CN104457819A - 一种测量电涡流传感装置轴心轨迹的实验方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及电涡流传感器的轴心轨迹测量实验方法，具体为一种测量电涡流传感装置轴心轨迹的实验方法。其具体步骤如下所述：将数据采集仪，启动服务器，打开客户端计算机，在DRVI软件平台的地址信息栏中输入注册信息及其网址，打开WEB版实验指导书，在实验目录中选择"电涡流传感器轴心轨迹测量"实验；调节电机转速，对于客户端的分析，首先设定数据共享服务器的IP地址，在服务器端进行数据采集的同时，点击"运行"按钮进行网络数据采集，观察随着转速的变化，轴心轨迹的变化情况，并记录实验结果。其有益效果在于：其能够有效抑制管道在线、离线检测时的某些干扰信号，对金属管道内外壁缺陷检测都具有较高的灵敏度。

Description

一种测量电涡流传感装置轴心轨迹的实验方法
技术领域
本发明涉及电涡流传感器的轴心轨迹测量实验方法，具体为一种测量电涡流传感装置轴心轨迹的实验方法。
背景技术
电涡流传感器就是能静态和动态地非接触，高线性度，高分辨力地测量被测金属导体距探头表面的距离。它是一种非接触的线性化计量工具。电涡流位移传感器能准确测量被测体(必须是金属导体)与探头端面之间的静态和动态距离及其变化。
目前，化工机械抛光工艺前后均采用涡流传感器测量硅片的铜膜厚度和形貌。随着硅片特征尺寸的减小，芯片制造时的观察窗也随之减小。对于化工机械抛光过程来说，准确而灵敏的测量铜膜厚度是及其重要的。增大传感器探针的尺寸能增强灵敏度，但它会牺牲径向轮廓测量时的径向分辨率。而多区分域控制的化学机械抛光工艺对硅片形貌测量时的分辨率要求较高。
现有技术中用于硅片膜厚测量的电涡流传感器的探针截面多为圆形，其分辨率和灵敏度已经不能满足芯片制造过程中硅片膜厚测量的需求。可以通过增大探针截面的尺寸来提高灵敏度，但是其径向尺寸也增加，从而牺牲了其径向的分辨率。涡流检测只适用于能产生涡流的导电材料。同时，由于涡流是电磁感应产生的，在检测时，不必要求线圈与试件紧密接触，也不必在线圈和试件之间充填满合剂，从而容易实现自动化检验。对管、棒、丝材表面缺陷，涡流检查法有很高的速度和效率。涡流及其反作用磁场对代表金属试件物理和工艺性能的多种参数有反应，因此是一种多用途的试验方法。然而，正是由于对多种试验参数有敏感反应，也就会给试验结果带来干扰信息，影响检测的正确进行。因此，我们研制了一种测量电涡流传感装置轴心轨迹的实验方法，该实验方法操作简便、安全，并且其对电涡流传感装置轴心轨迹的测量精度高。
发明内容
本发明的目的在于针对现有技术存在的不足，提供一种测量电涡流传感装置轴心轨迹的实验方法，该实验方法操作简便、安全，并且其对电涡流传感装置轴心轨迹的测量精度高。
为实现上述目的，本发明提供的具体技术方案如下：
一种测量电涡流传感装置轴心轨迹的实验方法，其具体步骤如下所述：
1)将数据采集仪，电源与计算机正确连接，在转子实验台支架上安装电涡流传感器探头，将输出电缆与前置器相连，信号经前置器处理后再经过信号采集仪最终输入到计算机中。
2)启动服务器，运行DRVI主程序，开启DRVI数据采集仪电源，然后点击DRVI快捷工具条上的"联机注册"图标，选择其中的"DRVI采集仪主卡检测"进行服务器和数据采集仪之间的注册；且联机注册成功后，分别从DRVI工具栏和快捷工具条中启动"DRVI微型Web服务器"和"内置的Web服务器"，开始监听8600和8500端口。
3)打开客户端计算机，启动计算机上的DRVI客户端程序，然后点击DRVI快捷工具条上的"联机注册"图标，选择其中的"DRVI局域网服务器检测"，在弹出的对话框中输入服务器IP地址，点击"发送"按钮，进行客户端和服务器之间的认证，认证完毕即可正常运行客户端所有功能。
4)在DRVI软件平台的地址信息栏中输入注册信息及其网址，打开WEB版实验指导书，在实验目录中选择"电涡流传感器轴心轨迹测量"实验，参照实验原理和要求设计该实验。
5)点击附录中该实验脚本文件"服务器端"的链接，将参考的实验脚本文件贴入DRVI软件平台。启动转子试验台，点击面板中的"运行"按钮，进行轴心轨迹的测量。如果波形不清楚，需要调节电涡流探头与轴之间的距离，直到两个方向的波形稳定，振幅相近为止。
6)调节电机转速，观察随着转速的变化，轴心轨迹曲线的变化情况，分析并记录实验结果。
7)对于客户端的分析，首先设定数据共享服务器的IP地址，在服务器端进行数据采集的同时，点击"运行"按钮进行网络数据采集，观察随着转速的变化，轴心轨迹的变化情况，并记录实验结果。
所述的步骤1)中电涡流传感器探头的X、Y向互成90度。
与现有技术相比，本发明的有益效果在于：该实验方法操作简便、安全，并且其对电涡流传感装置轴心轨迹的测量精度高；并且其能够有效抑制管道在线、离线检测时的某些干扰信号，对金属管道内外壁缺陷检测都具有较高的灵敏度；还可用于机械零部件混料分选，渗碳深度和热处理状态评价，硬度测量等。
具体实施方式
以下对本发明的步骤及其有益效果进一步说明。
实施例1
一种测量电涡流传感装置轴心轨迹的实验方法，其具体步骤如下所述：
1)将数据采集仪，电源与计算机正确连接，在转子实验台支架上安装电涡流传感器探头，将输出电缆与前置器相连，信号经前置器处理后再经过信号采集仪最终输入到计算机中。
启动服务器，运行DRVI主程序，开启DRVI数据采集仪电源，然后点击DRVI快捷工具条上的"联机注册"图标，选择其中的"DRVI采集仪主卡检测"进行服务器和数据采集仪之间的注册；且联机注册成功后，分别从DRVI工具栏和快捷工具条中启动"DRVI微型Web服务器"和"内置的Web服务器"，开始监听8600和8500端口。
打开客户端计算机，启动计算机上的DRVI客户端程序，然后点击DRVI快捷工具条上的"联机注册"图标，选择其中的"DRVI局域网服务器检测"，在弹出的对话框中输入服务器IP地址，点击"发送"按钮，进行客户端和服务器之间的认证，认证完毕即可正常运行客户端所有功能。
在DRVI软件平台的地址信息栏中输入注册信息及其网址，打开WEB版实验指导书，在实验目录中选择"电涡流传感器轴心轨迹测量"实验，参照实验原理和要求设计该实验。
点击附录中该实验脚本文件"服务器端"的链接，将参考的实验脚本文件贴入DRVI软件平台。启动转子试验台，点击面板中的"运行"按钮，进行轴心轨迹的测量。如果波形不清楚，需要调节电涡流探头与轴之间的距离，直到两个方向的波形稳定，振幅相近为止。
调节电机转速，观察随着转速的变化，轴心轨迹曲线的变化情况，分析并记录实验结果。
对于客户端的分析，首先设定数据共享服务器的IP地址，在服务器端进行数据采集的同时，点击"运行"按钮进行网络数据采集，观察随着转速的变化，轴心轨迹的变化情况，并记录实验结果。
所述的步骤1)中电涡流传感器探头的X、Y向互成90度，该实验方法操作简便、安全，并且其对电涡流传感装置轴心轨迹的测量精度高；并且其能够有效抑制管道在线、离线检测时的某些干扰信号，对金属管道内外壁缺陷检测都具有较高的灵敏度；还可用于机械零部件混料分选，渗碳深度和热处理状态评价，硬度测量等。

Claims (2)

1.一种测量电涡流传感装置轴心轨迹的实验方法，其特征在于：其具体步骤如下所述：
1)将数据采集仪，电源与计算机正确连接，在转子实验台支架上安装电涡流传感器探头，将输出电缆与前置器相连，信号经前置器处理后再经过信号采集仪最终输入到计算机中；
2)启动服务器，运行DRVI主程序，开启DRVI数据采集仪电源，然后点击DRVI快捷工具条上的"联机注册"图标，选择其中的"DRVI采集仪主卡检测"进行服务器和数据采集仪之间的注册；且联机注册成功后，分别从DRVI工具栏和快捷工具条中启动"DRVI微型Web服务器"和"内置的Web服务器"，开始监听8600和8500端口；
3)打开客户端计算机，启动计算机上的DRVI客户端程序，然后点击DRVI快捷工具条上的"联机注册"图标，选择其中的"DRVI局域网服务器检测"，在弹出的对话框中输入服务器IP地址，点击"发送"按钮，进行客户端和服务器之间的认证，认证完毕即可正常运行客户端所有功能；
4)在DRVI软件平台的地址信息栏中输入注册信息及其网址，打开WEB版实验指导书，在实验目录中选择"电涡流传感器轴心轨迹测量"实验，参照实验原理和要求设计该实验；
5)点击附录中该实验脚本文件"服务器端"的链接，将参考的实验脚本文件贴入DRVI软件平台。启动转子试验台，点击面板中的"运行"按钮，进行轴心轨迹的测量。如果波形不清楚，需要调节电涡流探头与轴之间的距离，直到两个方向的波形稳定，振幅相近为止；
6)调节电机转速，观察随着转速的变化，轴心轨迹曲线的变化情况，分析并记录实验结果。
7)对于客户端的分析，首先设定数据共享服务器的IP地址，在服务器端进行数据采集的同时，点击"运行"按钮进行网络数据采集，观察随着转速的变化，轴心轨迹的变化情况，并记录实验结果。
2.根据权利要求1所述一种测量电涡流传感装置轴心轨迹的实验方法，其特征在于：所述的步骤1)中电涡流传感器探头的X、Y向互成90度。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020037705A1 (zh) * 2018-08-23 2020-02-27 江苏大学 一种轴心跳动轨迹测试装置
GB2579267A (en) * 2018-08-23 2020-06-17 Univ Jiangsu Axial Vibration Trajectory Testing Device

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