CN104587772B - 一种空气洗涤装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种空气洗涤装置,包括喷水装置,所述喷水装置包括水管和设于水管上的复数个喷嘴;所述喷嘴的喷雾角度为180度,喷出的水滴直径大于等于150微米;所述喷水装置上的喷嘴形成的水幕完全覆盖空气管路的一截面;所述喷水装置形成的水幕与空气流动方向相垂直;所述喷水装置上的喷嘴在空气行进方向上具有至少2种位置,形成前后错排结构,且相邻喷嘴形成的水幕不相碰撞。本发明采用了喷雾角度为180度的喷嘴,其形成的水幕与空气流动方向相垂直,形成了空气和水滴撞击式的主动式接触结构,从而彻底解决了现有技术中扇形喷嘴存在的旁通区的问题,使整个装置具有极高的水洗效果。
Description
技术领域
本发明涉及一种空气洗涤装置,特别涉及一种有效去除空气中的不良气体(如硫化物、氮化物等),借以使空气达到符合无尘室要求的洁净度的空气洗涤装置。
背景技术
在芯片的制造过程中,不但需要精确地控制温度和湿度,而且需要达到无尘标准以及避免受到化学物质干扰。因此,要达到无尘洁净的标准,就需要对空气质量进行控制。现有技术中,无尘室中设有转用的洗涤设备,其不但要去除空气中不良的气体,同时还需要提供适当的湿度,以防止因空气太干燥而产生静电感应,此外还需要同时提供适当的温度,以符合生产所需的条件。
现有的空气洗涤装置主要包括回收底座、用以进行空气洗涤的喷水装置、用来过滤空气及挡水的过滤板,以及配套的补给水机构、循环管线和泵;其中,喷水装置和过滤板构成了洗涤装置的核心。喷水装置主要由水管和设于水管上的喷嘴组成。现有技术中,喷嘴都是采用扇形喷嘴,喷雾角度一般在120度左右。而喷嘴和空气流动方向决定了空气与水滴的接触方式,其一般分为两种:一是被动式,即喷嘴的喷雾方向与空气流动方向相同,此时,水滴喷出后,等着空气来和水滴形成接触,这种结构可以参见中国实用新型专利CN2446432Y公开的空调箱的水洗及加湿设备,其扇形喷嘴的喷雾方向与空气流动方向相同,参见其图1、3所示。对于第一种被动式的结构,由于其为非主动撞击,因此需要较小的水滴直径(约80微米)才能具有较佳的加湿和水洗效果,然而,正是因为水滴直径较小,使得单个喷嘴的流量低,因而喷嘴数量需求较多,造成整个设备造价高,且喷嘴口径小也易发生堵塞,维护成本较高。针对上述问题,出现了第二种结构,即主动式,其喷嘴的喷雾方向与空气流动方向相垂直,即水滴喷出后,主动形成一道阻挡墙,造成空气和水滴形成撞击式的接触,如中国实用新型专利CN2562115Y公开的空调箱水幕结构。由于有主动撞击的辅助,因而可以采用水滴直径较大的喷嘴,一般约150微米即可达到类似的加湿和水洗效果。但是,这种主动式结构由于采用的是扇形喷嘴,其喷雾角度一般最大只有120度,因此在喷嘴的上方出现出现旁通区1,参见附图1所示,即使采用前后双排或多排喷嘴的结构也无法解决上述问题,造成了该结构的水洗效果较差。
针对上述问题,也有人将扇形喷嘴的喷雾方向与空气流动方向设计成相反的结构,如发明专利申请CN101164663A公开了一种空气洗涤设备,但是该喷嘴的前方必须设有挡水用的过滤板,防止水喷出回收底座之外,这不仅造成了整个设备的结构比较复杂,而且多出来的过滤板会产生较大的风阻,加大了整个设备的动力供应需求。
因此,开发一种节能高效空气洗涤装置,具有积极的现实意义。
发明内容
本发明的目的是提供一种空气洗涤装置。
为达到上述发明目的,本发明采用的技术方案是:一种空气洗涤装置,包括喷水装置,所述喷水装置包括水管和设于水管上的复数个喷嘴;
所述喷嘴的喷雾角度为180度,喷出的水滴直径大于等于150微米;
所述喷水装置上的喷嘴形成的水幕完全覆盖空气管路的一截面;所述喷水装置形成的水幕与空气流动方向相垂直;
所述喷水装置上的喷嘴在空气行进方向上具有至少2种位置,形成前后错排结构,且相邻喷嘴形成的水幕不相碰撞。
上文中,所述喷嘴的喷雾角度为180度,其可以采用现有技术,如PNR公司生产的RCZ型号的超广角喷嘴。
所述喷水装置上的喷嘴在空气行进方向上具有至少2种位置,形成前后错排结构,这里可以有2种方式:一种是喷嘴朝向相同,但伸出距离不同,形成前后错排;第二种是喷嘴朝向相反,即有的向前,有的向后,形成前后错排。当然也可以是上述2种结构的组合。
所述相邻喷嘴形成的水幕不相碰撞,即相邻水幕不会出现重叠,此外,在同一平面上的相邻水幕也不会出现重叠,从而避免了现有技术中喷嘴的水幕相互重叠碰撞的问题,提高了水洗效果。
所述喷水装置形成的水幕与空气流动方向相垂直,因而形成的是主动式结构,即水幕主动形成一道阻挡墙,造成空气和水滴形成撞击式的接触。
上述技术方案中,所述喷水装置上处于同一平面的相邻喷嘴之间的间距大于等于550 mm,且喷水装置上处于同一平面的相邻喷嘴形成的水幕不相碰撞。
上述技术方案中,还包括回收底座,以及与喷水装置配套的补给水机构、循环管线和泵。
当然,一个空气洗涤装置可以采用多套喷水装置。
上述技术方案中,还包括多孔性阻挡层。
上述技术方案中,还包括空气管路,其具有一既定空气流向;该空气流向与喷水装置形成的水幕相垂直。
优选的,所述喷嘴喷出的水滴直径为150~200微米。
上述技术方案中,所述喷水装置上的喷嘴在空气行进方向上的设置结构为:顺着空气行进方向设置和/或逆着空气行进方向设置,形成前后错排结构。
与之相应的另一种技术方案,一种空气洗涤装置,包括喷水装置,所述喷水装置包括水管和设于水管上的复数个喷嘴;
所述喷嘴的喷雾角度为180度,喷出的水滴直径大于等于150微米;
所述喷水装置上的喷嘴形成的水幕完全覆盖空气管路的一截面;所述喷水装置形成的水幕与空气流动方向相垂直;
所述喷水装置包括复数条水管,所述水管前后交错排列,使喷水装置上的喷嘴在空气行进方向上具有至少2种位置,形成前后错排结构,且相邻喷嘴形成的水幕不相碰撞。
上述技术方案中,所述喷水装置上处于同一平面的相邻喷嘴之间的间距大于等于550 mm,且喷水装置上处于同一平面的相邻喷嘴形成的水幕不相碰撞。
优选的,所述喷嘴喷出的水滴直径为150~200微米。
由于上述技术方案运用,本发明与现有技术相比具有下列优点:
1、本发明设计得到了一种空气洗涤装置,采用了喷雾角度为180度的喷嘴,其形成的水幕与空气流动方向相垂直,形成了空气和水滴撞击式的主动式接触结构,从而彻底解决了现有技术中扇形喷嘴存在的旁通区的问题,使整个装置具有极高的水洗效果;同时,主动式接触结构使得本发明的喷嘴可以采用较大的喷嘴口口径,从而降低了喷嘴堵塞的几率,降低了维护成本;
2、本发明的喷水装置上的喷嘴前后交错排列,使相邻喷嘴形成的水幕不相碰撞,从而避免了现有技术中喷嘴的水幕相互碰撞的问题,不仅降低了水源的补给需求,而且提高了水洗效果;
3、本发明的喷水装置上的喷嘴前后交错排列,形成了类似3D水幕的结构,层层阻挡,增大了空气与水幕接触的次数,因而提高了加湿和水洗能力;
4、本发明的结构简单,易于制备和使用,适于推广应用。
附图说明
图1是背景技术中喷水装置的示意图。
图2是本发明实施例一中喷水装置的示意图。
图3是本发明实施例二中喷水装置的示意图。
图4是本发明实施例二中喷水装置的喷雾组成示意图。
图5是本发明实施例二中喷水装置的立体图。
图6是本发明实施例三中喷水装置的立体图。
其中:1、旁通区;2、喷嘴;3、水幕;4、水管。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本发明作进一步描述。
实施例一
参见图2所示,一种空气洗涤装置,包括喷水装置,所述喷水装置包括水管4和设于水管上的复数个喷嘴2;
所述喷嘴的喷雾角度为180度,喷出的水滴直径为150微米;
所述喷水装置上的喷嘴形成的水幕完全覆盖空气管路的一截面;
所述喷水装置上的喷嘴在空气行进方向上具有2种位置,形成前后错排结构,且相邻喷嘴形成的水幕3不相碰撞。喷水装置上的喷嘴朝向相同,但伸出距离不同,形成前后错排,参见图2所示;
所述喷水装置形成的水幕与空气流动方向相垂直。所述喷水装置上的喷嘴在空气行进方向上的设置结构为:均逆着空气行进方向设置,形成前后错排结构;
所述喷水装置上处于同一平面的相邻喷嘴之间的间距为550 mm,且喷水装置上处于同一平面的相邻喷嘴形成的水幕不相碰撞。
本实施例的空气洗涤装置还包括回收底座,以及与喷水装置配套的补给水机构、循环管线和泵。还包括多孔性阻挡层。还包括空气管路,其具有一既定空气流向;该空气流向与喷水装置形成的水幕相垂直。
实施例二
参见图3~5所示,一种空气洗涤装置,包括喷水装置,所述喷水装置包括水管和设于水管上的复数个喷嘴;
所述喷嘴的喷雾角度为180度,喷出的水滴直径为200微米;
所述喷水装置上的喷嘴形成的水幕完全覆盖空气管路的一截面;
所述喷水装置包括复数条水管,所述水管前后交错排列,使喷水装置上的喷嘴在空气行进方向上具有至少2种位置,形成前后错排结构,且相邻喷嘴形成的水幕不相碰撞;具体是:前排有3条水管,后排有2条水管,参见图5所示;每条水管上的喷嘴朝向相反,即有的向前,有的向后,形成前后错排,参见图3所示(即喷嘴在空气行进方向上的设置结构为:顺着空气行进方向设置和逆着空气行进方向设置);
所述喷水装置形成的水幕与空气流动方向相垂直;
所述喷水装置上处于同一平面的相邻喷嘴之间的间距为750 mm,且喷水装置上处于同一平面的相邻喷嘴形成的水幕不相碰撞。
本实施例的空气洗涤装置还包括回收底座,以及与喷水装置配套的补给水机构、循环管线和泵。还包括多孔性阻挡层。还包括空气管路,其具有一既定空气流向;该空气流向与喷水装置形成的水幕相垂直。
实施例三
参见图6所示,一种空气洗涤装置,包括喷水装置,所述喷水装置包括水管4和设于水管上的复数个喷嘴2;
所述喷嘴的喷雾角度为180度,喷出的水滴直径为150微米;
所述喷水装置上的喷嘴形成的水幕完全覆盖空气管路的一截面;
所述喷水装置上的喷嘴在空气行进方向上具有3种位置,形成前后错排结构,且相邻喷嘴形成的水幕不相碰撞。喷水装置上的喷嘴朝向相同,但伸出距离不同,形成前后错排,参见图2所示;
所述喷水装置形成的水幕与空气流动方向相垂直。所述喷水装置上的喷嘴在空气行进方向上的设置结构为:均逆着空气行进方向设置,形成前后错排结构;
所述喷水装置上处于同一平面的相邻喷嘴之间的间距为650 mm,且喷水装置上处于同一平面的相邻喷嘴形成的水幕不相碰撞;
所述喷水装置包括2条水管,形成一排;每条水管上的喷嘴在空气行进方向上具有3种位置,参见图6所示。
本实施例的空气洗涤装置还包括回收底座,以及与喷水装置配套的补给水机构、循环管线和泵。还包括多孔性阻挡层。还包括空气管路,其具有一既定空气流向;该空气流向与喷水装置形成的水幕相垂直。
Claims (9)
1.一种空气洗涤装置,包括喷水装置,所述喷水装置包括水管(4)和设于水管上的复数个喷嘴(2);其特征在于:
所述喷嘴的喷雾角度为180度,喷出的水滴直径大于等于150微米;
所述喷水装置上的喷嘴形成的水幕完全覆盖空气管路的一截面;所述喷水装置形成的水幕与空气流动方向相垂直;
所述喷水装置上的喷嘴在空气行进方向上具有至少2种位置,形成前后错排结构,且相邻喷嘴形成的水幕(3)不相碰撞;
所述喷水装置上的喷嘴在空气行进方向上的设置结构为:均顺着空气行进方向设置或均逆着空气行进方向设置,形成前后错排结构。
2.根据权利要求1所述的空气洗涤装置,其特征在于:所述喷水装置上处于同一平面的相邻喷嘴之间的间距大于等于550 mm,且喷水装置上处于同一平面的相邻喷嘴形成的水幕不相碰撞。
3.根据权利要求1所述的空气洗涤装置,其特征在于:还包括回收底座,以及与喷水装置配套的补给水机构、循环管线和泵。
4.根据权利要求1所述的空气洗涤装置,其特征在于:还包括多孔性阻挡层。
5.根据权利要求1所述的空气洗涤装置,其特征在于:还包括空气管路,其具有一既定空气流向;该空气流向与喷水装置形成的水幕相垂直。
6.根据权利要求1所述的空气洗涤装置,其特征在于:所述喷嘴喷出的水滴直径为150~200微米。
7.一种空气洗涤装置,包括喷水装置,所述喷水装置包括水管(4)和设于水管上的复数个喷嘴(2);其特征在于:
所述喷嘴的喷雾角度为180度,喷出的水滴直径大于等于150微米;
所述喷水装置上的喷嘴形成的水幕完全覆盖空气管路的一截面;所述喷水装置形成的水幕与空气流动方向相垂直;
所述喷水装置包括复数条水管,所述水管前后交错排列,使喷水装置上的喷嘴在空气行进方向上具有至少2种位置,形成前后错排结构,且相邻喷嘴形成的水幕(3)不相碰撞;
所述喷水装置上的喷嘴在空气行进方向上的设置结构为:均顺着空气行进方向设置或均逆着空气行进方向设置,形成前后错排结构。
8.根据权利要求7所述的空气洗涤装置,其特征在于:所述喷水装置上处于同一平面的相邻喷嘴之间的间距大于等于550 mm,且喷水装置上处于同一平面的相邻喷嘴形成的水幕不相碰撞。
9.根据权利要求7所述的空气洗涤装置,其特征在于:所述喷嘴喷出的水滴直径为150~200微米。
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