CN105161448A - 一种石墨舟存储柜 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种石墨舟存储柜，包括柜体、氮气系统，所述柜体形状为竖直长方体，柜体底部有支撑脚，柜体正面为玻璃门，玻璃门与柜体通过两个合页相连，柜体内有支撑架，所述氮气系统包括通气管、空流阀、第一三通、第二三通、第三三通、第四三通。本发明通过将石墨存储柜增加氮气系统，经过实验优化，增加氮气管通气之后,可以避免空气中的湿气影响,因为氮气是纯干燥的气体,不会含有水蒸气,另外可以避免空气中的粉尘颗粒物附着,减少石墨舟使用环境的污染，保证产品生产质量的稳定。

Description

一种石墨舟存储柜
【技术领域】
本发明涉及存储柜的技术领域，特别是一种石墨舟存储柜的技术领域。
【背景技术】
石墨舟材质在光伏车间正常使用的过程中,如果放置久了会因为空气中的湿气还有印刷车间的金属或者有机粉尘物附着和污染,导致在运行工艺的放电过程中,影响电池片的性能和EL外观，因此需要有专门的存储柜进行存放。现有石墨舟柜初始存放的时候,存放环境和车间环境差异不大,石墨舟容易被气中的湿气影响,进而被空气中的粉尘颗粒物附着污染。急需一种不会含有水蒸气,另外可以避免空气中的粉尘颗粒物附着,减少石墨舟使用环境的污染的石墨舟存储柜。
【发明内容】
本发明的目的就是解决现有技术中的问题，提出一种石墨舟存储柜，能够使石墨舟存放避免空气中的湿气影响,另外可以避免空气中的粉尘颗粒物附着,减少石墨舟使用环境的污染，保证产品生产质量的稳定。
为实现上述目的，本发明提出了一种石墨舟存储柜，包括柜体、氮气系统，所述柜体形状为竖直长方体，柜体底部有支撑脚，柜体正面为玻璃门，玻璃门与柜体通过两个合页相连，柜体内有支撑架，所述氮气系统包括通气管、空流阀、第一三通、第二三通、第三三通、第四三通。
作为优选，所述支撑脚数量为四，支撑脚位于柜体底部四角上，支撑脚高度可调。
作为优选，所述支撑架数量为四，支撑架形状与柜体横截面形状大小相同，所述支撑架将柜体从上到下依次分为等高的第一、第二、第三、第四、第五层，每层柜体侧面均有一通气孔，氮气系统与通气孔相连。
作为优选，所述空流阀通过通气管与第一三通相连，所述第一三通通过通气管分别与第二三通、第一层通气孔相连，所述第二三通通过通气管分别与第三三通、第四三通相连，所述第三三通通过通气管分别与第二层、第三层的通气孔相连，所述第四三通通过通气管分别与第四层、第五层的通气孔相连。
本发明的有益效果：本发明通过将石墨存储柜增加氮气系统，经过实验优化，增加氮气管通气之后,可以避免空气中的湿气影响,因为氮气是纯干燥的气体,不会含有水蒸气,另外可以避免空气中的粉尘颗粒物附着,减少石墨舟使用环境的污染，保证产品生产质量的稳定。
本发明的特征及优点将通过实施例结合附图进行详细说明。
【附图说明】
图1是本发明一种石墨舟存储柜的主视图。
图中：1-柜体、2-氮气系统、3-支撑脚、4-玻璃门、5-合页、6-支撑架、7-通气管、8-空流阀、9-第一三通、10-第二三通、11-第三三通、12-第四三通、13-通气孔。
【具体实施方式】
参阅图1，本发明一种石墨舟存储柜，包括柜体1、氮气系统2，所述柜体1形状为竖直长方体，柜体1底部有支撑脚3，柜体1正面为玻璃门4，玻璃门4与柜体1通过两个合页5相连，柜体1内有支撑架6，所述氮气系统2包括通气管7、空流阀8、第一三通9、第二三通10、第三三通11、第四三通12，所述支撑脚3数量为四，支撑脚3位于柜体1底部四角上，支撑脚3高度可调，所述支撑架6数量为四，支撑架6形状与柜体1横截面形状大小相同，所述支撑架6将柜体1从上到下依次分为等高的第一、第二、第三、第四、第五层，每层柜体1侧面均有一通气孔13，氮气系统2与通气孔13相连，所述空流阀8通过通气管7与第一三通相连9，所述第一三通9通过通气管7分别与第二三通10、第一层通气孔13相连，所述第二三通10通过通气管7分别与第三三通11、第四三通相连12，所述第三三通11通过通气管7分别与第二层、第三层的通气孔13相连，所述第四三通12通过通气管7分别与第四层、第五层的通气孔13相连。
本发明工作过程：
本发明一种石墨舟存储柜在工作过程中，将石墨舟放入柜体1，合上玻璃门4，打开空流阀8，氮气通过氮气系统2进入柜体1，调节空流阀8控制氮气的流速大小，本发明通过将石墨存储柜增加氮气系统，经过实验优化，增加氮气管通气之后,可以避免空气中的湿气影响,因为氮气是纯干燥的气体,不会含有水蒸气,另外可以避免空气中的粉尘颗粒物附着,减少石墨舟使用环境的污染，保证产品生产质量的稳定。
上述实施例是对本发明的说明，不是对本发明的限定，任何对本发明简单变换后的方案均属于本发明的保护范围。

Claims (4)

1.一种石墨舟存储柜，其特征在于：包括柜体(1)、氮气系统(2)，所述柜体(1)形状为竖直长方体，柜体(1)底部有支撑脚(3)，柜体(1)正面为玻璃门(4)，玻璃门(4)与柜体(1)通过两个合页(5)相连，柜体(1)内有支撑架(6)，所述氮气系统(2)包括通气管(7)、空流阀(8)、第一三通(9)、第二三通(10)、第三三通(11)、第四三通(12)。
2.如权利要求1所述的一种石墨舟存储柜，其特征在于：所述支撑脚(3)数量为四，支撑脚(3)位于柜体(1)底部四角上，支撑脚(3)高度可调。
3.如权利要求1所述的一种石墨舟存储柜，其特征在于：所述支撑架(6)数量为四，支撑架(6)形状与柜体(1)横截面形状大小相同，所述支撑架(6)将柜体(1)从上到下依次分为等高的第一、第二、第三、第四、第五层，每层柜体(1)侧面均有一通气孔(13)，氮气系统(2)与通气孔(13)相连。
4.如权利要求1至3中任一项所述的一种石墨舟存储柜，其特征在于：所述空流阀(8)通过通气管(7)与第一三通相连(9)，所述第一三通(9)通过通气管(7)分别与第二三通(10)、第一层通气孔(13)相连，所述第二三通(10)通过通气管(7)分别与第三三通(11)、第四三通相连(12)，所述第三三通(11)通过通气管(7)分别与第二层、第三层的通气孔(13)相连，所述第四三通(12)通过通气管(7)分别与第四层、第五层的通气孔(13)相连。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106515255A (zh) * 2017-01-09 2017-03-22 石子霄 一种古籍善本保护书架及其保护方法
CN109573279A (zh) * 2018-12-28 2019-04-05 浙江中晶新能源有限公司 一种石墨舟智能存储装置

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4413376B2 (ja) * 2000-05-29 2010-02-10 全協化成工業株式会社 ウェハー保管装置
CN203137559U (zh) * 2013-04-09 2013-08-21 国家档案局档案科学技术研究所 档案封存柜
CN203527441U (zh) * 2013-10-21 2014-04-09 四川虹视显示技术有限公司 一种oled基板储藏装置
CN203800025U (zh) * 2014-05-07 2014-08-27 宁波富星太阳能有限公司 石墨舟存储柜
CN203997302U (zh) * 2014-08-22 2014-12-10 江西耀升钨业股份有限公司 一种石墨舟皿器
CN204245572U (zh) * 2014-02-20 2015-04-08 国家档案局档案科学技术研究所 一种照片档案专用存储柜
CN204905229U (zh) * 2015-08-14 2015-12-23 浙江艾能聚光伏科技股份有限公司 一种石墨舟存储柜

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4413376B2 (ja) * 2000-05-29 2010-02-10 全協化成工業株式会社 ウェハー保管装置
CN203137559U (zh) * 2013-04-09 2013-08-21 国家档案局档案科学技术研究所 档案封存柜
CN203527441U (zh) * 2013-10-21 2014-04-09 四川虹视显示技术有限公司 一种oled基板储藏装置
CN204245572U (zh) * 2014-02-20 2015-04-08 国家档案局档案科学技术研究所 一种照片档案专用存储柜
CN203800025U (zh) * 2014-05-07 2014-08-27 宁波富星太阳能有限公司 石墨舟存储柜
CN203997302U (zh) * 2014-08-22 2014-12-10 江西耀升钨业股份有限公司 一种石墨舟皿器
CN204905229U (zh) * 2015-08-14 2015-12-23 浙江艾能聚光伏科技股份有限公司 一种石墨舟存储柜

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106515255A (zh) * 2017-01-09 2017-03-22 石子霄 一种古籍善本保护书架及其保护方法
CN109573279A (zh) * 2018-12-28 2019-04-05 浙江中晶新能源有限公司 一种石墨舟智能存储装置

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