CN105206720A - 烘烤炉 - Google Patents

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刘开欣
谢楚盛
叶国梁
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Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
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Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
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    • H01L33/005Processes
    • H01L33/0095Post-treatment of devices, e.g. annealing, recrystallisation or short-circuit elimination
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
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Abstract

本发明公开了一种烘烤炉,属于显示技术领域,解决了对烘烤炉内是否存在玻璃基板的判定不准确的技术问题。该烘烤炉用于对玻璃基板进行烘烤,包括炉体以及位于所述炉体内部的膛室;所述膛室外设置有传感器,用于感应所述膛室的入口处和出口处基板的出入。本发明可用于液晶显示器的制造过程。

Description

烘烤炉
技术领域
本发明涉及显示技术领域,具体的说,涉及一种烘烤炉。
背景技术
随着显示技术的发展,液晶显示器已经成为最为常见的显示装置。
在液晶显示器的制造过程中,需要利用烘烤炉(oven)对玻璃基板进行高温烘烤。如图1所示,在产线中,玻璃基板1从左侧进入烘烤炉2,待烘烤完毕后,从右侧将玻璃基板1移出烘烤炉。烘烤炉2以及产线中其他设备的工作进程,由生产控制系统(BC系统)3进行监控。因为烘烤炉2内的温度非常高,所以在烘烤炉2内部无法设置传感器,用以感应烘烤炉内是否存在玻璃基板1。因此,判断烘烤炉2内是否存在玻璃基板1的功能,也由BC系统3实现。每块玻璃基板1都有一个唯一的帐,即玻璃基板1的ID信息,当玻璃基板1进入或移出烘烤炉2时,玻璃基板1的帐也随之一起进入或移出烘烤炉2。BC系统3就根据帐的信息来判断烘烤炉2内是否存在玻璃基板1。
但是,当工作人员发生误操作,或者BC系统发生异常时,系统记录的帐的信息会与实际情况不符,用于取片、放片的机械臂极易发生误动作,导致叠片、撞片、空位被帐占用等情况,造成产能的损失或产品的报废。
发明内容
本发明的目的在于提供一种烘烤炉,以解决对烘烤炉内是否存在玻璃基板的判定不准确的技术问题。
本发明提供一种烘烤炉,用于对玻璃基板进行烘烤,所述烘烤炉包括炉体以及位于所述炉体内部的膛室;
所述膛室外设置有传感器,用于感应所述膛室的入口处和出口处基板的出入。
在一种实施方式中,所述膛室的入口和出口为同一个出入口;
所述出入口处设置有第一传感器和第二传感器,且所述第二传感器比所述第一传感器更靠近所述出入口。
优选的是,所述第一传感器和所述第二传感器均设置在所述出入口的上方。
优选的是,所述第一传感器和所述第二传感器均为光传感器。
进一步的是,所述出入口处还设置有密闭门。
在另一种实施方式中,所述膛室的入口和出口分别位于所述炉体的两侧;
所述入口处设置有第一传感器,所述出口处设置有第二传感器。
优选的是,所述第一传感器设置在所述入口的上方,所述第二传感器设置在所述出口的上方。
优选的是,所述第一传感器和所述第二传感器均为光传感器。
进一步的是,所述入口处和所述出口处均设置有密闭门。
本发明带来了以下有益效果:本发明提供的烘烤炉,在膛室的外部设置有传感器,能够感应膛室的入口处和出口处玻璃基板的出入情况。由于膛室外部的温度为正常室温,而不处于高温环境,因此传感器能够正常、准确的工作,从而解决了现有技术中对烘烤炉内是否存在玻璃基板的判定不准确的技术问题,提高了产能以及产品的良品率。
本发明的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述,并且,部分的从说明书中变得显而易见,或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
附图说明
为了更清楚的说明本发明实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要的附图做简单的介绍:
图1是现有的烘烤炉的示意图;
图2是本发明实施例一提供烘烤炉的示意图;
图3是本发明实施例一提供烘烤炉的另一示意图;
图4是本发明实施例二提供的烘烤炉的示意图。
具体实施方式
以下将结合附图及实施例来详细说明本发明的实施方式,借此对本发明如何应用技术手段来解决技术问题,并达成技术效果的实现过程能充分理解并据以实施。需要说明的是,只要不构成冲突,本发明中的各个实施例以及各实施例中的各个特征可以相互结合,所形成的技术方案均在本发明的保护范围之内。
本发明实施例提供一种烘烤炉,用于液晶显示器的制造过程中,玻璃基板的烘烤进程。该烘烤炉包括炉体以及位于炉体内部的膛室,膛室外设置有传感器,用于感应膛室的入口处和出口处基板的出入。
本发明实施例提供的烘烤炉,在膛室的外部设置有传感器,能够感应膛室的入口处和出口处玻璃基板的出入情况。由于膛室外部的温度为正常室温,而不处于高温环境,因此传感器能够正常、准确的工作,从而解决了现有技术中对烘烤炉内是否存在玻璃基板的判定不准确的技术问题,提高了产能以及产品的良品率。
实施例一:
如图2所示,本实施例提供的烘烤炉包括炉体100以及位于炉体100内部的膛室,并且膛室的入口和出口为同一个出入口101,玻璃基板的进入和移出都经过该出入口101。在出入口101处设置有第一传感器111和第二传感器112,并且第二传感器112比第一传感器111更靠近出入口101。
图3是从烘烤炉的出入口101方向观看的示意图,本实施例中,在出入口101处还设置有密闭门102。在玻璃基板进入或移出膛室时,密闭门102打开;玻璃基板在烘烤炉中进行烘烤时,密闭门102关闭,以隔绝膛室与外部的温度。
本实施例中,第一传感器111和第二传感器112均优选为光传感器,从而能够灵敏、准确的感应到玻璃基板的出入,以保证玻璃基板检测的速度和准确度。
作为一个优选方案,第一传感器111和第二传感器112均设置在出入口101的上方。根据烘烤机的实际情况,调整第一传感器111和第二传感器112的水平位置,以及距玻璃基板的高度,使其能够检测到玻璃基板,而不会被机械臂(图中未示出)和密闭102门干扰到。另外,第一传感器111和第二传感器112还需连接至一记录装置,该记录装置也可以连接至BC系统,并由BC系统根据该记录装置所记录的状态信息监控烘烤进程。
玻璃基板的具体检测过程如下:
如果第一传感器111先感应到玻璃基板,第二传感器112后感应到玻璃基板,则表示有玻璃基板进入了烘烤炉,记录装置记录烘烤炉内有玻璃基板,并标记此烘烤炉为有片状态。此时,通过BC系统的控制,机械臂只能执行取片动作,不能执行放片动作。
如果第二传感器112先感应到玻璃基板,第一传感器111后感应到玻璃基板,则表示有玻璃基板移出了烘烤炉,记录装置记录烘烤炉内无玻璃基板,并标记此烘烤炉为无片状态。此时,通过BC系统的控制,机械臂只能执行放片动作,不能执行取片动作。
本发明实施例提供的烘烤炉,在出入口上方设置有两个传感器,并通过两个传感器感应到玻璃基板的时间差,检测玻璃基板的出入情况。由于两个传感器都设置在膛室外部,处于正常室温环境,而不处于高温环境,因此传感器能够正常、准确的工作,从而解决了现有技术中对烘烤炉内是否存在玻璃基板的判定不准确的技术问题,提高了产能以及产品的良品率。
实施例二:
如图4所示,本实施例提供的烘烤炉包括炉体200以及位于炉体200内部的膛室,并且膛室的入口201和出口202分别位于炉体200的两侧。在入口201处设置有第一传感器211,在出口202处设置有第二传感器212。
本实施例中,在出入口201处和出口202处还设置有密闭门(图中未示出)。在玻璃基板进入或移出膛室时,密闭门打开;玻璃基板在烘烤炉中进行烘烤时,密闭门关闭,以隔绝膛室与外部的温度。
本实施例中,第一传感器211和第二传感器212均优选为光传感器,从而能够灵敏、准确的感应到玻璃基板的出入,以保证玻璃基板检测的速度和准确度。
作为一个优选方案,第一传感器211设置在入口201的上方,第二传感器212设置在出口202的上方。根据烘烤机的实际情况,调整第一传感器211和第二传感器212的水平位置,以及距玻璃基板的高度,使其能够检测到玻璃基板,而不会被机械臂(图中未示出)和密闭门干扰到。另外,第一传感器211和第二传感器212还需连接至一记录装置,该记录装置也可以连接至BC系统,并由BC系统根据该记录装置所记录的状态信息监控烘烤进程。
玻璃基板的具体检测过程如下:
如果第一传感器211感应到玻璃基板,则表示有玻璃基板进入了烘烤炉,记录装置记录烘烤炉内有玻璃基板,并标记此烘烤炉为有片状态。此时,通过BC系统的控制,机械臂只能执行取片动作,不能执行放片动作。
如果第二传感器212感应到玻璃基板,则表示有玻璃基板移出了烘烤炉,记录装置记录烘烤炉内无玻璃基板,并标记此烘烤炉为无片状态。此时,通过BC系统的控制,机械臂只能执行放片动作,不能执行取片动作。
本发明实施例提供的烘烤炉,在入口上方设置有第一传感器,在出口上方设置有第二传感器,并分别利用两个传感器感应玻璃基板的进入和移出。由于两个传感器都设置在膛室外部,处于正常室温环境,而不处于高温环境,因此传感器能够正常、准确的工作,从而解决了现有技术中对烘烤炉内是否存在玻璃基板的判定不准确的技术问题,提高了产能以及产品的良品率。
虽然本发明所公开的实施方式如上,但所述的内容只是为了便于理解本发明而采用的实施方式,并非用以限定本发明。任何本发明所属技术领域内的技术人员,在不脱离本发明所公开的精神和范围的前提下,可以在实施的形式上及细节上作任何的修改与变化,但本发明的专利保护范围,仍须以所附的权利要求书所界定的范围为准。

Claims (9)

1.一种烘烤炉,用于对玻璃基板进行烘烤,其特征在于,所述烘烤炉包括炉体以及位于所述炉体内部的膛室;
所述膛室外设置有传感器,用于感应所述膛室的入口处和出口处基板的出入。
2.根据权利要求1所述的烘烤炉,其特征在于,所述膛室的入口和出口为同一个出入口;
所述出入口处设置有第一传感器和第二传感器,且所述第二传感器比所述第一传感器更靠近所述出入口。
3.根据权利要求2所述的烘烤炉,其特征在于,所述第一传感器和所述第二传感器均设置在所述出入口的上方。
4.根据权利要求2所述的烘烤炉,其特征在于,所述第一传感器和所述第二传感器均为光传感器。
5.根据权利要求2所述的烘烤炉,其特征在于,所述出入口处还设置有密闭门。
6.根据权利要求1所述的烘烤炉,其特征在于,所述膛室的入口和出口分别位于所述炉体的两侧;
所述入口处设置有第一传感器,所述出口处设置有第二传感器。
7.根据权利要求6所述的烘烤炉,其特征在于,所述第一传感器设置在所述入口的上方,所述第二传感器设置在所述出口的上方。
8.根据权利要求6所述的烘烤炉,其特征在于,所述第一传感器和所述第二传感器均为光传感器。
9.根据权利要求6所述的烘烤炉,其特征在于,所述入口处和所述出口处均设置有密闭门。
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