CN104849598B - 一种射频发生器的控制电路与检测系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种射频发生器的控制电路与检测系统。其中，该控制电路包括：连接器、条件生成电路和电源模块；该电源模块与条件生成电路电连接，为条件生成电路提供设定的电压；条件生成电路通过连接器与射频发生器连接，为射频发生器提供作业条件。通过本发明，可以为射频发生器单独提供作业条件，从而实现对射频发生器单独进行检修，从而避免损坏精密仪器中的其他部件。

Description

一种射频发生器的控制电路与检测系统

技术领域

本发明涉及仪器控制及维修领域，具体而言，涉及一种射频发生器的控制电路与检测系统。

背景技术

目前，一些精密分析仪器中包含射频发生器，如ICP(Inductive Coupled PlasmaEmission Spectrometer，电感耦合等离子光谱发生仪)中就包含射频发生器。由于射频发生器非常昂贵，所以当ICP发生故障时，首先需要控制射频发生器进行作业，以根据其作业情况确定射频发生器是否出现故障。

当前，相关技术中提供了一种对射频发生器进行检测的方法，包括：将ICP连接到终端、单片机和服务器等控制设备上，通过这些控制设备为ICP中的射频发生器提供功率和电流等作业条件，该射频发生器启动进行作业。然后获取该射频发生器作业产生的波形等作业信息，将获取的作业信息与正常作业信息进行比较，若该作业信息与正常作业信息相同，则确定该射频发生器没有出现故障，否则，确定该射频发生器出现故障。

在实现本发明的过程中，发明人发现相关技术中至少存在以下问题：

由于将ICP整个连接到控制设备上，该射频发生器的功率和电流可能超过ICP中其他部件的安全功率和安全电流，从而导致ICP中其他部件损毁。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例的目的在于提供一种一种射频发生器的控制电路与检测系统，实现了对射频发生器单独进行检测，避免损坏精密仪器中的其他部件。

第一方面，本发明实施例提供了一种射频发生器的控制电路，所述控制电路包括：连接器、条件生成电路和电源模块；

所述电源模块与所述条件生成电路电连接，为所述条件生成电路提供设定的电压；

所述条件生成电路通过所述连接器与射频发生器连接，为所述射频发生器提供作业条件。

结合第一方面，本发明实施例提供了第一方面的第一种可能的实现方式，其中，所述连接器的输入端和输出端分别至少包括如下五个引脚：

第一继电器引脚、第二继电器引脚、电压偏压控制的引脚、数字接地的引脚和电源接地的引脚；

其中，所述连接器的输入端的五个引脚分别与所述条件生成电路的对应节点连接；

所述连接器的输出端的五个引脚分别与所述射频发生器的对应引脚连接。

结合第一方面，本发明实施例提供了第一方面的第二种可能的实现方式，其中，所述条件生成电路包括偏压控制模块、第一中继模块、第二中继模块和点火模块；

所述偏压控制模块的一端与所述电源模块连接，所述偏压控制模块的另一端与所述连接器的输入端包括的电压偏压控制的引脚连接；

所述第一中继模块的一端与地线连接，所述第一中继模块的另一端与所述连接器的输入端包括的第一继电器引脚连接；

所述第二中继模块的一端与所述电源模块连接，所述第二中继模块的另一端与所述连接器的输入端包括的第二继电器引脚连接；

所述点火模块的一端与所述电源模块连接，所述点火模块的另一端与所述连接器的输入端包括的数字接地的引脚连接。

结合第一方面的第二种可能的实现方式，本发明实施例提供了第一方面的第三种可能的实现方式，其中，所述偏压控制模块包括第一开关、第一电阻和第一电位器；

所述第一电阻的一端与所述电源模块及所述点火模块连接，所述第一电阻的另一端与所述第一开关的一端以及所述第一电位器的一端连接；

所述第一开关的另一端与所述电压偏压控制的引脚连接；

所述第一电位器的另一端与地线连接。

结合第一方面的第二种可能的实现方式，本发明实施例提供了第一方面的第四种可能的实现方式，其中，所述第一中继模块包括第二开关；

所述第二开关的一端与地线连接，所述第二开关的另一端与所述第一继电器引脚连接。

结合第一方面的第二种可能的实现方式，本发明实施例提供了第一方面的第五种可能的实现方式，其中，所述第二中继模块包括第三开关和第二电阻；

所述第三开关的一端与所述第二电阻的一端连接，所述第三开关的另一端与所述第二继电器引脚连接；

所述第二电阻的另一端与所述电源模块连接。

结合第一方面的第二种可能的实现方式，本发明实施例提供了第一方面的第六种可能的实现方式，其中，所述点火模块包括第四开关、第三电阻和第二电位器；

所述第三电阻的一端与所述电源模块及所述偏压控制模块连接，所述第三电阻的另一端与所述第四开关的一端以及所述第二电位器的一端连接；

所述第四开关的另一端与所述数字接地的引脚连接；

所述第二电位器的另一端与地线连接。

结合第一方面的第二种可能的实现方式，本发明实施例提供了第一方面的第七种可能的实现方式，其中，所述电源模块包括第一电源单元和第二电源单元；

所述第一电源单元与所述偏压控制模块和所述点火模块连接；

所述第二电源单元与所述第二中继模块连接。

结合第一方面的第七种可能的实现方式，本发明实施例提供了第一方面的第八种可能的实现方式，其中，所述第一电源单元包括第四电阻、第三电位器和电源；

所述第四电阻的一端与地线连接，所述第三电位器的一端与所述电源连接；

所述第四电阻的另一端与所述第三电位器的另一端连接，且所述第四电阻的另一端和所述第三电位器的另一端均与所述偏压控制模块和所述点火模块连接。

第二方面，本发明实施例提供了一种射频发生器的检测系统，所述检测系统包括射频信号检测器以及如上述第一方面所述的控制电路；

所述控制电路与所述射频发生器连接，为所述射频发生器提供作业条件；

所述射频信号检测器与所述射频发生器连接，接收并检测所述射频发生器作业过程中产生的信号。

在本发明实施例提供的控制电路及检测系统中，由于控制电路中包括的条件生成电路可以为射频发生器提供作业条件，所以可以将射频发生器从精密仪器中取出，通过该控制电路为该射频发生器单独提供作业条件，使射频发生器作业，然后对射频发生器的作业情况进行检测，实现了对射频发生器进行单独检修，避免损坏精密仪器中的其他部件。

为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1示出了本发明实施例1所提供的一种控制电路的第一结构示意图；

图2示出了本发明实施例1所提供的一种控制电路的第二结构示意图；

图3示出了本发明实施例1所提供的一种控制电路的第三结构示意图；

图4示出了本发明实施例1所提供的一种偏压控制模块的电路示意图；

图5示出了本发明实施例1所提供的一种第一中继模块的电路示意图；

图6示出了本发明实施例1所提供的一种第二中继模块的电路示意图；

图7示出了本发明实施例1所提供的一种点火模块的电路示意图；

图8示出了本发明实施例1所提供的一种电源模块的结构示意图；

图9示出了本发明实施例1所提供的一种第一电源单元的电路示意图；

图10示出了本发明实施例1所提供的一种控制电路的第四结构示意图；

图11示出了本发明实施例2所提供的一种检测系统的结构示意图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1：连接器，2：条件生成电路，3：电源模块，4：射频发生器，5：射频信号检测器，6：控制电路；

11：连接器的输入端，12：连接器的输出端；

21：偏压控制模块，22：第一中继模块，23：第二中继模块，24：点火模块；

31：第一电源单元，32：第二电源单元；

41：射频发生器的第一继电器引脚，42：射频发生器的第二继电器引脚，43：射频发生器的电压偏压控制的引脚，44：射频发生器的数字接地的引脚，45：射频发生器的电源接地的引脚；

111：连接器的输入端的第一继电器引脚，112：连接器的输入端的第二继电器引脚，113：连接器的输入端的电压偏压控制的引脚，114：连接器的输入端的数字接地的引脚，115：连接器的输入端的电源接地的引脚；

121：连接器的输出端的第一继电器引脚，122：连接器的输出端的第二继电器引脚，123：连接器的输出端的电压偏压控制的引脚，124：连接器的输出端的数字接地的引脚，125：连接器的输出端的电源接地的引脚；

211：第一开关，212：第一电阻，213：第一电位器；

221：第二开关；

231：第三开关，232：第二电阻；

241：第四开关，242：第三电阻，243：第二电位器；

311：第四电阻，312：第三电位器，313：电源。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

考虑到相关技术中对射频发生器进行检测时，需要将精密仪器整个连接到控制设备上，并为该精密仪器提供射频发生器的功率和电流等，该功率和电路可能超出了精密仪器中其他部件的安全功率和安全电流，从而导致精密仪器中其他部件被损毁。基于此，本发明实施例提供了一种射频发生器的控制电路与检测系统。下面通过实施例进行描述。

实施例1

参见图1，本发明实施例提供了一种射频发生器的控制电路，其中，控制电路6包括：连接器1、条件生成电路2和电源模块3；

电源模块3与条件生成电路2电连接，为条件生成电路2提供设定的电压；

条件生成电路2通过连接器1与射频发生器4连接，为射频发生器4提供作业条件。

其中，设定的电压可以为5v、12v、24v或30v-48v等。

其中，射频发生器4进行作业所需的作业条件包括射频发生器的额定电压、额定电流和额定功率等条件。条件生成电路2可以为射频发生器4提供这些作业条件。

由于射频发生器4非常昂贵，所以当ICP等包含射频发生器4的精密仪器发生故障时，首先需要判断是否是射频发生器4出现了故障，此时可以将射频发生器4从ICP等精密仪器中取出，将取出的射频发生器4连接到本发明实施例提供的控制电路6上，通过控制电路6中包括的条件生成电路2为射频发生器4提供作业条件，射频发生器4在其作业所需的作业条件被满足时启动并进行作业，此时可以在射频发生器4上外接示波仪和红外传感器等射频信号检测器，通过射频信号检测器检测射频发生器4作业过程中产生的信号，并对检测的信号进行分析，判断出射频发生器4是否出现了故障。

其中，由于将射频发生器4从ICP等包含射频发生器4的精密仪器中取出，并通过控制电路6单独对射频发生器4进行控制和检测，因此不会对ICP等精密仪器中的其他部件造成损毁。而且通过控制电路6对射频发生器4进行控制和检测的操作非常简单，能够方便快捷地判断出射频发生器4是否出现故障。

其中，参见图2所示，连接器1的输入端11和输出端12分别至少包括如下五个引脚：

第一继电器引脚、第二继电器引脚、电压偏压控制的引脚、数字接地的引脚和电源接地的引脚；

其中，连接器1的输入端11的五个引脚分别与条件生成电路2的对应节点连接；

连接器1的输出端12的五个引脚分别与射频发生器4的对应引脚连接。

其中，如图2所示，为了便于说明，在图2中各个引脚的编号如下所示：

连接器1的输入端11包括的五个引脚分别为第一继电器引脚111、第二继电器引脚112、电压偏压控制的引脚113、数字接地的引脚114和电源接地的引脚115；

连接器1的输出端12包括的五个引脚分别为第一继电器引脚121、第二继电器引脚122、电压偏压控制的引脚123、数字接地的引脚124和电源接地的引脚125；

另外，射频发生器4也包括五个引脚分别为第一继电器引脚41、第二继电器引脚42、电压偏压控制的引脚43、数字接地的引脚44和电源接地的引脚45。

其中，射频发生器4包括的这五个引脚分别对应于其内部的一个单元电路。其中，射频发生器4的第一继电器引脚41对应于其内部的第一继电器电路，射频发生器4的第二继电器引脚42对应于其内部的第二继电器电路，射频发生器4的电压偏压控制的引脚43对应于其内部的电压偏压控制电路，射频发生器4的数字接地的引脚44对应于其内部的点火控制电路，射频发生器4的电源接地的引脚45对应于其内部的电源电路。

其中，控制电路6通过射频发生器4包括的各个引脚分别对射频发生器4内部的各个单元电路进行控制及检测。

其中，如图2所示，射频发生器4的第一继电器引脚41与连接器1的输出端12的第一继电器引脚121连接，射频发生器4的第二继电器引脚42与连接器1的输出端12的第二继电器引脚122连接，射频发生器4的电压偏压控制的引脚43与连接器1的输出端12的电压偏压控制的引脚123连接，射频发生器4的数字接地的引脚44与连接器1的输出端12的数字接地的引脚124连接，射频发生器4的电源接地的引脚45与连接器1的输出端12的电源接地的引脚125连接。

其中，射频发生器4还可以包括温度监控的引脚、数据引脚、数据控制的引脚和光学检测火焰控制的引脚等。相应地，连接器1的输入端11和输出端12也可以分别还包括上述温度监控的引脚、数据引脚、数据控制的引脚和光学检测火焰控制的引脚等。

其中，如图3所示，条件生成电路2包括偏压控制模块21、第一中继模块22、第二中继模块23和点火模块24；

偏压控制模块21的一端与电源模块3连接，偏压控制模块21的另一端与连接器1的输入端11包括的电压偏压控制的引脚113连接；

第一中继模块22的一端与地线连接，第一中继模块22的另一端与连接器1的输入端11包括的第一继电器引脚111连接；

第二中继模块23的一端与电源模块3连接，第二中继模块23的另一端与连接器1的输入端11包括的第二继电器引脚112连接；

点火模块24的一端与电源模块3连接，点火模块24的另一端与连接器1的输入端11包括的数字接地的引脚114连接。

其中，偏压控制模块21通过连接器1与射频发生器4的电压偏压控制的引脚43连接，为射频发生器4内部的电压偏压控制电路提供电压，若该电压偏压控制电路正常工作，则表明该电压偏压控制电路未出现故障，否则表明该电压偏压控制电路发生了故障。

其中，第一中继模块22通过连接器1与射频发生器4的第一继电器引脚41连接，与射频发生器4内部的第一继电器电路构成回路，若第一继电器电路正常工作，则表明第一继电器电路未出现故障，否则表明第一继电器电路发送故障。

同样地，第二中继模块23通过连接器1与射频发生器4的第二继电器引脚42连接，与射频发生器4内部的第二继电器电路构成回路，若第二继电器电路正常工作，则表明第二继电器电路未出现故障，否则表明第二继电器电路发送故障。

其中，点火模块24通过连接器1与射频发生器4的数字接地的引脚44连接，为射频发生器4内部的点火控制电路提供电压，若点火控制电路正常工作，则表明点火控制电路未出现故障，否则表明该点火控制电路发生故障。

其中，如图3所示，连接器1的输入端11中的电源接地的引脚115与地线连接。

其中，如图4所示，偏压控制模块21包括第一开关211、第一电阻212和第一电位器213；

第一电阻212的一端与电源模块3及点火模块24连接，第一电阻212的另一端与第一开关211的一端以及第一电位器213的一端连接；

第一开关211的另一端与连接器1的输入端11中的电压偏压控制的引脚113连接；

第一电位器213的另一端与地线连接。

其中，第一电阻212和第一电位器213用于调节电压，从而实现通过偏压控制模块21为射频发生器4中的电压偏压控制电路提供设定的电压。

其中，如图5所示，第一中继模块22包括第二开关221；

第二开关221的一端与地线连接，第二开关221的另一端与连接器1的输入端11中的第一继电器引脚111连接。

其中，当第二开关221闭合时，第一中继模块22与射频发生器4中的第一继电器电路构成回路，以使第一继电器电路工作。

其中，如图6所示，第二中继模块23包括第三开关231和第二电阻232；

第三开关231的一端与第二电阻232的一端连接，第三开关231的另一端与连接器1的输入端11中的第二继电器引脚112连接；

第二电阻232的另一端与电源模块3连接。

其中，当第三开关231闭合时，第二中继模块23与射频发生器4中的第二继电器电路构成回路，以使第二继电器电路开始工作。

其中，如图7所示，点火模块24包括第四开关241、第三电阻242和第二电位器243；

第三电阻242的一端与电源模块3及偏压控制模块21连接，第三电阻242的另一端与第四开关241的一端以及第二电位器243的一端连接；

第四开关241的另一端与连接器1的输入端11中的数字接地的引脚114连接；

第二电位器243的另一端与地线连接。

其中，第三电阻242和第二电位器243用于调节电压，从而实现通过点火模块24为射频发生器4中的点火控制电路提供设定的电压。

其中，如图8所示，电源模块3包括第一电源单元31和第二电源单元32；

第一电源单元31与偏压控制模块21和点火模块24连接；

第二电源单元32与第二中继模块23连接。

其中，如图9所示，第一电源单元31包括第四电阻311、第三电位器312和电源313；

第四电阻311的一端与地线连接，第三电位器312的一端与电源313连接；

第四电阻311的另一端与第三电位器312的另一端连接，且第四电阻311的另一端和第三电位器312的另一端均与偏压控制模块21和点火模块24连接。

其中，第四电阻311和第三电位器312用于调节电压，可以将电源的输出电压调节至30v-48v，以为偏压控制模块21和点火模块24提供设定的电压。

其中，如图10所示的该控制电路的电路图，通过该控制电路6对射频发生器4进行控制时，首先将射频发生器4从ICP等精密仪器中取出，将射频发生器4的各个引脚对应地连接到连接器1的输出端12的各个引脚上。然后将电源模块3上电，其上电电压为48v，将第一电源单元31的输出电压调节为30v，然后闭合第四开关241，通过点火模块24对射频发生器4内部的点火控制电路进行控制及检测。若点火控制电路正常，再闭合第二开关221，通过第一中继模块22对射频发生器4内部的第一继电器电路进行控制及检测。若第一继电器电路也正常，则闭合第三开关231，通过第二中继模块23对射频发生器4内部的第二继电器电路进行控制及检测。若第二继电器电路正常，则闭合第一开关211，通过偏压控制模块21对射频发生器4内部的电压偏压控制电路进行控制及检测。若电压偏压控制电路也正常，则表明射频发生器4未出现故障。最后断开第四开关241，并依次断开第二开关221、第三开关231和第一开关211，使射频发生器4停止作业。

其中，通过本发明实施例提供的控制电路可以简单方便地对射频发生器进行单独控制和检测，并且可以检测出射频发生器内部的单元电路是否出现故障。

在本发明实施例提供中，由于控制电路中包括的条件生成电路可以为射频发生器提供作业条件，所以可以将射频发生器从精密仪器中取出，通过该控制电路为该射频发生器单独提供作业条件，使射频发生器作业，然后对射频发生器的作业情况进行检测，实现了对射频发生器进行单独检修，避免损坏精密仪器中的其他部件。

实施例2

参见图11，本发明实施例提供了一种射频发生器的检测系统，该检测系统包括射频信号检测器5以及上述实施例1描述的控制电路6；

控制电路6与射频发生器4连接，为射频发生器4提供作业条件；

射频信号检测器5与射频发生器4连接，接收并检测射频发生器4作业过程中产生的信号。

其中，射频信号检测器5可以包括示波仪、万用表和红外传感器等仪器。

控制电路6为射频发生器4提供作业条件，使射频发生器4启动并进行作业。射频信号检测器5接收并检测射频发生器4作业过程中产生的信号，将接收或检测到的信号输入给信号处理器，信号处理器对这些信号进行分析处理，根据这些信号以及射频发生器正常工作时产生的标准信号，判断出射频发生器是否出现了故障。

进一步地，技术人员也可以通过观察射频信号检测器5接收或检测到的信号的波形等特征，根据经验预测出射频发生器4是否出现了故障。

其中，如图1和图10所示的控制电路6，其结构与实施例1中所述相同，在此不再赘述。

其中，如图10所示的该控制电路的电路图，通过该控制电路6对射频发生器4进行控制时，首先将射频发生器4从ICP等精密仪器中取出，将射频发生器4的各个引脚对应地连接到连接器1的输出端12的各个引脚上。然后将电源模块3上电，其上电电压为48v，将第一电源单元31的输出电压调节为30v，然后闭合第四开关241，通过点火模块24对射频发生器4内部的点火控制电路进行控制及检测。若点火控制电路正常，再闭合第二开关221，通过第一中继模块22对射频发生器4内部的第一继电器电路进行控制及检测。若第一继电器电路也正常，则闭合第三开关231，通过第二中继模块23对射频发生器4内部的第二继电器电路进行控制及检测。若第二继电器电路正常，则闭合第一开关211，通过偏压控制模块21对射频发生器4内部的电压偏压控制电路进行控制及检测。若电压偏压控制电路也正常，则表明射频发生器4未出现故障。最后断开第四开关241，并依次断开第二开关221、第三开关231和第一开关211，使射频发生器4停止作业。

其中，射频信号检测器5可以检测到射频发生器4内部各个单元电路作业时产生的信号，根据这些信号可以判断出各个单元电路是否出现了故障。其中，通过本发明实施例提供的控制电路可以简单方便地对射频发生器进行单独控制和检测，并且可以检测出射频发生器内部的单元电路是否出现故障。

在本发明实施例中，由于控制电路中包括的条件生成电路可以为射频发生器提供作业条件，所以可以将射频发生器从精密仪器中取出，通过该控制电路为该射频发生器单独提供作业条件，使射频发生器作业，然后通过射频信号检测器接收并检测射频发生器作业过程中产生的信号，该检测系统实现了对射频发生器进行单独检修，避免损坏精密仪器中的其他部件。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (9)

1.一种射频发生器的控制电路，其特征在于，所述控制电路包括：连接器、条件生成电路和电源模块；

所述电源模块与所述条件生成电路电连接，为所述条件生成电路提供设定的电压；

所述条件生成电路通过所述连接器与射频发生器连接，为所述射频发生器提供作业条件，所述作业条件包括所述射频发生器的额定电压、额定电流和额定功率；

其中，所述条件生成电路包括偏压控制模块、第一中继模块、第二中继模块和点火模块；所述偏压控制模块的一端与所述电源模块连接，所述偏压控制模块的另一端与所述连接器的输入端包括的电压偏压控制的引脚连接；所述第一中继模块的一端与地线连接，所述第一中继模块的另一端与所述连接器的输入端包括的第一继电器引脚连接；所述第二中继模块的一端与所述电源模块连接，所述第二中继模块的另一端与所述连接器的输入端包括的第二继电器引脚连接；所述点火模块的一端与所述电源模块连接，所述点火模块的另一端与所述连接器的输入端包括的数字接地的引脚连接。

2.根据权利要求1所述的控制电路，其特征在于，

所述连接器的输入端和输出端分别至少包括如下五个引脚：

第一继电器引脚、第二继电器引脚、电压偏压控制的引脚、数字接地的引脚和电源接地的引脚；

其中，所述连接器的输入端的五个引脚分别与所述条件生成电路的对应节点连接；

所述连接器的输出端的五个引脚分别与所述射频发生器的对应引脚连接。

3.根据权利要求1所述的控制电路，其特征在于，所述偏压控制模块包括第一开关、第一电阻和第一电位器；

所述第一电阻的一端与所述电源模块及所述点火模块连接，所述第一电阻的另一端与所述第一开关的一端以及所述第一电位器的一端连接；

所述第一开关的另一端与所述电压偏压控制的引脚连接；

所述第一电位器的另一端与地线连接。

4.根据权利要求1所述的控制电路，其特征在于，所述第一中继模块包括第二开关；

所述第二开关的一端与地线连接，所述第二开关的另一端与所述第一继电器引脚连接。

5.根据权利要求1所述的控制电路，其特征在于，所述第二中继模块包括第三开关和第二电阻；

所述第三开关的一端与所述第二电阻的一端连接，所述第三开关的另一端与所述第二继电器引脚连接；

所述第二电阻的另一端与所述电源模块连接。

6.根据权利要求1所述的控制电路，其特征在于，所述点火模块包括第四开关、第三电阻和第二电位器；

所述第三电阻的一端与所述电源模块及所述偏压控制模块连接，所述第三电阻的另一端与所述第四开关的一端以及所述第二电位器的一端连接；

所述第四开关的另一端与所述数字接地的引脚连接；

所述第二电位器的另一端与地线连接。

7.根据权利要求1所述的控制电路，其特征在于，所述电源模块包括第一电源单元和第二电源单元；

所述第一电源单元与所述偏压控制模块和所述点火模块连接；

所述第二电源单元与所述第二中继模块连接。

8.根据权利要求7所述的控制电路，其特征在于，所述第一电源单元包括第四电阻、第三电位器和电源；

所述第四电阻的一端与地线连接，所述第三电位器的一端与所述电源连接；

所述第四电阻的另一端与所述第三电位器的另一端连接，且所述第四电阻的另一端和所述第三电位器的另一端均与所述偏压控制模块和所述点火模块连接。

9.一种射频发生器的检测系统，其特征在于，所述检测系统包括射频信号检测器以及如权利要求1至8任一项权利要求所述的控制电路；

所述控制电路与所述射频发生器连接，为所述射频发生器提供作业条件；

所述射频信号检测器与所述射频发生器连接，接收并检测所述射频发生器作业过程中产生的信号。