CN105063564A - 磁控溅射镀膜线的屏蔽冷却系统 - Google Patents
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Abstract
提供了一种磁控溅射镀膜线的屏蔽冷却系统，包括屏蔽板、铜编织带、冷却管、底架、及连接板，连接板通过螺钉将底架连接起来，冷却管通过螺栓固定至底架，冷却管固定有铜编织带，屏蔽板通过螺钉安装在冷却管上，铜编织带紧密压在屏蔽板和冷却管之间，由此，铜编织带使屏蔽板和冷却管紧密贴合，从而增加传热面积。根据本发明的磁控溅射镀膜线的屏蔽冷却系统，屏蔽板吸附大量的热量，通过铜编织带传导给冷却管，利于镀膜时的散热。同时，屏蔽板也能吸附大量的阴极溅射物，防止溅射物扩散至整个镀膜室，污染镀膜环境，保证了镀膜的质量，同时能有效的阻挡阴极溅射物吸附到冷却管的表面，影响其散热效果。
Description
技术领域
本发明涉及一种磁控溅射镀膜线的屏蔽冷却系统，属于大面积磁控溅射镀膜生产设备。
背景技术
对于连续式真空磁控溅射镀膜玻璃生产线来说，在镀膜过程中，阴极溅射会产生一定的溅射物和热量，而这些溅射物长期积累在真空腔室内不仅会影响热量的传导，而且还会影响镀膜腔室内的镀膜环境，从而对镀膜质量产生一定的影响，所以在镀膜时会希望将阴极产生的溅射物及时清理，同时也希望阴极产生的热量尽快传导出去。
发明内容
本发明旨在解决镀膜时阴极产生的溅射物的清理问题和阴极产生热量的传导问题。
为了达成上述目的，提供了一种磁控溅射镀膜线的屏蔽冷却系统，包括屏蔽板、铜编织带、冷却管、底架、及连接板，所述连接板通过螺钉将所述底架连接起来，所述冷却管通过螺栓固定至所述底架，所述冷却管固定有所述铜编织带，所述屏蔽板通过螺钉安装在所述冷却管上，所述铜编织带紧密压在所述屏蔽板和所述冷却管之间，由此，所述铜编织带使所述屏蔽板和所述冷却管紧密贴合，从而增加传热面积。
一些实施例中，所述连接板通过螺钉将所述底架连接在一起，由此保证该装置两侧处于同一水平面以增加其支撑的稳定性。
一些实施例中，所述冷却管通过螺栓固定在所述底架的上表面。
一些实施例中，所述铜编织带固定在所述冷却管的上表面，由此有效增加传热面积。
一些实施例中，所述屏蔽板设为有效吸附阴极溅射物，同时隔绝阴极溅射物吸附在所述冷却管的表面。
根据本发明的磁控溅射镀膜线的屏蔽冷却系统，屏蔽板吸附大量的热量，通过铜编织带传导给冷却管，利于镀膜时的散热。同时，屏蔽板也能吸附大量的阴极溅射物，防止溅射物扩散至整个镀膜室，污染镀膜环境，保证了镀膜的质量，同时能有效的阻挡阴极溅射物吸附到冷却管的表面，影响其散热效果。
以下结合附图，通过示例说明本发明主旨的描述，以清楚本发明的其他方面和优点。
附图说明
结合附图，通过下文的详细说明，可更清楚地理解本发明的上述及其他特征和优点，其中：
图1为根据本发明实施例的磁控溅射镀膜线的屏蔽冷却系统的结构示意图。
具体实施方式
参见本发明具体实施例的附图，下文将更详细地描述本发明。然而，本发明可以以许多不同形式实现，并且不应解释为受在此提出之实施例的限制。相反，提出这些实施例是为了达成充分及完整公开，并且使本技术领域的技术人员完全了解本发明的范围。
现参考附图详细说明根据本发明实施例的磁控溅射镀膜线的屏蔽冷却系统。
如图所示，根据本发明实施例的磁控溅射镀膜线的屏蔽冷却系统，包括屏蔽板1、铜编织带2、，冷却管3、底架4、连接板5。连接板5通过螺钉将底架4连接起来，冷却管3通过螺栓固定在底架4上表面，在冷却管3的上表面固定一层铜编织带2，屏蔽板1通过螺钉安装在冷却管3上，铜编织带2紧密压在屏蔽板1和冷却管3之间。其特征在于：铜编织带2能有效的使屏蔽板1和冷却管3紧密贴合，增加传热面积，达到更好的冷却效果；
连接板5通过螺钉将底架4连接在一起，保证该装置两侧处于同一水平面，并且能增加其支撑的稳定性。冷却管3通过螺栓固定在底架4上表面。
铜编织带2固定在冷却管3的上表面，能有效的增加传热面积。屏蔽板1通过螺钉安装在冷却管3上，将铜编织带2紧密压在屏蔽板1和冷却管3之间，屏蔽板1能有效的吸附阴极溅射物，同时也能隔绝阴极溅射物吸附在冷却管3的表面，影响其散热作用。
连接板5通过螺钉将底架4连接起来，增加整个结构的稳定性，冷却管3通过螺栓固定在底架4上表面，保证其在同一水平面上，在冷却管3的上表面固定一层铜编织带2，屏蔽板1通过螺钉安装在冷却管3上，使铜编织带2紧密压在屏蔽板1和冷却管3之间。
底架4通过螺钉将连接板5连接在其下表面，冷却管3通过螺栓固定在底架4上表面，在冷却管3的上表面固定一层铜编织带2，屏蔽板1通过螺钉安装在冷却管3上，将铜编织带2紧密压在屏蔽板1和冷却管3之间。底架4与连接板5的连接能保证该装置的稳定性，并且使其两侧处于同一水平面，利于屏蔽板1与铜编织带2的贴合，同时铜编织带2与屏蔽板1和冷却管3的紧密贴合，能有效增加传热面积，达到更好的冷却效果。
根据本发明的磁控溅射镀膜线的屏蔽冷却系统，屏蔽板吸附大量的热量，通过铜编织带传导给冷却管，利于镀膜时的散热。同时，屏蔽板也能吸附大量的阴极溅射物，防止溅射物扩散至整个镀膜室，污染镀膜环境，保证了镀膜的质量，同时能有效的阻挡阴极溅射物吸附到冷却管的表面，影响其散热效果。
以上详细描述了本发明的较佳具体实施例。应当理解，本领域的普通技术人员无需创造性劳动就可以根据本发明的构思做出诸多修改和变化。凡本技术领域中技术人员依本发明的构思在现有技术的基础上通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在由权利要求书所确定的保护范围内。
Claims (5)
1.一种磁控溅射镀膜线的屏蔽冷却系统，其特征在于，包括屏蔽板、铜编织带、冷却管、底架、及连接板，所述连接板通过螺钉将所述底架连接起来，所述冷却管通过螺栓固定至所述底架，所述冷却管固定有所述铜编织带，所述屏蔽板通过螺钉安装在所述冷却管上，所述铜编织带紧密压在所述屏蔽板和所述冷却管之间，由此，所述铜编织带使所述屏蔽板和所述冷却管紧密贴合，从而增加传热面积。
2.根据权利要求1所述的屏蔽冷却系统，其特征在于，所述连接板通过螺钉将所述底架连接在一起，由此保证该装置两侧处于同一水平面以增加其支撑的稳定性。
3.根据权利要求2所述的屏蔽冷却系统，其特征在于，所述冷却管通过螺栓固定在所述底架的上表面。
4.根据权利要求3所述的屏蔽冷却系统，其特征在于，所述铜编织带固定在所述冷却管的上表面，由此有效增加传热面积。
5.根据权利要求4所述的屏蔽冷却系统，其特征在于，所述屏蔽板有效吸附阴极溅射物，同时隔绝阴极溅射物吸附在所述冷却管的表面。
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| CN111164234A (zh) * | 2017-08-02 | 2020-05-15 | 欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔 | 用于进行高效低温涂覆的涂覆设备 |
| CN112159961A (zh) * | 2020-09-06 | 2021-01-01 | 湖北亿钧耀能新材股份公司 | 一种玻璃镀膜设备之溅射腔体 |
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