内螺纹，位于凸台(14)上的内螺纹与位于挡块(13)上的内螺纹同轴。
3.根据权利要求1所述的一种硅片切割机用喷水器，其特征在于：所述塞子(9)上设有外螺纹，所述喷水管(2)内设有与塞子(9)上外螺纹相配合的内螺纹，所述塞子(9)上还开设有便于旋出塞子(9)的装配槽(15)；所述进水接口(8)通过螺纹连接固定在喷水管(2)上。
4.根据权利要求1至3任意一项所述的一种硅片切割机用喷水器，其特征在于：所述支撑板(3)上均开设有支撑喷水管(2)的U形槽(16)，所述喷水管(2)上固定有限位部(17)，所述限位部(17)上开设有与支撑板(3)配合的限位槽(18)，所述限位部(17)通过螺纹连接固定在喷水管(2)上，所述限位部(17)与喷水管(2)同轴设置。
5.根据权利要求1至3任意一项所述的一种硅片切割机用喷水器，其特征在于：所述支撑板(3)上设有避免在打开罩体(4)时罩体(4)与支撑板(3)产生干涉的倒角。
CN201510640392.2A 2015-09-30 2015-09-30 一种硅片切割机用喷水器 Expired - Fee Related CN105235086B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510640392.2A CN105235086B (zh) 2015-09-30 2015-09-30 一种硅片切割机用喷水器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510640392.2A CN105235086B (zh) 2015-09-30 2015-09-30 一种硅片切割机用喷水器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN105235086A true CN105235086A (zh) 2016-01-13
CN105235086B CN105235086B (zh) 2017-03-22

Family

ID=55033028

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201510640392.2A Expired - Fee Related CN105235086B (zh) 2015-09-30 2015-09-30 一种硅片切割机用喷水器

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN105235086B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107020704A (zh) * 2017-05-21 2017-08-08 赵子宁 一种瓷砖自动切边装置

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004017535A (ja) * 2002-06-18 2004-01-22 Asahi Eng Co Ltd 穿孔機用液体循環装置
CN2677133Y (zh) * 2003-12-29 2005-02-09 伍鸿顺 石材表面高压喷水处理机
CN2920359Y (zh) * 2006-06-27 2007-07-11 河南醒狮高新技术股份有限公司 半导体材料线切割专用刃料水循环利用装置
CN201677412U (zh) * 2010-04-11 2010-12-22 锦州阳光能源有限公司 外圆切方机循环给水装置
CN204450902U (zh) * 2015-01-26 2015-07-08 青岛高校测控技术有限公司 金刚线硅晶体切片机
CN204955165U (zh) * 2015-09-30 2016-01-13 浙江辉弘光电能源有限公司 一种硅片切割机用喷水器

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004017535A (ja) * 2002-06-18 2004-01-22 Asahi Eng Co Ltd 穿孔機用液体循環装置
CN2677133Y (zh) * 2003-12-29 2005-02-09 伍鸿顺 石材表面高压喷水处理机
CN2920359Y (zh) * 2006-06-27 2007-07-11 河南醒狮高新技术股份有限公司 半导体材料线切割专用刃料水循环利用装置
CN201677412U (zh) * 2010-04-11 2010-12-22 锦州阳光能源有限公司 外圆切方机循环给水装置
CN204450902U (zh) * 2015-01-26 2015-07-08 青岛高校测控技术有限公司 金刚线硅晶体切片机
CN204955165U (zh) * 2015-09-30 2016-01-13 浙江辉弘光电能源有限公司 一种硅片切割机用喷水器

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107020704A (zh) * 2017-05-21 2017-08-08 赵子宁 一种瓷砖自动切边装置
CN107020704B (zh) * 2017-05-21 2018-08-17 肇庆市宏润陶瓷有限公司 一种瓷砖自动切边装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN105235086B (zh) 2017-03-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3753527A (en) Drip irrigation system
CN204955165U (zh) 一种硅片切割机用喷水器
CN105235086A (zh) 一种硅片切割机用喷水器
CN105848468B (zh) 喷洒基座
CN106962139A (zh) 一种农业种植用滴灌渗透灌溉装置
CA2365962A1 (en) Dishwasher spray arm hub and conduit assembly
WO2019004978A2 (en) DRINKING STRUCTURE FOR USE IN AGRICULTURAL IRRIGATION
CN203030416U (zh) 一种吊杆防滴喷头
CN105964038A (zh) 一种具有清洗装置的净水器
CN208821376U (zh) 一种防堵灌溉装置
CN109759250B (zh) 一种可反冲洗的喷头
CN107347590A (zh) 双重抗堵式供水管及其加工方法
CN103477949A (zh) 一种贴片式滴头
CN204955166U (zh) 一种硅片切割机用喷水装置
CN205664036U (zh) 过滤式滴灌连接件
CN210641792U (zh) 水肥药温控一体化喷洒系统
CN209287538U (zh) 一种蚀刻花洒漏网
CN204482577U (zh) 一种农田滴灌用贴片式滴灌带
CN211322418U (zh) 一种农业灌溉系统
CN105235085B (zh) 一种硅片切割机用喷水装置
CN205491984U (zh) 喷水系统
CN206533987U (zh) 一种农作物种植专用的喷药灌溉一体机
KR830002541Y1 (ko) 살수기의 물 여과기
CN103461074A (zh) 喷淋车的供水供药系统
CN218389112U (zh) 一种节水供给的滴箭

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CP03 Change of name, title or address

Address after: 314200 No. 899 Xinxing three road, Pinghu economic and Technological Development Zone, Jiaxing, Zhejiang

Patentee after: Zhejiang Hui Guang light Limited by Share Ltd

Address before: 314200 No. 899 Xinxing three road, Pinghu Economic Development Zone, Jiaxing, Zhejiang

Patentee before: ZHEJIANG HUIHONG PHOTOELECTRIC ENERGY CO., LTD.

CP03 Change of name, title or address
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20170322

Termination date: 20180930

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee