CN104972124A - 基于飞秒激光复合技术的实时监控快速成型设备和方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种基于飞秒激光复合技术的实时监控快速成型设备及方法,包括真空室(100)、工作台(101)、进料装置(109)、多波长光纤激光器(120)、实时监测系统(110)和控制中心,工作台(101)、进料装置(109)、多波长光纤激光器(120)、实时监测系统(110)均设于真空室(100)内,多波长光纤激光器(120)和实时监测系统(110)还与真空室(100)外的控制中心信号连接。本发明为制造高强度、高成品率、复杂结构的零件提供了一种新的快速成型设备和快速成型方法,尤其适用于对精度和一致性要求更高的各类传感器。
Description
技术领域
本发明属于快速成型技术领域,具体涉及一种基于飞秒激光复合技术的实时监控快速成型设备和方法。
背景技术
快速成型技术是一种用材料逐层或逐点堆积出器件的制造方法,主要是通过综合机械工程、CAD、数控技术、激光技术和材料等科学技术,把三维零件转化为由一系列二维零件截面制造的叠加。对于金属材料,普遍采用激光烧结在气体保护下进行金属粉末的烧结或熔化。
目前应用最为广泛的有远红外(FIR)和紫外(UV)激光,前者通常采用密封式CO2激光器,而后者一般用UV二极管泵浦固态(UV-DPSS)激光器和准分子激光。这些激光属于长脉冲激光,加工时以热扩散为主导,热影响区域大、精度低,快速成型后需要对零件进行除渣和抛光处理。在烧结某些特种金属如钨、钛及高温合金特种性能金属材料关键件时,显现出强度不高、吹粉、球化、残余应力高及表面粗糙高等缺点。此外,当前在快速成型制造过程中仅利用视觉监控来控制尺寸,没有微观结构的原位监控功能,我们无从知道零部件的微观结构,也就不能对其机械性能进行更好地控制。
近些年,短脉冲激光(如纳秒激光、皮秒激光和飞秒激光)与长脉冲激光相比,由于热影响小,加工精度高,因而在精密加工领域备受关注。纳秒激光的脉冲宽度为纳秒(10-9秒)级,其重复频率一般为数百kHz,最高可达10MHz,因此可以达到很高的加工效率。在稳定性方面,纳秒激光器性能稳定可靠,维护简单,寿命长(大于一万小时),这使得纳秒激光器可以应用于大规模生产线。皮秒(10-12秒)激光足以避免能量发生热扩散并达到这些消融临界过程所需要的峰值能量密度,可以提供较高的平均功率(10 W)和良好的光束质量(M2 < 1.5),可以在有效工作距离内聚焦成一个10μm或更小的光点,皮秒激光频率可高达100kHz。飞秒激光是一种超短脉冲激光,脉冲持续时间只有几个飞秒(10-15秒),但却具有非常高的瞬时功率,可达到百万亿瓦。对于飞秒激光加工,在每一个激光脉冲与物质相互作用的持续期内,避免了热扩散的存在,在根本上消除了类似于长脉冲加工过程中的熔融区,热影响区,冲击波等多种效应对周围材料造成的影响和热损伤,将加工过程所涉及的空间范围大大缩小,从而提高准确程度,其光束直径可以聚焦到1μm以内,其精度可达100nm以内,最高可以达到0.1nm。
纳秒激光、皮秒激光、飞秒激光在加工速度、精度和成本等方面各有优缺点,但是如果将纳秒激光、皮秒激光和飞秒激光复合运用于3D 打印技术的烧结和微加工,可以快速、有效避免现今激光烧结过程中出现的吹粉,残余应力等复杂问题,省去后续的清理过程,实现了更高精度的增材制造或减材加工。
发明内容
针对目前快速成型制造方法中存在的强度不高、吹粉、球化、残余应力高及表面粗糙高等问题,本发明结合纳秒激光、皮秒激光、飞秒激光复合技术以及实时监控技术,提出了一种基于飞秒激光复合技术的实时监控快速成型设备和方法。
为解决上述技术问题,本发明采用如下的技术方案:
一、一种基于飞秒激光复合技术的实时监控快速成型设备,包括:
真空室(100)、工作台(101)、进料装置(109)、多波长光纤激光器(120)、实时监测系统(110)和控制中心,工作台(101)、进料装置(109)、多波长光纤激光器(120)、实时监测系统(110)均设于真空室(100)内,多波长光纤激光器(120)和实时监测系统(110)还与真空室(100)外的控制中心信号连接;其中:
工作台(101)内设冷却液流通管道(111),进料装置(109)用来向工作台(101)供给原材料;多波长光纤激光器(120)用来提供纳秒激光、皮秒激光和飞秒激光;实时监控系统(110)用来对成型产品的尺寸、晶相结构、表面形貌、成分中的至少一项进行实时监控和分析。
作为优选,冷却液流通管道(111)内流通有水或液氮。
上述多波长光纤激光器(120)包括控制器、纳秒激光探头(106)、皮秒激光探头(107)和飞秒激光探头(108),纳秒激光探头(106)、皮秒激光探头(107)和飞秒激光探头(108)均与控制器相连。
上述实时监控系统(110)包括控制驱动系统和检测仪器,检测仪器与控制驱动系统相连,所述的检测仪器包括尺寸检测仪器、晶相结构检测仪器、表面形貌检测仪器、成分检测仪器中的一种或多种。
所述的检测仪器包括扫描电镜(113)、X射线衍射仪(114)、红外摄像仪(115)和质谱仪(116)中的一种或多种。
二、基于飞秒激光复合技术的实时监控快速成型方法,其采用上述实时监控快速成型设备对产品逐层进行快速成型,各层的成型步骤如下:
(1)通过进料装置(109)将原材料传送并铺设于工作台(101)上,进行预热;
(2)根据当前层的精度要求确定原始激光,通过多波长光纤激光器(120)提供原始激光对原材料进行扫描烧结熔化及固化;原始激光的选择原则是:对精度要求高的当前层选用脉冲较短的激光,对精度要求低的当前层则选用脉冲较长的激光;基于上述选择原则并结合经验、试验验证在纳秒激光、皮秒激光和飞秒激光中确定制作当前层所采用的原始激光;
(3)采用实时监测系统(110)实时检测和分析已成型当前层的尺寸、晶相结构、表面形貌、成分中的一项或多项,并将分析结果反馈至控制中心;
(4)将控制中心接收的分析结果与预设目标比对,若分析结果达到预设目标,则结束并制作下一层;否则,执行步骤(5);
(5)使用精加工激光对已成型当前层的特定区域进行精加工,然后执行步骤(3);所述的特定区域指分析结果未达到预设目标的区域,所述的精加工激光选择原则为:(a)为皮秒激光或飞秒激光;同时,(b)其加工精度高于原始激光源脉冲。
本发明所采用的原材料可以是金属、聚合物、陶瓷或复合材料,原材料形式可以是金属线条、金属粉末、陶瓷粉末、陶瓷浆料或聚合物凝胶。
本发明将多波长光纤激光器(120)和实时监测系统(110)安装于真空室(100)内,用以实现加工和检测所需要的运动。原材料和成型产品(102)由工作台(101)承载,工作台(101)可以实现三维运动。真空室(100)通过抽真空装置抽真空,从而可提供良好的真空加工环境。
和现有技术相比,本发明具有如下优点和有益效果:
1、本发明通过精确控制纳秒激光、皮秒激光、飞秒激光的强度和聚焦直径,可实现吃产品的快速成型和微观结构的精密加工。使用实时监控系统协调控制,可提高产品微观结构和质量的控制能力。
2、本发明为制造高强度、高成品率、复杂结构的零件提供了一种新的快速成型设备和快速成型方法,尤其适用于对精度和一致性要求更高的各类传感器。
附图说明
为了更清楚地说明本发明,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅为本发明实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明设备的一种具体结构示意图,图中,100-真空室,101-工作台,102-成型产品,106-纳秒激光探头,107-皮秒激光探头,108-飞秒激光探头,109-进料装置,110-实时监测系统,111-冷却液流通管道,113-扫描电镜,114-X射线衍射仪,115-红外摄像仪,116-质谱仪,120-多波长光纤激光器;
图2为本发明方法具体的流程图。
具体实施方式
本发明设备主要包括真空室(100)、工作台(101)、进料装置(109)、多波长光纤激光器(120)、实时监测系统(110)和控制中心。见图1,工作台(101)、进料装置(109)、多波长光纤激光器(120)、实时监测系统(110)均设于真空室(100)内,多波长光纤激光器(120)和实时监测系统(110)还与真空室(100)外的控制中心相连。工作台(101)内设冷却液流通管道(111),内通冷却液用以冷却成型产品(102),具体实施时,冷却液可以为水或液氮。进料装置(109)用来向工作台(101)供给原材料。
多波长光纤激光器(120)集成了纳秒激光探头(106)、皮秒激光探头(107)和飞秒激光探头(108),多波长光纤激光器(120)内设控制器,用以控制纳秒激光、皮秒激光、飞秒激光三种短脉冲激光的发射和关闭。纳秒激光用于对原材料进行选择性烧结熔化及固化,皮秒激光和飞秒激光用于对器件中精度要求高的部位进行烧结熔化或精加工,其聚焦直径最小可达到1μm内,精度可达到100nm以内,最高精度可达0.1nm。
实时监控系统(110)用来对成型产品(102)的晶相结构、表面形貌、成分中的至少一项进行实时监控和分析。具体实施中,实时监控系统(110)包括控制驱动系统、扫描电镜(113)、X射线衍射仪(114)、红外摄像仪(115)和质谱仪(116),控制驱动系统用以控制和驱动扫描电镜(113)、X射线衍射仪(114)、红外摄像仪(115)、质谱仪(116)。具体实施中,扫描电镜(113)配备了二次电子探头、能谱仪(EDS)和背散射探头(EBSD),通过检测扫描电镜激发的二次电子、特征X射线和背散射电子分别用来分析成型产品(102)的表面形貌、材料的元素种类与含量、相分析并获得界面(晶界)参数及检测塑性应变。X射线衍射仪(114)用来精确测定成型产品(102)的晶体结构和应力,进行物相分析。红外摄像仪(115)用来获得熔池及近邻的温度场和几何形貌。多波长光纤激光器(120)和实时监测系统(110)形成闭环系统,从而可以有效控制加工和检测的协调性。
图2为本发明方法的具体流程图,本发明方法按层执行以下步骤:
(1)通过进料装置(109)将当前层原材料传送并铺设于工作台(101)上,进行预热。
(2)根据当前层的精度要求确定原始激光,采用多波长光纤激光器(120)提供该原始激光,对原材料进行扫描烧结熔化及固化。所述的原始激光为纳秒激光、皮秒激光或飞秒激光。
本发明方法是按层进行成型,不同层对精度的要求可能不同,所以,不同层所选择的激光源也不同。原始激光的选择原则是:对精度要求高的当前层选择脉冲较短的激光作为原始激光,例如皮秒激光或飞秒激光;对精度要求低的当前层则选用脉冲较长的激光作为原始激光。本步骤基于上述选择原则并结合经验、试验验证在纳秒激光、皮秒激光和飞秒激光中确定制作当前层所采用的原始激光。
(3)采用实时监测系统(110)实时检测和分析已成型当前层的尺寸、晶相结构、表面形貌、成分中的一项或多项,并将分析结果反馈至控制中心。
(4)将控制中心接收的分析结果与预设目标比对,若分析结果达到预设目标,则继续步骤(6);否则,执行步骤(5)。
(5)使用精加工激光对已成型当前层的特定区域进行精加工,直至完成当前层特定区域的精加工,然后执行步骤(3)。所述的特定区域指分析结果未达到预设目标的区域。精加工激光一般选择比原始激光脉冲更短的激光。
(6)调整工艺参数,工作台(101)下移,重复步骤(1)~(5)以完成下一层的成型。所述的工艺参数包括铺设于工作台(101)上原材料的厚度、原始激光功率、原始激光持续时间、工作台移动量、冷却速度等。
因为本发明是逐层制作产品,不同层对精度要求也是不同的,所以,不同层所选择的激光也不同。一般,对精度要求较高的层可选用皮秒激光或飞秒激光等秒冲较短的激光。此外,实际加工效果和预设效果也是有差别的,所以通过实时监测系统(110)实时获得实际加工效果,并根据实际加工效果进一步调整工艺参数和所使用的激光源,从而实现产品的精确加工。
每次成型中,多波长光纤激光器(120)的三种激光和实时监控系统(110)的多种检测手段并非均需要使用,一般根据产品要求选择合适的激光和检测手段。但多种激光和多种检测手段使得本发明具有通用性,可实现产品的逐点控制,实现任意尺度、形状、成分和微观组织的在线控制。
Claims (8)
1.基于飞秒激光复合技术的实时监控快速成型设备,其特征在于,包括:
真空室(100)、工作台(101)、进料装置(109)、多波长光纤激光器(120)、实时监测系统(110)和控制中心,工作台(101)、进料装置(109)、多波长光纤激光器(120)、实时监测系统(110)均设于真空室(100)内,多波长光纤激光器(120)和实时监测系统(110)还与真空室(100)外的控制中心信号连接;其中:
工作台(101)内设冷却液流通管道(111),进料装置(109)用来向工作台(101)供给原材料;多波长光纤激光器(120)用来提供纳秒激光、皮秒激光和飞秒激光;实时监控系统(110)用来对成型产品的尺寸、晶相结构、表面形貌、成分中的至少一项进行实时监控和分析。
2.如权利要求1所述的基于飞秒激光复合技术的实时监控快速成型设备,其特征在于:
所述的冷却液流通管道(111)内流通有水或液氮。
3.如权利要求1所述的基于飞秒激光复合技术的实时监控快速成型设备,其特征在于:
所述的多波长光纤激光器(120)包括控制器、纳秒激光探头(106)、皮秒激光探头(107)和飞秒激光探头(108),纳秒激光探头(106)、皮秒激光探头(107)和飞秒激光探头(108)均与控制器相连。
4.如权利要求1所述的基于飞秒激光复合技术的实时监控快速成型设备,其特征在于:
所述的实时监控系统(110)包括控制驱动系统和检测仪器,检测仪器与控制驱动系统相连,所述的检测仪器包括尺寸检测仪器、晶相结构检测仪器、表面形貌检测仪器、成分检测仪器中的一种或多种。
5.如权利要求4所述的基于飞秒激光复合技术的实时监控快速成型设备,其特征在于:
所述的检测仪器包括扫描电镜(113)、X射线衍射仪(114)、红外摄像仪(115)和质谱仪(116)中的一种或多种。
6.基于飞秒激光复合技术的实时监控快速成型方法,其特征在于:
采用权利要求1所述的实时监控快速成型设备对产品逐层进行快速成型,各层的成型步骤如下:
(1)通过进料装置(109)将原材料传送并铺设于工作台(101)上,进行预热;
(2)根据当前层的精度要求确定原始激光,通过多波长光纤激光器(120)提供原始激光对原材料进行扫描烧结熔化及固化;原始激光的选择原则是:对精度要求高的当前层选用脉冲较短的激光,对精度要求低的当前层则选用脉冲较长的激光;基于上述选择原则并结合经验、试验验证在纳秒激光、皮秒激光和飞秒激光中确定制作当前层所采用的原始激光;
(3)采用实时监测系统(110)实时检测和分析已成型当前层的尺寸、晶相结构、表面形貌、成分中的一项或多项,并将分析结果反馈至控制中心;
(4)将控制中心接收的分析结果与预设目标比对,若分析结果达到预设目标,则结束并制作下一层;否则,执行步骤(5);
(5)使用精加工激光对已成型当前层的特定区域进行精加工,然后执行步骤(3);所述的特定区域指分析结果未达到预设目标的区域,所述的精加工激光选择原则为:(a)为皮秒激光或飞秒激光;同时,(b)其加工精度高于原始激光源脉冲。
7.如权利要求6所述的基于飞秒激光复合技术的实时监控快速成型方法,其特征在于:
所述的原材料为金属、聚合物、陶瓷或复合材料。
8.如权利要求6所述的基于飞秒激光复合技术的实时监控快速成型方法,其特征在于:
所述的原材料形式为金属线条、金属粉末、陶瓷粉末、陶瓷浆料或聚合物凝胶。
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