CN105180892B - 一种飞秒激光频率梳脉冲啁啾干涉测距方法及测距系统 - Google Patents
一种飞秒激光频率梳脉冲啁啾干涉测距方法及测距系统 Download PDFInfo
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Abstract
本发明公开了一种飞秒激光频率梳脉冲啁啾干涉测距方法及测距系统，它包括飞秒激光频率梳和迈克尔逊干涉系统。飞秒激光频率梳发出的光入射到分束器，经分束器透射光发射到第一反射镜，经第一反射镜反射光返回到分束器；经分束器反射光发射到第一光栅，经第一光栅衍射光入射到第二光栅，经第二光栅衍射光入射到第二反射镜，经第二反射镜反射光依次经过第二光栅、第一光栅返回到分束器，此过程对光脉冲产生啁啾，使光脉冲的中心频率发生偏移。经第一反射镜反射光和经第二反射镜反射光在分束器处合光，两束光的干涉信号由光谱仪探测接收，完成距离测量。本发明的测距方法简单可靠，具有高精度的优点，可以应用在绝对距离测量中。
Description
技术领域
本发明涉及一种距离测量方法及测距系统，特别是关于一种适用于绝对距离测量的飞秒激光频率梳脉冲啁啾干涉测距方法及测距系统。
背景技术
飞秒激光频率梳是指将飞秒脉冲激光器的重复频率和相位偏移频率与频率基准源锁定后的装置。时域内，光频梳是连续的脉冲序列(脉宽为若干飞秒)；频域内，光频梳是等间隔排列的纵模，相邻光谱线的频率间隔等于飞秒激光器的重复频率，这些光谱线覆盖的光谱范围为数十纳米，形状酷似梳齿，故又称“光梳”。光频梳具有频谱宽、脉宽窄、频率稳定度高等特点，在高精度、大尺度的绝对距离测量方面有重要的应用。
现有技术中常用的方法是利用飞秒激光频率梳宽光谱干涉和脉冲等间隔的特性，在测量时将飞秒激光频率梳发出的光发射到一个迈克尔逊干涉仪上，并将参考臂和测量臂返回的脉冲合光并通过光谱仪进行探测。参考臂脉冲和测量臂脉冲之间的相对位置关系与参考臂和测量臂本身的臂长有关，当测量臂与参考臂臂长之差(即被测距离L)约等于相邻脉冲间隔(Lpp＝c/(ngfrep),c为真空中光速,ng为空气中脉冲的群折射率)一半的N(N为整数)倍时，从测量臂与参考臂回来的脉冲能够发生叠加，光谱仪探测到光谱干涉条纹。当光在空气里传播时，介质色散比较小，干涉条纹的振荡频率较为稳定，振荡频率与被测距离L成正比。为了求的被测距离L，需要对采集到的光谱干涉信号进行两次傅里叶变换，一次滤波处理，由解卷绕光谱相位的斜率求得被测距离。首先，由于滤波器的引入，滤波器的宽度不同会对测距结果产生影响，使得测距结果不惟一；其次，当被测距离很小时，伪时域内，三个尖峰距离太近，而无法实现精确的滤波；再者，Lpp-L和Lpp+L的光谱干涉条纹是完全相同的，无法区分正位移和负位移。这是传统的基于光谱干涉的方法存在的三个局限性。
发明内容
针对上述问题，本发明的目的是提供一种利用脉冲啁啾作为桥梁，结合光谱干涉的飞秒激光频率梳脉冲啁啾干涉测距方法及测距系统，能够有效提高测量的精度。
为了解决上述技术问题，本发明所提供的一种飞秒激光频率梳脉冲啁啾干涉测距方法，包括以下步骤：
步骤一、设置一包括有飞秒激光频率梳和迈克尔逊干涉系统的飞秒激光频率梳啁啾脉冲干涉测距系统，所述迈克尔逊干涉系统包括分束器、第一反射镜、第一光栅、第二光栅和第二反射镜，所述第一光栅和第二光栅构成一对衍射光栅；经所述第一反射镜反射回到所述分束器的光脉冲为测量臂光脉冲，经所述第二反射镜反射并依次经所述第二光栅、第一光栅返回到所述分束器的光脉冲为参考臂光脉冲；
步骤二、将所述第一反射镜放置在测量臂长与参考臂长相等的位置处或者是测量臂长与参考臂长相差为整数倍的半个相邻脉冲间隔，并微调所述第一反射镜的位置，使得参考臂光脉冲和测量臂光脉冲干涉并被一光谱仪探测接收和显示；
假设：此时状态标记为状态I，状态I光谱最宽条纹的位置为f1，角频率为w1，重复频率为frep，相邻脉冲间隔为Lpp＝c/(ngfrep)，其中c为真空光速，ng为空气中脉冲的群折射率；
步骤三、将所述第一反射镜(22)放置在测量范围之内的待测位置处，将所述第一反射镜(22)的该位置和上述状态I位置之间的距离记为被测距离L，将此状态标记为状态II，状态II光谱最宽条纹的位置为f2，角频率为w2；
步骤四、计算被测距离L：
式(1)中，b是光脉冲的中心频率啁啾系数，ng为空气中脉冲的群折射率，N是被测距离包含的Lpp整数倍数；对飞秒激光频率梳啁啾脉冲干涉测距系统进行距离标定，得到最宽条纹对应频率变化每THz代表的位移量，式(1)改写为：
式(2)中，fshift＝f2-f1。
实现上述飞秒激光频率梳脉冲啁啾干涉测距方法的飞秒激光频率梳脉冲啁啾干涉测距系统，包括一飞秒激光频率梳、一迈克尔逊干涉系统和一光谱仪；所述迈克尔逊干涉系统包括分束器、第一反射镜、第一光栅、第二光栅和第二反射镜，所述第一光栅与所述第二光栅的光栅常数相同，所述第一光栅的衍射面与所述第二光栅的衍射面平行且等高设置，所述第一光栅和第二光栅构成一对衍射光栅；所述飞秒激光频率梳发出的光入射到所述分束器，经所述分束器透射的光发射到第一反射镜，经所述第一反射镜反射的光作为测量臂光脉冲返回到所述分束器；经所述分束器反射的光发射到所述第一光栅，经所述第一光栅的衍射光入射到所述第二光栅，经所述第二光栅的衍射光入射到第二反射镜，经所述第二反射镜的反射光依次经过所述第二光栅、所述第一光栅啁啾光路作为参考臂光脉冲返回到分束器，从而对光脉冲产生啁啾，使光脉冲的中心频率发生偏移；经所述第一反射镜的反射光和经所述第二反射镜的反射光在分束器处合光后发射到所述光谱仪，所述光谱仪探测接收经所述第一反射镜的反射光和经所述第二反射镜的反射光合光后的干涉信号，光谱仪将所测得的信号发送到计算机进行处理，至此完成距离测量。
进一步讲，对光脉冲产生啁啾包括：通过调节啁啾光路中所述第一光栅的光束入射角度和光栅水平度，得到水平的散开的第一级衍射光；通过调节啁啾光路中所述第二光栅，使所述第二光栅和所述第一光栅平行，并且使经所述第一光栅的衍射光入射到第二光栅，并通过所述第一光栅和第二光栅对光脉冲序列啁啾调制，使光脉冲的中心频率发生偏移；通过调节啁啾光路中所述第二反射镜，使经所述第一光栅和所述第二光栅的衍射光反射，并且经所述第二反射镜的反射光依次经所述第二光栅、所述第一光栅返回到分束器。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
本发明由于利用了飞秒激光频率梳的宽谱特性，巧妙的通过参考臂的啁啾脉冲和测量臂的测量脉冲相遇干涉，探测它们的干涉光谱，由于啁啾脉冲的中心频率发生偏移，所以干涉光谱重现最宽的条纹，可以利用最宽条纹标记被测距离，从而实现高精度的测距。本发明的测距非歧义范围为可测量的全范围，且实验现象直观明显；本发明中的干涉光谱可以显示出被测距离的正负变化，也可以分辨出测量脉冲相对参考脉冲的飞行时间是提前还是滞后。本发明的测距方法简单可靠，具有高精度的优点，可以应用在绝对距离测量中。
附图说明
图1是本发明飞秒激光频率梳脉冲啁啾干涉测距系统的结构示意图；
图2是本发明实施例的光谱分布示意图，横坐标为波长，纵坐标光谱强度，其中波长为1560nm，带宽约为55nm；
图3是本发明实施例脉冲啁啾干涉光谱，最宽条纹的位置是195.414THz；
图4是是本发明实施例反射镜1移动1mm脉冲啁啾干涉光谱，188.742THz。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明技术方案作进一步详细描述，所描述的具体实施例仅对本发明进行解释说明，并不用以限制本发明。
本发明飞秒激光频率梳脉冲啁啾干涉测距系统，如图1所示，其结构是包括一飞秒激光频率梳10、一迈克尔逊干涉系统20和一光谱仪30。
所述迈克尔逊干涉系统20包括分束器21、第一反射镜22、第一光栅23、第二光栅24和第二反射镜25，所述第一光栅23与所述第二光栅24的光栅常数相同，所述第一光栅23的衍射面与所述第二光栅24的衍射面平行且等高设置，所述第一光栅23和第二光栅24构成一对衍射光栅，其中，所述第一光栅23，第二光栅24和第二反射镜25构成啁啾光路；所述飞秒激光频率梳10发出的光(光谱分布如图2所示)入射到所述迈克尔逊干涉系统20的分束器21，经所述分束器21透射的光发射到第一反射镜22，经所述第一反射镜22反射的光作为测量臂光脉冲返回到所述分束器21；其中，经所述第一反射镜22反射回到所述分束器21的光脉冲为测量臂光脉冲，经所述第二反射镜25反射并依次经所述第二光栅24、第一光栅23返回到所述分束器21的光脉冲为参考臂光脉冲。
经所述分束器21反射的光发射到所述第一光栅23，经所述第一光栅23的衍射光入射到所述第二光栅24，经所述第二光栅24的衍射光入射到第二反射镜25，经所述第二反射镜25的反射光依次经过所述第二光栅24和所述第一光栅23作为参考臂光脉冲返回到分束器21，此过程对光脉冲产生啁啾，使光脉冲的中心频率发生偏移。
经所述第一反射镜22的反射光和经所述第二反射镜25的反射光在分束器21处合光后发射到所述光谱仪30，所述光谱仪30探测接收经所述第一反射镜22的反射光和经所述第二反射镜25的反射光合光后的干涉信号，光谱仪30将所测得的信号发送到计算机进行处理，至此完成距离测量。为了保证参考臂脉冲和测量臂脉冲发生干涉，因此需要保证分束器到第一反射镜的距离与分束器到第二反射镜的距离相差为整数倍的半个相邻脉冲光程间隔Lpp。
由于飞秒激光频率梳10发出的光脉冲具有较宽的光谱(数十纳米，如图2所示)，其经第一光栅23衍射后，会由于各个波长的衍射角不同而形成一个发散的衍射光束，通过调节所述第一光栅23的光束入射角度和光栅水平度，得到水平的散开的大强度的第一级衍射光。通过调节啁啾光路中所述第二光栅24，使所述第二光栅24和所述第一光栅23平行，并且使经所述第一光栅23的衍射光入射到第二光栅24，经第二光栅24衍射光入射到第二反射镜25，通过调节第二反射镜25，使经第一光栅23和第二光栅24衍射光反射，并且经第二反射镜25反射光，经第二光栅24，第一光栅23返回到分束器，通过第一光栅23和第二光栅24对光脉冲序列啁啾调制，使光脉冲的中心频率发生偏移。
采用上述本发明飞秒激光频率梳脉冲啁啾干涉测距系统按照以下步骤对待测距离L进行精确测量。
将所述第一反射镜22放置在测量臂长与参考臂长相等的位置附近处(或者测量臂长与参考臂长相差为整数倍的半个相邻脉冲光程间隔)，并微调所述第一反射镜22的位置，使得参考臂光脉冲和测量臂光脉冲干涉并被一光谱仪30探测接收和显示，如图3所示。假设：此时状态标记为状态I，状态I光谱最宽条纹的位置为f1，角频率为w1，重复频率为frep，相邻脉冲间隔为Lpp＝c/(ngfrep)，其中c为真空光速，ng为空气中脉冲的群折射率。
将所述第一反射镜22放置在(测量范围之内的)待测位置处，将所述第一反射镜22的该位置和上述状态I位置之间的距离记为被测距离L，将此状态标记为状态II，状态II光谱最宽条纹的位置为f2，角频率为w2；
计算被测距离L：
式(1)中，b是光脉冲的中心频率啁啾系数，ng为空气中脉冲的群折射率，N是被测距离包含的Lpp整数倍数；对飞秒激光频率梳啁啾脉冲干涉测距系统进行距离标定，得到最宽条纹对应频率变化每THz代表的位移量，被测距离式(1)改写为：
式(2)中，fshift＝f2-f1。
为了更清楚地阐明本发明的飞秒激光频率梳脉冲啁啾干涉测距方法的原理，下面通过具体实施例进行详细说明在空气环境中通过脉冲啁啾干涉测距：
飞秒激光频率梳10中心波长为1560nm，该飞秒激光频率梳10发出的脉冲脉宽为90fs,对应的光谱宽度约为55nm。首先对测量距离进行标定，得到每THz代表的位移量。将第一反射镜25移动一固定长度Lc，与此同时最宽条纹也在光谱范围内移动，测量最宽条纹的移动量fshift，则每THz代表的位移量可以表示为Lc/fshift。当第一反射镜25移动1mm前后的光谱如图3和图4所示。图3中，最宽条纹对应的频率为195.414THz，图3中，最宽条纹对应的频率为188.742THz，单位位移可以计算为：
大范围测距，绝对距离的计算公式为：
通过实验得到65m范围内，测距结果和参考测距仪(采用安捷伦5519B)结果相比，测距精度为33μm，相对测距精度为5.1×10-7，低于10-6。通过本发明的实施例可以看出通过本发明提出的方法可以实现大范围、高精度的测距。
本发明包括飞秒激光频率梳10、迈克尔逊干涉系统20和光谱仪30，利用了飞秒激光频率梳的宽谱特性，巧妙的通过参考臂的啁啾脉冲和测量臂的测量脉冲相遇干涉，探测它们的干涉光谱，由于啁啾脉冲的中心频率发生偏移，所以干涉光谱重现最宽的条纹，可以利用最宽条纹标记被测距离，从而实现高精度的测距。本发明的测距非歧义范围为可测量的全范围，且实验现象直观明显。本发明中的干涉光谱可以显示出被测距离的正负变化，也可以分辨出测量脉冲相对参考脉冲的飞行时间是提前还是滞后。本发明的测距方法简单可靠，具有高精度的优点，可以应用在绝对距离测量中。
上述各实施例仅用于说明本发明，其中各部件的结构、连接方式和实施方法的步骤等都是可以有所变化的，另外各光学元件可以采用常用的支架进行支撑固定，且光学元件的位置等都是可以有所变化的，只要满足本发明的光路传播条件即可，凡是在本发明技术方案的基础上进行的等同变换和改进，均不应排除在本发明的保护范围之外。
Claims (3)
1.一种飞秒激光频率梳脉冲啁啾干涉测距方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤一、设置一包括有飞秒激光频率梳(10)和迈克尔逊干涉系统(20)的飞秒激光频率梳啁啾脉冲干涉测距系统，所述迈克尔逊干涉系统(20)包括分束器(21)、第一反射镜(22)、第一光栅(23)、第二光栅(24)和第二反射镜(25)，所述第一光栅(23)和第二光栅(24)构成一对衍射光栅；经所述第一反射镜(22)反射回到所述分束器(21)的光脉冲为测量臂光脉冲，经所述第二反射镜(25)反射并依次经所述第二光栅(24)、第一光栅(23)返回到所述分束器(21)的光脉冲为参考臂光脉冲；
步骤二、将所述第一反射镜(22)放置在测量臂长与参考臂长相等的位置处或者是测量臂长与参考臂长相差为整数倍的半个相邻脉冲间隔，并微调所述第一反射镜(22)的位置，使得参考臂光脉冲和测量臂光脉冲干涉并被一光谱仪(30)探测接收和显示；
假设：此时状态标记为状态I，状态I光谱最宽条纹的位置为f1，角频率为w1，重复频率为frep，相邻脉冲间隔为Lpp＝c/(ngfrep)，其中c为真空光速，ng为空气中脉冲的群折射率；
步骤三、将所述第一反射镜(22)放置在测量范围之内的待测位置处，将所述第一反射镜(22)的该位置和上述状态I位置之间的距离记为被测距离L，将此状态标记为状态II，状态II光谱最宽条纹的位置为f2，角频率为w2；
步骤四、计算被测距离L：
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式(1)中，b是光脉冲的中心频率啁啾系数，ng为空气中脉冲的群折射率，N是被测距离包含的Lpp整数倍数；对飞秒激光频率梳啁啾脉冲干涉测距系统进行距离标定，得到最宽条纹对应频率变化每THz代表的位移量，式(1)改写为：
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式(2)中，每THz代表的位移量表示为LpTHz＝Lc/fshift，fshift＝f2-f1，Lc是第一反射镜(22)移动的一固定长度，与此同时最宽条纹也在光谱范围内移动，测量最宽条纹的移动量fshift。
2.一种实现如权利要求1所述飞秒激光频率梳脉冲啁啾干涉测距方法的飞秒激光频率梳脉冲啁啾干涉测距系统，其特征在于：包括一飞秒激光频率梳(10)、一迈克尔逊干涉系统(20)和一光谱仪(30)；
所述迈克尔逊干涉系统(20)包括分束器(21)、第一反射镜(22)、第一光栅(23)、第二光栅(24)和第二反射镜(25)，所述第一光栅(23)与所述第二光栅(24)的光栅常数相同，所述第一光栅(23)的衍射面与所述第二光栅(24)的衍射面平行且等高设置，所述第一光栅(23)和第二光栅(24)构成一对衍射光栅；其中，所述第一光栅(23)，第二光栅(24)和第二反射镜(25)构成啁啾光路；
所述飞秒激光频率梳(10)发出的光入射到所述分束器(21)，经所述分束器(21)透射的光发射到第一反射镜(22)，经所述第一反射镜(22)反射的光作为测量臂光脉冲返回到所述分束器(21)；
经所述分束器(21)反射的光发射到所述第一光栅(23)，经所述第一光栅(23)的衍射光入射到所述第二光栅(24)，经所述第二光栅(24)的衍射光入射到第二反射镜(25)，经所述第二反射镜(25)的反射光依次经过所述第二光栅(24)和所述第一光栅(23)作为参考臂光脉冲返回到分束器(21)，从而对光脉冲产生啁啾，使光脉冲的中心频率发生偏移；
经所述第一反射镜(22)的反射光和经所述第二反射镜(25)的反射光在分束器(21)处合光后发射到所述光谱仪(30)，所述光谱仪(30)探测接收经所述第一反射镜(22)的反射光和经所述第二反射镜(25)的反射光合光后的干涉信号，光谱仪(30)将所测得的信号发送到计算机进行处理，至此完成距离测量。
3.如权利要求2所述一种飞秒激光频率梳脉冲啁啾干涉测距系统，对光脉冲产生啁啾包括：
通过调节啁啾光路中所述第一光栅(23)的光束入射角度和光栅水平度，得到水平的散开的第一级衍射光；
通过调节啁啾光路中所述第二光栅(24)，使所述第二光栅(24)和所述第一光栅(23)平行，并且使经所述第一光栅(23)的衍射光入射到第二光栅(24)，并通过所述第一光栅(23)和第二光栅(24)对光脉冲序列啁啾调制，使光脉冲的中心频率发生偏移；
通过调节啁啾光路中所述第二反射镜(25)，使经所述第一光栅(23)和所述第二光栅(24)的衍射光反射，并且经所述第二反射镜(25)的反射光依次经所述第二光栅(24)、所述第一光栅(23)返回到分束器(21)。
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| CN106247954B (zh) * | 2016-09-23 | 2019-03-26 | 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 | 一种基于变频干涉原理的飞秒激光测长装置及方法 |
| CN107228623A (zh) * | 2017-06-05 | 2017-10-03 | 中国计量科学研究院 | 无导轨的绝对距离测量方法和系统 |
| CN107192355B (zh) * | 2017-06-30 | 2019-08-09 | 清华大学 | 一种双光梳精密测角方法及测角系统 |
| CN107918237B (zh) * | 2018-01-09 | 2021-03-16 | 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 | 双飞秒光学频率梳产生装置 |
| CN108873008A (zh) * | 2018-06-12 | 2018-11-23 | 天津大学 | 一种基于双光梳干涉的水下距离高精度测量方法 |
| CN110058217A (zh) * | 2019-01-25 | 2019-07-26 | 北京航天计量测试技术研究所 | 一种共链路空气折射率实时补偿测距方法 |
| CN110895339B (zh) * | 2019-11-01 | 2022-02-25 | 清华大学 | 双光梳多脉冲测距系统及其应用 |
| CN110865392A (zh) * | 2019-11-28 | 2020-03-06 | 天津大学 | 一种基于光学频率梳并应用于工件测距成像的方法 |
| CN112217090B (zh) * | 2020-09-11 | 2022-08-05 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 基于啁啾泵浦的重频稳定光频梳产生系统与方法 |
| CN113074665B (zh) * | 2021-04-26 | 2022-06-28 | 中国石油大学(华东) | 一种基于光谱分辨干涉的线轮廓测量方法 |
| CN114562955B (zh) * | 2022-01-24 | 2022-11-25 | 南京航空航天大学 | 一种时空分辨的瞬态面型干涉检测系统及检测方法 |
| CN115031630B (zh) * | 2022-06-10 | 2023-05-26 | 天津大学 | 一种光频梳色散干涉的平面位姿测量装置及测量方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102679950A (zh) * | 2012-05-18 | 2012-09-19 | 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 | 一种基于三波长飞秒激光的测距装置及方法 |
| CN103197322A (zh) * | 2013-04-10 | 2013-07-10 | 清华大学 | 一种飞秒激光频率梳合成波干涉测距方法及测距系统 |
Family Cites Families (1)
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-
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Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102679950A (zh) * | 2012-05-18 | 2012-09-19 | 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 | 一种基于三波长飞秒激光的测距装置及方法 |
| CN103197322A (zh) * | 2013-04-10 | 2013-07-10 | 清华大学 | 一种飞秒激光频率梳合成波干涉测距方法及测距系统 |
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