CN104731156B - 一种加热灯的监控方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种加热灯的监控方法，包括步骤S1，在加热灯输出最大输出功率的条件下，采集加热灯在多个输出功率百分比下一一对应的输出电流值，并根据该输出电流值设定与之对应的输出功率百分比条件下的标准电流值；步骤S2，在执行工艺配方的工艺过程中，检测加热灯在当前预设输出功率百分比条件下的当前输出电流值，并查询与当前预设输出功率百分比相对应的标准电流值，将当前输出电流值与标准电流值进行比较，若二者存在偏差，则进入步骤S3；步骤S3，对加热灯进行维护。本发明提供的加热灯的监控方法，可以及时地监测加热灯的输出功率是否降低，从而可以及时地对加热灯进行维护以保证加热灯对基片稳定加热，进而可以提高工艺质量。

Description

一种加热灯的监控方法

技术领域

本发明属于半导体设备制造技术领域，具体涉及一种加热灯的监控方法。

背景技术

物理气相沉积(PhysicalVaporDeposition，以下简称PVD)技术是微电子领域常用的加工技术，其在集成电路制造行业中，多特指磁控溅射技术，主要用于铝、铜等金属薄膜的沉积，以获得金属接触、金属互连线等。

通常，PVD设备包括去气腔室、预清洗腔室和工艺腔室，其中，去气腔室主要用于对基片完成去气工艺，具体地，将基片加热至300℃至350℃左右，以去除基片表面的水气和其他易挥发的杂质。在去气腔室内，对基片进行加热的方式包括采用加热灯(例如，灯管和灯泡等)加热的方式和借助承载基片的基座加热的方式。目前，通常采用加热灯方式加热基片，并同时借助基座进行辅助加热，当加热灯经历多次工艺过程，即，加热灯的使用时间过长，使得加热灯的输出功率会降低，甚至加热灯会坏掉，这会导致加热灯在工艺设定的输出功率百分比的条件下不能输出工艺实际所需的输出功率，例如，假设加热灯的最大输出功率为10KW，工艺设定的输出功率百分比为50％，工艺实际所需的加热灯的输出功率为5KW，由于加热灯使用的时间较长，某个加热灯的输出功率降低至9KW，这使得在工艺设定的输出功率百分比为50％的前提下，加热灯实际的输出功率为4.5KW，其小于工艺实际所需的输出功率5KW，因而导致加热灯对基片加热的温度不能满足预设值，从而造成去气效果差，进而造成工艺质量差。

为此，由于在加热灯的输入电压一定的前提下，加热灯的输出功率与加热灯的输出电流成正比，目前，通常采用人为的方式采集加热灯的输出电流值，并人为地将采集的输出电流值和加热灯最大输出功率在工艺设定的输出功率百分比的条件下的输出电流值相比较，根据比较结果人为分析加热灯的输出功率是否发生变化，并在发生变化时对加热灯进行维护。

然而，采用上述方式在实际应用中不可避免的会存在以下问题：由于采用人为的方式进行采集、比较和分析来实现对加热灯进行监控比较耗时，因而不能及时地监测加热灯的输出功率降低，从而造成加热灯对基片加热的温度不能满足预设值，进而造成去气效果差。

发明内容

本发明旨在解决现有技术中存在的技术问题，提供了一种加热灯的监控方法，可以及时地监测加热灯的输出功率是否降低，从而可以及时地对加热灯进行维护以保证加热灯对基片稳定加热，进而可以提高工艺质量。

本发明提供一种加热灯的监控方法，包括以下步骤：步骤S1，在所述加热灯输出最大输出功率的条件下，采集所述加热灯在多个输出功率百分比下一一对应的输出电流值，并根据该输出电流值设定与之对应的输出功率百分比条件下的标准电流值；步骤S2，在执行工艺配方的工艺过程中，所述工艺配方包括每个工艺步骤对应的所述加热灯的预设输出功率百分比，检测所述加热灯在当前预设输出功率百分比条件下的当前输出电流值，并查询与当前预设输出功率百分比相对应的所述标准电流值，将所述当前输出电流值与所述标准电流值进行比较，若二者存在偏差，则进入步骤S3；若二者不存在偏差，则继续执行步骤S2；步骤S3，对所述加热灯进行维护。

其中，在所述步骤S1中，还包括根据该输出电流值设定每个所述输出功率百分比对应的最大允许所述当前输出电流值偏离所述标准电流值的预设范围；在所述步骤S2中，还包括若二者存在偏差，判断所述偏差是否位于所述预设范围内，若是，则继续执行步骤S2；若否，则进入所述步骤S3。

其中，定义idleoutput功能为在工艺腔室内不执行所述工艺配方时所述加热灯在一定输出功率百分比下对工艺腔室进行加热保温的功能，在所述步骤S1中包括以下步骤：步骤S11，保存idleoutput功能的当前状态，当前状态包括开启和关闭状态；步骤S12，判断idleoutput功能的当前状态是否为开启状态，若是，则进入步骤S13，若否，则进入步骤S14；步骤S13，关闭所述idleoutput功能；步骤S14，关闭所述加热灯，设置所述加热灯的输出功率百分比为初始值，并清除所述加热灯的每个输出功率百分比条件下的所述标准电流值；步骤S15，打开所述加热灯，在所述加热灯输出最大输出功率的条件下，采集所述加热灯在多个输出功率百分比下一一对应的输出电流值，并根据每个输出功率百分比对应的输出电流值设定该输出功率百分比条件下的所述标准电流值和所述预设范围；步骤S16，根据在步骤S11中保存的idleoutput功能的当前状态来开启或者关闭所述idleoutput功能。

其中，多个所述输出功率百分比的范围在0％～100％，设置所述加热灯的输出功率百分比的初始值为0％，设置在每个输出功率百分比条件下采集所述加热灯的输出电流值数量的初始值为0；在所述步骤S15中包括以下步骤：步骤S151，打开所述加热灯；步骤S152，判断所述加热灯的当前输出功率百分比是否等于100％，若否，则进入步骤S153；若是，则进入步骤S157；步骤S153，所述当前输出功率百分比增加1％；步骤S154，判断在所述当前输出功率百分比条件下采集的所述加热灯的输出电流值数量是否满足预设数量，若否，则进入步骤S155；若是，则进入步骤S156；步骤S155，在所述当前输出功率百分比条件下，对所述加热灯的输出电流值采集一次，并使采集的所述加热灯的输出电流值数量加1，并在间隔预设时间之后，进入步骤S154；步骤S156，在所述当前输出功率百分比条件下，根据采集到的预设数量的输出电流值计算所述加热灯的输出电流值的相关参数值，并基于所述相关参数值设定所述标准电流值和所述预设范围；步骤S157，关闭加热灯。

其中，在所述步骤S2中包括以下步骤：步骤S21，采用数据订阅的方式捕获所述加热灯的输出电流是否发生变化，若是，则进入步骤S22，若否，则继续执行步骤S21；步骤S22，在执行工艺配方的工艺过程中，所述工艺配方包括每个工艺步骤对应的所述加热灯的预设输出功率百分比，检测所述加热灯在预设输出功率百分比条件下的当前输出电流值，并查询与当前预设输出功率百分比相对应的所述标准电流值，将所述当前输出电流值与所述标准电流值进行比较，若二者存在偏差，则进入步骤S3；若二者不存在偏差，则进入步骤S21。

其中，在所述步骤S2中包括以下步骤：步骤S21，采用数据订阅的方式捕获所述加热灯的输出电流是否发生变化，若是，则进入步骤S22，若否，则继续执行步骤S21；步骤S22，在执行工艺配方的工艺过程中，所述工艺配方包括每个工艺步骤对应的所述加热灯的预设输出功率百分比，检测所述加热灯在预设输出功率百分比条件下的当前输出电流值，并查询与工艺过程的当前预设输出功率百分比相对应的所述标准电流值，将所述当前输出电流值与所述标准电流值进行比较，若二者存在偏差，则进入步骤S23；若二者不存在偏差，则进入步骤S21；步骤S23，判断所述偏差是否位于所述预设范围内，若否，则进入所述步骤S3；若是，则继续执行步骤S21。

其中，在所述步骤S3中还包括发出报警信号，在发出所述报警信号之后对所述加热灯进行维护。

其中，还包括步骤S4，在已完成维护的加热灯输出最大输出功率的条件下，采集所述加热灯在所述多个输出功率百分比下一一对应的输出电流值，设置所述多个输出功率百分比中的至少一个特定输出功率百分比，查询与每个所述特定输出功率百分比相对应的所述标准电流值，根据与每个所述特定输出功率百分比对应的所述输出电流值和所述标准电流值，计算在该所述特定输出功率百分比条件下已完成维护的加热灯的最大输出功率相对未维护之前的加热灯的最大输出功率的增减百分比。

其中，还包括步骤S5，基于所述增减百分比对所述预设输出功率百分比进行调节，当对所述预设输出功率百分比进行调节之后进入所述步骤S1。

其中，定义idleoutput功能为在工艺腔室内不执行所述工艺配方时所述加热灯在一定输出功率百分比下对工艺腔室进行加热保温的功能，在所述步骤S4中包括以下步骤：步骤S41，保存idleoutput功能的当前状态，当前状态包括开启和关闭状态；步骤S42，判断idleoutput功能的当前状态是否为开启状态，若是，则进入步骤S43；若否，则进入步骤S44；步骤S43，关闭所述idleoutput功能；步骤S44，关闭所述加热灯，设置所述加热灯的输出功率百分比为初始值；步骤S45，打开所述加热灯，在所述已完成维护的加热灯输出最大输出功率的条件下，采集该加热灯在所述多个输出功率百分比下一一对应的输出电流值；步骤S46，查询与每个所述特定输出功率百分比相对应的所述标准电流值，根据与每个所述特定输出功率百分比对应的所述输出电流值和所述标准电流值，计算在该特定输出功率百分比条件下已完成维护的加热灯的最大输出功率相对未维护之前的加热灯的最大输出功率的增减百分比；步骤S47，根据在步骤S41中保存的idleoutput功能的当前状态来开启或者关闭所述idleoutput功能。

其中，多个所述输出功率百分比的范围在0％～100％，设置所述加热灯的输出功率百分比的初始值为0％，设置在每个输出功率百分比条件下采集所述加热灯的输出电流值数量的初始值为0；在所述步骤S45中包括以下步骤：步骤S451，打开所述加热灯；步骤S452，判断所述加热灯的当前输出功率百分比是否等于100％，若否，则进入步骤S453；若是，则进入步骤S457；步骤S453，所述当前输出功率百分比增加1％；步骤S454，判断在所述当前输出功率百分比条件下采集的所述加热灯的输出电流值数量是否满足预设数量，若否，则进入步骤S455；若是，则进入步骤S456；步骤S455，在所述当前输出功率百分比条件下，对所述加热灯的输出电流值采集一次，并使采集的所述加热灯的输出电流值的数量加1，并在间隔预设时间之后，进入步骤S454；步骤S456，在所述当前输出功率百分比条件下，根据采集到的预设数量的输出电流值计算所述加热灯的输出电流值的相关参数，并基于所述相关参数确定在当前输出功率百分比条件下的所述加热灯的输出电流值；步骤S457，关闭加热灯。

本发明具有下述有益效果：

本发明提供的加热灯的监控方法，其借助步骤S1，在加热灯输出最大输出功率的条件下，采集加热灯在多个输出功率百分比下一一对应的输出电流值，并根据该输出电流值设定与之对应的输出功率百分比条件下的标准电流值；步骤S2，在执行工艺配方的工艺过程中，工艺配方包括每个工艺步骤对应的加热灯的预设输出功率百分比，检测加热灯在当前预设输出功率百分比条件下的当前输出电流值，并查询与当前预设输出功率百分比相对应的标准电流值，将当前输出电流值与标准电流值进行比较，若二者存在偏差，则进入步骤S3；若二者不存在偏差，则继续执行步骤S2；步骤S3，对加热灯进行维护。由上可知，采用自动的方式实现对加热灯进行实时监控，这与现有技术中采用人为方式相比，可以及时地监测加热灯的输出功率是否降低，从而可以及时地对加热灯进行维护以保证加热灯对基片稳定加热，进而可以提高工艺质量。

附图说明

图1为本发明第一实施例提供的加热灯的监控方法的流程框图；

图2为图1所示的步骤S1的流程框图；

图3为图2所示的步骤S15的流程框图；

图4为图1所示的步骤S2的流程框图；

图5为本发明第二实施例提供的加热灯的监控方法的流程框图；

图6为图5所示的步骤S4的流程框图；以及

图7为图6所示的步骤S45的流程框图。

具体实施方式

为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明提供的加热灯的监控方法进行详细描述。

为便于理解，所谓加热灯输出最大输出功率的条件是指在加热灯的输出功率并没有经过长时间的使用(经历多次工艺过程)而降低的情况。

图1为本发明第一实施例提供的加热灯的监控方法的流程框图。请参阅图1，本发明提供的加热灯的监控方法包括以下步骤：

步骤S1，在加热灯输出最大输出功率的条件下，采集加热灯在多个输出功率百分比下一一对应的输出电流值，并根据该输出电流值设定与之对应的输出功率百分比条件下的标准电流值；

步骤S2，在执行工艺配方的工艺过程中，工艺配方包括每个工艺步骤对应的加热灯的预设输出功率百分比，检测加热灯在当前预设输出功率百分比条件下的当前输出电流值，并查询与当前预设输出功率百分比相对应的标准电流值，将当前输出电流值与标准电流值进行比较，若二者存在偏差，则进入步骤S3；若二者不存在偏差，则继续执行步骤S2；

步骤S3，对加热灯进行维护(例如，对加热灯进行维修或者更换等)。

优选地，当当前输出电流值与标准电流值存在偏差较小时，加热灯的输出功率的变化也较小，因此，可以不需要对加热灯进行维护。因此，在本实施例的步骤S1中，还包括根据该输出电流值设定每个输出功率百分比对应的最大允许当前输出电流值偏离标准电流值的预设范围；在这种情况下，在步骤S2中，还包括若二者存在偏差，判断偏差是否位于预设范围内，若是，则继续执行步骤S2；若否，则进入步骤S3。借助设定预设范围，可以在偏差较小时不需要对加热灯进行维护，仅对偏差超出预设范围时对加热灯进行维护，因而在保证对基片稳定加热的前提下可以在一定程度上减小对加热灯维护耗费的时间，从而可以提高本发明提供的加热灯的监控方法的实用性。

由于在执行工艺配方的工艺过程中包含多个工艺步骤，且每个工艺步骤在工艺配方内设置有相对应的预设输出功率百分比，为此，在步骤S1中的多个输出功率百分比条件下应该至少包括与每个工艺步骤相对应的预设输出功率百分比。在实际应用中，每个工艺步骤对应设置的预设输出功率百分比通常为百分之整数，因此通常设置多个输出功率百分比的范围在0％～100％，且在步骤S1中获得0％～100％范围内的任意一个百分之整数的输出功率百分比对应的标准电流值和预设范围，这使得本发明提供的加热灯的监控方法可以适用于多个预设输出功率百分比为多种不同的情况，从而可以提高本发明提供的加热灯的监控方法的适用性。

并且，在本实施例中，在步骤S1之后且在步骤S2之前，还可以包括步骤S6和步骤7，

步骤S6，判断是否需要执行工艺配方的工艺过程，若是，则进入步骤S7；若否，则继续执行步骤S6；

步骤S7，开始执行工艺配方的工艺过程，并进入步骤S2。

具体地，在本实施例中，定义idleoutput功能为在工艺腔室内不执行工艺配方时加热灯在一定输出功率百分比下(即，加热灯以一定的输出功率)对工艺腔室进行加热保温的功能；容易理解，步骤S1应该在工艺腔室内不执行工艺配方的工艺过程时进行，且由于在步骤S1中需要设定不同输出功率百分比下的标准电流值和预设范围，idleoutput功能开启是以一定输出功率百分比下对工艺腔室进行加热保温，因此，在步骤S1中需要关闭idleoutput功能；如图2所示，步骤S1包括以下步骤：

步骤S11，保存idleoutput功能的当前状态，当前状态包括开启和关闭状态；

步骤S12，判断idleoutput功能的当前状态是否为开启状态，若是，则进入步骤S13，若否，则进入步骤S14；

步骤S13，关闭idleoutput功能；

步骤S14，关闭加热灯，设置加热灯的输出功率百分比为初始值，并清除加热灯的每个输出功率百分比条件下的标准电流值；

步骤S15，打开加热灯，在加热灯输出最大输出功率的条件下，采集加热灯在多个输出功率百分比下一一对应的输出电流值，并根据每个输出功率百分比对应的输出电流值设定该输出功率百分比条件下的标准电流值和预设范围；

步骤S16，根据在步骤S11中保存的idleoutput功能的当前状态来开启或者关闭idleoutput功能；具体地，根据在步骤S11中保存的idleoutput功能的当前状态判断是否开启idleoutput功能，若是，则开启idleoutput功能，若否，则结束。

在本实施例中，多个输出功率百分比的范围在0％～100％，设置加热灯的输出功率百分比的初始值为0％，设置在每个输出功率百分比条件下采集加热灯的输出电流值数量的初始值为0；如图3所示，在步骤S15中包括以下步骤：

步骤S151，打开加热灯；

步骤S152，判断加热灯的当前输出功率百分比是否等于100％，若否，则进入步骤S153；若是，则进入步骤S157；

步骤S153，当前输出功率百分比增加1％；

步骤S154，判断在当前输出功率百分比条件下采集的加热灯的输出电流值数量是否满足预设数量(例如，10个)，若否，则进入步骤S155；若是，则进入步骤S156；

步骤S155，在当前输出功率百分比条件下，对加热灯的输出电流值采集一次，并使采集的加热灯的输出电流值数量加1，并在间隔预设时间(例如，500ms)之后，进入步骤S154；

步骤S156，在当前输出功率百分比条件下，根据采集到的具有预设数量的输出电流值计算加热灯的输出电流值的相关参数值(例如，平均值、方差和标准差等)，并基于该相关参数值设定标准电流值和预设范围；例如，将平均值作为标准电流值，可以提高标准电流值的准确性，从而可以提高监控的准确性；在方差和标准差数值较大时，可以设置预设范围相对较大，因而可以提高预设范围的可靠性；

步骤S157，关闭加热灯。

当在步骤S1中不需要设置预设范围时，在上述步骤S146中仅需要根据相关参数值设定标准电流值。

当上述预设数量为10个，且预设时间为500ms时，借助上述步骤S151～步骤S157，使得整个步骤S1仅需要花费8分钟左右即可采集在0％～100％内之间的任意一个百分之整数的输出功率百分比条件下的预设数量的输出电流值，从而根据该预设数量的输出电流值获得标准电流值和预设范围。

在本实施例中，设置加热灯的输出功率百分比的初始值为0％，在实际应用中，也可以设置加热灯的输出功率百分比的初始值为100％，在这种情况下，在步骤S152判断加热灯的当前输出功率百分比是否等于0％；在步骤S153中，加热灯的当前输出功率百分比减小1％。并且，当根据实际工艺的需要而限定多个输出功率百分比的范围时，应当根据多个输出功率百分比的具体范围具体设置输出功率百分比的初始值。

另外，上述步骤S15的具体流程(步骤S151～步骤S157)只是本发明的一种实施方式，在实际应用中，也可以采用其他的流程以获得多个输出功率百分比下一一对应的输出电流值，并根据每个输出功率百分比对应的输出电流值设定该输出功率百分比条件下的标准电流值和预设范围。

在本实施例中，由于在步骤S1中设定有每个输出功率百分比条件下的标准电流值和预设范围，在这种情况下，如图4所示，在步骤S2中包括以下步骤：

步骤S21，采用数据订阅的方式捕获加热灯的输出电流是否发生变化，若是，则进入步骤S22，若否，则继续执行步骤S21；

步骤S22，在执行工艺配方的工艺过程中，工艺配方包括每个工艺步骤对应的加热灯的预设输出功率百分比，检测加热灯在预设输出功率百分比条件下的当前输出电流值，并查询与工艺过程的当前预设输出功率百分比相对应的标准电流值，将当前输出电流值与标准电流值进行比较，若二者存在偏差，则进入步骤S23；若二者不存在偏差，则进入步骤S21；

步骤S23，判断偏差是否位于预设范围内，若否，则进入步骤S3；若是，则继续执行步骤S21。

在步骤S21中，由于工艺过程中的多个工艺步骤对应的输出功率百分比不同，且加热灯的输出功率(即，输出电流)在单次工艺过程中的变化不大，随着工艺步骤的进行预设输出功率百分比会相应的变化，这使得加热灯的输出电流仅随着输出功率百分比改变而变化。因此，可以采用数据订阅的方式实时捕获加热灯的输出电流发生变化，即，捕捉当前预设输出功率百分比的变化，以在当前输出功率百分比变化时在当前预设输出功率百分比条件下获得当前输出电流值和标准电流值并进行比较。

在实际应用中，在步骤S2中还可以采用计时器轮询的方式，即，以一定时间间隔的方式直接检测加热灯在当前预设输出功率百分比条件下的输出电流值，并查询与当前预设输出功率百分比相对应的标准电流值，再将当前输出电流值与标准电流值进行比较。例如，时间间隔为100s，每次计时为1s，每个间隔时间需要计时100次，当在计时未到100次时预设输出功率百分比发生一次变化时，不能检测在该变化的预设输出功率百分比条件下的输出电流值，因而不能在该变化的预设输出功率百分比条件下判断加热灯的输出功率是否降低，从而造成数据的丢失，进而不能及时的监测加热灯的输出功率是否降低。另外，计时器轮询的方式以一定时间间隔与硬件进行通信，而数据订阅的方式仅在电流变化时与硬件进行通信。

因此，在步骤S2中采用数据订阅的方式相对于采用计时器轮询的方式，不仅可以避免数据的丢失，因而可以及时地监测加热灯的输出功率是否降低，从而可以提高本发明提供的加热灯的监控方法的可靠性；而且可以在预设输出功率百分比变化频率较小时，可以在一定程度减少与硬件通信的次数，从而可以提高监控效率。

优选地，在步骤S3中还包括发出报警信号，在发出报警信号之后对加热灯进行维护。其中，报警信号可以为声音信号、图像信号或者指示灯信号等，借助发出的报警信号对操作人员提示，有助于操作人员及时地对加热灯进行维护。

需要说明的是，在实际应用中，在步骤S1中仅设定有每个输出功率百分比条件下的标准电流值，在这种情况下，步骤S2包括以下步骤：步骤S21，采用数据订阅的方式捕获加热灯的输出电流是否发生变化，若是，则进入步骤S22，若否，则继续执行步骤S21；步骤S22，在执行工艺配方的工艺过程中，工艺配方包括每个工艺步骤对应的加热灯的预设输出功率百分比，检测加热灯在预设输出功率百分比条件下的当前输出电流值，并查询与当前预设输出功率百分比相对应的标准电流值，将当前输出电流值与标准电流值进行比较，若二者存在偏差，则进入步骤S3；若二者不存在偏差，则进入步骤S21。

综上所述，本实施例提供的加热灯的监控方法，其借助步骤S1，在加热灯输出最大输出功率的条件下，采集加热灯在多个输出功率百分比下一一对应的输出电流值，并根据该输出电流值设定与之对应的输出功率百分比条件下的标准电流值；步骤S2，在执行工艺配方的工艺过程中，工艺配方包括每个工艺步骤对应的加热灯的预设输出功率百分比，检测加热灯在当前预设输出功率百分比条件下的当前输出电流值，并查询与当前预设输出功率百分比相对应的标准电流值，将当前输出电流值与标准电流值进行比较，若二者存在偏差，则进入步骤S3；若二者不存在偏差，则继续执行步骤S2；步骤S3，对加热灯进行维护。由上可知，采用自动的方式实现对加热灯进行实时监控，这与现有技术中采用人为方式相比，可以及时地监测加热灯的输出功率是否降低，从而可以及时地对加热灯进行维护以保证加热灯对基片稳定加热，进而可以提高工艺质量。

图5为本发明第二实施例提供的加热灯的监控方法的流程框图。请参阅图5，本实施例提供的加热灯的监控方法与上述第一实施例提供的加热灯的监控方法相似，同样包括步骤S1、步骤S2、步骤S3、步骤S6和步骤S7，由于步骤S1、步骤S2、步骤S3、步骤S6和步骤S7在上述第一实施例中已有了详细的描述，在此不再赘述。

下面仅对本实施例提供的加热灯的监控方法和上述第一实施例提供的加热灯的监控方法的不同点进行详细描述：具体地，在步骤S3之后还包括步骤S4和步骤S5，

步骤S4，在已完成维护的加热灯输出最大输出功率的条件下，采集加热灯在多个输出功率百分比下一一对应的输出电流值，设置多个输出功率百分比中的至少一个特定输出功率百分比，查询与每个特定输出功率百分比相对应的标准电流值，根据与每个特定输出功率百分比对应的输出电流值和标准电流值，计算在该特定输出功率百分比条件下已完成维护的加热灯的最大输出功率相对未维护之前的加热灯的最大输出功率的增减百分比；

步骤S5，基于增减百分比对预设输出功率百分比进行调节，当对预设输出功率百分比进行调节之后进入步骤S1。

由于在步骤S3中对加热灯进行了维护，这使得加热灯的最大输出功率可能相比未维护之前的最大输出功率增大或者减小，因此，需要在步骤S4中计算已完成维护的加热灯的最大输出功率相对未维护之前的加热灯的最大输出功率的增减百分比，以便于在步骤S5根据该增减百分比对预设输出功率百分比进行调节。例如，未维护之前的加热灯的最大输出功率在特定输出功率百分比为50％的条件下，标准电流值为50A；已完成维护的加热灯的最大输出功率在特定输出功率百分比为50％的条件下的输出电流值为45A，计算得到在特定输出功率百分比为50％的条件下已完成维护的加热灯的最大输出功率相对未维护之前的加热灯的最大输出功率的降低10％。

优选地，在步骤S4中会输出计算得到的增减百分比，以便于在步骤S5中操作人员根据该输出结果来调节预设输出功率百分比。例如，在步骤S4中输出“在特定输出功率百分比为50％的条件下，已完成维护的加热灯的最大输出功率相对未维护之前的加热灯的最大输出功率的降低10％”，因此，在步骤S5中操作人员可以根据该输出结果调节预设输出功率百分比增大，以通过增大预设输出功率百分比弥补已完成维护加热灯的最大输出功率降低带来的不能满足工艺实际所需的输出功率。

在步骤S4中的特定输出功率百分比可以为工艺步骤对应的预设输出功率百分比，也可以为另外设置的其他数值的输出功率百分比。并且，特定输出功率百分比的数量不仅可以为一个，也可以为多个，具体地，当特定输出功率百分比为多个时，分别计算在每个特定输出功率百分比条件下已完成维护的加热灯的最大输出功率相对未维护之前的加热灯的最大输出功率的增减百分比，并对多个增减百分比求平均值作为实际已完成维护的加热灯的最大输出功率相对未维护之前的加热灯的最大输出功率的增减百分比，这可以提高该增减百分比的准确性；当特定输出功率百分比为一个时，在该特定输出功率百分比条件下已完成维护的加热灯的最大输出功率相对未维护之前的加热灯的最大输出功率的增减百分比可以作为增减百分比的估值，这可以提高监控效率。

在本实施例中，定义idleoutput功能为在工艺腔室内不执行工艺配方时加热灯在一定输出功率百分比下(即，加热灯以一定的输出功率)对工艺腔室进行加热保温的功能；容易理解，为防止最大输出功率不确定的已完成维护的加热灯对工艺过程和与idleoutput功能相关的对工艺腔室保温过程产生影响，因此，步骤S4应该在工艺腔室内不执行工艺配方的工艺过程和idleoutput功能关闭时进行；具体地，如图6所示，在步骤S4中包括以下步骤：

步骤S41，保存idleoutput功能的当前状态，当前状态包括开启和关闭状态；

步骤S42，判断idleoutput功能的当前状态是否为开启状态，若是，则进入步骤S43；若否，则进入步骤S44；

步骤S43，关闭idleoutput功能；

步骤S44，关闭加热灯，设置加热灯的输出功率百分比为预设初始值；

步骤S45，打开加热灯，在已完成维护的加热灯输出最大输出功率的条件下，采集该加热灯在多个输出功率百分比下一一对应的输出电流值；

步骤S46，查询与每个特定输出功率百分比相对应的标准电流值，根据与每个特定输出功率百分比对应的输出电流值和标准电流值，计算在该特定输出功率百分比条件下已完成维护的加热灯的最大输出功率相对未维护之前的加热灯的最大输出功率的增减百分比；

步骤S47，根据在步骤S41中保存的idleoutput功能的当前状态来开启或者关闭idleoutput功能；具体地，根据在步骤S41中保存的idleoutput功能的当前状态判断是否开启idleoutput功能，若是，则开启idleoutput功能，若否，则结束。

在本实施例中，多个输出功率百分比的范围在0％～100％，设置加热灯的输出功率百分比的预设初始值为0％，设置在每个输出功率百分比条件下采集加热灯的输出电流值数量的初始值为0；如图7所示，在步骤S45中包括以下步骤：

步骤S451，打开加热灯；

步骤S452，判断加热灯的当前输出功率百分比是否等于100％，若否，则进入步骤S453；若是，则进入步骤S457；

步骤S453，当前输出功率百分比增加1％；

步骤S454，判断在当前输出功率百分比条件下采集的加热灯的输出电流值数量是否满足预设数量(例如，10个、20个)，若否，则进入步骤S455；若是，则进入步骤S456；

步骤S455，在当前输出功率百分比条件下，对加热灯的输出电流值采集一次，并使采集的加热灯的输出电流值的数量加1，并在间隔预设时间(例如，500ms)之后，进入步骤S454；

步骤S456，在当前输出功率百分比条件下，根据采集到的预设数量的输出电流值计算加热灯的输出电流值的相关参数(例如，平均值、方差和标准差)，并基于该相关参数确定在当前输出功率百分比条件下的加热灯的输出电流值；例如，将计算得到的平均值确定为在当前输出功率百分比条件下的加热灯的输出电流值，这可以提高输出电流值的准确性，从而可以提高后续调节预设输出功率百分比的准确性；

步骤S457，关闭加热灯。

由于步骤S451～步骤S457与上述第一实施例中的步骤S151～步骤S157相类似，在此不再赘述。

在本实施例中，多个输出功率百分比的范围在0％～100％，在步骤S45中，可以获得0％～100％范围内的任意一个百分之整数的输出功率百分条件下的预设数量的输出电流值，从而确定准确的输出电流值，这使得本发明提供的加热灯的监控方法可以在特定输出功率百分比发生变化时同样适用，从而可以提高本发明提供的加热灯的监控方法的适用性。当实际应用中，设置特定输出功率百分比固定保持不变时，可以在步骤S45中在加热灯输出最大输出功率的条件下，采集加热灯在该固定的特定输出功率百分比下的输出电流值。

在步骤S5中，具体地，当增减百分比为增加百分比时，根据该增加百分比相应减小预设输出功率百分比；当增减百分比为减小百分比时，根据该减小百分比相应增大预设输出功率百分比。并且，在步骤S5中，可以采用自动或者手动的方式根据该增减百分比对预设输出功率百分比进行调节。由于当需要对预设输出功率百分比进行调节时，即，已完成维护的加热灯的最大输出功率相对未维护之前的加热灯的最大输出功率发生变化，因此，在对预设输出功率百分比进行调节之后，需要进入步骤S1中重新在该已完成维护的加热灯的输出最大输出功率条件下设定每个输出功率百分比对应的标准电流值。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的原理和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (11)

1.一种加热灯的监控方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤S1，在所述加热灯输出最大输出功率的条件下，采集所述加热灯在多个输出功率百分比下一一对应的输出电流值，并根据该输出电流值设定与之对应的输出功率百分比条件下的标准电流值；

步骤S2，在执行工艺配方的工艺过程中，所述工艺配方包括每个工艺步骤对应的所述加热灯的预设输出功率百分比，检测所述加热灯在当前预设输出功率百分比条件下的当前输出电流值，并查询与当前预设输出功率百分比相对应的所述标准电流值，将所述当前输出电流值与所述标准电流值进行比较，若二者存在偏差，则进入步骤S3；若二者不存在偏差，则继续执行步骤S2；

步骤S3，对所述加热灯进行维护。

2.根据权利要求1所述的加热灯的监控方法，其特征在于，在所述步骤S1中，还包括根据该输出电流值设定每个所述输出功率百分比对应的最大允许所述当前输出电流值偏离所述标准电流值的预设范围；

在所述步骤S2中，还包括若二者存在偏差，判断所述偏差是否位于所述预设范围内，若是，则继续执行步骤S2；若否，则进入所述步骤S3。

3.根据权利要求2所述的加热灯的监控方法，其特征在于，定义idleoutput功能为在工艺腔室内不执行所述工艺配方时所述加热灯在一定输出功率百分比下对工艺腔室进行加热保温的功能，在所述步骤S1中包括以下步骤：

步骤S11，保存idleoutput功能的当前状态，当前状态包括开启和关闭状态；

步骤S12，判断idleoutput功能的当前状态是否为开启状态，若是，则进入步骤S13，若否，则进入步骤S14；

步骤S13，关闭所述idleoutput功能；

步骤S14，关闭所述加热灯，设置所述加热灯的输出功率百分比为初始值，并清除所述加热灯的每个输出功率百分比条件下的所述标准电流值；

步骤S15，打开所述加热灯，在所述加热灯输出最大输出功率的条件下，采集所述加热灯在多个输出功率百分比下一一对应的输出电流值，并根据每个输出功率百分比对应的输出电流值设定该输出功率百分比条件下的所述标准电流值和所述预设范围；

步骤S16，根据在步骤S11中保存的idleoutput功能的当前状态来开启或者关闭所述idleoutput功能。

4.根据权利要求3所述的加热灯的监控方法，其特征在于，多个所述输出功率百分比的范围在0％～100％，设置所述加热灯的输出功率百分比的初始值为0％，设置在每个输出功率百分比条件下采集所述加热灯的输出电流值数量的初始值为0；在所述步骤S15中包括以下步骤：

步骤S151，打开所述加热灯；

步骤S152，判断所述加热灯的当前输出功率百分比是否等于100％，若否，则进入步骤S153；若是，则进入步骤S157；

步骤S153，所述当前输出功率百分比增加1％；

步骤S154，判断在所述当前输出功率百分比条件下采集的所述加热灯的输出电流值数量是否满足预设数量，若否，则进入步骤S155；若是，则进入步骤S156；

步骤S155，在所述当前输出功率百分比条件下，对所述加热灯的输出电流值采集一次，并使采集的所述加热灯的输出电流值数量加1，并在间隔预设时间之后，进入步骤S154；

步骤S156，在所述当前输出功率百分比条件下，根据采集到的预设数量的输出电流值计算所述加热灯的输出电流值的相关参数值，并基于所述相关参数值设定所述标准电流值和所述预设范围；

步骤S157，关闭加热灯。

5.根据权利要求1所述的加热灯的监控方法，其特征在于，在所述步骤S2中包括以下步骤：

步骤S21，采用数据订阅的方式捕获所述加热灯的输出电流是否发生变化，若是，则进入步骤S22，若否，则继续执行步骤S21；

步骤S22，在执行工艺配方的工艺过程中，所述工艺配方包括每个工艺步骤对应的所述加热灯的预设输出功率百分比，检测所述加热灯在预设输出功率百分比条件下的当前输出电流值，并查询与当前预设输出功率百分比相对应的所述标准电流值，将所述当前输出电流值与所述标准电流值进行比较，若二者存在偏差，则进入步骤S3；若二者不存在偏差，则进入步骤S21。

6.根据权利要求2所述的加热灯的监控方法，其特征在于，在所述步骤S2中包括以下步骤：

步骤S21，采用数据订阅的方式捕获所述加热灯的输出电流是否发生变化，若是，则进入步骤S22，若否，则继续执行步骤S21；

步骤S22，在执行工艺配方的工艺过程中，所述工艺配方包括每个工艺步骤对应的所述加热灯的预设输出功率百分比，检测所述加热灯在预设输出功率百分比条件下的当前输出电流值，并查询与工艺过程的当前预设输出功率百分比相对应的所述标准电流值，将所述当前输出电流值与所述标准电流值进行比较，若二者存在偏差，则进入步骤S23；若二者不存在偏差，则进入步骤S21；

步骤S23，判断所述偏差是否位于所述预设范围内，若否，则进入所述步骤S3；若是，则继续执行步骤S21。

7.根据权利要求1所述的加热灯的监控方法，其特征在于，在所述步骤S3中还包括发出报警信号，在发出所述报警信号之后对所述加热灯进行维护。

8.根据权利要求1所述的加热灯的监控方法，其特征在于，还包括步骤S4，在已完成维护的加热灯输出最大输出功率的条件下，采集所述加热灯在所述多个输出功率百分比下一一对应的输出电流值，设置所述多个输出功率百分比中的至少一个特定输出功率百分比，查询与每个所述特定输出功率百分比相对应的所述标准电流值，根据与每个所述特定输出功率百分比对应的所述输出电流值和所述标准电流值，计算在该所述特定输出功率百分比条件下已完成维护的加热灯的最大输出功率相对未维护之前的加热灯的最大输出功率的增减百分比。

9.根据权利要求8所述的加热灯的监控方法，其特征在于，还包括步骤S5，基于所述增减百分比对所述预设输出功率百分比进行调节，当对所述预设输出功率百分比进行调节之后进入所述步骤S1。

10.根据权利要求8所述的加热灯的监控方法，其特征在于，定义idleoutput功能为在工艺腔室内不执行所述工艺配方时所述加热灯在一定输出功率百分比下对工艺腔室进行加热保温的功能，在所述步骤S4中包括以下步骤：

步骤S41，保存idleoutput功能的当前状态，当前状态包括开启和关闭状态；

步骤S42，判断idleoutput功能的当前状态是否为开启状态，若是，则进入步骤S43；若否，则进入步骤S44；

步骤S43，关闭所述idleoutput功能；

步骤S44，关闭所述加热灯，设置所述加热灯的输出功率百分比为初始值；

步骤S45，打开所述加热灯，在所述已完成维护的加热灯输出最大输出功率的条件下，采集该加热灯在所述多个输出功率百分比下一一对应的输出电流值；

步骤S46，查询与每个所述特定输出功率百分比相对应的所述标准电流值，根据与每个所述特定输出功率百分比对应的所述输出电流值和所述标准电流值，计算在该特定输出功率百分比条件下已完成维护的加热灯的最大输出功率相对未维护之前的加热灯的最大输出功率的增减百分比；

步骤S47，根据在步骤S41中保存的idleoutput功能的当前状态来开启或者关闭所述idleoutput功能。

11.根据权利要求10所述的加热灯的监控方法，其特征在于，多个所述输出功率百分比的范围在0％～100％，设置所述加热灯的输出功率百分比的初始值为0％，设置在每个输出功率百分比条件下采集所述加热灯的输出电流值数量的初始值为0；在所述步骤S45中包括以下步骤：

步骤S451，打开所述加热灯；

步骤S452，判断所述加热灯的当前输出功率百分比是否等于100％，若否，则进入步骤S453；若是，则进入步骤S457；

步骤S453，所述当前输出功率百分比增加1％；

步骤S454，判断在所述当前输出功率百分比条件下采集的所述加热灯的输出电流值数量是否满足预设数量，若否，则进入步骤S455；若是，则进入步骤S456；

步骤S455，在所述当前输出功率百分比条件下，对所述加热灯的输出电流值采集一次，并使采集的所述加热灯的输出电流值的数量加1，并在间隔预设时间之后，进入步骤S454；

步骤S456，在所述当前输出功率百分比条件下，根据采集到的预设数量的输出电流值计算所述加热灯的输出电流值的相关参数，并基于所述相关参数确定在当前输出功率百分比条件下的所述加热灯的输出电流值；

步骤S457，关闭加热灯。