CN104503100A - 基于光栅衍射的晶体自准直调整装置和方法 - Google Patents

基于光栅衍射的晶体自准直调整装置和方法 Download PDF

Info

Publication number
CN104503100A
CN104503100A CN201410779031.1A CN201410779031A CN104503100A CN 104503100 A CN104503100 A CN 104503100A CN 201410779031 A CN201410779031 A CN 201410779031A CN 104503100 A CN104503100 A CN 104503100A
Authority
CN
China
Prior art keywords
crystal
transmission grating
collimation
far field
grating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201410779031.1A
Other languages
English (en)
Other versions
CN104503100B (zh
Inventor
刘代中
秦海棠
欧阳小平
王阳
杨冬
朱宝强
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics of CAS
Original Assignee
Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics of CAS filed Critical Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics of CAS
Priority to CN201410779031.1A priority Critical patent/CN104503100B/zh
Publication of CN104503100A publication Critical patent/CN104503100A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN104503100B publication Critical patent/CN104503100B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/30Collimators

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Measurement Of Optical Distance (AREA)

Abstract

一种基于光栅衍射的晶体自准直调整装置和方法,装置包括:一紧贴空间滤波器小孔后放置的透射光栅,光栅中心有一个直径大于焦斑直径的圆形未刻蚀区;发光二极管和准直透镜构成准直的非相干照明光源,照射所述的透射光栅;由成像透镜和远场探测器置于所述的透射光栅的衍射光束方向构成远场成像系统,所述的远场探测器的输出接一计算机;计算机控制的需要自准直调整的晶体。本发明具有设备简、调整易和精度高的特点。

Description

基于光栅衍射的晶体自准直调整装置和方法
技术领域
本发明与高功率激光装置有关,特别是一种在高功率激光装置中基于光栅衍射的晶体自准直调整装置和方法。
背景技术
国内外目前用于惯性约束核聚变的高功率激光装置,例如我国的神光П,美国的NIF装置,都要涉及晶体的自准直调整。传统的晶体自准直技术采用的是在漏光反射镜后面建立一个远场监测系统,其光路结构如图1所示。从晶体10表面返回的激光通过漏光反射镜2后,经过远场成像透镜8聚焦到远场探测器9上。传统的晶体自准直过程如下,首次调整时要在晶体10前放置一块角锥,让激光沿原路返回,用远场探测器9记录返回的光斑位置,即为基准位置,然后撤掉角锥,把晶体10放置于光路中,在远场探测器9上看到晶体返回的焦斑位置,如果与基准位置不同,则调整晶体10直到与基准位置相同。
这种方案整个光路的体积比较庞大,需要使用大口径的成像透镜,价格比较昂贵。
发明内容
本发明要解决的技术在于克服上述现有技术的问题,提供一种基于光栅衍射的晶体自准直调整装置,该装置具有设备简、调整易、精度高的特点。
本发明的技术解决方案如下:
一种基于光栅衍射的晶体自准直调整装置,特点在于其构成包括:一紧贴空间滤波器小孔后放置的透射光栅,光栅中心有一个直径大于焦斑直径的圆形未刻蚀区;发光二极管和准直透镜构成准直的非相干照明光源,照射所述的透射光栅;由成像透镜和远场探测器置于所述的透射光栅的衍射光束方向构成远场成像系统,所述的远场探测器的输出接一计算机;计算机控制的需要自准直调整的晶体。
利用所述的基于光栅衍射的晶体自准直调整装置实现高功率激光装置中晶体自准直调整的方法,包括如下步骤:
①在主激光方向依次是所述的空间滤波器和待调整的晶体,首先在空间滤波器的小孔的后面紧贴其小孔板放置所述的透射光栅,并保证小孔的中心和光栅的中心重合;
②打开主激光,激光束的焦斑穿过小孔且穿过光栅的圆形未刻蚀区,最终照射到需要调整的晶体上;
③打开发光二极管照射透射光栅产生衍射,调整非相干照明光源的准直光束的入射角,使透射光栅产生的一级或者二级衍射光,使透射光栅轮廓图像通过成像透镜成像在远场探测器上,该远场探测器将透射光栅轮廓图像输入所述的计算机;
④根据计算机上透射光栅的轮廓图像,调整晶体,使晶体表面反射的主激光的焦斑调进入透射光栅轮廓图像的圆形未刻蚀区,即完成晶体的自准直调整。
本发明的技术效果如下:
通过在小孔板后面放置带有圆形未刻蚀区的透射光栅,将发光二级管照明光通过光栅的衍射光成像到远场探测器上,避免了使用大口径的成像透镜,根据光栅的轮廓图像,精确地将晶体表面反射的主激光的焦斑光斑调进光栅的圆形未刻蚀区。经试用表明,本装置具有设备简、调整易、精度高的特点。
附图说明
图1是传统的晶体自准直调整装置的光路示意图
图2是本发明基于光栅衍射的晶体自准直调整装置的光路示意图
图中:1-第一反射镜  2-漏光反射镜  3-小孔  4-透射光栅  5-空间滤波器  6-发光二极管  7-准直透镜  8-成像透镜  9-远场探测器  10-晶体
具体实施方式
下面结合实施例和附图对本发明作进一步说明,但不应以此限制本发明的保护范围。
先请参阅图2,图2是本发明基于光栅衍射的晶体自准直调整装置的光路示意图,由图可见,本发明基于光栅衍射的晶体自准直调整装置的构成包括:
一紧贴空间滤波器5小孔3后放置的透射光栅4,光栅中心有一个直径大于焦斑直径的圆形未刻蚀区;
发光二极管6和准直透镜7构成准直的非相干照明光源,照射所述的透射光栅4;
由成像透镜8和远场探测器9置于所述的透射光栅4的衍射光束方向构成远场成像系统,所述的远场探测器9的输出接一计算机;
该计算机控制的需要自准直调整的晶体10。
利用所述的基于光栅衍射的晶体自准直调整装置实现高功率激光装置中晶体的自准直调整方法,包括如下步骤:
①在主激光方向依次是所述的空间滤波器5和待调整的晶体10,首先在空间滤波器5的小孔3的后面紧贴其小孔板放置所述的透射光栅4,并保证小孔3的中心和透射光栅4的中心重合;
②打开主激光,主激光束穿过小孔3和透射光栅4,最终照射到待调整的晶体10上;
③打开发光二极管6照射透射光栅4产生衍射,调整非相干照明光源的准直光束的入射角,使透射光栅4产生的一级或者二级衍射光形成的透射光栅的轮廓经成像透镜8成像在远场探测器9上,远场探测器9将透射光栅4的轮廓的图像输入所述的计算机;
④根据计算机上透射光栅的轮廓图像,调整所述的晶体10,使晶体10表面反射的主激光的焦斑进入所述的透射光栅的轮廓图像的圆形未刻蚀区,即完成晶体的自准直调整。
综上所述,本发明装置和方法具有设备简、调整易、精度高的特点。

Claims (2)

1.一种基于光栅衍射的晶体自准直调整装置,特征在于其构成包括:一紧贴空间滤波器(5)小孔(3)后放置的透射光栅(4),光栅中心有一个直径大于焦斑直径的圆形未刻蚀区;发光二极管(6)和准直透镜(7)构成准直的非相干照明光源,照射所述的透射光栅(4);由成像透镜(8)和远场探测器(9)置于所述的透射光栅(4)的衍射光束方向构成远场成像系统,所述的远场探测器(9)的输出端接计算机的输入端;该计算机控制的需要自准直调整的晶体(10)。
2.利用权利要求1所述的基于光栅衍射的晶体自准直调整装置实现高功率激光装置中晶体的自准直调整方法,特征在于该方法包括如下步骤:
①在主激光方向依次是所述的空间滤波器(5)和待调整的晶体(10),首先在空间滤波器(5)的小孔(3)的后面紧贴其小孔板放置所述的透射光栅(4),并保证小孔(3)的中心和透射光栅(4)的中心重合;
②打开主激光,主激光束穿过小孔(3)和透射光栅(4),最终照射到待调整的晶体(10)上;
③打开发光二极管(6)照射透射光栅(4)产生衍射,调整非相干照明光源的准直光束的入射角,使透射光栅(4)产生的一级或者二级衍射光形成的透射光栅的轮廓经成像透镜(8)成像在远场探测器(9)上,远场探测器(9)将透射光栅(4)的轮廓的图像输入所述的计算机;
④根据计算机上透射光栅的轮廓图像,调整所述的晶体(10),使晶体(10)表面反射的主激光的焦斑进入所述的透射光栅的轮廓图像的圆形未刻蚀区,即完成晶体的自准直调整。
CN201410779031.1A 2014-12-16 2014-12-16 基于光栅衍射的晶体自准直调整装置和方法 Active CN104503100B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410779031.1A CN104503100B (zh) 2014-12-16 2014-12-16 基于光栅衍射的晶体自准直调整装置和方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410779031.1A CN104503100B (zh) 2014-12-16 2014-12-16 基于光栅衍射的晶体自准直调整装置和方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN104503100A true CN104503100A (zh) 2015-04-08
CN104503100B CN104503100B (zh) 2017-12-15

Family

ID=52944508

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201410779031.1A Active CN104503100B (zh) 2014-12-16 2014-12-16 基于光栅衍射的晶体自准直调整装置和方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN104503100B (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106681014A (zh) * 2017-02-16 2017-05-17 中国科学院上海光学精密机械研究所 适用于高功率激光装置的高精度光路准直的方法
CN108459419A (zh) * 2018-01-17 2018-08-28 中国科学院上海光学精密机械研究所 基于光栅衍射的滤波器小孔对准调整装置和方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101216610A (zh) * 2008-01-09 2008-07-09 中国科学院上海光学精密机械研究所 空间滤波器光路准直的调整装置及调整方法
CN101266340A (zh) * 2008-04-25 2008-09-17 中国科学院上海光学精密机械研究所 调整高功率激光装置光路准直的方法
CN101408680A (zh) * 2008-11-19 2009-04-15 中国科学院上海光学精密机械研究所 四程放大系统远场监视装置及其准直方法
CN102354055A (zh) * 2011-11-08 2012-02-15 上海激光等离子体研究所 用于高功率激光装置的光路准直集成装置及准直方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101216610A (zh) * 2008-01-09 2008-07-09 中国科学院上海光学精密机械研究所 空间滤波器光路准直的调整装置及调整方法
CN101266340A (zh) * 2008-04-25 2008-09-17 中国科学院上海光学精密机械研究所 调整高功率激光装置光路准直的方法
CN101408680A (zh) * 2008-11-19 2009-04-15 中国科学院上海光学精密机械研究所 四程放大系统远场监视装置及其准直方法
CN102354055A (zh) * 2011-11-08 2012-02-15 上海激光等离子体研究所 用于高功率激光装置的光路准直集成装置及准直方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106681014A (zh) * 2017-02-16 2017-05-17 中国科学院上海光学精密机械研究所 适用于高功率激光装置的高精度光路准直的方法
CN106681014B (zh) * 2017-02-16 2019-02-01 中国科学院上海光学精密机械研究所 适用于高功率激光装置的高精度光路准直的方法
CN108459419A (zh) * 2018-01-17 2018-08-28 中国科学院上海光学精密机械研究所 基于光栅衍射的滤波器小孔对准调整装置和方法
CN108459419B (zh) * 2018-01-17 2020-05-05 中国科学院上海光学精密机械研究所 基于光栅衍射的滤波器小孔对准调整装置和方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN104503100B (zh) 2017-12-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104635344B (zh) 一种参数可调节的贝塞尔光束产生装置及其产生方法
CN106681014B (zh) 适用于高功率激光装置的高精度光路准直的方法
CN104620163A (zh) 光调制控制方法、控制程序、控制装置和激光照射装置
KR102658287B1 (ko) 베셀 빔 가공 광학 시스템을 위한 정렬 장치 및 방법
US9690105B2 (en) Calibratable beam shaping system and method
CN101266340A (zh) 调整高功率激光装置光路准直的方法
US20140299742A1 (en) Pattern irradiation apparatus
CN102494639A (zh) 基于全自动套孔法激光发散角的测量装置及测量方法
CN110441033B (zh) 基于强度编码调制的相干组束图像测量装置及其测量方法
CN106687852B (zh) 光照射装置和光照射方法
CN105675151A (zh) 一种基于光强传输方程相位恢复应用装置
CN109884101B (zh) 样品成像系统、样品成像方法、计算机存储介质及计算机装置
CN103676159B (zh) 一种改善光斑形状自动调节光斑大小的光路系统
CN103954598A (zh) 一种基于倏逝波照明的轴向高精度定位方法及装置
US11054305B2 (en) Method and device for beam analysis
CN104503100A (zh) 基于光栅衍射的晶体自准直调整装置和方法
CN101216610A (zh) 空间滤波器光路准直的调整装置及调整方法
CN104483105A (zh) 一种像素间串扰检测系统及方法
CN107643596A (zh) 一种二元波带片形式的衍射轴锥镜系统及其长焦深成像方法
CN111290108B (zh) 一种基于宽带光源的反射扫描相干衍射显微成像装置及应用
JP2022504212A (ja) Euvプラズマ源において励起レーザービームを測定するための計測システムおよび方法
CN201166743Y (zh) 空间滤波器光路准直的调整装置
CN205539858U (zh) 一种前后向散射兼容散射装置
JP4800177B2 (ja) レーザ光照射装置およびレーザ光照射方法
CN105404069A (zh) 一种水平导轨泵浦双向受激散射同时发生增强装置及方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant