CN104848802A - 法线跟踪式差动共焦非球面测量方法与系统 - Google Patents
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Abstract
法线跟踪式差动共焦非球面测量方法与系统属于表面形貌测量技术领域；本发明包括扫描机构、差动共焦测头和回转工件台三部分，被测非球面放置在回转工件台上，扫描机构采用X向导轨与Z向导轨实现XZ平面内扫描，差动共焦测头通过旋转机构固定在Z向导轨末端，该测头采用跟踪式差动共焦技术进行测量，利用位置传感器来测量被测非球面表面的斜率变化并实时调节旋转机构，使测头与被测非球面表面始终保持垂直，从而保证测头接收到足够的光信号；因此，本发明可以实现大口径、高数值孔径及大曲率非球面元件表面形状的超精密测量。
Description
技术领域
法线跟踪式差动共焦非球面测量方法与系统属于表面形貌测量技术领域，特别涉及一种用于大口径、高数值孔径及大曲率非球面元件表面形状测量的超精密干涉测量方法与系统。
背景技术
由于非球面具有更多的设计自由度，使得光学系统具有更大的灵活性，能够校正像差、改善像质、扩大视场，并使光学系统结构简化、重量减轻，因此在现代光学系统中得到了广泛应用，特别是在天文望远镜、深紫外光刻、激光武器光学系统、激光核聚变光学系统以及制导导弹的光学成像引导系统等高端技术领域。目前，非球面测量方法比较多，包括：接触式扫描法、斐索干涉测量法、计算全息法和共焦扫描测量法等。
接触式扫描法是最经典的测量方法，测量过程中，机械测头始终与被测表面保持接触，表面上的结构及面形变化会导致机械测头发生垂直方向的位移，通过感知该位移即可以得到被测表面的面形轮廓信息。该方法具有可靠、方便的特性，但是由于测头与被测表面直接接触，因此存在损坏被测表面的风险，不适用于软表面、生物表面以及包含信息的器件表面等。
斐索干涉测量法与计算全息法本质上相同，一般需引入零位补偿技术，就是通过补偿元件(计算全息板)的使用，把平面波或球面波变成与被测非球面理想面形相一致的波面，以此波面作为标准波面与被测表面进行比较，通过几何光学方法或干涉法等手段观察二者之间的差别。该方法不需扫描机构，通过一次测量可以获得被测表面的三维面形，测量速度快，空间分辨率高，测量精度高，非接触测量等。但是其主要缺点是需要补偿元件，且不同被测工件需要不同的补偿元件，大大增加了测量成本和复杂程度，通用性非常差，严重限制了其测量范围；另外，当非球面曲率比较大时，将导致干涉条纹过密无法进行测量。
共焦扫描测量法在探测器前有一个极小的针孔，只有当物点位于焦点上时，反射光才能够通过这个小孔被光电探测器收集，而焦点以外物体的反射光则会被屏蔽掉。在扫描过程中，随着光学系统在垂直方向不断运动，测试样品将以切片的形式被分层成像，这一过程被称作光学层析。该方法不仅具有良好的垂直分辨率和水平分辨率等特点，而且具有良好的深度响应特性，光强对比度高，抗散射光能力强；对于高数值孔径或曲率变化较大的表面，由于探测系统无法收集到足够的回光，因此很难实现其表面的测量。
发明内容
针对上述现有非球面测量方法的不足，本发明提出了一种法线跟踪式差动共焦非球面测量方法与系统，本方法采用法线跟踪式差动共焦技术进行测量，并且差动共焦测头具有旋转功能，因此可以实现大口径、高数值孔径及大曲率非球面元件表面形状的超精密测量。
本发明的目的通过以下技术方案实现：
一种法线跟踪式差动共焦非球面测量方法，其特征在于该方法步骤如下：
(1)该方法主要包括扫描机构、差动共焦测头和回转工件台三部分；扫描机构采用X向导轨与Z向导轨实现XZ平面内扫描，Z向导轨末端带有旋转机构，差动共焦测头固定在该旋转机构上，可以进行回转运动，被测非球面放置在回转工件台上；
(2)通过扫描机构将差动共焦测头移动到被测非球面上的待测点，采用激光干涉仪记录下此时旋转机构中心的X向和Z向位置坐标，分别记为x1、z1，在移动过程中激光干涉仪的测量光与旋转机构中心始终符合阿贝原则，从而消除测量中的阿贝误差；然后利用差动共焦测头对被测非球面进行测量；
(3)差动共焦测头采用激光器作为光源，激光器的输出光为线偏振光，经准直扩束后变为平行光束，平行光束依次透过偏振分光镜与四分之一波片，然后被物镜汇聚到被测非球面上，被测非球面的反射光经四分之一波片后被偏振分光镜反射；
(4)反射光的一部分被透镜汇聚到位置传感器上，将会聚光斑的位置转换成相应的电信号，并将电信号送入信号处理系统进行处理；当测量光与被测非球面垂直时，会聚光斑位于传感器中心，输出电信号为0；当测量光与被测非球面不垂直时，会聚光斑则偏离传感器中心，输出电信号不为0，将输出电信号送入信号处理系统进行处理，信号处理系统输出一个控制信号来调节Z向导轨末端旋转机构的旋转角度，直至使差动共焦测头的测量光与被测非球面垂直，此时旋转机构的角度记为θ1，从而在测量过程中，保证差动共焦测头的测量光与被测非球面始终保持垂直，不受被测非球面曲率的影响；
(5)当差动共焦测头的测量光与被测非球面垂直时，反射光的另一部分被平均分为两份，并分别经过透镜、针孔后被光电探测器接收，一个针孔位于透镜焦点前，另一个针孔位于透镜焦点后，两个针孔关于透镜焦点对称分布，两光电探测器分别输出光强信号I1、I2；
(6)当两光强信号I1、I2相等时，表明物镜的焦点正好落在被测非球面上，当两光强信号I1、I2不相等时，表明物镜的焦点偏离了被测非球面，然后根据两光强信号的差值，通过改变压电陶瓷的驱动电压V沿轴向调节差动共焦测头与被测非球面之间的距离，直至两光强信号I1、I2相等；
(7)最终信号处理系统通过分析测量过程中记录的x1、z1、θ1、V、I1和I2，可以计算出被测非球面上待测点的坐标值；
(8)按照预先设定的扫描轨迹，扫描机构将差动共焦测头移动到被测非球面的下一个待测点，在每个待测点都重复步骤(2)～(7)的测量过程，直至完成整个扫描轨迹的测量，通过综合扫描轨迹上所有测量点的坐标值可以获得被测非球面的面形信息。
一种法线跟踪式差动共焦非球面测量系统，其特征在于，该系统包括X向导轨、Z向导轨、旋转机构、差动共焦测头、被测非球面、回转工作台、Z向激光干涉仪、X向激光干涉仪；其中，X向导轨与Z向导轨相互垂直安装，可以实现XZ平面内的扫描，差动共焦测头通过旋转机构固定在Z向导轨的末端，可以实现差动共焦测头的旋转运动，Z向激光干涉仪与X向激光干涉仪固定在Z向导轨上，且Z向激光干涉仪与X向激光干涉仪测量光的轴线方向均通过旋转机构的中心，被测非球面固定在回转工作台上；所述的差动共焦测头结构较复杂，包括激光器、准直镜组、偏振分光镜、四分之一波片、物镜、压电陶瓷、分光镜A、透镜A、位置传感器、光电探测器A、针孔A、透镜B、分光镜B、透镜C、针孔B、光电探测器B、信号处理卡；其中，激光器、准直镜组、偏振分光镜、四分之一波片和物镜依次同轴放置，物镜固定在压电陶瓷上，在偏振分光镜的反射方向依次放置分光镜A、透镜A和位置传感器，在分光镜A的反射方向依次放置分光镜B、透镜B、针孔A和光电探测器A，在分光镜B的反射方向依次放置透镜C、针孔B和光电探测器B，压电陶瓷、位置传感器、光电探测器A、光电探测器B均与信号处理卡相连。
本发明的有益效果是，一方面，由于本发明采用激光干涉仪测量旋转机构中心的位移，且在移动过程中激光干涉仪的测量光与旋转机构中心始终符合阿贝原则，从而消除阿贝误差，提高测量精度；另一方面，本发明采用法线跟踪式差动共焦技术进行测量，差动共焦测头固定在一个旋转机构上，在测量过程中通过控制旋转机构，使测量光束始终与被测表面保持垂直，使探测系统始终能够收集到足够的光信号强度，不受被测表面的曲率变化影响，解决了高数值孔径、大曲率非球面表面检测的难题，适用于大口径、高数值孔径及大曲率非球面元件表面形状的超精密测量。
附图说明
图1为本发明法线跟踪式差动共焦非球面测量系统的机构示意图；
图2为本发明中差动共焦测头的结构示意图。
图中，1 X向导轨、2 Z向导轨、3旋转机构、4差动共焦测头、5被测非球面、6回转工作台、7 Z向激光干涉仪、8 X向激光干涉仪、9激光器、10准直镜组、11偏振分光镜、12四分之一波片、13物镜、14压电陶瓷、15分光镜A、16透镜A、17位置传感器、18光电探测器A、19针孔A、20透镜B、21分光镜B、22透镜C、23针孔B、24光电探测器B、25信号处理卡。
具体实施方式
以下结合附图对本发明实例进行详细的描述。
一种法线跟踪式差动共焦非球面测量系统，其特征在于，该系统包括X向导轨1、Z向导轨2、旋转机构3、差动共焦测头4、被测非球面5、回转工作台6、Z向激光干涉仪7、X向激光干涉仪8；其中，X向导轨1与Z向导轨2相互垂直安装，可以实现XZ平面内的扫描，差动共焦测头4通过旋转机构3固定在Z向导轨2的末端，可以实现差动共焦测头4的旋转运动，Z向激光干涉仪7与X向激光干涉仪8固定在Z向导轨2上，且Z向激光干涉仪7与X向激光干涉仪8测量光的轴线方向均通过旋转机构3的中心，被测非球面5固定在回转工作台6上；所述的差动共焦测头4结构较复杂，包括激光器9、准直镜组10、偏振分光镜11、四分之一波片12、物镜13、压电陶瓷14、分光镜A 15、透镜A 16、位置传感器17、光电探测器A 18、针孔A 19、透镜B 20、分光镜B 21、透镜C 22、针孔B 23、光电探测器B 24、信号处理卡25；其中，激光器9、准直镜组10、偏振分光镜11、四分之一波片12和物镜13依次同轴放置，物镜13固定在压电陶瓷14上，在偏振分光镜11的反射方向依次放置分光镜A 15、透镜A 16和位置传感器17，在分光镜A 15的反射方向依次放置分光镜B 21、透镜B 20、针孔A 19和光电探测器A 18，在分光镜B 21的反射方向依次放置透镜C 22、针孔B 23和光电探测器B 24，压电陶瓷14、位置传感器17、光电探测器A 18、光电探测器B 24均与信号处理卡25相连。
一种法线跟踪式差动共焦非球面测量方法，其特征在于该方法步骤如下：
(1)该方法主要包括扫描机构、差动共焦测头和回转工件台三部分；扫描机构采用X向导轨与Z向导轨实现XZ平面内扫描，Z向导轨末端带有旋转机构，差动共焦测头固定在该旋转机构上，可以进行回转运动，被测非球面放置在回转工件台上；
(2)通过扫描机构将差动共焦测头移动到被测非球面上的待测点，采用激光干涉仪记录下此时旋转机构中心的X向和Z向位置坐标，分别记为x1、z1，在移动过程中激光干涉仪的测量光与旋转机构中心始终符合阿贝原则，从而消除测量中的阿贝误差；然后利用差动共焦测头对被测非球面进行测量；
(3)差动共焦测头采用激光器作为光源，激光器的输出光为线偏振光，经准直扩束后变为平行光束，平行光束依次透过偏振分光镜与四分之一波片，然后被物镜汇聚到被测非球面上，被测非球面的反射光经四分之一波片后被偏振分光镜反射；
(4)反射光的一部分被透镜汇聚到位置传感器上，将会聚光斑的位置转换成相应的电信号，并将电信号送入信号处理系统进行处理；当测量光与被测非球面垂直时，会聚光斑位于传感器中心，输出电信号为0；当测量光与被测非球面不垂直时，会聚光斑则偏离传感器中心，输出电信号不为0，将输出电信号送入信号处理系统进行处理，信号处理系统输出一个控制信号来调节Z向导轨末端旋转机构的旋转角度，直至使差动共焦测头的测量光与被测非球面垂直，此时旋转机构的角度记为θ1，从而在测量过程中，保证差动共焦测头的测量光与被测非球面始终保持垂直，不受被测非球面曲率的影响；
(5)当差动共焦测头的测量光与被测非球面垂直时，反射光的另一部分被平均分为两份，并分别经过透镜、针孔后被光电探测器接收，一个针孔位于透镜焦点前，另一个针孔位于透镜焦点后，两个针孔关于透镜焦点对称分布，两光电探测器分别输出光强信号I1、I2；
(6)当两光强信号I1、I2相等时，表明物镜的焦点正好落在被测非球面上，当两光强信号I1、I2不相等时，表明物镜的焦点偏离了被测非球面，然后根据两光强信号的差值，通过改变压电陶瓷的驱动电压V沿轴向调节差动共焦测头与被测非球面之间的距离，直至两光强信号I1、I2相等；
(7)最终信号处理系统通过分析测量过程中记录的x1、z1、θ1、V、I1和I2，可以计算出被测非球面上待测点的坐标值；
(8)按照预先设定的扫描轨迹，扫描机构将差动共焦测头移动到被测非球面的下一个待测点，在每个待测点都重复步骤(2)～(7)的测量过程，直至完成整个扫描轨迹的测量，通过综合扫描轨迹上所有测量点的坐标值可以获得被测非球面的面形信息。
Claims (2)
1.一种法线跟踪式差动共焦非球面测量方法，其特征在于该方法步骤如下：
(1)该方法主要包括扫描机构、差动共焦测头和回转工件台三部分；扫描机构采用X向导轨与Z向导轨实现XZ平面内扫描，Z向导轨末端带有旋转机构，差动共焦测头固定在该旋转机构上，可以进行回转运动，被测非球面放置在回转工件台上；
(2)通过扫描机构将差动共焦测头移动到被测非球面上的待测点，采用激光干涉仪记录下此时旋转机构中心的X向和Z向位置坐标，分别记为x1、z1，在移动过程中激光干涉仪的测量光与旋转机构中心始终符合阿贝原则，从而消除测量中的阿贝误差；然后利用差动共焦测头对被测非球面进行测量；
(3)差动共焦测头采用激光器作为光源，激光器的输出光为线偏振光，经准直扩束后变为平行光束，平行光束依次透过偏振分光镜与四分之一波片，然后被物镜汇聚到被测非球面上，被测非球面的反射光经四分之一波片后被偏振分光镜反射；
(4)反射光的一部分被透镜汇聚到位置传感器上，将会聚光斑的位置转换成相应的电信号，并将电信号送入信号处理系统进行处理；当测量光与被测非球面垂直时，会聚光斑位于传感器中心，输出电信号为0；当测量光与被测非球面不垂直时，会聚光斑则偏离传感器中心，输出电信号不为0，将输出电信号送入信号处理系统进行处理，信号处理系统输出一个控制信号来调节Z向导轨末端旋转机构的旋转角度，直至使差动共焦测头的测量光与被测非球面垂直，此时旋转机构的角度记为θ1，从而在测量过程中，保证差动共焦测头的测量光与被测非球面始终保持垂直，不受被测非球面曲率的影响；
(5)当差动共焦测头的测量光与被测非球面垂直时，反射光的另一部分被平均分为两份，并分别经过透镜、针孔后被光电探测器接收，一个针孔位于透镜焦点前，另一个针孔位于透镜焦点后，两个针孔关于透镜焦点对称分布，两光电探测器分别输出光强信号I1、I2；
(6)当两光强信号I1、I2相等时，表明物镜的焦点正好落在被测非球面上，当两光强信号I1、I2不相等时，表明物镜的焦点偏离了被测非球面，然后根据两光强信号的差值，通过改变压电陶瓷的驱动电压V沿轴向调节差动共焦测头与被测非球面之间的距离，直至两光强信号I1、I2相等；
(7)最终信号处理系统通过分析测量过程中记录的x1、z1、θ1、V、I1和I2，可以计算出被测非球面上待测点的坐标值；
(8)按照预先设定的扫描轨迹，扫描机构将差动共焦测头移动到被测非球面的下一个待测点，在每个待测点都重复步骤(2)～(7)的测量过程，直至完成整个扫描轨迹的测量，通过综合扫描轨迹上所有测量点的坐标值可以获得被测非球面的面形信息。
2.一种法线跟踪式差动共焦非球面测量系统，其特征在于，该系统包括X向导轨(1)、Z向导轨(2)、旋转机构(3)、差动共焦测头(4)、被测非球面(5)、回转工作台(6)、Z向激光干涉仪(7)、X向激光干涉仪(8)；其中，X向导轨(1)与Z向导轨(2)相互垂直安装，可以实现XZ平面内的扫描，差动共焦测头(4)通过旋转机构(3)固定在Z向导轨(2)的末端，可以实现差动共焦测头(4)的旋转运动，Z向激光干涉仪(7)与X向激光干涉仪(8)固定在Z向导轨(2)上，且Z向激光干涉仪(7)与X向激光干涉仪(8)测量光的轴线方向均通过旋转机构(3)的中心，被测非球面(5)固定在回转工作台(6)上；所述的差动共焦测头(4)结构较复杂，包括激光器(9)、准直镜组(10)、偏振分光镜(11)、四分之一波片(12)、物镜(13)、压电陶瓷(14)、分光镜A(15)、透镜A(16)、位置传感器(17)、光电探测器A(18)、针孔A(19)、透镜B(20)、分光镜B(21)、透镜C(22)、针孔B(23)、光电探测器B(24)、信号处理卡(25)；其中，激光器(9)、准直镜组(10)、偏振分光镜(11)、四分之一波片(12)和物镜(13)依次同轴放置，物镜(13)固定在压电陶瓷(14)上，在偏振分光镜(11)的反射方向依次放置分光镜A(15)、透镜A(16)和位置传感器(17)，在分光镜A(15)的反射方向依次放置分光镜B(21)、透镜B(20)、针孔A(19)和光电探测器A(18)，在分光镜B(21)的反射方向依次放置透镜C(22)、针孔B(23)和光电探测器B(24)，压电陶瓷(14)、位置传感器(17)、光电探测器A(18)、光电探测器B(24)均与信号处理卡(25)相连。
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