CN105098085A - 一种有机发光器件及其制作方法、显示装置 - Google Patents
一种有机发光器件及其制作方法、显示装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN105098085A CN105098085A CN201510374892.6A CN201510374892A CN105098085A CN 105098085 A CN105098085 A CN 105098085A CN 201510374892 A CN201510374892 A CN 201510374892A CN 105098085 A CN105098085 A CN 105098085A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- layer
- organic
- processing procedure
- hole
- luminescent device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 8
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 41
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims abstract description 40
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims abstract description 40
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 45
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 33
- 230000027756 respiratory electron transport chain Effects 0.000 claims description 11
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 9
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 9
- 239000012774 insulation material Substances 0.000 claims description 8
- 238000002207 thermal evaporation Methods 0.000 claims description 8
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 claims description 7
- 239000007792 gaseous phase Substances 0.000 claims description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 239000002800 charge carrier Substances 0.000 description 6
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 5
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 4
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 229910000952 Be alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000004581 coalescence Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- MRNHPUHPBOKKQT-UHFFFAOYSA-N indium;tin;hydrate Chemical compound O.[In].[Sn] MRNHPUHPBOKKQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/10—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
- H10K50/17—Carrier injection layers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/10—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
- H10K50/14—Carrier transporting layers
- H10K50/15—Hole transporting layers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K2102/00—Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
本发明提供了一种有机发光器件，包括：第一电极、第二电极以及有机功能层，其中，所述有机功能层包括：空穴注入层、空穴传输层、以及形成于所述空穴注入层和/或所述空穴传输层中的绝缘层。本发明还提供了一种上述有机发光器件的制作方法。本发明提供了一种显示装置，包括上述有机发光器件。本发明通过加入绝缘层有效地减少了空穴的注入和传输，能够平衡载流子的传输，并提高OLED器件的发光效率和寿命。
Description
技术领域
本发明涉及半导体制备技术领域，尤其涉及一种有机发光器件及其制作方法、显示装置。
背景技术
有机发光二极管(OrganicLightEmittingDiode，简称OLED)显示器是一种自发光显示器。OLED的发光机理是在外加电场的作用下，电子和空穴分别从正负两极注入到有机发光材料中，从而在该有机发光材料中进行迁移、复合并衰减而发光。
现有的OLED器件结构如图1所示，包括阴极层10、阳极层20，以及位于阴极层10和阳极层20之间的有机功能层30。该有机功能层30包括电子传输层31、有机发光层32、空穴传输层33和空穴注入层34。其中，在OLED在发光过程中空穴传输材料的迁移率远大于电子传输材料的迁移率，致使大量的空穴聚集在有机发光材料中靠近电子传输层的一侧，从而导致空穴和电子等载流子的传输不平衡，大大降低了发光效率。
而现有技术中，为了使空穴和电子等载流子在传输过程中保持平衡，有加厚空穴传输层或加入阻挡层等方法。但是如此会增加材料的使用量，效果也不尽理想。
发明内容
针对现有技术的缺陷，本发明提供了一种有机发光器件及其制作方法、显示装置，通过加入绝缘层有效地减少了空穴的注入和传输，从而平衡了载流子的传输，并提高了OLED器件的发光效率和寿命。
第一方面，本发明提供了一种有机发光器件，包括：第一电极、第二电极以及有机功能层，所述有机功能层包括：空穴注入层、空穴传输层、以及形成于所述空穴注入层和/或所述空穴传输层中的绝缘层。
优选地，所述有机功能层还包括：有机发光层、电子传输层、电子注入层及空穴阻挡层中的一层或多层。
优选地，所述绝缘层通过第一制程制备而成。
优选地，所述空穴注入层和空穴传输层均通过第二制程制备而成。
优选地，所述第一制程包括化学气相沉淀。
优选地，所述第二制程包括真空热蒸镀。
第二方面，本发明提供了一种有机发光器件的制作方法，包括：在基板上依次形成第一电极、有机功能层及第二电极，形成所述有机功能层包括：形成空穴注入层、形成空穴传输层，以及在所述空穴注入层和/或所述空穴传输层中形成绝缘层。
优选地，形成所述有机功能层还包括：
在所述空穴传输层上形成有机发光层，在所述有机发光层上形成电子传输层。
优选地，形成所述绝缘层包括：
通过第一制程制备绝缘材料层，刻蚀所述绝缘材料层形成所述绝缘层。
优选地，形成所述有机功能层包括：
通过第二制程制备所述空穴注入层，通过第二制程制备所述空穴传输层。
优选地，所述第一制程包括化学气相沉淀。
优选地，所述第二制程包括真空热蒸镀。
第三方面，本发明提供了一种显示装置，包括上述的有机发光器件。
由上述技术方案可知，本发明提供了一种有机发光器件及其制作方法、显示装置，在空穴注入层和/或空穴传输层中加入绝缘层，能够有效减少空穴注入量并减缓空穴传输速度，从而使得载流子在发光层中更为有效地复合，并提高了OLED器件的发光效率和寿命。同时加入绝缘层，能够减少蒸镀材料的使用。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些图获得其他的附图。
图1是现有技术中OLED器件的结构示意图；
图2是本发明一实施例提供的一种有机发光器件的结构示意图；
图3是本发明另一实施例提供的一种有机发光器件的制作方法的流程示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
如图2所示，为本发明一实施例提供的一种有机发光器件的结构示意图，该有机发光器件包括：第一电极100、第二电极200以及有机功能层300。
其中，所述有机功能层300包括：空穴注入层304、空穴传输层303、以及形成于所述空穴注入层304和/或所述空穴传输层303中的绝缘层400。
优选地，如图2所示，该绝缘层400形成于第一电极100上，且同时位于空穴注入层304和空穴传输层303两层中，如此，形成于空穴注入层304中的部分绝缘层能够使得空穴的注入量减少，而形成于空穴传输层303中的部分绝缘层使得空穴的传输速度减缓，最终使得空穴和电子在有机发光层302中有效地复合发光。
需要说明的是，除本实施例图2所示的结构，绝缘层的厚度和位置能够改变，本实施例对此不加以限制。举例来说，绝缘层可位于空穴注入层或空穴传输层中任意一层，也可同时位于空穴注入层和空穴传输层两层中，而绝缘层的厚度小于等于空穴注入层和空穴传输层的厚度之和。通过对绝缘层的厚度及位置的改变，来控制空穴注入量和空穴传输速度，从而平衡空穴和电子等载流子的传输，使得两者在有机发光层中有效地复合并发光，提高发光效率。
本实施例中，如图2所示，该有机功能层300还包括有机发光层302和电子传输层301。需要说明的是，有机功能层的结构并不限于此，所述有机功能层可包括：有机发光层、电子传输层、电子注入层及空穴阻挡层中的一层或多层。
本实施例中，所述绝缘层400通过第一制程制备而成。所述空穴注入层304和空穴传输层303等有机功能层均通过第二制程制备而成。
需要说明的是，第一制程和第二制程可以采用现有任意一种能够实现图案化的基板生产工艺。本实施例中，所述第一制程包括化学气相沉淀，所述第二制程包括真空热蒸镀。
本实施例提供了一种有机发光器件，在空穴注入层和/或空穴传输层中加入绝缘层，能够有效减少空穴注入量并减缓空穴传输速度，从而使得载流子在发光层中更为有效地复合，并提高了OLED器件的发光效率和寿命。同时加入绝缘层，也能够减少蒸镀材料的使用。
本发明另一实施例提供了一种有机发光器件的制作方法，该方法包括：
在基板上依次形成第一电极、有机功能层及第二电极。具体地，形成所述有机功能层包括：形成空穴注入层、形成空穴传输层，以及在所述空穴注入层和/或所述空穴传输层中形成绝缘层。
本实施例中，形成所述有机功能层还包括如下步骤：
在所述空穴传输层上形成有机发光层，在所述有机发光层上形成电子传输层。
具体来说，形成所述绝缘层包括：
通过第一制程制备绝缘材料层，刻蚀所述绝缘材料层形成所述绝缘层。
具体来说，形成所述有机功能层包括：
通过第二制程制备所述空穴注入层，通过第二制程制备所述空穴传输层。
本实施例中，所述第一制程包括化学气相沉淀。所述第二制程包括真空热蒸镀。
本发明再一实施例提供了一种显示装置，包括上述的有机发光器件。显示装置可以为显示器、电视机、手机、导航仪、数码相框、摄影机、照相机等具有显示功能的产品和部件。
实施例1
为了更清楚地说明本发明的技术方案，下面结合各步骤形成的器件结构的剖面示意图说明本发明的一个具体实施例1，该实施例中，如图2所示出的产品结构所示。应该理解，这里示出的结构是例示性的，根据本发明权利要求限定的范围和精神，还可以具有其他结构形式。如图3所示，该实施例的制造方法可具体包括如下步骤：
S1：在基板上形成氧化铟锡(IndiumTinOxides，ITO)层，并刻蚀该ITO层形成第一电极100；
其中，基板可为透明玻璃。
S2：通过化学气相沉积，在第一电极100上形成绝缘材料层，并刻蚀该绝缘材料层形成绝缘层400；
S3：通过真空热蒸镀的方式，在绝缘层400和第一电极100上依次形成空穴注入层304、空穴传输层303、有机发光层302及电子传输层301；
其中，绝缘层材料可以为氧化硅、氮化硅等绝缘材料。绝缘层400的位置和厚度可以改变，绝缘层400可位于空穴注入层304和/或空穴传输层303中，而绝缘层400的厚度小于等于空穴注入层304和空穴传输层303的厚度之和，如图2所示，绝缘层400位于空穴注入层304和空穴传输层303中，能够有效减少空穴注入层304和空穴传输层303的大小，减少蒸镀材料，且使得空穴注入量和空穴传输速度均有所减小。且有机功能层中除绝缘层400外均可通过真空热蒸镀的方式形成，如此可以有效地减少工艺步骤。
S4：在电子传输层301上形成金属层，并刻蚀该金属层形成第二电极200。
其中，该金属层可为Al(铝)层，也可为合金MgAg。
以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解；其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。
Claims (13)
1.一种有机发光器件，包括：第一电极、第二电极以及有机功能层，其特征在于：
所述有机功能层包括：空穴注入层、空穴传输层、以及形成于所述空穴注入层和/或所述空穴传输层中的绝缘层。
2.根据权利要求1所述的有机发光器件，其特征在于，所述有机功能层还包括：有机发光层、电子传输层、电子注入层及空穴阻挡层中的一层或多层。
3.根据权利要求1所述的有机发光器件，其特征在于，所述绝缘层通过第一制程制备而成。
4.根据权利要求1所述的有机发光器件，其特征在于，所述空穴注入层和空穴传输层均通过第二制程制备而成。
5.根据权利要求3所述的有机发光器件，其特征在于，所述第一制程包括化学气相沉淀。
6.根据权利要求4所述的有机发光器件，其特征在于，所述第二制程包括真空热蒸镀。
7.一种有机发光器件的制作方法，包括：在基板上依次形成第一电极、有机功能层及第二电极，其特征在于：
形成所述有机功能层包括：形成空穴注入层、形成空穴传输层，以及在所述空穴注入层和/或所述空穴传输层中形成绝缘层。
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，形成所述有机功能层还包括：
在所述空穴传输层上形成有机发光层，在所述有机发光层上形成电子传输层。
9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，形成所述绝缘层包括：
通过第一制程制备绝缘材料层，刻蚀所述绝缘材料层形成所述绝缘层。
10.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，形成所述有机功能层包括：
通过第二制程制备所述空穴注入层，通过第二制程制备所述空穴传输层。
11.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述第一制程包括化学气相沉淀。
12.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述第二制程包括真空热蒸镀。
13.一种显示装置，其特征在于，包括权利要求1至6其中任一项所述的有机发光器件。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201510374892.6A CN105098085A (zh) | 2015-06-30 | 2015-06-30 | 一种有机发光器件及其制作方法、显示装置 |
| US15/067,670 US20170005285A1 (en) | 2015-06-30 | 2016-03-11 | Organic light-emitting device and method for manufacturing the same, and display apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201510374892.6A CN105098085A (zh) | 2015-06-30 | 2015-06-30 | 一种有机发光器件及其制作方法、显示装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN105098085A true CN105098085A (zh) | 2015-11-25 |
Family
ID=54578077
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201510374892.6A Pending CN105098085A (zh) | 2015-06-30 | 2015-06-30 | 一种有机发光器件及其制作方法、显示装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20170005285A1 (zh) |
| CN (1) | CN105098085A (zh) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109830613A (zh) * | 2019-01-31 | 2019-05-31 | 瑞声科技（南京）有限公司 | 有机发光器件及其制备方法 |
| CN109860406A (zh) * | 2019-01-31 | 2019-06-07 | 瑞声科技（南京）有限公司 | 有机电致发光二极管及其制备方法 |
| CN109860407A (zh) * | 2019-01-31 | 2019-06-07 | 瑞声科技（南京）有限公司 | 一种有机发光器件及其制备方法 |
| CN110707143A (zh) * | 2019-11-13 | 2020-01-17 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示面板、制备方法及显示装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1564641A (zh) * | 2004-04-08 | 2005-01-12 | 清华大学 | 一种有机电致发光器件 |
| CN101022154A (zh) * | 2007-03-16 | 2007-08-22 | 电子科技大学 | 一种具有空穴传输调控特性的有机电致发光器件 |
| CN101163359A (zh) * | 2007-11-14 | 2008-04-16 | 清华大学 | 一种有机电致发光器件 |
| CN103904178A (zh) * | 2014-04-11 | 2014-07-02 | 浙江大学 | 量子点发光器件 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW200721478A (en) * | 2005-10-14 | 2007-06-01 | Pioneer Corp | Light-emitting element and display apparatus using the same |
| CN101689559B (zh) * | 2008-06-06 | 2011-12-28 | 松下电器产业株式会社 | 有机电致发光显示屏及其制造方法 |
| US8410689B2 (en) * | 2009-06-30 | 2013-04-02 | Casio Computer Co., Ltd. | Stacked body having a light emitting element and a light detecting element for measuring an amount of light, a light emitting device, and an image formation device |
| WO2012098587A1 (ja) * | 2011-01-21 | 2012-07-26 | パナソニック株式会社 | 有機ｅｌ素子 |
| US9236583B2 (en) * | 2011-11-14 | 2016-01-12 | Konica Minolta, Inc. | Organic electroluminescent element and planar light-emitting unit |
| TWI577238B (zh) * | 2012-04-25 | 2017-04-01 | 群康科技(深圳)有限公司 | 有機發光二極體及包含其之顯示裝置 |
| US9881899B2 (en) * | 2014-07-09 | 2018-01-30 | Joled Inc. | Organic light-emitting device and organic display device |
| JP2016213052A (ja) * | 2015-05-08 | 2016-12-15 | 株式会社Ｊｏｌｅｄ | 青色有機ｅｌ素子、有機ｅｌ表示パネル及び青色有機ｅｌ素子の製造方法 |
-
2015
- 2015-06-30 CN CN201510374892.6A patent/CN105098085A/zh active Pending
-
2016
- 2016-03-11 US US15/067,670 patent/US20170005285A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1564641A (zh) * | 2004-04-08 | 2005-01-12 | 清华大学 | 一种有机电致发光器件 |
| CN101022154A (zh) * | 2007-03-16 | 2007-08-22 | 电子科技大学 | 一种具有空穴传输调控特性的有机电致发光器件 |
| CN101163359A (zh) * | 2007-11-14 | 2008-04-16 | 清华大学 | 一种有机电致发光器件 |
| CN103904178A (zh) * | 2014-04-11 | 2014-07-02 | 浙江大学 | 量子点发光器件 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109830613A (zh) * | 2019-01-31 | 2019-05-31 | 瑞声科技（南京）有限公司 | 有机发光器件及其制备方法 |
| CN109860406A (zh) * | 2019-01-31 | 2019-06-07 | 瑞声科技（南京）有限公司 | 有机电致发光二极管及其制备方法 |
| CN109860407A (zh) * | 2019-01-31 | 2019-06-07 | 瑞声科技（南京）有限公司 | 一种有机发光器件及其制备方法 |
| CN110707143A (zh) * | 2019-11-13 | 2020-01-17 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示面板、制备方法及显示装置 |
| CN110707143B (zh) * | 2019-11-13 | 2022-03-04 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示面板、制备方法及显示装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20170005285A1 (en) | 2017-01-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN104241540A (zh) | 一种有机电致发光显示器件、其制作方法及显示装置 | |
| TW200537972A (en) | Organic light-emitting device and method of manufacturing a cathode in organic light-emitting devices | |
| CN102201540B (zh) | 有机电致发光元件 | |
| CN109585668B (zh) | Oled显示器件、显示面板、oled显示器件的制备方法 | |
| CN105098085A (zh) | 一种有机发光器件及其制作方法、显示装置 | |
| KR20140091696A (ko) | 발광 컴포넌트와 발광 컴포넌트를 제조하기 위한 방법 | |
| WO2012070330A1 (ja) | 有機ｅｌ素子 | |
| US10374159B2 (en) | Optoelectronics integration by transfer process | |
| CN105895820A (zh) | 有机发光器件及其显示器 | |
| WO2011148801A1 (ja) | 有機ｅｌ素子 | |
| CN102244204A (zh) | 一种oled 器件及其制备方法 | |
| CN102456844A (zh) | 有机发光二极管及其制造方法 | |
| US9780323B2 (en) | Tandem organic light emitting diode and preparation method thereof | |
| US10186678B2 (en) | Organic light-emitting diode component and organic light-emitting diode display | |
| CN105870350A (zh) | 有机发光器件 | |
| CN111048673B (zh) | 显示面板及制备方法 | |
| CN111341923A (zh) | 一种有机电致发光二极管及其制备方法 | |
| CN110729410B (zh) | 一种有机发光二极管、显示面板及制作方法 | |
| CN108346746A (zh) | 有机电致发光器件及其制造方法、显示装置 | |
| US20140103311A1 (en) | Oled lighting device and method for manufacturing the same | |
| US9263705B2 (en) | Successive deposition apparatus and successive deposition method | |
| Jiao et al. | Enhancing performances of blue organic light-emitting devices incorporating CuPc as electron buffer layers | |
| KR100981015B1 (ko) | 유기 전계 발광 소자의 제조 방법 | |
| KR101457681B1 (ko) | 전계발광소자 | |
| KR100768506B1 (ko) | 유기 전계 발광 소자 및 그 제조 방법 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20151125 |