CN104577649A - 一种板条式激光器装置 - Google Patents
一种板条式激光器装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN104577649A CN104577649A CN201410829733.6A CN201410829733A CN104577649A CN 104577649 A CN104577649 A CN 104577649A CN 201410829733 A CN201410829733 A CN 201410829733A CN 104577649 A CN104577649 A CN 104577649A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- electroplax
- waveguide
- electric plate
- laser device
- strip type
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
本发明公开了一种板条式激光器装置，包括输出镜、波导电板、后腔镜、射频激励，所述波导电板包括上电板、下电板，均设置为矩形结构，所述上电板与射频激励输出端相连接，下电板接地；所述上电板设置为中空结构，上电板顶部设置有冷却水进口，冷却水出口；所述上电板、下电板之间形成矩形谐振腔；所述输出镜设置在波导电板前端；所述后腔镜设置在波导电板后端。本发明提供的一种板条式激光器装置，具有结构紧凑、坚固的特点，便于一体化集成设计，高的光束质量可以带来小的聚集光斑，从而可获得精密切割。
Description
技术领域
本发明涉及一种板条式激光器装置，属于CO₂激光器技术领域。
背景技术
所谓激光切割就是将激光束照射到工件表面时释放的能量来使工件融化并蒸发，以达到切割和雕刻的目的，具有精度高，切割快速，不局限于切割图案限制，自动排版节省材料，切口平滑，加工成本低等特点，将逐渐改进或取代于传统的金属切割工艺设备。目前在电子产品成型加工上，也普遍使用激光切割，现有的CO₂激光器由于通过热传导方式进行冷却，因此无法制造出紧凑、高能的激光器结构。
发明内容
目的：为了克服现有技术中存在的不足，本发明提供一种板条式激光器装置。
技术方案：为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为：
一种板条式激光器装置，包括输出镜、波导电板、后腔镜、射频激励，所述波导电板包括上电板、下电板，均设置为矩形结构，所述上电板与射频激励输出端相连接，下电板接地；所述上电板设置为中空结构，上电板顶部设置有冷却水进口，冷却水出口；所述上电板、下电板之间形成矩形谐振腔；所述输出镜设置在波导电板前端；所述后腔镜设置在波导电板后端。
还包括光束整形单元，所述光束整形单元设置在波导电板前端，用于将矩形光束整形为一个圆形对称的激光束。
作为优选方案，所述光束整形单元设置为水冷式反射光束整形器。
作为优选方案，所述输出镜长度小于后腔镜长度。
作为优选方案，所述波导电板采用铜材质。
有益效果：本发明提供的一种板条式激光器装置，具有结构紧凑、坚固的特点，便于一体化集成设计，高的光束质量可以带来小的聚集光斑，从而可获得精密切割。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作更进一步的说明。
如图1所示，一种板条式激光器装置，包括输出镜1、波导电板2、后腔镜3、射频激励4，所述波导电板2包括上电板21、下电板22，均设置为矩形结构，所述上电板21与射频激励4输出端相连接，下电板22接地；所述上电板21设置为中空结构，上电板21顶部设置有冷却水进口23，冷却水出口24；所述上电板21、下电板22之间形成矩形谐振腔25；所述输出镜1设置在波导电板2前端；所述后腔镜3设置在波导电板2后端。
还包括光束整形单元5，所述光束整形单元5设置在波导电板2前端，用于将矩形光束整形为一个圆形对称的激光束6。
作为优选方案，所述光束整形单元5设置为水冷式反射光束整形器。
作为优选方案，所述输出镜1长度小于后腔镜3长度。
作为优选方案，所述波导电板2采用铜材质。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出：对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (5)
1.一种板条式激光器装置，包括输出镜、波导电板、后腔镜，其特征在于：还包括射频激励，所述波导电板包括上电板、下电板，均设置为矩形结构，所述上电板与射频激励输出端相连接，下电板接地；所述上电板设置为中空结构，上电板顶部设置有冷却水进口，冷却水出口；所述上电板、下电板之间形成矩形谐振腔；所述输出镜设置在波导电板前端；所述后腔镜设置在波导电板后端。
2.根据权利要求1所述的一种板条式激光器装置，其特征在于：还包括光束整形单元，所述光束整形单元设置在波导电板前端，用于将矩形光束整形为一个圆形对称的激光束。
3.根据权利要求2所述的一种板条式激光器装置，其特征在于：所述光束整形单元设置为水冷式反射光束整形器。
4.根据权利要求1所述的一种板条式激光器装置，其特征在于：所述输出镜长度小于后腔镜长度。
5.根据权利要求1所述的一种板条式激光器装置，其特征在于：所述波导电板采用铜材质。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201410829733.6A CN104577649A (zh) | 2014-12-29 | 2014-12-29 | 一种板条式激光器装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201410829733.6A CN104577649A (zh) | 2014-12-29 | 2014-12-29 | 一种板条式激光器装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN104577649A true CN104577649A (zh) | 2015-04-29 |
Family
ID=53093140
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201410829733.6A Pending CN104577649A (zh) | 2014-12-29 | 2014-12-29 | 一种板条式激光器装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN104577649A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108270143A (zh) * | 2018-01-28 | 2018-07-10 | 北京工业大学 | 一种板条激光器谐振腔 |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4939738A (en) * | 1987-08-31 | 1990-07-03 | Deutsche Forschung -Und Versuchsanstalt | High-power waveguide laser |
| CN1055594A (zh) * | 1991-04-05 | 1991-10-23 | 北京理工大学 | 射频放电双电极直联式水冷装置 |
| US5600668A (en) * | 1992-12-23 | 1997-02-04 | Siemens Aktiengesellschaft | Slab laser |
| GB2334616A (en) * | 1998-02-13 | 1999-08-25 | Lasos Laser Fertigung Gmbh | Laser electrodes with internal pipes for coolant fluid |
| CN2473787Y (zh) * | 2001-06-07 | 2002-01-23 | 北京礴德恒激光科技有限公司 | 射频激励扩散型冷却千瓦级co2激光器 |
| US20050175054A1 (en) * | 2004-02-06 | 2005-08-11 | Shackleton Christian J. | Dielectric coupled CO2 slab laser |
| US20100118898A1 (en) * | 2010-01-21 | 2010-05-13 | Gavin Alan James Markillie | Mode selection technique for a laser |
| CN204333580U (zh) * | 2014-12-29 | 2015-05-13 | 苏州凯锝微电子有限公司 | 一种板条式激光器装置 |
-
2014
- 2014-12-29 CN CN201410829733.6A patent/CN104577649A/zh active Pending
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4939738A (en) * | 1987-08-31 | 1990-07-03 | Deutsche Forschung -Und Versuchsanstalt | High-power waveguide laser |
| CN1055594A (zh) * | 1991-04-05 | 1991-10-23 | 北京理工大学 | 射频放电双电极直联式水冷装置 |
| US5600668A (en) * | 1992-12-23 | 1997-02-04 | Siemens Aktiengesellschaft | Slab laser |
| GB2334616A (en) * | 1998-02-13 | 1999-08-25 | Lasos Laser Fertigung Gmbh | Laser electrodes with internal pipes for coolant fluid |
| CN2473787Y (zh) * | 2001-06-07 | 2002-01-23 | 北京礴德恒激光科技有限公司 | 射频激励扩散型冷却千瓦级co2激光器 |
| US20050175054A1 (en) * | 2004-02-06 | 2005-08-11 | Shackleton Christian J. | Dielectric coupled CO2 slab laser |
| US20100118898A1 (en) * | 2010-01-21 | 2010-05-13 | Gavin Alan James Markillie | Mode selection technique for a laser |
| CN204333580U (zh) * | 2014-12-29 | 2015-05-13 | 苏州凯锝微电子有限公司 | 一种板条式激光器装置 |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| LUHONGHUABC: "Rofin DC系列扩散冷却射频激励Slab CO2激光器", 《百度文库》 * |
| 饶恒锐: "高功率板条波导CO2激光器电极结构分析与设计", 《中国优秀硕士学位论文全文数据库 信息科技辑》 * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108270143A (zh) * | 2018-01-28 | 2018-07-10 | 北京工业大学 | 一种板条激光器谐振腔 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN103746027B (zh) | 一种在ito导电薄膜表面刻蚀极细电隔离槽的方法 | |
| CN102916081B (zh) | 一种薄膜太阳能电池的清边方法 | |
| CN106946444A (zh) | 3d玻璃制造方法 | |
| CN104842077B (zh) | 一种铝合金微波组件钎焊片加工方法 | |
| CN106424987A (zh) | 管电极放电与激光辐照的同轴复合加工方法和装置 | |
| CN203380515U (zh) | 一种激光切割光纤装置 | |
| CN205684974U (zh) | 一种具有微孔隙结构多孔底面的微通道换热器 | |
| CN104567502A (zh) | 一种具有非连续毛细结构微热管的激光制备方法 | |
| CN102528296B (zh) | Ito银浆激光刻蚀方法 | |
| CN101462205B (zh) | 非晶态合金带材的激光切割方法 | |
| CN108500468A (zh) | 一种曲线轮廓激光去毛刺的方法 | |
| CN103769464A (zh) | 一种具有加热功能的无毛刺便捷冲头 | |
| CN104625429A (zh) | 一种对金属厚板的激光切割工艺 | |
| CN203751540U (zh) | 一种双工位方形锂电池壳激光焊接夹具 | |
| CN104577649A (zh) | 一种板条式激光器装置 | |
| CN114406500B (zh) | 一种铁氧体复合材料激光切割方法 | |
| CN108436307A (zh) | 一种智能高速激光切割机控制系统 | |
| CN204333580U (zh) | 一种板条式激光器装置 | |
| CN202846028U (zh) | 一种工业机器人三维激光切割机 | |
| CN105149797A (zh) | 一种用于金属板打孔的激光打孔机 | |
| CN110011167A (zh) | 一种激光器光束与泵浦放大模块的光轴对准装置及方法 | |
| CN105458531A (zh) | 一种基于激光切割的硬脆材料异型孔加工设备及方法 | |
| CN103706957B (zh) | 一种热电制冷装置及应用该装置的激光加工方法 | |
| CN103761562A (zh) | 双界面ic卡制造方法及其自动生产设备 | |
| CN204672837U (zh) | 扩孔机 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20150429 |