CN104880267A - 一种光纤微纳法珀干涉型压力传感器及其制作方法 - Google Patents

一种光纤微纳法珀干涉型压力传感器及其制作方法 Download PDF

Info

Publication number
CN104880267A
CN104880267A CN201510282041.9A CN201510282041A CN104880267A CN 104880267 A CN104880267 A CN 104880267A CN 201510282041 A CN201510282041 A CN 201510282041A CN 104880267 A CN104880267 A CN 104880267A
Authority
CN
China
Prior art keywords
optical fiber
fiber
micro
fabry
face
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201510282041.9A
Other languages
English (en)
Inventor
姜澜
江毅
王鹏
王素梅
刘达
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Beijing Institute of Technology BIT
Original Assignee
Beijing Institute of Technology BIT
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Beijing Institute of Technology BIT filed Critical Beijing Institute of Technology BIT
Priority to CN201510282041.9A priority Critical patent/CN104880267A/zh
Publication of CN104880267A publication Critical patent/CN104880267A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

本发明涉及一种光纤微纳法珀干涉型压力传感器及其制作方法，属于光纤传感器技术领域；所述压力传感器由一根端面带有微孔的光纤(1)和一段端面完整的光纤膜片(2)熔接构成，所述熔接面与微孔构成内嵌的法布里-珀罗微腔；制作方法：用飞秒激光在一根光纤的端面加工出微孔，此光纤与另一根端面完整的光纤熔接构成法珀微腔，切除并研磨一端的光纤长度至几微米，构成光纤薄膜，形成微纳结构的压力传感器。对比现有传感器，由于传感头是微纳尺寸，温度对压力测量的交叉影响小；使用性能相同的石英材料制成，热膨胀系数一致，结构稳定；综合材质及制作过程，本发明压力传感器具有耐高温，微结构，抗电磁干扰，抗污染，高可靠性和高精度的特点。

Description

一种光纤微纳法珀干涉型压力传感器及其制作方法
技术领域
本发明涉及一种压力传感器，特别涉及一种光纤微纳法珀干涉型压力传感器及其制作方法，属于光纤传感器技术领域。
背景技术
光纤法珀干涉型(Fabry-Perot Interferometer，或简称FPI)压力传感器是由光纤的端面和受力可变形的薄膜做反射面构成(如专利申请US Patent 7054011B2，US Patent 6823738 B1，201310151676)，或用不同种类光纤熔接形成的界面组成(C.Wu,et al.Optics Letters,36,412-414,2011，C.Ma,et al.IntrinsicFabry-Pérot interferometric(IFPI)fiber pressure sensor,Sensors,76770T-76770T-76779,2010)，也可以在光纤上加工微结构，通过镀膜(C.Frederik,et al.Journal of Micromechanics and Microengineering 19,115017,2009)的方法制造两个反射面，两个反射面的后向反射光形成双光束干涉。这种传感器抗电磁干扰，压力灵敏度高，得到了广泛的研究和应用。
但是这种光纤法珀干涉型压力传感器，其传感头需要通过特殊的结构将光纤和膜片封装在一起，需要使用多种材料，不同的材料对温度的热膨胀系数不同，因此，温度变化时，传感头由于热膨胀不同会产生应力，易受损坏。而传感头的结构尺寸大，材料受热膨胀，使光纤中传输光的干涉信号会发生改变，这种传感器易受温度的干扰。因此，这类传感器不能满足更高温度环境下(如铸造、冶金、热加工等)的应用需求。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有光纤法珀干涉型压力传感器传感头尺寸大、法珀腔腔长易受温度改变的影响干扰测量压力的准确性；不同材料的热膨胀系数不一样，高温变形易产生应力，容易损坏的问题，提出一种全光纤微纳法珀干涉型压力传感器，当传感头使用纯石英的光子晶体光纤时，还可以在1200度的高温环境中测量压力。
本发明的目的是通过以下技术方案实现的：
一种光纤微纳法珀干涉型压力传感器，包括一根端面加工有微孔结构的光纤和一段端面完整的光纤膜片。在一根光纤端面加工微孔，与另外一段光纤熔接，熔接后微孔成为内嵌的法布里-珀罗微腔，其沿着光纤轴向的端面形成两个反射面，两反射面的反射光在后向端形成干涉。
一种光纤微纳法珀干涉型压力传感器的制作方法，过程如下：一根端面研磨的光纤，用飞秒激光在光纤端面加工微孔，与另外一根端面研磨的光纤熔接在一起，使熔接和微孔形成封闭的法布里-珀罗微腔，切割端面完整的光纤段，使得熔接面一侧光纤膜片厚度在1mm以内，研磨或切割膜片外表面至指定厚度，再用飞秒激光加工或氢氟酸腐蚀膜片外表面，破坏其平整性，去除外表面的反射光，这样微腔的两个表面组成两反射面，在后向反射端形成双光束干涉，构成高精细度的光纤法珀干涉型传感器。
本发明的有益效果为：
本发明提出了一种光纤微纳法珀干涉型压力传感器。该微纳传感器使用光纤内嵌法布里-珀罗微腔作为压力的传感头，尺寸微小，长度小于2.1mm，减小了温度变化对压力测量的交叉影响。传感器材料均使用光纤，热膨胀系数相同，避免了不同材料高温热失配造成的结构失效。若传感段材料使用纯石英材料的光子晶体光纤和无芯光纤，光纤压力传感器的工作温度可以到1200℃。该传感器为封闭结构，同时具有耐高温，微结构，抗电磁干扰，抗污染，高可靠性和高精度的特点，可以应用在航空航天、冶金及石油石化成套设备为代表的流程制造装备、粉末冶金、炼钢炉的安全监测等领域。
附图说明
下面根据附图对本发明作进一步详细说明。
图1是本发明实施例的整体结构示意图，其中光纤1和膜片2的材料可以选为普通单模光纤，构成法珀干涉型传感器；或者光纤1材料选用光子晶体光纤，膜片2的选用无芯光纤，组成的法珀干涉型传感器；
图2是本发明实施例的原理示意图；
附图标记：1-端面加工有微孔的光纤，2-光纤膜片，3-微孔(法布里-珀罗微腔)，4-熔接面(微腔第二反射面)，5-光纤膜片外表面，6-微腔第一反射面。
具体实施方式
下面将结合附图和实施例对本发明加以详细说明，同时也叙述了本发明技术方案解决的技术问题及有益效果，需要指出的是，所描述的实施例仅旨在便于对本发明的理解，而对其不起任何限定作用。
实施例
一种光纤微纳法珀干涉型压力传感器，其结构如图1所示，包括一根端面加工有微孔结构的光纤1和一段端面完整的光纤膜片2，二者熔接后构成光纤内嵌的法布里-珀罗微腔。
进一步的，光纤1和膜片2的材料可以选为普通单模光纤，或者光纤1材料选用纯石英的光子晶体光纤，膜片2选用纯石英的光子晶体光纤或纯石英的无芯光纤。由于纯石英的光子晶体光纤在高达1200℃的环境中仍能保持良好的光传输性能，而纯石英的无芯光纤既耐高温，也没有导波的结构，不担心高温破坏其传光特性，因此，使用纯石英的光子晶体光纤和纯石英的无芯光纤制成的传感器可以在1200℃的高温下测量压力。
进一步的，为了适应高温工作环境并减少温度变化对压力测量的影响，需要减小传感器法珀腔的腔长，降低温度的交叉影响，经试验，法珀腔沿光纤轴向长度l∈[8μm－2000μm]，径向直径d∈[10μm－120μm]，可以有效去除温度变化的影响。
进一步的，光纤膜片2外表面5需要进行粗糙化处理，以消除外表面的反射，避免三光束干涉干扰压力测量。
一根端面研磨的光纤1，用飞秒激光在光纤端面加工微孔3，与一根光纤2熔接在一起，切割光纤2至薄膜厚度在1mm以内，研磨光纤2膜片外表面5至指定厚度，再用飞秒激光加工膜片外表面5，或氢氟酸腐蚀膜片外表面5，破坏平整性，去掉传感器外表面的反射光，这样微腔的两个表面4和6组成两反射面，在后向反射端形成双光束干涉，构成高精细度的光纤法珀干涉型传感器。
利用本发明实施例光纤微纳法珀干涉型压力传感器进行压力测量的原理如图2所示，光纤1纤芯内传播的光在微腔表面6处部分反射，剩余的光通过空气微腔3后，又有部分光在光纤熔接面4处反射，经表面4反射的光通过空气微腔后进入光纤，两束反射光在后向形成双光束干涉。两路干涉光束经历了完全相同的传输路径，所受到的外界干扰和环境影响也完全相同，仅在传感头部分，传感光(经表面4反射的光)较参考光(经表面6反射的光)多传播了两倍腔长的距离，从而存在光程差会形成干涉。外部压力变化使空气微腔产生形变。干涉仪的光程差会引起输出光相位变化，通过测量FPI干涉仪的白光光谱；精确测量出干涉仪的相位变化，就可以测量出外界被测压力。
下面以光纤1和膜片2的材料分别选用纯石英光子晶体光纤和纯石英无芯光纤为例说明光纤微纳法珀干涉型压力传感器的制作步骤如下：
(1)用光纤切割刀切割光子晶体光纤1和无芯光纤，对光子晶体光纤1和无芯光纤的端面做高精度的研磨处理；
(2)使用飞秒激光微加工技术在研磨好的光子晶体光纤1的一个端面上加工微孔3，微孔3直径为10μm－120μm，深度为8μm－2000μm；
(3)用光纤熔接机将已加工微孔的光子晶体光纤1和无芯光纤进行熔接，熔接后在光纤内部形成法布里-珀罗微腔(FP腔)3；
(4)切去熔接面一侧多余的无芯光纤部分，保留无芯光纤膜片厚度在1mm以内得到无芯光纤膜片2；
(5)将无芯光纤膜片2外表面5再研磨至所需的厚度，研磨过程中，由于形成的研磨表面反射率较高，利用三光束干涉的白光干涉解调技术可以监控研磨后膜片的厚度，这一过程也可以考虑用飞秒激光截断光纤，直接切出一个压力膜片，保证膜片厚度在1μm－100μm之间，实际厚度由压力测量范围确定；
(6)无芯光纤研磨到设计的膜片厚度后，使用飞秒激光微加工技术在研磨好的无芯光纤膜片外表面5进行粗糙化处理，去除端面反射，并调控压力膜厚度，即形成双光束干涉的光纤FPI高温压力传感器，这一过程也可以用氢氟酸腐蚀来实现。
以上所述的具体描述，对发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限定本发明的保护范围，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种光纤微纳法珀干涉型压力传感器，其特征在于：由一根端面带有微孔的光纤(1)和一段端面完整的光纤膜片(2)熔接构成，所述熔接面与微孔构成内嵌的法布里-珀罗微腔。
2.根据权利要求1所述的一种光纤微纳法珀干涉型压力传感器，其特征在于：所述光纤(1)和光纤膜片(2)可以采用普通光纤，也可以采用光子晶体光纤，当光纤(1)采用光子晶体光纤时，光纤膜片(2)可以采用光子晶体光纤或无芯光纤。
3.根据权利要求1所述的一种光纤微纳法珀干涉型压力传感器，其特征在于：所述光纤(1)的微孔沿光纤轴向长度l∈[8μm，2000μm]，径向直径d∈[10μm，120μm]。
4.根据权利要求1所述的一种光纤微纳法珀干涉型压力传感器，其特征在于：所述光纤膜片(2)的厚度h∈[1μm，100μm]。
5.根据权利要求1-4任一所述的一种光纤微纳法珀干涉型压力传感器，其特征在于：所述光纤膜片(2)非熔接端表面需做粗糙化处理，消除外表面的反射，避免与微腔两表面的反射光构成三光束干涉。
6.一种光纤微纳法珀干涉型压力传感器的制作方法，包括以下步骤：
(1)用光纤切割刀切割光纤(1)和光纤(2)，对光纤(1)和光纤(2)的切割端面做高精度的研磨处理；
(2)使用飞秒激光微加工技术在光纤(1)研磨好的端面上加工微孔(3)；
(3)用光纤熔接机将光纤(1)的微孔端面和光纤(2)的研磨端面进行熔接，熔接后即在光纤内部形成法布里-珀罗微腔(3)；
(4)切去熔接面一侧多余的光纤(2)部分，使其厚度在1mm以内成为光纤膜片(2)；
(5)对光纤膜片(2)外表面(5)做进一步精细加工，使其厚度满足压力测量范围要求；
(6)对光纤膜片(2)外表面(5)进行粗糙化处理以去除端面反射。
7.根据权利要求6所述的一种光纤微纳法珀干涉型压力传感器的制作方法，其特征在于：步骤(5)所述精细加工可以采用以下两种方式完成：(一)通过研磨方法将光纤膜片(2)研磨至压力传感器所需的膜片厚度，研磨过程中，由于形成的研磨表面反射率较高，利用三光束干涉的白光干涉解调技术监控研磨后膜片的厚度；(二)使用飞秒激光截断光纤，直接切出压力传感器所需厚度的。
8.根据权利要求6或7任一所述的一种光纤微纳法珀干涉型压力传感器的制作方法，其特征在于：步骤(6)所述粗糙化处理可以使用飞秒激光微加工技术或氢氟酸腐蚀方式对光纤膜片外表面(5)进行粗糙化处理，并在处理过程中调控光纤膜片(2)厚度。
CN201510282041.9A 2015-05-28 2015-05-28 一种光纤微纳法珀干涉型压力传感器及其制作方法 Pending CN104880267A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510282041.9A CN104880267A (zh) 2015-05-28 2015-05-28 一种光纤微纳法珀干涉型压力传感器及其制作方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510282041.9A CN104880267A (zh) 2015-05-28 2015-05-28 一种光纤微纳法珀干涉型压力传感器及其制作方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN104880267A true CN104880267A (zh) 2015-09-02

Family

ID=53947847

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201510282041.9A Pending CN104880267A (zh) 2015-05-28 2015-05-28 一种光纤微纳法珀干涉型压力传感器及其制作方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN104880267A (zh)

Cited By (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105181191A (zh) * 2015-09-08 2015-12-23 中国计量学院 一种可调谐光纤微型法布里-珀罗压力传感装置
CN105953958A (zh) * 2016-07-13 2016-09-21 中北大学 全石英光纤珐珀压力传感器
CN106052912A (zh) * 2016-07-11 2016-10-26 中国计量大学 一种基于法布里‑珀罗微腔结构的光纤应力传感装置
CN106643908A (zh) * 2017-01-16 2017-05-10 深圳大学 温‑压传感器的制备方法、结构和温‑压测量系统、方法
CN106895942A (zh) * 2017-04-18 2017-06-27 深圳大学 一种光纤端面薄膜型气压传感器的制备方法及制备装置
CN107300437A (zh) * 2017-08-07 2017-10-27 南京信息工程大学 一种基于微椭球空气腔的光纤压力传感器及其制造方法
CN107677613A (zh) * 2017-09-26 2018-02-09 山西大学 具有侧面微流体通道的全光纤开腔fp式光流体传感器
CN108168583A (zh) * 2017-12-22 2018-06-15 北京信息科技大学 基于化学腐蚀结合放电熔接制备的双参数光纤传感器
CN108760148A (zh) * 2018-07-20 2018-11-06 北京航空航天大学 一种绝压式光纤法珀碳化硅耐高温航空压力传感器
CN108917800A (zh) * 2018-06-21 2018-11-30 国家电网有限公司 无芯光纤混合传感器及实验系统
CN109238535A (zh) * 2018-10-24 2019-01-18 深圳大学 多芯光纤压力传感器、传感系统及传感器制备方法
CN109459164A (zh) * 2018-12-20 2019-03-12 深圳大学 一种光纤压力传感器及其制作方法
CN109683113A (zh) * 2019-01-28 2019-04-26 苏州德睿电力科技有限公司 一种光纤f-p腔磁场传感器及其制备方法
CN110412683A (zh) * 2018-04-28 2019-11-05 福州高意光学有限公司 一种光纤结构的制作方法和应用
CN110553774A (zh) * 2018-06-01 2019-12-10 武汉理工大学 微型全石英光纤Fizeau腔高频响动态压力传感器及其制作方法
US10656335B2 (en) 2018-07-18 2020-05-19 International Business Machines Corporation Cleaving fibers of differing composition
CN111238554A (zh) * 2020-03-30 2020-06-05 南京信息工程大学 用于海洋的多参数传感仓、监测方法和传感仓的制造方法
WO2020124473A1 (zh) * 2018-12-20 2020-06-25 深圳大学 一种光纤压力传感器及其制作方法
CN112284585A (zh) * 2020-10-16 2021-01-29 广州特种机电设备检测研究院 一种基于光纤测试轮压的装置
CN112945860A (zh) * 2021-01-27 2021-06-11 广东海洋大学 一种膜片式开腔fp干涉光纤声波传感器及其制作方法
JP2021516589A (ja) * 2018-04-06 2021-07-08 ボストン サイエンティフィック サイムド，インコーポレイテッドＢｏｓｔｏｎ Ｓｃｉｅｎｔｉｆｉｃ Ｓｃｉｍｅｄ，Ｉｎｃ． 圧力センサ付き医療装置
CN113188691A (zh) * 2021-04-21 2021-07-30 上海大学 一种光纤法布里-珀罗密封腔压力传感器及制备方法
CN113532706A (zh) * 2021-08-02 2021-10-22 广东电网有限责任公司中山供电局 一种用于检测光缆光路的光纤传感器
CN115790955A (zh) * 2023-02-03 2023-03-14 广东海洋大学 法珀干涉动态压力传感装置及其制作方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101034007A (zh) * 2007-01-24 2007-09-12 冉曾令 光纤法珀传感器及其制造方法
US20080159687A1 (en) * 2005-03-02 2008-07-03 Denis Donlagic Fabry-Perot Optical Sensor and Method of Manufacturing the Same
US20090226128A1 (en) * 2005-08-12 2009-09-10 Denis Donlagic Single piece fabry-perot optical sensor and method of manufacturing the same
CN101561295A (zh) * 2009-05-07 2009-10-21 电子科技大学 基于腐蚀高掺杂光纤的珐珀传感器制作方法
CN101586967A (zh) * 2009-07-08 2009-11-25 电子科技大学 光纤波导光栅传感器及其制造方法
CN101825479A (zh) * 2010-04-15 2010-09-08 电子科技大学 基于自聚焦效应的光纤法珀复合结构传感器制作方法
CN102889901A (zh) * 2012-09-20 2013-01-23 电子科技大学 一种光纤珐珀传感器及其制作方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080159687A1 (en) * 2005-03-02 2008-07-03 Denis Donlagic Fabry-Perot Optical Sensor and Method of Manufacturing the Same
US20090226128A1 (en) * 2005-08-12 2009-09-10 Denis Donlagic Single piece fabry-perot optical sensor and method of manufacturing the same
CN101034007A (zh) * 2007-01-24 2007-09-12 冉曾令 光纤法珀传感器及其制造方法
CN101561295A (zh) * 2009-05-07 2009-10-21 电子科技大学 基于腐蚀高掺杂光纤的珐珀传感器制作方法
CN101586967A (zh) * 2009-07-08 2009-11-25 电子科技大学 光纤波导光栅传感器及其制造方法
CN101825479A (zh) * 2010-04-15 2010-09-08 电子科技大学 基于自聚焦效应的光纤法珀复合结构传感器制作方法
CN102889901A (zh) * 2012-09-20 2013-01-23 电子科技大学 一种光纤珐珀传感器及其制作方法

Cited By (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105181191A (zh) * 2015-09-08 2015-12-23 中国计量学院 一种可调谐光纤微型法布里-珀罗压力传感装置
CN106052912A (zh) * 2016-07-11 2016-10-26 中国计量大学 一种基于法布里‑珀罗微腔结构的光纤应力传感装置
CN106052912B (zh) * 2016-07-11 2023-12-26 中国计量大学 一种基于法布里-珀罗微腔结构的光纤应力传感装置
CN105953958A (zh) * 2016-07-13 2016-09-21 中北大学 全石英光纤珐珀压力传感器
CN105953958B (zh) * 2016-07-13 2018-08-21 中北大学 全石英光纤珐珀压力传感器
CN106643908A (zh) * 2017-01-16 2017-05-10 深圳大学 温‑压传感器的制备方法、结构和温‑压测量系统、方法
CN106895942A (zh) * 2017-04-18 2017-06-27 深圳大学 一种光纤端面薄膜型气压传感器的制备方法及制备装置
CN107300437A (zh) * 2017-08-07 2017-10-27 南京信息工程大学 一种基于微椭球空气腔的光纤压力传感器及其制造方法
CN107677613A (zh) * 2017-09-26 2018-02-09 山西大学 具有侧面微流体通道的全光纤开腔fp式光流体传感器
CN107677613B (zh) * 2017-09-26 2020-04-21 山西大学 具有侧面微流体通道的全光纤开腔fp式光流体传感器
CN108168583B (zh) * 2017-12-22 2020-04-03 北京信息科技大学 基于化学腐蚀结合放电熔接制备的双参数光纤传感器
CN108168583A (zh) * 2017-12-22 2018-06-15 北京信息科技大学 基于化学腐蚀结合放电熔接制备的双参数光纤传感器
JP7138189B2 (ja) 2018-04-06 2022-09-15 ボストン サイエンティフィック サイムド，インコーポレイテッド 圧力センサ付き医療装置
JP2021516589A (ja) * 2018-04-06 2021-07-08 ボストン サイエンティフィック サイムド，インコーポレイテッドＢｏｓｔｏｎ Ｓｃｉｅｎｔｉｆｉｃ Ｓｃｉｍｅｄ，Ｉｎｃ． 圧力センサ付き医療装置
CN110412683A (zh) * 2018-04-28 2019-11-05 福州高意光学有限公司 一种光纤结构的制作方法和应用
CN110553774A (zh) * 2018-06-01 2019-12-10 武汉理工大学 微型全石英光纤Fizeau腔高频响动态压力传感器及其制作方法
CN108917800B (zh) * 2018-06-21 2024-03-12 国家电网有限公司 无芯光纤混合传感器及实验系统
CN108917800A (zh) * 2018-06-21 2018-11-30 国家电网有限公司 无芯光纤混合传感器及实验系统
US10656335B2 (en) 2018-07-18 2020-05-19 International Business Machines Corporation Cleaving fibers of differing composition
CN108760148A (zh) * 2018-07-20 2018-11-06 北京航空航天大学 一种绝压式光纤法珀碳化硅耐高温航空压力传感器
CN109238535A (zh) * 2018-10-24 2019-01-18 深圳大学 多芯光纤压力传感器、传感系统及传感器制备方法
WO2020124473A1 (zh) * 2018-12-20 2020-06-25 深圳大学 一种光纤压力传感器及其制作方法
CN109459164A (zh) * 2018-12-20 2019-03-12 深圳大学 一种光纤压力传感器及其制作方法
CN109683113A (zh) * 2019-01-28 2019-04-26 苏州德睿电力科技有限公司 一种光纤f-p腔磁场传感器及其制备方法
CN111238554A (zh) * 2020-03-30 2020-06-05 南京信息工程大学 用于海洋的多参数传感仓、监测方法和传感仓的制造方法
CN111238554B (zh) * 2020-03-30 2022-02-11 南京信息工程大学 用于海洋的多参数传感仓、监测方法和传感仓的制造方法
CN112284585A (zh) * 2020-10-16 2021-01-29 广州特种机电设备检测研究院 一种基于光纤测试轮压的装置
CN112945860B (zh) * 2021-01-27 2021-11-16 广东海洋大学 一种膜片式开腔fp干涉光纤声波传感器及其制作方法
CN112945860A (zh) * 2021-01-27 2021-06-11 广东海洋大学 一种膜片式开腔fp干涉光纤声波传感器及其制作方法
CN113188691A (zh) * 2021-04-21 2021-07-30 上海大学 一种光纤法布里-珀罗密封腔压力传感器及制备方法
CN113532706A (zh) * 2021-08-02 2021-10-22 广东电网有限责任公司中山供电局 一种用于检测光缆光路的光纤传感器
CN115790955A (zh) * 2023-02-03 2023-03-14 广东海洋大学 法珀干涉动态压力传感装置及其制作方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104880267A (zh) 一种光纤微纳法珀干涉型压力传感器及其制作方法
CN105043588A (zh) 一种高温温度和压力光纤法布里珀罗复合微纳传感器
CN104501729B (zh) 一种基于mems工艺的光纤f-p应变计及成型方法
CN103196474B (zh) 一种光纤珐珀传感器制作方法及由其构成的检测装置
CN104596435B (zh) 一种基于mems工艺的腔长可调光纤f‑p应变计及成型方法
CN100367016C (zh) 光纤温度测量仪及其测量方法
WO2022160822A1 (zh) 一种基于悬浮光纤错位熔接的高灵敏度高温传感器
CN106124414A (zh) 一种高灵敏度的光纤efpi传感器及其制作方法
CN102587893B (zh) 一种光纤温度压力传感器及其探头
CN105180980A (zh) 一种对称的全光纤法珀传感器及其制作方法
CN208155479U (zh) 双腔结构的光纤温度与压力传感器
CN104703105A (zh) 双fp腔光纤声传感探头及其传感系统
CN210221338U (zh) 一种基于并联游标效应的光纤高温传感器
CN107300437B (zh) 一种基于微椭球空气腔的光纤压力传感器及其制造方法
CN103344277A (zh) 一种可同时检测双参量的法珀传感器及检测装置
CN110243511A (zh) 一种高灵敏度光纤法布里珀罗应力传感器及其传感方法
CN111595256A (zh) 耐高温光纤应变传感器
CN107861192A (zh) 基于光纤拉锥结合化学腐蚀制备光纤f‑p传感器的方法
CN105953958A (zh) 全石英光纤珐珀压力传感器
CN116559117A (zh) 基于fp干涉的探针式光纤海水盐度传感器及制作方法
CN113267206A (zh) 一种低成本可重复生产的光纤非封闭法布里-珀罗传感器
WO2022166378A1 (zh) 一种检测条纹对比度变化的迈克尔逊干涉光纤温度传感器
CN109682779A (zh) 飞秒激光制备纤芯失配型fbg温度应变折射率测量方法
CN205014994U (zh) 一种对称的全光纤法珀传感器
CN109827676B (zh) 单模异质光纤级联的应变阵列传感器

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
EXSB Decision made by sipo to initiate substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20150902

WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication