CN1051975A - 表面三维形貌非接触测量仪 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种表面三维形貌非接触测量仪，属
光学测量仪器，用于测量表面微观几何形貌及粗糙
度。本测量仪主要由光源，起偏器，分光棱镜，显微物
镜，1/4波片，检偏器，光电面阵探测器等组成，与已
有技术相比，本发明的优点在于测量分辨率高，移相
器件的结构简单，移相精度较高，两束干涉光通过同
一光路，受到外界干扰相同，对干涉光强影响较小，因
此系统对机械振动和强度的影响不敏感，在一般生产
环境中就可以使用本仪器。
Description
本发明属光学测量仪器，用于测量表面微观几何形貌及粗糙度。
目前，用于非接触测量表面形貌的仪器是美国WYKO生产的TOPO-3D型光学显微镜，专利号为US 4639139。该测量的光学原理见图1。从光源（1）发出的光束透过显微物镜（2）和参考玻璃板（3）后，被分光板（4）分成两路，一路透过分光板后由被测面（5）反射，再次透过分光板和参考板，经物镜后投射到仪器视场中，另一路反射光束投射到参考板上，经反射通过分光板，再经分光板反射到显微镜视场中，与第一路光会合发生干涉。上述系统中的参考玻璃板被固定在压电陶瓷（6）上，用计算机控制压电陶瓷的移动以驱动参考板以恒速率转动，则干涉光强以余弦形式变化。利用CCD光电面阵探测器接收图象，根据干涉相位，计算出表面形貌。该系统中，存在下列不足之处：①在显微镜前安置了分光板和参考板，因而使物镜与被测表面之间的距离加大，只能使用较低放大倍数的物镜降低了系统的横向分辨率。②在高精度情况下，压电陶瓷的移动不仅难于控制，而且其非线性、滞后和老化等问题，对移相精度影响较大。③测量光束和参考光束经过不同的路径，因此外界干扰对两束光的影响不同，使干涉光强对机械振动和温度变化的影响较为敏感，所以这种系统难于在工作现场中使用。④系统必须使用参考镜，由于参考镜并不是理想平面，因此其误差会直接影响表面形貌测量结果。
本发明的目的是对已有的非接触表面形貌测量仪器作出改进。为了能够测量精密表面，本发明对已有光路进行改进，在显微物镜后进行分光就可使用高放大倍数的显微物镜来提高系统的横向测量分辨率。提高移相器件的移相精度，并简化移相装置的结构。本发明的另一目的是，使仪器对机械振动和温度的影响不灵敏，能用于工作现场，系统中除去标准参考反射镜，以消除参考镜误差对测量结果的影响。
附图说明：
图1.已有技术光学原理图。
图2.本发明原理图。
图3.表面三维形貌非接触测量系统图。
下面结合附图详细介绍本发明内容。
图2为表面形貌非接触测量仪的光学原理图。从光源（9）发出的光由起偏器（10）变成线偏振光后进入诺马斯基分光棱镜（11），它将入射的线偏振光分为两束具有微小夹角，并且振动方向相互垂直的线偏振光。两束光通过物镜（12）后产生一平行的剪切量△X。这两束光被样品表面（13）反射后经原路返回，由诺马斯基棱镜重新复合共线，然后再穿过1/4波片（14）和检偏器（15）发生干涉，干涉场的光强信号由光电面阵测器（17）进行接收。通过目镜（16），可直接观察干涉图象。
干涉场中任一点的光强为：
I（x，y）＝IA+IBSin[2θ+φ（x，y）] （1）
式中IA为直流光强，IB为交流光强，θ为检偏器通光轴与诺马斯基棱镜剪切方向的夹角，φ（x，y）为表面形貌h（x，y）引起的干涉相位差。
φ（x，y）＝（4π/λ）·△X·[ h（x，y）]/ x （2）
式中λ为光波波长，△X为两束干涉光的横向剪切量。
在这个系统中，两相干光束间的相位差与检偏器的方位角θ成线性关系。当检偏器方位角随时间作线性变化时，干涉场上各点的亮度随时间作正弦变化，这个正弦信号的相位就是被测相位φ（x，y）。
用计算机控制检偏器旋转，使θ分别为0，π/4，π/2，3π/4，则对应的干涉光强为：
I1（x，y）＝IA+IBSinφ（x，y）
I2（x，y）＝IA+IBCosφ（x，y）
I3（x，y）＝IA-IBSinφ（x，y）
I4（x，y）＝IA-IBCosφ（x，y）
于是可解出：
从上式看出，任一点处的干涉相位都可通过改变检偏器方位角时的光强测量值Ii（x，y）求出。利用光电面阵探测器接收整个干涉场中各点的光强，由计算机按式（3）求出各采样点的相位、再根据式（2），可获得被测表面沿X方向的斜率[ h（x，y）]/ x，对其进行和分，就能求出被测表面与X方向平行的断面形状。
以同样方法求出y方向的断面形状hy（x，y），就能确定出被测形貌h（x，y）。
利用本发明得到的表面三维形貌非接触测量仪，由于使用高放大倍数的物镜，因而测量的横向分辨率较高。利用旋转检偏器进行移相，代替了已有技术中压电陶瓷线位移进行移相，不仅原理和结构简单，而且移相精度较高（3°的旋转精度相当于压电陶瓷λ/100的移动精度）。两束干涉光通过同一光路，受到的外界干扰相同，对干涉光强影响较小，因此系统对机械振动和温度变化的影响不敏感，在一般生产环境中就可以使用。由于测量仪中除去了标准参考反射镜，因而也无参考镜误差和定标问题。
Claims (2)
1、一种由光源，显微物镜，目镜，光电面阵探测器等组成的表面三维形貌非接触测量仪，其特征在于所述的测量仪还包括起偏器，分光棱镜，1/4波片和检偏器。
2、如权利要求1所述的测量仪，其特征在于所述的测量仪与光电摄像机，计算机组成表面三维形貌非接触测量系统。
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Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1115546C (zh) * | 1999-12-29 | 2003-07-23 | 宝山钢铁股份有限公司 | 表面三维形貌检测方法和装置 |
| CN100570296C (zh) * | 2007-10-19 | 2009-12-16 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 偏振移相双剪切干涉波面测量仪及其检测方法 |
| CN100580382C (zh) * | 2007-06-28 | 2010-01-13 | 中国科学院光电技术研究所 | 能够消除系统自身杂散光的哈特曼波前传感器 |
| CN101033947B (zh) * | 2007-03-29 | 2010-05-19 | 上海大学 | 基于旋转y型光纤的三维变形测量系统 |
| CN110030952A (zh) * | 2019-05-16 | 2019-07-19 | 苏州慧利仪器有限责任公司 | 立式晶棒激光干涉检测设备 |
| WO2020007370A1 (zh) * | 2018-07-06 | 2020-01-09 | 深圳中科飞测科技有限公司 | 一种检测设备及方法 |
| CN111006582A (zh) * | 2019-12-06 | 2020-04-14 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种基于莫尔条纹的干涉相移灵敏度增强方法 |
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Families Citing this family (1)
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|---|---|---|---|---|
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Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1115546C (zh) * | 1999-12-29 | 2003-07-23 | 宝山钢铁股份有限公司 | 表面三维形貌检测方法和装置 |
| CN101033947B (zh) * | 2007-03-29 | 2010-05-19 | 上海大学 | 基于旋转y型光纤的三维变形测量系统 |
| CN100580382C (zh) * | 2007-06-28 | 2010-01-13 | 中国科学院光电技术研究所 | 能够消除系统自身杂散光的哈特曼波前传感器 |
| CN100570296C (zh) * | 2007-10-19 | 2009-12-16 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 偏振移相双剪切干涉波面测量仪及其检测方法 |
| WO2020007370A1 (zh) * | 2018-07-06 | 2020-01-09 | 深圳中科飞测科技有限公司 | 一种检测设备及方法 |
| CN110687051A (zh) * | 2018-07-06 | 2020-01-14 | 深圳中科飞测科技有限公司 | 一种缺陷检测设备及方法 |
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