CN104900555A - 一种半导体封装测试装置 - Google Patents
一种半导体封装测试装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN104900555A CN104900555A CN201510211940.XA CN201510211940A CN104900555A CN 104900555 A CN104900555 A CN 104900555A CN 201510211940 A CN201510211940 A CN 201510211940A CN 104900555 A CN104900555 A CN 104900555A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- module
- test device
- semiconductor assembly
- test
- classification
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 31
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 17
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 title abstract 6
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 claims description 8
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 6
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 6
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 claims description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 3
- 238000007405 data analysis Methods 0.000 claims description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 3
- 238000010330 laser marking Methods 0.000 claims description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 3
- 230000002950 deficient Effects 0.000 abstract description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 3
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 abstract description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract 2
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/20—Sequence of activities consisting of a plurality of measurements, corrections, marking or sorting steps
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
本发明提供一种半导体封装测试装置,包括封装模块、测试模块、分类剔除模块、标识追踪模块、中心控制模块,监控模块,所述测试模块还与标识追踪模块连接,所述标识追踪模块通过中心控制模块与分类剔除模块连接,所述监控模块包括信息采集端、信息输送模块,所述监控模块通过信息输送模块实现与中心控制端的有线或无线连接,本发明实现封装测试自动化,且通过实时监控和数据分析软件实现更严格的质量控制,且通过标识追踪模块将不良品的实时情况进行分类,当到达分类剔除模块时通过传感器模块将不良品进行分类剔除,大大降低了不良产品返修的时间,提高了生产效率。
Description
技术领域
本发明涉及半导体技术领域,特别涉及一种半导体封装测试装置。
背景技术
近年来,我国集成电路封装测试市场发展迅速,计算机、通信和消费电
子等占到整体市场份额的86.5%。智能终端、宽带通信、云计算、大数据、
互联网、物联网、智能工控、智能电网、智能医疗、汽车电子、信息安全、
安防监控、节能环保等新兴市场对集成电路需求拉动强劲,使集成电路封
装测试业市场规模得到进一步扩大和迅猛增长。国内外集成电路设计公司和整机厂对中高端集成电路产品需求明显增加,高端先进封装形式的产品市场需求量也越来越大,同时为保证产品良率,生产过程中通过测试模块来实现对产品良率的初步控制,对于不良品实现简单的剔除,对于不良品,要重新检测返修或者销毁,浪费时间。
发明内容
1、针对现有半导体技术中,不良品的剔除与翻修检测存在时间浪费等问题,本发明提供一种半导体封装测试装置,为了达到上述目的,本发明采用以下技术方案:一种半导体封装测试装置,包括封装模块、测试模块、分类剔除模块、标识追踪模块、中心控制模块,监控模块,所述封装模块包括前段工艺和后段工艺,所述测试模块包括前段晶圆测试、终段测试,所述测试模块还与标识追踪模块连接,所述标识追踪模块通过中心控制模块与分类剔除模块连接,所述监控模块包括信息采集端、信息输送模块,所述监控模块通过信息输送模块实现与中心控制端的有线或无线连接。
优选地,所述前段工艺包括晶片背面研磨、晶片切割、紫外线刻蚀、晶片等离子体清洗、芯片粘接、引线键合、检查。
优选地,所述后段工艺包括塑封、激光打标、后固化、焊锡球、切割分离、检查、运输。
优选地,所述标识追踪模块包括标记模块、数据追踪模块、数据传输传输模块。
优选地,所述剔除模块包括传感模块和动力驱动模块。
优选地,所述中心控制模块还安装有数据分析和预测软件。
本发明的有益效果:本发明实现封装测试自动化,且通过实时监控和数据分析软件实现更严格的质量控制,且通过标识追踪模块将不良品的实时情况进行分类,当到达分类剔除模块时通过传感器模块将不良品进行分类剔除,大大降低了不良产品返修的时间,提高了生产效率。
附图说明
图1为本发明的整体框架图;
图2为本发明的封装模块的框架图。
具体实施方式
一种半导体封装测试装置,包括封装模块、测试模块、分类剔除模块、标识追踪模块、中心控制模块,监控模块,所述封装模块包括前段工艺和后段工艺,所述测试模块包括前段晶圆测试、终段测试,所述测试模块还与标识追踪模块连接,所述标识追踪模块通过中心控制模块与分类剔除模块连接,所述监控模块包括信息采集端、信息输送模块,所述监控模块通过信息输送模块实现与中心控制端的有线或无线连接。
优选地,所述前段工艺包括晶片背面研磨、晶片切割、紫外线刻蚀、晶片等离子体清洗、芯片粘接、引线键合、检查。
优选地,所述后段工艺包括塑封、激光打标、后固化、焊锡球、切割分离、检查、运输。
优选地,所述标识追踪模块包括标记模块、数据追踪模块、数据传输传输模块。
优选地,所述剔除模块包括传感模块和动力驱动模块。
优选地,所述中心控制模块还安装有数据分析和预测软件。
Claims (6)
1.一种半导体封装测试装置,包括封装模块、测试模块、分类剔除模块、标识追踪模块、中心控制模块,监控模块,其特征在于:所述封装模块包括前段工艺和后段工艺,所述测试模块包括前段晶圆测试、终段测试,所述测试模块还与标识追踪模块连接,所述标识追踪模块通过中心控制模块与分类剔除模块连接,所述监控模块包括信息采集端、信息输送模块,所述监控模块通过信息输送模块实现与中心控制端的有线或无线连接。
2.根据权利要求1所述的一种半导体封装测试装置,其特征在于:所述前段工艺包括晶片背面研磨、晶片切割、紫外线刻蚀、晶片等离子体清洗、芯片粘接、引线键合、检查。
3.根据权利要求1所述的一种半导体封装测试装置,其特征在于:所述后段工艺包括塑封、激光打标、后固化、焊锡球、切割分离、检查、运输。
4.根据权利要求1所述的一种半导体封装测试装置,其特征在于:所述标识追踪模块包括标记模块、数据追踪模块、数据传输传输模块。
5.根据权利要求1所述的一种半导体封装测试装置,其特征在于:所述剔除模块包括传感模块和动力驱动模块。
6.根据权利要求1所述的一种半导体封装测试装置,其特征在于:所述中心控制模块还安装有数据分析和预测软件。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201510211940.XA CN104900555A (zh) | 2015-04-29 | 2015-04-29 | 一种半导体封装测试装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201510211940.XA CN104900555A (zh) | 2015-04-29 | 2015-04-29 | 一种半导体封装测试装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN104900555A true CN104900555A (zh) | 2015-09-09 |
Family
ID=54033144
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201510211940.XA Pending CN104900555A (zh) | 2015-04-29 | 2015-04-29 | 一种半导体封装测试装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN104900555A (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109298307A (zh) * | 2018-09-26 | 2019-02-01 | 广西桂芯半导体科技有限公司 | 半导体封装检测系统 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4691830A (en) * | 1985-08-26 | 1987-09-08 | Owens-Illinois, Inc. | Inspection and sorting of molded containers as a function of mold of origin |
CN101292338A (zh) * | 2005-10-19 | 2008-10-22 | 英泰克普拉斯有限公司 | 半导体封装的分类方法 |
CN101725073A (zh) * | 2009-11-24 | 2010-06-09 | 保定钞票纸业有限公司 | 纸张剔除处理方法和装置 |
CN201783472U (zh) * | 2010-08-20 | 2011-04-06 | 吴华 | 集成电路封装片分选机 |
CN103240230A (zh) * | 2013-05-20 | 2013-08-14 | 上海东方磁卡工程有限公司 | 一种智能卡的线圈引出线无损伤检测系统及检测方法 |
CN104022058A (zh) * | 2010-10-04 | 2014-09-03 | 晟碟半导体(上海)有限公司 | 分立组件后向可追溯性和半导体装置前向可追溯性 |
-
2015
- 2015-04-29 CN CN201510211940.XA patent/CN104900555A/zh active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4691830A (en) * | 1985-08-26 | 1987-09-08 | Owens-Illinois, Inc. | Inspection and sorting of molded containers as a function of mold of origin |
CN101292338A (zh) * | 2005-10-19 | 2008-10-22 | 英泰克普拉斯有限公司 | 半导体封装的分类方法 |
CN101725073A (zh) * | 2009-11-24 | 2010-06-09 | 保定钞票纸业有限公司 | 纸张剔除处理方法和装置 |
CN201783472U (zh) * | 2010-08-20 | 2011-04-06 | 吴华 | 集成电路封装片分选机 |
CN104022058A (zh) * | 2010-10-04 | 2014-09-03 | 晟碟半导体(上海)有限公司 | 分立组件后向可追溯性和半导体装置前向可追溯性 |
CN103240230A (zh) * | 2013-05-20 | 2013-08-14 | 上海东方磁卡工程有限公司 | 一种智能卡的线圈引出线无损伤检测系统及检测方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109298307A (zh) * | 2018-09-26 | 2019-02-01 | 广西桂芯半导体科技有限公司 | 半导体封装检测系统 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN204924967U (zh) | 全自动aoi整机的图像采集机构 | |
CN203235694U (zh) | 电子接插件高精度视觉测量系统 | |
CN201783472U (zh) | 集成电路封装片分选机 | |
CN101840572A (zh) | 一种基于区域分割的qfp元件位置误差视觉检测方法 | |
CN104459430A (zh) | 超声引线键合失线检测装置及方法 | |
CN201179512Y (zh) | 一种用于粉针剂药瓶分拣的自动剔除装置 | |
CN104900555A (zh) | 一种半导体封装测试装置 | |
CN203417863U (zh) | 一种接插件端子组装检测系统 | |
CN113421065B (zh) | 一种基于物联网的半导体生产智能分拣系统 | |
CN102539852B (zh) | 一种用于晶圆级封装芯片自动检测的测试头及其实现方法 | |
CN208240624U (zh) | 半导体封装测试装置 | |
CN207595423U (zh) | 一种封装生产线的检测装置 | |
CN104075830A (zh) | 一种大尺寸磨削晶圆残余应力测试方法 | |
CN210142645U (zh) | 一种适用于双向tvs芯片的封装结构 | |
CN111251296B (zh) | 一种适用于码垛电机转子的视觉检测系统 | |
CN206435486U (zh) | 一种在线按压泵品质检测系统 | |
CN112903701A (zh) | 一种太阳能电池板表面缺陷自动检测系统 | |
CN206421178U (zh) | 一种智能道路桥梁检测控制器 | |
CN207502406U (zh) | 一种中央厨房用粉状复合调味料混合均匀度快速检测装置 | |
CN203310762U (zh) | 一种不良品检测设备 | |
CN205354063U (zh) | 一种基于智能识别技术的服装管理系统 | |
CN205139681U (zh) | 一种数控加工电极管理信息采集装置 | |
CN206098377U (zh) | 一种先刻槽再打孔的裸芯塑封超薄指纹识别系统级封装件 | |
CN104538378A (zh) | 一种圆片级封装结构及其工艺方法 | |
CN204375730U (zh) | 一种圆片级封装结构 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20150909 |