CN104298403A

CN104298403A - 触摸面板及其制作方法

Info

Publication number: CN104298403A
Application number: CN201410539487.0A
Authority: CN
Inventors: 叶本银; 叶虹呐; 王锡彬; 柳皓笛
Original assignee: BOE Technology Group Co Ltd; Chengdu BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
Current assignee: BOE Technology Group Co Ltd; Chengdu BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority date: 2014-10-13
Filing date: 2014-10-13
Publication date: 2015-01-21

Abstract

本发明提供一种触摸面板的制作方法，包括：提供多个蓝宝石基片；提供载体模具，所述载体模具包括基体，所述基体上形成有与多个所述蓝宝石基片相对应的多个凹槽；将多个所述蓝宝石基片放在相对应的凹槽内；在所述蓝宝石基片上形成感应层。相应地，本发明还提供一种由所述制作方式制作的触摸面板。本发明的制作方法可以提供蓝宝石触摸面板的生产效率。

Description

触摸面板及其制作方法

技术领域

本发明涉及触控技术领域，具体涉及一种触摸面板及触摸面板的制作方法。

背景技术

触摸屏作为一种输入设备，能够方便实现人与计算机及其它便携式移动设备的交互作用，其中基于氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜的电容触摸屏被广泛应用于移动互联设备，如智能手机，便携式平板电脑等。

随着移动互联设备的发展，一种一体化(One Glass Solution，OGS)结构的电容触摸屏被广泛应用，其在高硬度保护玻璃盖板背面直接形成导电和传感电极，用同一块玻璃同时起到触摸保护和触控传感的双重作用。现有触摸屏玻璃盖板均采用钢化有机玻璃，由于其硬度有限，在使用过程中，很容易在面板表面形成划痕。这时，用户往往会选择贴一层聚合物保护膜，然而，保护膜的增加不仅降低了屏幕的透过率，而且其本身也很容易被划伤，直接影响了用户体验。

蓝宝石的硬度远大于普通钢化玻璃，可以抵御日常生活中可接触的所有物体的划伤，此外，由于其介电常数高、导热率高，从而使得触摸屏的触摸更灵敏、设备散热性更好。如将蓝宝石应用于触摸屏替代现有的钢化有机玻璃，在使得设备更具个性化、差异化的同时带来更加优秀的效果。

因此，如何大规模地使用蓝宝石制作触摸面板成为本领域亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种触摸面板的制作方法，从而提高蓝宝石触摸面板的生产效率。

为了实现上述目的，本发明提供一种触摸面板的制作方法，包括：

提供多个蓝宝石基片；

提供载体模具，所述载体模具包括基体，所述基体上形成有与多个所述蓝宝石基片相对应的多个凹槽；

将多个所述蓝宝石基片放在相对应的凹槽内；

在所述蓝宝石基片上形成感应层。

优选地，所述制作方法还包括在所述蓝宝石基片上形成感应层之前进行的：在蓝宝石基片上形成用于粘附感应层的粘附层。

优选地，所述感应层包括氧化铟锡制成的触控电极，所述粘附层包括硅的氮化物膜和/或硅的氧化物膜。

优选地，所述粘附层包括硅的氮化物膜和硅的氧化物膜；

在蓝宝石基片上形成粘附层的步骤包括：

将承载有蓝宝石基片的载体模具放入工艺腔室，向工艺腔室内通入硅烷、氨气和氮气的混合气体，以在所述蓝宝石基片上形成硅的氮化物膜；

向工艺腔室内通入硅烷和一氧化二氮的混合气体，以在所述硅的氮化物膜上形成硅的氧化物膜。

优选地，所述工艺腔室为真空腔室。

优选地，所述制作方法还包括：在所述粘附层上形成遮光件，所述遮光件环绕在所述触摸面板的感应区域周围。

优选地，所述凹槽的长度比设置在该凹槽内的蓝宝石基片的长度大0.05～0.25mm；和/或

所述凹槽的宽度比设置在该凹槽内的蓝宝石基片的宽度大0.05～0.25mm。

优选地，制作载体模具的步骤包括：

提供基体；

利用光刻构图工艺在所述基体上形成与多个所述蓝宝石基片相对应的多个凹槽。

优选地，在所述蓝宝石基片上形成感应层的步骤包括：

在所述蓝宝石基片上形成氧化铟锡膜层；

通过光刻构图工艺在所述氧化铟锡膜层上形成包括多组触控电极的图形。

优选地，每组所述触控电极包括第一电极和第二电极，所述第一电极和第二电极为梳状电极，在每组所述触控电极中，所述第一电极和所述第二电极的梳齿交替设置。

相应地，本发明还提供一种触摸面板，所述触摸面板由上述制作方法制成。

在本发明中，所述载体模具上可以放置多个蓝宝石基片，从而在多个蓝宝石基片上形成感应层，以进行批量处理，从而提高生产效率；另外，形成感应层和遮光件之前，首先在蓝宝石基片上形成粘附层，从而增加感应层和遮光件在蓝宝石基片上的粘附力。

附图说明

附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：

图1是本发明所提供的触摸面板的制作方法的流程示意图；

图2是本发明的实施方式中蓝宝石基片的示意图之一；

图3是本发明的实施方式中蓝宝石基片的示意图之二；

图4是本发明的实施方式中载体模具的俯视图；

图5是图4的AA剖视图；

图6是蓝宝石基片放入凹槽内的俯视图；

图7是图6的BB剖视图；

图8是制作完成后的触摸面板的结构示意图；

图9是感应层上的图形示意图。

其中，附图标记为：1、蓝宝石基片；2、基体；3、凹槽；4、感应层；5、硅的氮化物膜；6、硅的氧化物膜；7、遮光件；8、第一电极；9、第二电极。

具体实施方式

以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。

作为本发明的一方面，提供一种触摸面板的制作方法，如图1所示，包括：

提供多个蓝宝石基片1：具体地，提供多个蓝宝石基片1时可以包括首先对蓝宝石晶腚进行掏棒处理，以掏取出蓝宝石晶棒；然后对蓝宝石晶棒进行切片，得到蓝宝石薄片；并对蓝宝石薄片进行研磨，以使得蓝宝石薄片的表面更加平滑；另外，还可以对蓝宝石薄片进行打孔、边缘处理等工艺，从而形成适用于所需要的形状，如图2和图3所示。

提供载体模具，所述载体模具包括基体，该基体2上形成有与多个蓝宝石基片1相对应的多个凹槽3，如图4和图5所示；

将多个蓝宝石基片1放在相对应的凹槽3内(如图6和图7所示)：具体地，可以利用具有多个吸附口的吸附件对多个蓝宝石基片1进行吸附，并将多个蓝宝石基片1放置在相对应的凹槽3内，从而提高蓝宝石基片1移动过程中的稳定性，且提高生产效率；

在蓝宝石基片1上形成感应层4，如图8所示。

在本发明中，所述载体模具上可以放置多个蓝宝石基片1，从而在多个蓝宝石基片1上形成感应层4，以进行批量处理，从而提高生产效率。且和有机玻璃制作的触摸面板相比，由于蓝宝石的硬度较大，因此在制作过程中，省去了对触摸面板的强化工艺，提高了生产效率。

作为本发明的一种具体实施方式，所述触摸面板的制作方法还包括在蓝宝石基片1上形成感应层4之前进行的：在蓝宝石基片1上形成用于粘附感应层的粘附层。

具体地，所述感应层包括氧化铟锡(ITO)制成的触控电极，所述粘附层包括硅的氮化物(SiN_x)膜5和/或硅的氧化物(SiO_y)膜6，从而增加感应层4在蓝宝石基片1上的附着力。

优选地，如图9所示，所述粘附层包括硅的氮化物膜5和硅的氧化物膜6；形成硅的氮化物膜5和硅的氧化物膜6可以采用化学气相沉积的方法，具体地，在蓝宝石基片1上形成粘附层的步骤可以包括：

将承载有蓝宝石基片1的载体模具放入工艺腔室，向工艺腔室内通入硅烷、氨气和氮气的混合气体，以在蓝宝石基片1上形成硅的氮化物膜5；再向工艺腔室内通入硅烷和一氧化二氮的混合气体，以在硅的氮化物膜1上形成硅的氧化物膜6。

为防止其他气体杂质对工艺过程的影响，所述工艺腔室为真空腔室，且形成硅的氮化物膜后对工艺腔室进行抽真空后，再向工艺腔室通入硅烷、氨气和氮气的混合气体。

在本发明中制作触摸面板时，在触摸面板的感应区域内设置感应层，进一步地，所述制作方法还包括：在所述粘附层上形成遮光件7，该遮光件7环绕在触摸面板的感应区域周围，用于遮挡感应区域周围的引线。和感应层4相同地，遮光件7也形成在粘附层上，从而提高遮光件7在蓝宝石基片上的粘附力。

本发明对遮光件7的材料和形成方式不作限制，例如，遮光件7可以为遮光油墨，通过印刷的方式将遮光油墨印刷在感应区域周围；或者首先在蓝宝石基片1上采用其他方式形成遮光镀膜材料，然后通过光刻构图工艺在所述遮光镀膜材料上形成包括遮光件7的图形。

应当理解的是，制作载体模具的步骤和形成多个蓝宝石基片1的步骤之间的顺序不作限制，且载体模具可以循环使用，在载体模具上的多个蓝宝石基片1上形成感应层4，完成触摸面板的制作后，可以将多个新的蓝宝石基片1放置在相对应的凹槽3内，再次进行形成感应层的步骤。

上述提供载体模具的步骤具体可以包括：

提供基体2：对基体2的材料不作具体限制，例如，基体2可以为玻璃基板。基体的厚度可以在1mm～3mm之间；

利用光刻构图工艺在基体2上形成与多个蓝宝石基片1相对应的凹槽：首先在基体1上形成光刻胶层，干燥后对光刻胶层进行曝光和显影，以除去用于形成凹槽3的位置的光刻胶；然后对基体2进行刻蚀，通过调节刻蚀液的浓度、温度和刻蚀时间的工艺参数，使得未覆盖光刻胶的位置的基体被刻蚀掉一部分，从而形成凹槽，最后除去基体上剩余的光刻胶。凹槽3的长度可以比设置在凹槽3内的蓝宝石基片1的长度大0.05mm～0.25mm，凹槽3的宽度也可以比设置在凹槽3内的蓝宝石基片1的宽度大0.05mm～0.25mm，从而在方便放置蓝宝石基片1的同时，又使得蓝宝石基片上的感应层4的偏移在可接受的范围内。

在基体2上形成凹槽3后，可以对凹槽3进行研磨，以使得凹槽3的底面更加平滑，当蓝宝石基片1的表面和凹槽3的底面都很平滑时，二者之间的接触面会产生一定的吸引力，从而防止蓝宝石基片1在凹槽3内发生偏移。

在本发明中，感应层4由透明导电材料制成，作为一种本发明的具体实施方式，感应层4由氧化铟锡(ITO)制成，在蓝宝石基片1上形成感应层4的步骤具体可以包括：

在蓝宝石基片1上形成氧化铟锡膜层；

通过光刻构图工艺在所述氧化铟锡膜层上形成包括多组触控电极的图形。通过光刻构图工艺形成触控电极的过程与上述形成凹槽的过程类似，即经过光刻胶涂布、曝光、显影、刻蚀、剥离的等工艺完成。

具体地，本发明中的感应层为单层，每组所述触控电极包括第一电极8和第二电极9，第一电极8和第二电极9为梳状电极，在每组所述触控电极中，第一电极8和第二电极9的梳齿交替设置。如图9所示。在形成第一电极和第二电极时，采用一次构图工艺形成，防止使用多个掩膜板出现的对位不准确，提高图形质量。触控电极确定触摸位置的原理为本领域技术人员所公知的，这里不再赘述。

可以理解的是，本发明中将感应层4制作在蓝宝石基片1上，以形成一体化结构的触摸面板，当然也可以用于制作其他结构的触摸面板。

上述为对本发明提供的触摸面板的制作方法的描述，可以看出，本发明制作触摸面板时，使用载体模具同时对多个蓝宝石基片进行处理，从而提高生产效率；另外，形成感应层和遮光件之前，首先在蓝宝石基片上形成粘附层，从而增加感应层和遮光件在蓝宝石基片上的粘附力。

作为本发明的另一方面，提供一种触摸面板，该触摸面板由上述制作方法制成。即，所述触摸面板包括蓝宝石基片和设置在蓝宝石基片上的感应层、触控区域周围的遮光件，进一步地，蓝宝石基片上还设置有硅的氮化物膜和设置在硅的氧化物膜，其中，感应层和遮光件均设置在硅的氧化物膜上，从而增加感应层和遮光件在蓝宝石基片上的附着力，从而提高触摸面板的质量，且由于蓝宝石的硬度较高，因而本发明的触摸面板可以减少面板表面的划伤，避免保护贴膜的使用，提高显示效果。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims

1.一种触摸面板的制作方法，其特征在于，包括：

提供多个蓝宝石基片；

将多个所述蓝宝石基片放在相对应的凹槽内；

在所述蓝宝石基片上形成感应层。

2.根据权利要求1所述的触摸面板的制作方法，其特征在于，所述制作方法还包括在所述蓝宝石基片上形成感应层之前进行的：在蓝宝石基片上形成用于粘附感应层的粘附层。

3.根据权利要求2所述的触摸面板的制作方法，其特征在于，所述感应层包括氧化铟锡制成的触控电极，所述粘附层包括硅的氮化物膜和/或硅的氧化物膜。

4.根据权利要求3所述的触摸面板的制作方法，其特征在于，所述粘附层包括硅的氮化物膜和硅的氧化物膜；

在蓝宝石基片上形成粘附层的步骤包括：

5.根据权利要求4所述的触摸面板的制作方法，其特征在于，所述工艺腔室为真空腔室。

6.根据权利要求2所述的触摸面板的制作方法，其特征在于，所述制作方法还包括：在所述粘附层上形成遮光件，所述遮光件环绕在所述触摸面板的感应区域周围。

7.根据权利要求1至6中任意一项所述的制作方法，其特征在于，所述凹槽的长度比设置在该凹槽内的蓝宝石基片的长度大0.05～0.25mm；和/或

8.根据权利要求1至6中任意一项所述的触摸面板的制作方法，其特征在于，制作载体模具的步骤包括：

提供基体；

9.根据权利要求1至6中任意一项所述的触摸面板的制作方法，其特征在于，在所述蓝宝石基片上形成感应层的步骤包括：

在所述蓝宝石基片上形成氧化铟锡膜层；

10.根据权利要求9所述的触摸面板的制作方法，其特征在于，每组所述触控电极包括第一电极和第二电极，所述第一电极和第二电极为梳状电极，在每组所述触控电极中，所述第一电极和所述第二电极的梳齿交替设置。

11.一种触摸面板，其特征在于，所述触摸面板由权利要求1至10中任意一项所述的制作方法制成。