CN104535344B - 测量直线型脉冲管制冷机制冷性能的标准杜瓦及制造方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种测量直线型脉冲管制冷机制冷性能的标准杜瓦及制造方法,该标准杜瓦由真空罩、测量座、上法兰盖、下法兰盖、卡盘组成,它根据直线型脉冲管制冷机的结构特点,将真空罩、加热片、温度计的功能集中于一体,可以方便快捷地对一定尺寸范围内的直线型脉冲管制冷机制冷性能进行测量评价,最大限度地减少不同直线型脉冲管制冷机之间制冷性能对比时的干扰因素,使不同制冷机之间的制冷性能具有更为科学的可比性,同时能够节约测量制冷机制冷性能时的资源和时间,大幅度提高测量的效率。
Description
技术领域
本发明涉及一种杜瓦,特别涉及一种测量直线型脉冲管制冷机制冷性能的标准杜瓦及制造方法。
背景技术
脉冲管制冷机是对回热式低温制冷机的一次重大革新,它取消了广泛应用于常规回热式低温制冷机(如斯特林和G-M制冷机)中的冷端排出器,而以热端调相机构的运作来实现制冷所需的相位差。冷端运动部件的完全取消,实现了冷端的低振动、低干扰和无磨损;而经过结构和调相方式上的重要改进,在一些典型温区,其实际效率也已经达到回热式低温制冷机中的最高值。这些显著优点使得脉冲管制冷机成为30余年来低温机械制冷机研究的一大热门,在航空航天、低温电子学、超导工业和低温医疗业等方面都获得了广泛的应用。
根据脉冲管、蓄冷器、冷头的相互关系不同,脉冲管制冷机可分为如下三种典型布置方式,如图1所示,其中(a)为同轴型结构,(b)为U型结构,(c)为直线型结构。由图1可以看出,直线型布置中脉冲管、脉冲管冷头、蓄冷器处于一条直线上;U型布置是指脉冲管和蓄冷器平行布置,各自的冷端连接到共同的脉冲管冷头之上;同轴型布置是指脉冲管和蓄冷器同心地布置在一起,各自的冷端连接到共同的脉冲管冷头之上。在三种布置方式中,同轴型的结构最为紧凑,冷端换热器与器件耦合方便,但该布置方式使得气体在冷端换热器折转180°,流动阻力增大,同时引起了较大的气流扰动;尤其是由于脉冲管和蓄冷器沿轴向的温度可能不匹配,将会存在较明显的径向导热从而降低了制冷效率。U型布置的紧凑性不如同轴型,但蓄冷器和脉冲管不直接接触,较之同轴型,避免了因二者轴向温度不匹配而引起的径向导热损失,有利于提高制冷效率;但其气流在冷端同样需要180°的折返,和同轴型一样会引起气流扰动和不可逆损失。如图1所示,脉冲管制冷机采用直线型布置方式时,脉冲管和蓄冷器处于一条直线上,气流在冷端不需要折返,因而最大限度地降低了冷端换热器的流动阻力,给冷端气流以最小的扰动,因而在三种布置方式中制冷效率最高,在给定能耗时的制冷潜力最大,因而在实际应用中也获得较广泛应用。
在一台直线型脉冲管制冷机制作完毕并投入使用之前,需要对其制冷性能做出系统的评价。目前普遍采用的是热平衡测量法。热平衡测量法即利用加热装置,对制冷机冷头端面施加指定热量,通过调整制冷机输入功率,使制冷机冷头端面温度稳定在指定温度点,此时制冷机冷头端面达到热平衡状态,加热装置所施加的热量即等于制冷机在指定温度点所提供的净制冷量。
在测量与评价过程中,通常需要为不同的冷指单独制作杜瓦系统。首先,由于每台制冷机冷指的情况一般都不相同,从而导致其相应的杜瓦系统也不相同,因而,在大多数情况下,测量不同制冷机制冷性能时所使用的测量系统便不尽相同;其次,在测量每台制冷机的制冷性能时,在冷指上放置包括加热片和温度计在内的测量元件时,本过程中不可避免地受到较大的人为影响,如所放置的相关测量元件的位置、与冷头端面的贴紧程度等因素都会对制冷性能的测量产生干扰。在这样情况下,便使得所测得的不同制冷机在进行制冷性能比对时,便没有比较科学的可比性。以上所述的这些因素使得在对同轴型脉冲管制冷机制冷性能评价测量时需要耗费更多资源与时间,并且对不同同轴型脉冲管制冷机制冷性能评价的对比上,也会产生使对比测量不一致的外界干扰因素。
由于直线型脉冲管制冷机相比较另外两种常用的布置方式(同轴型和U型)结构更为松散,利用热平衡测量法测量直线型脉冲管制冷机制冷性能对杜瓦结构提出更高的要求,其困难主要体现在:
1)由于直线型脉冲管制冷机结构松散,冷头冷量提取困难,使得冷头与加热片和柱状温度计等测量元件的耦合困难,如果耦合方式不恰当,将严重影响测量准确度;
2)测量元件与冷头的耦合过程中不可避免的会受到较大的人为影响,所耦合测量元件的位置、与冷头端面的贴紧程度等因素都会对制冷性能的测量产生干扰,且通常情况下并非使用同一测量元件,使得不同直线型冷指之间制冷性能的对比存在不确定度;
3)为保证冷指工作所需真空环境,需要为直线型脉冲管制冷机冷指制作真空罩结构,而由于直线型结构松散,冷指长宽比过大,相应的真空罩结构安装不便,密封存在难度;
4)由于每台直线型脉冲管制冷机冷指的情况有所不同,如冷指长度存在差别,通常需要为每台直线型冷指单独适配真空罩结构,从而导致所制作的冷指真空罩结构与不同冷指之间出现不能互配的情况。
以上所述的因素使得在对直线型脉冲管制冷机制冷性能评价测量时需要耗费更多资源与时间,并且对不同直线型脉冲管制冷机制冷性能的评价对比不可避免地产生较多干扰因素。目前针对直线型脉冲管制冷机进行制冷性能测量的标准杜瓦还很少见。
发明内容
鉴于现有技术的不足,本发明提出一种测量直线型脉冲管制冷机制冷性能的标准杜瓦及制造方法。
本发明的目的在于,根据直线型脉冲管制冷机的结构特点,提供一种将真空罩、加热片、温度计功能集中于一体的标准杜瓦,可以直接使用该标准杜瓦,方便快捷地对一定尺寸范围内的直线型脉冲管制冷机制冷性能进行测量评价,最大限度地减少不同直线型脉冲管制冷机间制冷性能对比时的干扰因素,使不同制冷机之间的制冷性能具有更为科学可比性,同时节约测量制冷机制冷性能的时间和资源,并大幅度提高测量的效率。
如图2所示,直线型脉冲管制冷机冷指结构包括蓄冷器端换热器10、蓄冷器12、冷头3、脉冲管11、脉冲管端换热器9,其中脉冲管端换热器9外径小于蓄冷器端换热器10外径。
所发明的测量直线型脉冲管制冷机制冷性能的标准杜瓦如图2所示,由真空罩1、测量座2、上法兰盖4、下法兰盖7、卡盘8组成,其特征如下:
真空罩1包括杜瓦中段结构15、上法兰13、下法兰14、左侧波纹管16、右侧波纹管17、左法兰18和右法兰19,外形为四个垂直交叉的圆柱筒体,以杜瓦中间结构15为中心,上下左右分别焊接连接有上法兰13、下法兰14、左侧波纹管16、右侧波纹管17,并分别在左侧波纹管16左侧及右侧波纹管17右侧焊接连接有左法兰18和右法兰19;将真空罩1从外径较小的脉冲管热端换热器9一端套入直线型脉冲管制冷机冷指,左法兰18紧贴于蓄冷器端换热器10右端面,利用螺钉紧固连接,并利用O型圈进行密封,可通过调节左侧波纹管16和右侧波纹管17来适应不同直线型脉冲管制冷机冷头3的位置及蓄冷器12和脉冲管11的长度;右法兰19右端内径等于脉冲管端换热器9左端外径,卡盘8套入脉冲管端换热器9,利用螺钉与右法兰19固定连接,并利用O型圈密封,实现真空罩1与冷指的径向密封;测量座2包括测量元件集成装置20、测量座波纹管21和安装法兰22,其中测量元件集成装置20上端有圆柱凸台23,圆柱凸台23上端面攻有螺纹孔以便安装加热片元件,圆柱凸台23侧面有圆柱通孔24,其直径略大于柱状温度计,测量时柱状温度计可放入其中,实现测量元件的集成化;测量座波纹管21呈倒U形,可实现测量座2与冷指交叉安装,并利用测量座波纹管21的弹性力使测量元件集成装置20下端面紧贴于冷头3上端面,测量座2通过下端的安装法兰22安装于下法兰14内部下端的环形平台25上,利用螺钉进行紧固连接;将焊接有抽气接口6的下法兰盖7安装于下法兰14,将焊接有接线座5的上法兰盖4安装于上法兰13,均利用螺钉紧固连接并利用O型圈进行密封,其中抽气接口6用于连接抽真空设备,在测量时抽取真空罩内真空,接线座5用于向加热片输入加热功率以及将柱状温度计温度信号输出;从而形成一种测量直线型脉冲管制冷机制冷性能的标准杜瓦。
下面结合附图对所发明的测量直线型脉冲管制冷机制冷性能的标准杜瓦的制造方法介绍如下:
如图2、图3、图5所示,真空罩1包括杜瓦中段结构15、上法兰13、下法兰14、左侧波纹管16、右侧波纹管17、左法兰18和右法兰19,其中杜瓦中段结构15上方及下方利用氩弧焊与上法兰13和下法兰14焊接连接为一体,杜瓦中段结构15左侧及右侧利用激光焊与左侧波纹管16及右侧波纹管17焊接为一体,左侧波纹管16左端利用激光焊与左法兰18连接为一体,右侧波纹管17右端利用激光焊与右法兰19连接为一体;根据不同直线型脉冲管制冷机冷指的蓄冷器12及脉冲管11的长度选择左侧波纹管16和右侧波纹管17的长度;精车上法兰13上端面、下法兰14下端面、左法兰18左端面、右法兰19右端面,平面度为0.5~1mm;下法兰14下端内部车有环形平台25,安装时与测量座2的安装法兰22相连接。
如图2、图4、图5所示,测量座2包括测量元件集成装置20、测量座波纹管21和安装法兰22,其中测量元件集成装置20整体呈圆柱结构,研磨测量元件集成装置20下端面,平面度为0.05~0.1mm,使其可以与冷头3端面紧密贴合,减小冷量传递损失;在测量元件集成装置20上端车圆柱凸台23,并研磨圆柱凸台23上端面,平面度为0.1~0.5mm;圆柱凸台23上端面攻有4~6个螺纹孔以便安装加热片元件;在圆柱凸台23侧面利用慢走丝线切割技术加工圆柱通孔24,直径略大于柱状温度计,测量时柱状温度计完全插入其中,使温度测量更为准确;测量元件集成装置20下端通过激光焊连接测量座波纹管21,波纹管21下端通过激光焊连接安装法兰22;焊接完毕后,在测量座波纹管21及安装法兰22两侧切割出U型缺口,从而实现测量座2在冷指交叉位置的安装;根据冷头3的不同位置选择测量座波纹管21的长度,安装后保持略微张紧的状态,利用其弹性力使测量元件集成装置20下端面紧贴于冷头3端面;安装法兰22安装于下法兰14内部下端的环形平台25上,利用螺钉进行紧固连接。
如图2所示,与真空罩1上法兰13、下法兰14、右法兰19相配套的有上法兰盖4、下法兰盖7和卡盘8,其中上法兰盖4上端氩弧焊连接有接线座5,下法兰盖7下端面氩弧焊连接抽气接口6;卡盘8内径略大于脉冲管端换热器9外径,精车卡盘8的内表面,使其粗糙度小于1.6。
本发明有如下特点:
1)所发明的测量直线型脉冲管制冷机制冷性能的标准杜瓦结构紧凑,集成了真空罩、测量座、接线座、抽气接口等关键结构及部件,功能齐全,方便安装,可以对一定尺寸范围的直线型脉冲管制冷机进行制冷性能的测量,避免了为不同的冷指单独制作真空结构所导致的真空部件与不同冷指之间出现不能互配的情况,并减少了多次安装不同相关测量组件造成的对制冷性能测量较大的人为影响和干扰因素;通过采用标准杜瓦,可以方便不同制冷机之间制冷性能的对比;
2)所发明的测量直线型脉冲管制冷机制冷性能的标准杜瓦可以将柱状温度计和加热片集成安装于测量座,在采用热平衡测量法对直线型脉冲管制冷机进行制冷性能测量时,可使用标准杜瓦方便地对直线型脉冲管制冷机的冷头进行加热功率的输入以及温度信号的输出,不需要对不同的直线型脉冲管制冷机冷指重复安装测量元件,节省测量时间与资源;
3)真空罩采用波纹管结构,可以在一定尺寸范围内,针对不同的直线型脉冲管制冷机冷指长度,对波纹管长度进行调节,增强了标准杜瓦对不同直线型脉冲管制冷机的适配性,方便不同直线型脉冲管制冷机之间的性能对比;
4)测量座采用了波纹管结构,利用波纹管具有弹性的特点,针对不同直线型冷指冷头位置,使波纹管始终处于略微张紧的程度,使得测量座可以与冷头端面紧密贴合,减小了冷头冷量的传递损失,使得对直线型脉冲管制冷机制冷性能的测量更加准确;
5)在测量座侧面设计圆柱通孔,测量时柱状温度计完全埋入测量座内部,尽可能减小了温度计暴露于冷头表面时热辐射造成的热量损失,可以更加准确地测量冷头温度。
本发明提出一种测量直线型脉冲管制冷机制冷性能的标准杜瓦及制造方法,将真空罩、加热片、温度计功能集中于标准杜瓦,可以直接使用标准杜瓦,对某一尺寸范围内的直线型脉冲管制冷机制冷性能进行测量评价,减小以至消除不同直线型脉冲管制冷机间制冷性能对比的干扰因素,可以方便快捷地对直线型脉冲管制冷机制冷性能进行测量,在保证测量准确度的前提下提高直线型脉冲管制冷机制冷性能的测量效率。
附图说明
图1为脉冲管制冷机的三种布置方法示意图,其中图1(a)为同轴型布置,图1(b)为U型布置,图1(c)为直线型布置;
图2为测量直线型脉冲管制冷机制冷性能的标准杜瓦示意图;
图3为真空罩1结构示意图;
图4为测量座2结构示意图;
图5为测量座2安装示意图。
其中:1为真空罩;2为测量座;3为冷头;4为上法兰盖;5为接线座;6为抽气接口;7为下法兰盖;8为卡盘;9为脉冲管端换热器;10为蓄冷器端换热器;11为脉冲管;12为蓄冷器;13为上法兰;14为下法兰;15为杜瓦中段结构;16为左侧波纹管;17为右侧波纹管;18为左法兰;19为右法兰;20为测量元件集成装置;21为测量座波纹管;22为安装法兰;23为圆柱凸台;24为圆柱通孔;25为环形平台。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本发明的具体实施方式作进一步的详细说明。
所发明的测量直线型脉冲管制冷机制冷性能的标准杜瓦由真空罩1、测量座2、上法兰盖4、下法兰盖7、卡盘8组成,其中真空罩1外形为四个垂直交叉的圆柱筒体,以杜瓦中间结构15为中心,上下左右分别焊接连接有上法兰13、下法兰14、左侧波纹管16、右侧波纹管17,并分别在左侧波纹管16左侧及右侧波纹管17右侧焊接连接有左法兰18和右法兰19;将真空罩1从外径较小的脉冲管热端换热器9一端套入直线型脉冲管制冷机冷指,左法兰18紧贴于蓄冷器端换热器10右端面,利用螺钉紧固连接,并利用O型圈进行密封,可通过调节左侧波纹管16和右侧波纹管17来适应不同直线型脉冲管制冷机冷头3的位置及蓄冷器12和脉冲管11的长度;右法兰19右端内径等于脉冲管端换热器9左端外径,卡盘8套入脉冲管端换热器9,利用螺钉与右法兰19固定连接,并利用O型圈密封,实现真空罩1与冷指的径向密封;测量座2包括测量元件集成装置20、测量座波纹管21和安装法兰22,其中测量元件集成装置20上端有圆柱凸台23,圆柱凸台23上端面攻有螺纹孔以便安装加热片元件,圆柱凸台23侧面有圆柱通孔24,其直径略大于柱状温度计,测量时柱状温度计可放入其中,实现测量元件的集成化;测量座波纹管21呈倒U形,可实现测量座2与冷指交叉安装,并利用测量座波纹管21的弹性力使测量元件集成装置20下端面紧贴于冷头3上端面,测量座2通过下端的安装法兰22安装于下法兰14内部下端的环形平台25上,利用螺钉进行紧固连接;将焊接有抽气接口6的下法兰盖7安装于下法兰14,将焊接有接线座5的上法兰盖4安装于上法兰13,均利用螺钉紧固连接并利用O型圈进行密封,其中抽气接口6用于连接抽真空设备,在测量时抽取真空罩内真空,接线座5用于向加热片输入加热功率以及将柱状温度计温度信号输出;从而形成一种测量直线型脉冲管制冷机制冷性能的标准杜瓦。
所发明的测量直线型脉冲管制冷机制冷性能的标准杜瓦的制造方法可按如下方法实施:
如图2、图3、图5所示,真空罩1包括杜瓦中段结构15、上法兰13、下法兰14、左侧波纹管16、右侧波纹管17、左法兰18和右法兰19,其中杜瓦中段结构15上方及下方利用氩弧焊与上法兰13和下法兰14焊接连接为一体,杜瓦中段结构15左侧及右侧利用激光焊与左侧波纹管16及右侧波纹管17焊接为一体,左侧波纹管16左端利用激光焊与左法兰18连接为一体,右侧波纹管17右端利用激光焊与右法兰19连接为一体;根据不同直线型脉冲管制冷机冷指的蓄冷器12及脉冲管11的长度选择左侧波纹管16和右侧波纹管17的长度;精车上法兰13上端面、下法兰14下端面、左法兰18左端面、右法兰19右端面,平面度均为0.5mm;下法兰14下端内部车有环形平台25,安装时与测量座2的安装法兰22相连接。
如图2、图4、图5所示,测量座2包括测量元件集成装置20、测量座波纹管21和安装法兰22,其中测量元件集成装置20整体呈圆柱结构,研磨测量元件集成装置20下端面,平面度为0.1mm,使其可以与冷头3端面紧密贴合,减小冷量传递损失;在测量元件集成装置20上端车圆柱凸台23,并研磨圆柱凸台23上端面,平面度为0.5mm;圆柱凸台23上端面攻4个螺纹孔以便安装加热片元件;在圆柱凸台23侧面利用慢走丝线切割技术加工圆柱通孔24,直径略大于柱状温度计,测量时柱状温度计完全插入其中,使温度测量更为准确;测量元件集成装置20下端通过激光焊连接测量座波纹管21,波纹管21下端通过激光焊连接安装法兰22;焊接完毕后,在测量座波纹管21及安装法兰22两侧切割出U型缺口,从而实现测量座2在冷指交叉位置的安装;根据冷头3的不同位置选择测量座波纹管21的长度,安装后保持略微张紧的状态,利用其弹性力使测量元件集成装置20下端面紧贴于冷头3端面;安装法兰22安装于下法兰14内部下端的环形平台25上,利用螺钉进行紧固连接。
如图2所示,与真空罩1上法兰13、下法兰14、右法兰19相配套的有上法兰盖4、下法兰盖7和卡盘8,其中上法兰盖4上端氩弧焊连接有接线座5,下法兰盖7下端面氩弧焊连接抽气接口6;卡盘8内径略大于脉冲管端换热器9外径,精车其内表面,粗糙度为1.5。
Claims (2)
1.一种测量直线型脉冲管制冷机制冷性能的标准杜瓦,它由真空罩(1)、测量座(2)、上法兰盖(4)、下法兰盖(7)、卡盘(8)组成,其特征如下:
所述的真空罩(1)包括杜瓦中段结构(15)、上法兰(13)、下法兰(14)、左侧波纹管(16)、右侧波纹管(17)、左法兰(18)和右法兰(19),其外形为四个垂直交叉的圆柱筒体,以杜瓦中间结构(15)为中心,上下左右分别焊接连接有上法兰(13)、下法兰(14)、左侧波纹管(16)、右侧波纹管(17),并分别在左侧波纹管(16)左侧及右侧波纹管(17)右侧焊接连接有左法兰(18)和右法兰(19);将真空罩(1)从外径较小的脉冲管热端换热器(9)一端套入直线型脉冲管制冷机冷指,左法兰(18)紧贴于蓄冷器端换热器(10)右端面,利用螺钉紧固连接,并利用O型圈进行密封;可通过调节左侧波纹管(16)和右侧波纹管(17)来适应不同直线型脉冲管制冷机冷头(3)的位置及蓄冷器(12)和脉冲管(11)的长度;右法兰(19)右端内径等于脉冲管端换热器(9)左端外径,卡盘(8)套入脉冲管端换热器(9),利用螺钉与右法兰(19)固定连接,并利用O型圈密封,实现真空罩(1)与冷指的径向密封;测量座(2)包括测量元件集成装置(20)、测量座波纹管(21)和安装法兰(22),其中测量元件集成装置(20)上端有圆柱凸台(23),圆柱凸台(23)上端面攻有螺纹孔以便安装加热片元件,圆柱凸台(23)侧面有圆柱通孔(24),其直径略大于柱状温度计,测量时柱状温度计可放入其中,实现测量元件的集成化;测量座波纹管(21)呈倒U形,可实现测量座(2)与冷指交叉安装,并利用测量座波纹管(21)的弹性力使测量元件集成装置(20)下端面紧贴于冷头(3)上端面,测量座(2)通过下端的安装法兰(22)安装于下法兰(14)内部下端的环形平台(25)上,利用螺钉进行紧固连接;将焊接有抽气接口(6)的下法兰盖(7)安装于下法兰(14),将焊接有接线座(5)的上法兰盖(4)安装于上法兰(13),均利用螺钉紧固连接并利用O型圈进行密封,其中抽气接口(6)用于连接抽真空设备,在测量时抽取真空罩内真空,接线座(5)用于向加热片输入加热功率以及将柱状温度计温度信号输出;从而形成一种测量直线型脉冲管制冷机制冷性能的标准杜瓦。
2.一种制造如权利要求1所述的测量直线型脉冲管制冷机制冷性能的标准杜瓦的方法,其特征在于:真空罩(1)杜瓦中段结构(15)的上方与上法兰(13),杜瓦中段结构(15)的下方与下法兰(14)利用氩弧焊焊接连接为一体,杜瓦中段结构(15)左侧与左侧波纹管(16),杜瓦中段结构(15)右侧与右侧波纹管(17)利用激光焊工艺焊接为一体,左侧波纹管(16)左端利用激光焊与左法兰(18)连接为一体,右侧波纹管(17)右端利用激光焊与右法兰(19)连接为一体;根据不同直线型脉冲管制冷机冷指的蓄冷器(12)及脉冲管(11)的长度选择左侧波纹管(16)和右侧波纹管(17)的长度;精车上法兰(13)上端面、下法兰(14)下端面、左法兰(18)左端面、右法兰(19)右端面,平面度为0.5~1mm;下法兰(14)下端内部车有环形平台(25),安装时与测量座(2)的安装法兰(22)相连接;测量座(2)的测量元件集成装置(20)整体呈圆柱结构,研磨测量元件集成装置(20)下端面,平面度为0.05~0.1mm,使其可以与冷头(3)端面紧密贴合,减小冷量传递损失;在测量元件集成装置(20)上端车圆柱凸台(23),并研磨圆柱凸台(23)上端面,平面度为0.1~0.5mm;圆柱凸台(23)上端面攻有4~6个螺纹孔以便安装加热片元件;在圆柱凸台(23)侧面利用慢走丝线切割技术加工圆柱通孔(24),直径略大于柱状温度计,测量时柱状温度计完全插入其中,使温度测量更为准确;测量元件集成装置(20)下端通过激光焊连接测量座波纹管(21),波纹管(21)下端通过激光焊连接安装法兰(22);焊接完毕后,在测量座波纹管(21)及安装法兰(22)两侧切割出U型缺口,从而实现测量座(2)在冷指交叉位置的安装;根据冷头(3)的不同位置选择测量座波纹管(21)的长度,安装后保持略微张紧的状态,利用其弹性力使测量元件集成装置(20)下端面紧贴于冷头(3)端面;安装法兰(22)安装于下法兰(14)内部下端的环形平台(25)上,利用螺钉进行紧固连接;与真空罩(1)的上法兰(13)、下法兰(14)、右法兰(19)相配套的有上法兰盖(4)、下法兰盖(7)和卡盘(8),其中上法兰盖(4)上端氩弧焊连接有接线座(5),下法兰盖(7)下端面氩弧焊连接抽气接口(6);卡盘(8)的内径略大于脉冲管端换热器(9)的外径,精车卡盘(8)的内表面,使其粗糙度小于1.6。
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