CN104792861A - 一种检测导电结构缺陷的柔性阵列涡流探头及检测方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种检测导电结构缺陷的柔性阵列涡流探头及检测方法，在柔性阵列涡流探头的柔性结构中嵌入按径向或按圆周向排成平面阵列的多个线圈；使柔性结构与被检测部件的三维表面形状相适应，并且使探头表面与被检测部件的表面紧密接触，减少提离干扰；根据设定的控制逻辑分时激励探头中的各个线圈，对与被激励线圈相邻的一个或多个线圈进行信号采集，获得被检测部件表面对应位置的缺陷信号；各个线圈的激励与信号采集按空间顺序和/或时间顺序依次轮循，达到快速且全覆盖检测的目的。

Description

一种检测导电结构缺陷的柔性阵列涡流探头及检测方法

技术领域

本发明涉及一种无损检测探头装置及其检测方法，特别涉及一种检测金属构件复杂表面缺陷的涡流柔性阵列探头及检测方法。

背景技术

一些关键且形状复杂的金属部件，如发动机叶片、飞机机身等表面或亚表面出现的裂纹或缺陷，可能导致引擎失效或飞机失事。为了评估设备结构安全，要求获得复杂金属结构表面裂纹等缺陷的数量、位置和形状等信息。磁粉检测、渗透检测、漏磁检测等各种检测方法已经广泛用于裂纹与缺陷的检测。但是磁粉检测、渗透检测等方法对缺陷的定量检测能力不高，不能获得用来评估缺陷严重程度的缺陷形状信息。

涡流检测是一种遵循电磁感应原理的无损检测技术。通有交变电流的激励线圈在导体材料中产生交变的一次磁场，该交变磁场在导体表面感应出涡电流，涡电流会反射产生二次磁场。正常的导体结构与存在裂纹等缺陷的导体，在受到相同线圈磁场激励情况下，在导体中所产生的涡电流不同，反射所产生的二次磁场也不同，导致检测线圈所感测电信号发生变化。据此就可以判断导体材料缺陷的存在及严重程度。涡电流检测具有速度快、对表面缺陷反应灵敏等优异性能。但传统单线圈探头只能单点扫查，对较大面积进行全覆盖的检测非常费时费力，而且容易漏检缺陷。目前要求涡流检测能够覆盖并快速检测各种形状复杂的部件表面，如飞机发动机的叶片、飞机机身铆接结构、汽轮机、核电站热交换管道、汽车发动机、转子的燕尾槽、齿轮等各种形状复杂的机械部件。并且在检测时，要求探头与被检测部件紧密接触，避免提离变化造成的影响，因此需要改进涡流检测技术来解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的不足，提供一种检测复杂金属导电结构表面缺陷的柔性阵列涡流探头装置及检测方法。

为了达到上述目的，本发明的第一个技术方案是提供一种检测导电结构缺陷的柔性阵列涡流探头，其中：多个线圈形成平面阵列，并嵌入在与被检测部件的三维表面形状相适应的柔性结构中；

阵列中的一个或多个线圈作为被激励的激励线圈时，与各个激励线圈相邻的一个或多个线圈作为信号采集线圈，用以获得位于激励线圈及信号采集线圈下方被检测部件表面对应位置的缺陷信号。

优选示例中，柔性结构由可伸缩且具有弹性的绝缘材料制成。

优选示例中，探头表面与被检测部件的表面紧密接触，且各线圈的轴线与被检测部件的表面对应位置相垂直；在与被检测部件相接触的探头表面设有耐磨层。

优选示例中，将探头包含的多个线圈分组成多个线圈组件；探头上的线圈按径向排列，使各线圈组件从探头上的设定点各自向外延伸；

或者，探头上的线圈按圆周向排列，使各线圈组件形成分别环绕探头上设定点的环状结构。

本发明的另一个技术方案是提供一种检测导电结构缺陷的柔性涡流检测系统，其中包含：

如上述任意一项示例所述的柔性阵列涡流探头；

控制器，控制线圈阵列激励与信号采集、控制探头扫描运动并采集缺陷信号数据；

信号处理器，根据探头采集的缺陷信号进行分析并显示分析结果。

优选示例中，所述系统还进一步包含以下部件中的任意一个或其组合：

可伸缩机械装置，根据力传感器感测到的力，由微型电机驱动多段支撑杆进行伸缩，来使探头表面与被检测部件的表面紧密接触；

运动装置，驱使探头沿被检测部件表面移动。

本发明的又一个技术方案是提供一种检测导电结构缺陷的检测方法，在柔性阵列涡流探头的柔性结构中嵌入多个线圈，所述线圈按径向或按圆周向排列形成平面阵列；

使柔性结构与被检测部件的三维表面形状相适应，并且使探头表面与被检测部件的表面紧密接触；

根据设定的控制逻辑，分时激励探头中的各个线圈，任意两个相邻的线圈不同时被激励；

对与被激励线圈相邻的一个或多个线圈进行信号采集，获得被检测部件表面对应位置的缺陷信号；

各个线圈的激励与信号采集按空间顺序和/或时间顺序依次轮循。

优选示例中，其中一些线圈，位于探头的多个径向上；对于所有径向的线圈进行激励与信号采集轮循；

其中，对于任意一个径向上的任意一个线圈进行激励时，从该径向上与被激励线圈相邻的下一个线圈进行信号采集；

再对所述下一个线圈进行激励，并从该径向上与被激励的下一个线圈相邻的更下一个线圈进行信号采集；

直到对该径向上的所有线圈完成分时激励与信号采集的轮循。

优选示例中，其中一些线圈，位于探头上同心的多个圆环上；设被激励线圈所在的圆环为内层圆环，而与该内存圆环相邻并环绕在该内存圆环之外的圆环为外层圆环；

内层圆环的任意一个线圈被激励时，从外层圆环上与被激励线圈相邻的多个方向的线圈同时进行信号采集；

再对内层圆环上的下一个线圈进行激励，并从外层圆环上与被激励的下一个线圈相邻的多个方向的线圈同时进行信号采集；

对内层圆环上的线圈进行激励的轮循，直到完成该外层圆环上所有线圈的信号采集的轮循；

其中，对内层圆环上的线圈进行激励的轮循，是指对内层圆环上的每个线圈依次序分时激励，或者对内层圆环上的线圈间隔一个或间隔多个后分时激励。

优选示例中，其中一些线圈，位于探头上同心的多个圆环上；对于所有圆环的线圈进行激励与信号采集轮循；

其中，对于任意一个圆环上的任意一个线圈进行激励时，从该圆环上与被激励线圈相邻的下一个线圈进行信号采集；

再对所述下一个线圈进行激励，并从该圆环上与被激励的下一个线圈相邻的更下一个线圈进行信号采集；

直到对该圆环上的所有线圈完成分时激励与信号采集的轮循。

综上所述，本发明提供的一种检测金属结构复杂形状表面裂纹等缺陷的柔性阵列涡流探头及检测方法，其优点在于：本发明中探头所包含的激励与检测线圈采用阵列形式，该探头由于具有柔性，能够适应于多种被检测部件的复杂三维表面形状。探头的线圈阵列可按圆周向或径向排列，每个线圈不需要严格定义为激励或检测功能；只是按照控制逻辑而确定。多种控制逻辑可以使线圈的激励与检测功能按空间顺序或时间顺序依次轮循，达到快速且全覆盖检测的目的。

同时本发明中的线圈采用平面线圈，固定线圈的为柔性薄膜材料，可使探头线圈阵列与被检测结构表面紧密接触、减少提离。在阵列探头运动装置配合下，使探头通过一次移动扫查可以检测复杂导电结构表面一定区域内多个缺陷的存在，并可根据信号特征判断其数量、方向及长、宽、深度等形状信息。在探头后方更可以进一步设有可伸缩机械装置，通过控制其伸缩，来使探头与被检测结构表面紧密接触。

附图说明

图1是本发明提供的一种柔性涡流阵列探头的顶视图；

图2是本发明所述柔性涡流阵列探头自图1中X-X方向所示的剖面图；

图3是本发明所述柔性涡流阵列探头中任意一个线圈的结构图；

图4是本发明所述柔性涡流阵列探头线圈在某种控制逻辑下所具有的激励与检测功能示意图；

图5是对图1示例中线圈的第一种激励与检测控制方式的示意图；

图6是对图1示例中线圈的第二种激励与检测控制方式的示意图；

图7是对图1示例中线圈的第三种激励与检测控制方式的示意图；

图8是本发明所述柔性涡流阵列探头应用于圆柱形工件进行缺陷检测的示意图；

图9是本发明所述柔性涡流阵列探头应用于横截面为半圆形的凹面工件进行缺陷检测的示意图；

图10是本发明所述柔性涡流阵列探头应用于凹槽型工件进行缺陷检测的示意图；

图11是本发明所述柔性涡流阵列探头应用于导电结构缺陷定量检测时的功能框图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明做进一步的详细说明。

图1是本发明提供的一种柔性涡流阵列探头100（以下简称为柔性探头或探头）的顶视图。所述探头上设有作为激励与感测元件的多个线圈101，这些线圈101被分组形成多个线圈组件（图1示例中有四个线圈组件），使每个线圈组件包含一个或多个线圈101。

数量众多的线圈101以平面阵列的形式分布在该探头上，用来进行导电结构复杂表面形状缺陷检测。优选地，希望线圈的阵列能够将探头表面尽可能多地覆盖，然而本发明并未排除线圈阵列仅覆盖探头一部分表面的实施结构。

在一些不同的示例中，一个探头上的线圈101可以按径向排列（如图8），使该探头上的线圈组件从探头上的某个设定点（如圆心、重心或其他位置）向外延伸（呈×型、*型或其他类似的发散形状），即每个线圈组件的若干个线圈排成一列（直线或非直线），一个线圈组件中的各个线圈到设定点的距离一般各不相同。不同线圈组件中线圈的数量、间隔距离等可以相同或不相同。

或者，在另一些不同的示例中，一个探头上的线圈101可以按圆周向排列（如图1），使该探头上任意一个线圈组件的多个线圈环绕某个设定点形成环状结构（如圆形或非圆形、封闭的或不完全封闭的环状结构）。一个构成圆形环的线圈组件中，各个线圈到设定点的距离均相同；一个构成非圆形环的线圈组件中，各个线圈到设定点的距离可以相同或不相同。不同线圈组件中线圈的数量、间隔距离等可以相同或不相同。

如图1所示的一个优选实施例中，探头表面为圆形，X-X为探头所在圆上某一条直径的两端，探头的圆形外边界为103。该示例中线圈101按圆周向排列形成阵列，其中有一个线圈组件包含位于探头圆心处的一个线圈101，其他线圈组件则以其各自包含的多个线圈101构成为与探头圆面同心的三个圆环（相邻圆环之间的径向间距可以相同或不相同）。而在其他图中未示出的实施例中，还可以将探头表面制成矩形、三角形等其他任意形状，并使线圈101按径向或圆周向或者按照其他方式排列形成阵列，在此不一一赘述。

图2是本发明所述柔性涡流阵列探头100自图1中X-X方向所示的剖面图，数量众多的线圈101以平面阵列的形式，被嵌入在柔性结构内部得以固定。该柔性结构由具有伸缩性的弹性绝缘材料制成，具有良好的柔韧性。例如，可以使用柔性PCB（印制电路板）材料，弹性橡胶或其他绝缘材料，来制作所述的柔性结构。又例如，该柔性结构可以是一种柔性薄膜的形式，以有效地包裹线圈101，并实现绝缘、防水功能。

在实际检测时，使探头上的线圈组件与被检测物的表面紧密接触，以减少提离干扰。优选地，在与被检测物相接触的探头表面还设有一层耐磨层201，可起到保护探头作用。

图3是本发明所述柔性涡流阵列探头100中任意一个线圈101的结构图，图1的探头示例中所有的线圈101都具有相同的结构及参数。为保持扁平与柔性，线圈由铜导线在一个平面上绕制而成，或采用PCB技术制作在薄膜上。线圈及其连接导线（图中未示出）都经过防水绝缘处理。

图4是本发明柔性涡流阵列探头100的两个线圈101在某种控制逻辑下所具有的激励与检测功能示意图。箭头的起始端所在的线圈称为激励线圈，箭头指向的线圈称为信号采集线圈。每个线圈可以在控制逻辑的不同时刻，分别作为激励线圈或作为信号采集线圈。即线圈阵列中不同的线圈在不同的时刻被激励，所有的线圈都得到激励，但不同时激励两个相邻的线圈，目的是减少不需要的互感效应，降低干扰信号对探头的影响。

下文以图1所述柔性涡流阵列探头100为例，对线圈101的多种激励与检测控制方法进行说明。在图1示例中，第一线圈组件的一个线圈位于探头圆心；第一线圈组件外层环绕有第二线圈组件的八个线圈；第二线圈组件外层环绕有第三线圈组件的十六个线圈；第三线圈组件外层环绕有第四线圈组件的二十四个线圈。

图5是对图1示例中线圈的第一种激励与检测控制方式：柔性探头位于待检测导电结构301上方，探头的圆心位置用来定位当前扫描位置。假设该导电结构301具有三个不同的径向缺陷311、312、313。

该控制方式沿探头圆心起始的8个径向401~408分时进行。先从包含四个线圈A1、B1、C1、D1的径向401开始，控制逻辑先通电激励A1线圈，同时采集该径向401上外层相邻的B1线圈上的缺陷信号并送回存储器；再通电激励B1线圈，同时采集外层相邻的C1线圈上的缺陷信号并送回存储器；随后通电激励C1线圈，同时采集外层相邻的D1线圈上的缺陷信号并送回存储器，这样就完成了其中一个径向401上所有线圈的激励与信号采集的轮循。

然后，按顺时针方向（其他示例中也可以是按逆时针方向或其他顺序），开始另一径向402上所有线圈（对应线圈A1、B2、C3、D4）的激励与信号采集轮循；以此类推，直至完成一次所有径向的线圈激励与信号采集轮循。这样就获得了对应圆形探头的线圈下方24个径向的信号（即含本例的8个径向，及每个径向的3次激励与检测），根据获得的信号可以判断沿各径向是否存在缺陷以及缺陷所在的位置。如激励A1线圈采集B1线圈时获得的信号，与激励C1线圈采集D1线圈（有径向缺陷）时获得的信号不同。

图6是对图1示例中线圈的第二种激励与检测控制方式：柔性探头位于待检测导电结构301上方，探头圆心用来定位扫描位置。假设该导电结构301具有三个不同方向的非径向缺陷321、322、323。该控制方式首先通电激励圆心处的线圈A1，然后在线圈A1外层同一圆周B上的线圈B1～B8同时采集下方导体涡电流信号并送回存储器。

之后，通电激励B1线圈，同时采集B1线圈外层相邻的三个线圈C16、C1、C2上的缺陷信号并送回存储器；再通电激励B2线圈，同时采集外层相邻三个线圈C2、C3、C4上的缺陷信号并送回存储器；依照此规律，按顺时针方向（其他示例中也可以是按逆时针方向或其他顺序），转换到圆周B上下一个被激励的线圈，并采集与激励线圈外层相邻的三个线圈的信号；直到该圆周B上最后一个B8线圈被通电激励，此时采集的是C14、C15、C16线圈信号，这样就完成了圆周C上所有线圈信号采集的轮循。

然后，通电激励C1线圈，同时采集其外层相邻的三个线圈D24、D1、D2上的缺陷信号并送回存储器；再通电激励C3线圈，同时采集外层相邻的三个线圈D3、D4、D5上的缺陷信号并送回存储器；依照此规律，按顺时针方向（其他示例中也可以是按逆时针方向或其他顺序），对C圆周的线圈间隔一个进行激励，同时采集与被激励线圈相邻的D圆周上三个线圈的信号，直到完成D圆周上所有线圈的信号采集轮循。这样就获得了圆形探头的线圈下方所有圆周向的信号，根据信号可以相应确定线圈下方与圆周相切缺陷的存在及缺陷所在的位置。

图7是对图1示例中线圈的第三种激励与检测控制方式：与前述两种方式的目的类似，都是为了在实际检测时，使检测探头线圈阵列四周相互之间减少间隙，降低未被探头线圈覆盖的区域面积。假设被检测的导电结构301具有三个不同方向的且与圆周相切的微小缺陷331、332、333。

首先通电激励圆周B上的B1线圈，同时采集顺时针方向（其他示例中也可以是按逆时针方向或其他顺序）在同一圆周上与B1线圈相邻的B2线圈上的缺陷信号并送回存储器；然后通电激励B2线圈，同时采集相邻B3线圈上的缺陷信号并送回存储器；按照此规律，完成B圆周上所有线圈的激励与信号采集的轮循。

然后，对圆周B外层的C圆周上的所有线圈（线圈C1-C16），按此规律执行激励与信号采集的轮循。C圆周上线圈的激励与采集轮循完成后，对C线圈外层的D线圈（线圈D1-D24）亦按此规律进行激励与采集的轮循。这样就获得了圆形探头的线圈下方所有圆周向的信号，根据信号可以相应确定线圈下方任意与圆周相切的微小缺陷的存在及缺陷所在的位置。

对于某个待检测的导电结构来说，可以分别运用上述第一种到第三种激励与检测控制方式中的任意一种或几种来进行检测。并且，可以使探头在导电结构表面移动后，在新的位置重复进行该第一种到第三种中任意一种或几种检测，以覆盖全部检测范围。

图8是本发明所述柔性涡流阵列探头100应用于圆柱形工件701进行缺陷检测的示意图。探头放置于圆柱工件701的外表面702，该外表面含有缺陷703。由于本发明中的探头具有柔性，可以使探头的线圈阵列与被检测圆柱工件701的圆柱形的外表面702紧密接触，且使各线圈的轴线垂直于该外表面702上的对应位置，以减少提离干扰。

图9是本发明所述柔性涡流阵列探头100应用于横截面为半圆形的凹面工件801进行缺陷检测的示意图。探头放置于凹面工件801的内表面802，该内表面含有缺陷803。由于本发明的探头具有柔性，可以使探头的线圈阵列与下凹的内表面802紧密接触，且使各线圈的轴线垂直于该内表面702上的对应位置，以减少提离干扰。

图10是本发明所述柔性涡流阵列探头100应用于凹槽型工件901进行缺陷检测的示意图。该凹槽型工件901的内部902呈圆柱形，具有圆柱形内表面903，内表面含有缺陷904。由于该工件的开口较小，一般的探头难以深入其内部进行检测。利用本发明的柔性探头可伸缩的特性，可以将探头先从工件的开口放入，置于工件内部的内表面903，并与该内表面903紧密接触，且使各线圈的轴线垂直于该内表面903上的对应位置，以减少提离干扰。对于其他规则或不规则形状部件的检测，基本都可以参照上述图8~图10所述的任意一个示例或其组合来实现。

图11是本发明所述柔性涡流阵列探头100应用于导电结构缺陷定量检测时的功能框图。在执行如上述任意一种线圈激励与信号采集功能的轮循后，系统获得所有线圈采集的缺陷信号后，对送入存储器的缺陷信号进行分析处理，形成整个探头扫描区域的图像，获得包含缺陷的位置、方向、形状和深度的相关信息。

本发明提供一个用来检测复杂导电结构表面缺陷的柔性涡流检测系统，包括：上文各实施例描述的一种能够适应于被检测部件表面三维形状的柔性涡流阵列探头；一个控制线圈阵列激励与信号采集、控制探头扫描运动并采集缺陷信号数据的控制器及其控制程序，一个根据探头采集的缺陷信号进行分析并以图形或图像的形式显示分析结果的信号处理器及其处理软件。

其中所述的控制器及控制程序，执行对柔性探头线圈阵列的控制逻辑，通过内部设置的多路复用系统，按精确的时间分别激励每个线圈，采集信号并将信号送到存储器保存。

优选地，可以为所述的柔性涡流阵列探头配置有可伸缩机械装置，该可伸缩机械装置含有力传感器和微型电机，能够根据感测到力的大小来控制多段支撑杆的伸缩，使探头表面与被检测面紧密接触。优选地，可以为所述的柔性涡流阵列探头配置有运动装置，在施加一定方向的力之后，探头可以通过该运动装置沿被测物表面的各个方向移动。

综上所述，本发明提供一种用于复杂导电结构表面缺陷无损检测的柔性涡流阵列探头及检测方法，探头表面由柔性材料制成，使线圈阵列镶嵌固定在柔性材料中，使探头的柔性表面能够适应不同的被检测物体表面。线圈有多种排列方式，且线圈不固定其激励或信号采集功能。在不同时刻，线圈可以按不同的控制逻辑激励或采集缺陷信号。多种控制逻辑可以使线圈的激励与检测功能按空间顺序或时间顺序依次轮循，达到快速且全覆盖检测的目的。

尽管本发明的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍，但应当认识到上述的描述不应被认为是对本发明的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后，对于本发明的多种修改和替代都将是显而易见的。因此，本发明的保护范围应由所附的权利要求来限定。

Claims (10)

1.一种检测导电结构缺陷的柔性阵列涡流探头，其特征在于，

多个线圈形成平面阵列，并嵌入在与被检测部件的三维表面形状相适应的柔性结构中；

阵列中的一个或多个线圈作为被激励的激励线圈时，与各个激励线圈相邻的一个或多个线圈作为信号采集线圈，用以获得位于激励线圈及信号采集线圈下方被检测部件表面对应位置的缺陷信号。

2.如权利要求1所述检测导电结构缺陷的柔性阵列涡流探头，其特征在于，

　柔性结构由可伸缩且具有弹性的绝缘材料制成。

3.如权利要求1所述检测导电结构缺陷的柔性阵列涡流探头，其特征在于，

探头表面与被检测部件的表面紧密接触，且各线圈的轴线与被检测部件的表面对应位置相垂直；在与被检测部件相接触的探头表面设有耐磨层。

4.如权利要求1所述检测导电结构缺陷的柔性阵列涡流探头，其特征在于，

　将探头包含的多个线圈分组成多个线圈组件；探头上的线圈按径向排列，使各线圈组件从探头上的设定点各自向外延伸；

或者，探头上的线圈按圆周向排列，使各线圈组件形成分别环绕探头上设定点的环状结构。

5.一种检测导电结构缺陷的柔性涡流检测系统，其特征在于，包含：

如权利要求1~4中任意一项所述的柔性阵列涡流探头；

控制器，控制线圈阵列激励与信号采集、控制探头扫描运动并采集缺陷信号数据；

信号处理器，根据探头采集的缺陷信号进行分析并显示分析结果。

6.如权利要求5所述柔性涡流检测系统，其特征在于，

所述系统还进一步包含以下部件中的任意一个或其组合：

可伸缩机械装置，根据力传感器感测到的力，由微型电机驱动多段支撑杆进行伸缩，来使探头表面与被检测部件的表面紧密接触；

运动装置，驱使探头沿被检测部件表面移动。

7.一种检测导电结构缺陷的检测方法，其特征在于，

在柔性阵列涡流探头的柔性结构中嵌入多个线圈，所述线圈按径向或按圆周向排列形成平面阵列；

使柔性结构与被检测部件的三维表面形状相适应，并且使探头表面与被检测部件的表面紧密接触；

根据设定的控制逻辑，分时激励探头中的各个线圈，任意两个相邻的线圈不同时被激励；

对与被激励线圈相邻的一个或多个线圈进行信号采集，获得被检测部件表面对应位置的缺陷信号；

各个线圈的激励与信号采集按空间顺序和/或时间顺序依次轮循。

8.如权利要求7所述检测导电结构缺陷的检测方法，其特征在于，

其中一些线圈，位于探头的多个径向上；对于所有径向的线圈进行激励与信号采集轮循；

其中，对于任意一个径向上的任意一个线圈进行激励时，从该径向上与被激励线圈相邻的下一个线圈进行信号采集；

再对所述下一个线圈进行激励，并从该径向上与被激励的下一个线圈相邻的更下一个线圈进行信号采集；

直到对该径向上的所有线圈完成分时激励与信号采集的轮循。

9.如权利要求7所述检测导电结构缺陷的检测方法，其特征在于，

其中一些线圈，位于探头上同心的多个圆环上；设被激励线圈所在的圆环为内层圆环，而与该内存圆环相邻并环绕在该内存圆环之外的圆环为外层圆环；

内层圆环的任意一个线圈被激励时，从外层圆环上与被激励线圈相邻的多个方向的线圈同时进行信号采集；

再对内层圆环上的下一个线圈进行激励，并从外层圆环上与被激励的下一个线圈相邻的多个方向的线圈同时进行信号采集；

对内层圆环上的线圈进行激励的轮循，直到完成该外层圆环上所有线圈的信号采集的轮循；

其中，对内层圆环上的线圈进行激励的轮循，是指对内层圆环上的每个线圈依次序分时激励，或者对内层圆环上的线圈间隔一个或间隔多个后分时激励。

10.如权利要求7所述检测导电结构缺陷的检测方法，其特征在于，

其中一些线圈，位于探头上同心的多个圆环上；对于所有圆环的线圈进行激励与信号采集轮循；

其中，对于任意一个圆环上的任意一个线圈进行激励时，从该圆环上与被激励线圈相邻的下一个线圈进行信号采集；

再对所述下一个线圈进行激励，并从该圆环上与被激励的下一个线圈相邻的更下一个线圈进行信号采集；

直到对该圆环上的所有线圈完成分时激励与信号采集的轮循。