CN104617194B - GaN基LED外延结构的制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种GaN基LED外延结构的制备方法，所述制备方法包括制作依次层叠的成核层、未掺杂的GaN层、N型GaN层、InGaN/GaN超晶格量子阱结构、由高温到低温逐渐变温生长的InGaN/GaN前置量子阱结构、多量子阱发光层结构、AlGaN层，低温P型层、P型电子阻挡层、以及P型GaN层。本发明采用变温的方式来生长InGaN/GaN前置量子阱结构，该前置量子阱结构可以通过缓冲电子向P端的流动来调制电子在发光量子阱中的分布，从而可以使电子在发光量子阱中分布更加均匀，增强了内量子效率，提高外延结构的发光效率。
Description
技术领域
本发明属于半导体照明领域，特别是涉及一种GaN基LED外延结构的制备方法。
背景技术
发光二极管(LED，Light Emitting Diode)由于具有寿命长、耗能低等优点，已被广泛应用于各个领域，尤其随着其照明性能指标日益大幅提高，LED在照明领域常用作发光装置。其中，以氮化镓(GaN)为代表的III-V族化合物半导体，尤其是InGaN/GaN(氮化镓铟/氮化镓)基LED由于具有带隙宽、发光效率高、电子饱和漂移速度高、化学性质稳定等特点，在高亮度蓝光发光二极管、蓝光激光器等光电子器件领域有着巨大的应用潜力，引起了人们的广泛关注。
然而，由于InGaN/GaN结构存在很大的晶格和热膨胀系数失配，导致量子阱内存在极化电场。这种极化电场容易造成了量子阱倾斜，导致量子阱内电子和空穴波函数在空间上发生分离，从而使电子和空穴的复合效率降低。虽然，当前InGaN/GaN LEDs的发光效率已经有了显著地改善，但对于大功率GaN基LEDs来说，仍然存在着严重的量子效率下降(efficiency droop)问题，即在大电流注入的情况下，LEDs的内量子效率会迅速下降。而电子向P端泄漏也是造成效率低的原因之一。
出现以上问题的原因主要是由于InGaN/GaN量子阱结构的晶格失配导致阱中存在极化电场，该极化电场的存在使量子阱中电子和空穴波函数在空间上发生分离，从而降低了电子空穴的复合效率。因此，为了降低该内建极化电场的负面效应，现有技术中通常采用InGaN、ALINGAN等来降低势垒和势阱之间的失配；也有人提出将势阱中的铟组分渐变来实现晶格失配的减小。然后，由于铟原子受热易从外延材料中挥发，以上的这些方法很难按设定的值来实现。
鉴于现有技术的以上缺陷，提出一种可以使电子在各个发光阱中分布更加均匀，减小了电子向P端泄漏，以提高量子阱的发光效率的GaN基LED外延结构及其制备方法实属必要。
发明内容
鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种GaN基LED外延结构的制备方法，用于解决现有技术中由于发光阱中电子分布不均匀以及电子向P端泄漏而导致GaN基发光外延结构发光效率较低的问题。
为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种GaN基LED外延结构的制备方法，所述制备方法包括步骤：
步骤1)，提供一生长衬底，于所述生长衬底上依次生长成核层、未掺杂的GaN层以及N型GaN层；
步骤2)，于所述N型GaN层上生长InGaN/GaN超晶格量子阱结构；
步骤3)，于所述InGaN/GaN超晶格量子阱结构上由高温到低温逐渐变温生长InGaN/GaN前置量子阱结构；
步骤4)，于所述InGaN/GaN前置量子阱结构上生长多量子阱发光层结构；
步骤5)，于所述多量子阱发光层结构上依次生长AlGaN层、低温P型层以及P型电子阻挡层；
步骤6)，于所述P型电子阻挡层上生长P型GaN层。
作为本发明的GaN基LED外延结构的制备方法的一种优选方案，所述成核层的生长温度450～650℃，生长厚度范围为15～50nm；所述未掺杂的GaN层及N型GaN层生长温度范围为1000～1200℃，总生长厚度范围为1.5～4.5um，所述N型GaN层中，Si掺杂浓度范围为1e18～3e19。
作为本发明的GaN基LED外延结构的制备方法的一种优选方案，步骤2)中，所述InGaN/GaN超晶格结构的生长温度范围为700～900℃。
作为本发明的GaN基LED外延结构的制备方法的一种优选方案，步骤2)中，所述InGaN/GaN超晶格量子阱结构的周期对数量范围为3～30，InGaN势阱中In组分的原子比范围为1～5％，InGaN势阱的厚度范围为1.0～4.0nm，GaN势垒的厚度范围为1.0～9.0nm。
作为本发明的GaN基LED外延结构的制备方法的一种优选方案，步骤3)中，所述InGaN/GaN前置量子阱结构变温生长的温度范围为795～780℃，且各势垒势阱周期的生长温度依次降低。
作为本发明的GaN基LED外延结构的制备方法的一种优选方案，步骤3)中，所述InGaN/GaN前置量子阱结构含有的势垒势阱周期对数量范围为3～10。
作为本发明的GaN基LED外延结构的制备方法的一种优选方案，步骤3)中，所述InGaN/GaN前置量子阱结构中InGaN势阱的In组分的原子比范围为15～20％。
作为本发明的GaN基LED外延结构的制备方法的一种优选方案，步骤3)中，所述InGaN/GaN前置量子阱结构中的InGaN势阱的厚度范围为2.0～4.0nm，GaN势垒的厚度范围为3～15nm。
作为本发明的GaN基LED外延结构的制备方法的一种优选方案，步骤4)中，所述多量子阱发光层结构生长温度范围为700～900℃。
作为本发明的GaN基LED外延结构的制备方法的一种优选方案，步骤4)中，所述多量子阱发光层结构含有的势垒势阱周期对数量范围为5～18，InGaN势阱中In的组分的原子比范围为15～20％，InGaN势阱的厚度范围为2.0～4.0nm，GaN势垒的厚度范围为3～15nm。
作为本发明的GaN基LED外延结构的制备方法的一种优选方案，步骤5)中，所述AlGaN层中Al组分原子比范围为2～20％，所述AlGaN层的厚度范围为20～35nm。
作为本发明的GaN基LED外延结构的制备方法的一种优选方案，步骤5)中，所述P型电子阻挡层包括P型AlGaN、P型AlInGaN及P型AlGaN/GaN超晶格结构中的一种，所述P型电子阻挡层的总厚度范围为30～80nm，所述P型电子阻挡层中Mg掺杂浓度范围为5e18～3.5e19。
作为本发明的GaN基LED外延结构的制备方法的一种优选方案，步骤6)中，所述P型GaN层中Mg掺杂浓度范围为5e18～1e20，所述P型GaN层的厚度范围为30～150nm。
本发明还提供一种GaN基LED外延结构，包括依次层叠的成核层、未掺杂的GaN层、N型GaN层、InGaN/GaN超晶格量子阱结构、由高温到低温逐渐变温生长的InGaN/GaN前置量子阱结构、多量子阱发光层结构、AlGaN层，低温P型层、P型电子阻挡层、以及P型GaN层。
作为本发明的GaN基LED外延结构的一种优选方案，所述GaN基LED外延结构形成于包括蓝宝石、GaN、硅以及碳化硅之一的生长衬底上。
作为本发明的GaN基LED外延结构的一种优选方案，所述成核层的厚度范围为15～50nm；所述未掺杂的GaN层及N型GaN层的总厚度范围为1.5～4.5um，所述N型GaN层中，Si掺杂浓度范围为1e18～3e19。
作为本发明的GaN基LED外延结构的一种优选方案，所述InGaN/GaN超晶格量子阱结构的周期对数量范围为3～30，InGaN势阱中In组分的原子比范围为1～5％，InGaN势阱的厚度范围为1.0～4.0nm，GaN势垒的厚度范围为1.0～9.0nm。
作为本发明的GaN基LED外延结构的一种优选方案，所述InGaN/GaN前置量子阱结构含有的势垒势阱周期对数量范围为3～10。
作为本发明的GaN基LED外延结构的一种优选方案，所述InGaN/GaN前置量子阱结构中InGaN势阱的In组分的原子比范围为15～20％。
作为本发明的GaN基LED外延结构的一种优选方案，所述InGaN/GaN前置量子阱结构中的InGaN势阱的厚度范围为2.0～4.0nm，GaN势垒的厚度范围为3～15nm。
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作为本发明的GaN基LED外延结构的一种优选方案，所述AlGaN层中Al组分原子比范围为2～20％，所述AlGaN层的厚度范围为20～35nm。
作为本发明的GaN基LED外延结构的一种优选方案，所述P型电子阻挡层包括P型AlGaN、P型AlInGaN及P型AlGaN/GaN超晶格结构中的一种，所述P型电子阻挡层的总厚度范围为30～80nm，所述P型电子阻挡层中Mg掺杂浓度范围为5e18～3.5e19。
作为本发明的GaN基LED外延结构的一种优选方案，所述P型GaN层中Mg掺杂浓度范围为5e18～1e20，所述P型GaN层的厚度范围为30～150nm。
如上所述，本发明提供一种GaN基LED外延结构的制备方法，所述制备方法包括制作依次层叠的成核层、未掺杂的GaN层、N型GaN层、InGaN/GaN超晶格量子阱结构、由高温到低温逐渐变温生长的InGaN/GaN前置量子阱结构、多量子阱发光层结构、AlGaN层，低温P型层、P型电子阻挡层、以及P型GaN层。本发明采用变温的方式来生长InGaN/GaN前置量子阱结构，该前置量子阱结构可以通过缓冲电子向P端的流动来调制电子在发光量子阱中的分布，从而可以使电子在发光量子阱中分布更加均匀，增强了内量子效率，提高外延结构的发光效率。
附图说明
图1显示为本发明的GaN基LED外延结构的制备方法的步骤流程示意图。
图2～图7分别显示为本发明的GaN基LED外延结构的制备方法各步骤所呈现的结构示意图，其中，图7显示为本发明的GaN基LED外延结构的结构示意图。
元件标号说明
10 生长衬底
11 成核层
12 未掺杂的GaN层
13 N型GaN层
14 InGaN/GaN超晶格量子阱结构
15 InGaN/GaN前置量子阱结构
16 多量子阱发光层结构
17 AlGaN层
18 低温P型层
19 P型电子阻挡层
20 P型GaN层
S11～S16 步骤1)～步骤6)
具体实施方式
以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。
请参阅图1～图7。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本发明的基本构想，遂图式中仅显示与本发明中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
实施例1
如图1～图7所示，本实施例提供一种GaN基LED外延结构的制备方法，所述制备方法包括步骤：
如图1及图2所示，首先进行步骤1)S11，提供一生长衬底10，于所述生长衬底10上依次生长成核层11、未掺杂的GaN层12以及N型GaN层13。
作为示例，所述生长衬底10可以为蓝宝石、GaN、硅以及碳化硅等，在本实施例中，所述生长衬底10为蓝宝石衬底。
具体地，本步骤包括以下子步骤：
步骤1-1)，提供一蓝宝石衬底，于450～650℃温度下在所述蓝宝石衬底表面生长一层成核层11，所述成核层11的生长厚度范围为15～50nm。
步骤1-2)，于1000～1200℃温度下，在所述成核层11表面生长一层未掺杂的GaN层12。
步骤1-3)，于1000～1200℃温度下，在所述为掺杂的GaN层表面生长N型GaN层13，所述N型GaN层13中，Si掺杂浓度范围为1e18～3e19，所述N型GaN层13生长完成后，所述N型GaN层13及未掺杂的GaN层12的总生长厚度范围为1.5～4.5um。
如图1及图3所示，然后进行步骤2)S12，于所述N型GaN层13上生长InGaN/GaN超晶格量子阱结构14。
作为示例，所述InGaN/GaN超晶格结构的生长温度范围为700～900℃，在本实施例中，所述InGaN/GaN超晶格结构的生长温度为800℃。
作为示例，所述InGaN/GaN超晶格量子阱结构14的周期对数量范围为3～30，InGaN势阱中In组分的原子比范围为1～5％，InGaN势阱的厚度范围为1.0～4.0nm，GaN势垒的厚度范围为1.0～9.0nm。在本实施例中，所述InGaN/GaN超晶格量子阱结构14的周期对数量为10，InGaN势阱中In组分的原子比为3％，InGaN势阱的厚度为2.0nm，GaN势垒的厚度为4.0nm。
如图1及图4所示，接着进行步骤3)S13，于所述InGaN/GaN超晶格量子阱结构14上由高温到低温逐渐变温生长InGaN/GaN前置量子阱结构15。
作为示例，所述InGaN/GaN前置量子阱结构15变温生长的温度范围为795～780℃，且各势垒势阱周期的生长温度依次降低。
作为示例，所述InGaN/GaN前置量子阱结构15含有的势垒势阱周期对数量范围为3～10。
作为示例，所述InGaN/GaN前置量子阱结构15中InGaN势阱的In组分的原子比范围为15～20％。
作为示例，所述InGaN/GaN前置量子阱结构15中的InGaN势阱的厚度范围为2.0～4.0nm，GaN势垒的厚度范围为3～15nm。
在一具体的实施过程中，所述InGaN/GaN前置量子阱结构15含有的势垒势阱周期对数量为4对，具体包括以下步骤：
步骤3-1)，于795℃下生长第一个周期InGaN/GaN对，其中，InGaN势阱的厚度为3.0nm，GaN势垒的厚度为6nm，InGaN势阱的In组分的原子比为15％。
步骤3-2)，于790℃下生长第二个周期InGaN/GaN对，其中，InGaN势阱的厚度为3.0nm，GaN势垒的厚度为6nm，InGaN势阱的In组分的原子比为15％。
步骤3-3)，于785℃下生长第三个周期InGaN/GaN对，其中，InGaN势阱的厚度为3.0nm，GaN势垒的厚度为6nm，InGaN势阱的In组分的原子比为15％。
步骤3-4)，于780℃下生长第四个周期InGaN/GaN对，其中，InGaN势阱的厚度为3.0nm，GaN势垒的厚度为6nm，InGaN势阱的In组分的原子比为15％。
如图1及图5所示，然后进行步骤4)S14，于所述InGaN/GaN前置量子阱结构15上生长多量子阱发光层结构16。
作为示例，所述多量子阱发光层结构16生长温度范围为700～900℃。
作为示例，所述多量子阱发光层结构16含有的势垒势阱周期对数量范围为5～18，InGaN势阱中In的组分的原子比范围为15～20％，InGaN势阱的厚度范围为2.0～4.0nm，GaN势垒的厚度范围为3～15nm。在本实施例中，所述多量子阱发光层结构16含有的势垒势阱周期对数量为10，InGaN势阱中In的组分的原子比为15％，InGaN势阱的厚度范围为3.0nm，GaN势垒的厚度范围为6nm。
如图1及图6所示，接着进行步骤5)S15，于所述多量子阱发光层结构16上依次生长AlGaN层17、低温P型层18以及P型电子阻挡层19。
作为示例，所述AlGaN层17中Al组分原子比范围为2～20％，所述AlGaN层17的厚度范围为20～35nm。在本实施例中，所述AlGaN层17中Al组分原子比为10％，所述AlGaN层17的厚度为25nm。
作为示例，所述低温P型层18的生长温度范围为700～800℃。
作为示例，所述P型电子阻挡层19包括P型AlGaN、P型AlInGaN及P型AlGaN/GaN超晶格结构中的一种，所述P型电子阻挡层19的总厚度范围为30～80nm，所述P型电子阻挡层19中Mg掺杂浓度范围为5e18～3.5e19。在本实施例中，所述P型电子阻挡层19为P型AlGaN，所述P型电子阻挡层19的总厚度为50nm，所述P型电子阻挡层19中Mg掺杂浓度为1e19。
如图1及图7所示，最后进行步骤6)S16，于所述P型电子阻挡层19上生长P型GaN层20。
作为示例，所述P型GaN层20中Mg掺杂浓度范围为5e18～1e20，所述P型GaN层20的厚度范围为30～150nm。在本实施例中，所述P型GaN层20中Mg掺杂浓度为1e19，所述P型GaN层20的厚度为100nm。
如上所述，本实施例采用变温的方式来生长InGaN/GaN前置量子阱结构15，该前置量子阱结构可以通过缓冲电子向P端的流动来调制电子在发光量子阱中的分布，从而可以使电子在发光量子阱中分布更加均匀，增强了内量子效率，提高外延结构的发光效率。
实施例2
如图7所示，本实施例提供一种GaN基LED外延结构，所述GaN基LED外延结构包括依次层叠的成核层11、未掺杂的GaN层12、N型GaN层13、InGaN/GaN超晶格量子阱结构14、由高温到低温逐渐变温生长的InGaN/GaN前置量子阱结构15、多量子阱发光层结构16、AlGaN层17，低温P型层18、P型电子阻挡层19、以及P型GaN层20。
如图7所示，所述GaN基LED外延结构形成于包括蓝宝石、GaN、硅以及碳化硅之一的生长衬底10上。在本实施例中，所述GaN基LED外延结构形成于蓝宝石衬底上。
所述成核层11的厚度范围为15～50nm；所述未掺杂的GaN层12及N型GaN层13的总厚度范围为1.5～4.5um，所述N型GaN层13中，Si掺杂浓度范围为1e18～3e19。
如图7所示，所述InGaN/GaN超晶格量子阱结构14的周期对数量范围为3～30，InGaN势阱中In组分的原子比范围为1～5％，InGaN势阱的厚度范围为1.0～4.0nm，GaN势垒的厚度范围为1.0～9.0nm。在本实施例中，所述InGaN/GaN超晶格量子阱结构14的周期对数量为10，InGaN势阱中In组分的原子比为3％，InGaN势阱的厚度为2.0nm，GaN势垒的厚度为4.0nm。
如图7所示，所述InGaN/GaN前置量子阱结构15通过由高温到低温逐渐变温生长形成，在本实施例中，变温生长的温度范围为795～780℃，且各势垒势阱周期的生长温度依次降低。所述InGaN/GaN前置量子阱结构15含有的势垒势阱周期对数量范围为3～10，在本实施例中，所述InGaN/GaN前置量子阱结构15含有的势垒势阱周期对数量范围为4，各个周期InGaN/GaN对分别对应的生长温度为795℃、790℃、785℃、780℃。
另外，所述InGaN/GaN前置量子阱结构15中InGaN势阱的In组分的原子比范围为15～20％，InGaN势阱的厚度范围为2.0～4.0nm，GaN势垒的厚度范围为3～15nm。在本实施例中，InGaN势阱的In组分的原子比为15％，InGaN势阱的厚度为3.0nm，GaN势垒的厚度为6nm。
如图7所示，所述多量子阱发光层结构16含有的势垒势阱周期对数量范围为5～18，InGaN势阱中In的组分的原子比范围为15～20％，InGaN势阱的厚度范围为2.0～4.0nm，GaN势垒的厚度范围为3～15nm。在本实施例中，所述多量子阱发光层结构16含有的势垒势阱周期对数量为10，InGaN势阱中In的组分的原子比为15％，InGaN势阱的厚度范围为3.0nm，GaN势垒的厚度范围为6nm。
如图7所示，所述AlGaN层17中Al组分原子比范围为2～20％，所述AlGaN层17的厚度范围为20～35nm。在本实施例中，所述AlGaN层17中Al组分原子比为10％，所述AlGaN层17的厚度为25nm。
如图7所示，所述P型电子阻挡层19包括P型AlGaN、P型AlInGaN及P型AlGaN/GaN超晶格结构中的一种，所述P型电子阻挡层19的总厚度范围为30～80nm，所述P型电子阻挡层19中Mg掺杂浓度范围为5e18～3.5e19。在本实施例中，所述P型电子阻挡层19为P型AlGaN，所述P型电子阻挡层19的总厚度为50nm，所述P型电子阻挡层19中Mg掺杂浓度为1e19。
如图7所示，所述P型GaN层20中Mg掺杂浓度范围为5e18～1e20，所述P型GaN层20的厚度范围为30～150nm。在本实施例中，所述P型GaN层20中Mg掺杂浓度为1e19，所述P型GaN层20的厚度为100nm。
本实施例采用变温的方式生长的InGaN/GaN前置量子阱结构15，该前置量子阱结构可以通过缓冲电子向P端的流动来调制电子在发光量子阱中的分布，从而可以使电子在发光量子阱中分布更加均匀，增强了内量子效率，提高外延结构的发光效率。
如上所述，本发明提供一种GaN基LED外延结构的制备方法，所述制备方法包括制作依次层叠的成核层11、未掺杂的GaN层12、N型GaN层13、InGaN/GaN超晶格量子阱结构14、由高温到低温逐渐变温生长的InGaN/GaN前置量子阱结构15、多量子阱发光层结构16、AlGaN层17，低温P型层18、P型电子阻挡层19、以及P型GaN层20。本发明采用变温的方式来生长InGaN/GaN前置量子阱结构15，该前置量子阱结构可以通过缓冲电子向P端的流动来调制电子在发光量子阱中的分布，从而可以使电子在发光量子阱中分布更加均匀，增强了内量子效率，提高外延结构的发光效率。所以，本发明有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。
Claims (12)
1.一种GaN基LED外延结构的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括步骤：
步骤1)，提供一生长衬底，于所述生长衬底上依次生长成核层、未掺杂的GaN层以及N型GaN层；
步骤2)，于所述N型GaN层上生长InGaN/GaN超晶格量子阱结构；
步骤3)，于所述InGaN/GaN超晶格量子阱结构上由高温到低温逐渐变温生长InGaN/GaN前置量子阱结构，所述InGaN/GaN前置量子阱结构包括多个依次生长的势垒势阱周期对，其中，对于同一个势垒势阱周期对，生长温度相同；对于不同的势垒势阱周期对，依生长次序生长温度依次降低，所述InGaN/GaN前置量子阱结构变温生长的温度范围为795～780℃；
步骤4)，于所述InGaN/GaN前置量子阱结构上生长多量子阱发光层结构；
步骤5)，于所述多量子阱发光层结构上依次生长AlGaN层、低温P型层以及P型电子阻挡层；
步骤6)，于所述P型电子阻挡层上生长P型GaN层。
2.根据权利要求1所述的GaN基LED外延结构的制备方法，其特征在于：步骤1)中，所述成核层的生长温度450～650℃，生长厚度范围为15～50nm；所述未掺杂的GaN层及N型GaN层生长温度范围为1000～1200℃，总生长厚度范围为1.5～4.5um，所述N型GaN层中，Si掺杂浓度范围为1e18～3e19。
3.根据权利要求1所述的GaN基LED外延结构的制备方法，其特征在于：步骤2)中，所述InGaN/GaN超晶格结构的生长温度范围为700～900℃。
4.根据权利要求1所述的GaN基LED外延结构的制备方法，其特征在于：步骤2)中，所述InGaN/GaN超晶格量子阱结构的周期对数量范围为3～30，InGaN势阱中In组分的原子比范围为1～5％，InGaN势阱的厚度范围为1.0～4.0nm，GaN势垒的厚度范围为1.0～9.0nm。
5.根据权利要求1所述的GaN基LED外延结构的制备方法，其特征在于：步骤3)中，所述InGaN/GaN前置量子阱结构含有的势垒势阱周期对数量范围为3～10。
6.根据权利要求1所述的GaN基LED外延结构的制备方法，其特征在于：步骤3)中，所述InGaN/GaN前置量子阱结构中InGaN势阱的In组分的原子比范围为15～20％。
7.根据权利要求1所述的GaN基LED外延结构的制备方法，其特征在于：步骤3)中，所述InGaN/GaN前置量子阱结构中的InGaN势阱的厚度范围为2.0～4.0nm，GaN势垒的厚度范围为3～15nm。
8.根据权利要求1所述的GaN基LED外延结构的制备方法，其特征在于：步骤4)中，所述多量子阱发光层结构生长温度范围为700～900℃。
9.根据权利要求1所述的GaN基LED外延结构的制备方法，其特征在于：步骤4)中，所述多量子阱发光层结构含有的势垒势阱周期对数量范围为5～18，InGaN势阱中In的组分的原子比范围为15～20％，InGaN势阱的厚度范围为2.0～4.0nm，GaN势垒的厚度范围为3～15nm。
10.根据权利要求1所述的GaN基LED外延结构的制备方法，其特征在于：步骤5)中，所述AlGaN层中Al组分原子比范围为2～20％，所述AlGaN层的厚度范围为20～35nm。
11.根据权利要求1所述的GaN基LED外延结构的制备方法，其特征在于：步骤5)中，所述P型电子阻挡层包括P型AlGaN、P型AlInGaN及P型AlGaN/GaN超晶格结构中的一种，所述P型电子阻挡层的总厚度范围为30～80nm，所述P型电子阻挡层中Mg掺杂浓度范围为5e18～3.5e19。
12.根据权利要求1所述的GaN基LED外延结构的制备方法，其特征在于：步骤6)中，所述P型GaN层中Mg掺杂浓度范围为5e18～1e20，所述P型GaN层的厚度范围为30～150nm。
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