CN104164700A - 一种提拉法晶体生长热电偶固定系统 - Google Patents

一种提拉法晶体生长热电偶固定系统 Download PDF

Info

Publication number
CN104164700A
CN104164700A CN201410352353.8A CN201410352353A CN104164700A CN 104164700 A CN104164700 A CN 104164700A CN 201410352353 A CN201410352353 A CN 201410352353A CN 104164700 A CN104164700 A CN 104164700A
Authority
CN
China
Prior art keywords
thermocouple
casing pipe
thermal couple
crystal growth
couple casing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201410352353.8A
Other languages
English (en)
Inventor
曾宪林
王昌运
陈伟
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujian Castech Crystals Inc
Original Assignee
Fujian Castech Crystals Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujian Castech Crystals Inc filed Critical Fujian Castech Crystals Inc
Priority to CN201410352353.8A priority Critical patent/CN104164700A/zh
Publication of CN104164700A publication Critical patent/CN104164700A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

本发明公开一种热偶安装固定系统。本发明要解决的问题是既要保证热偶在安装使用过程中不发生松动、摇摆和移位现象,又要解决热电偶使用过程中容易损坏等问题,同时满足热偶安装固定易于标准化、便捷性。本系统由热偶与热偶固定支架组成,所述热偶固定支架由热偶套管、套管固定件、固定立柱和固定销组成。本发明具有结构简单,稳固性好,安装更换方便,热偶不易损坏等优点,适用于提拉法晶体生长领域。

Description

一种提拉法晶体生长热电偶固定系统
技术领域
本发明公开种提拉法晶体生长热电偶固定系统,涉及晶体材料制备领域,特别涉及提拉法晶体生长热偶安装固定系统。
背景技术
目前提法晶体生长常用的热偶安装方式主要有两种:1)采用锆杯装锅方式的YAG晶体生长,热电偶套在两孔刚玉管中,刚玉管搭在锆杯上,依靠上保温罩压紧固定刚玉管;2)采用锆砂填埋方式的YVO4晶体生长,热电偶套在两孔刚玉管中,整根热偶埋在坩埚附近的二氧化锆保温砂中,通过捣实的锆砂固定。(参见发明专利:CN02104314.0)两种方式各有优缺点:方式一具有安装简单方便,更换快捷等优点,但使用过程中由于线圈的振动和上保温罩开裂等影响,热偶容易发生松动、摇摆甚至移位现象,造成测温不准甚至热偶损坏;方式二热偶填埋在紧致的锆砂中,热偶松动、摇摆现象基本杜绝了,但热偶安装固定较繁琐,而且在晶体生长过程中,锆砂在反复升降温后变得更加密实,容易结块,特别是发生爬料现象时,热偶测温头部与结块的锆砂和爬料粘结在一起,容易造成热偶变形甚至损坏。
发明内容
本发明要解决的问题是既要保证热偶在安装使用过程中不发生松动、摇摆和移位现象,又要解决热电偶使用过程中容易损坏等问题,同时满足热偶安装固定易于标准化、便捷性。
为解决上述问题,本发明公开一种热偶安装固定系统, 固定系统包含热偶与热偶固定支架。热偶固定支架由固定立柱(1)、套管固定件(2)、热偶套管(3)和固定销(4)和热偶套管固定螺丝(5)五个部件组成。固定立柱(1)底部有一较长的螺纹孔,用于固定整个安装支架以及调整支架的高度,立柱上部侧面有一通孔,顶部有一小孔贯穿侧通孔,作为固定销孔;热偶套管固定件有一圆槽,用于热偶套管安装,固定销用于将热偶套管固定件(2)与固定立柱(1)紧固。所述热偶可以是铂铑30-铂铑6(B型),铂铑10-铂(S型),铱铑或钨铼热偶。所述热偶套管(2)的材质为非金属陶瓷材料,可以是碳化硅,石英,刚玉或氧化锆,形状可以是两孔、四孔或一端封闭的棒状。所述热偶套管(2)的材质为非金属陶瓷材料,可以是碳化硅,石英,刚玉或氧化锆,形状可以是两孔、四孔或一端封闭的棒状。所述套管固定件(3)的圆槽开口可以全开也可半开,与热偶套管固定时可采用绝缘螺丝旋紧式或绝缘胶布捆绕方式固定。所述固定立柱(1),套管固定件(3),固定销(4)和热偶固定螺丝(5)均为塑料绝缘材质,优选为聚四氟乙烯(PTFE),尼龙(PA)或亚克力(PMMA)等。
附图说明
图1 为本发明热偶固定支架部件图
图2 为本发明的安装固定效果图
图3为本发明的实施应用示意图
图中,1、固定立柱,2、套管固定件,3、热偶套管,4、固定销,5、热偶套管固定螺丝,6、热偶。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明进行详细说明。
先将固定立柱(1)从线圈固定柱顶端旋入,调节至合适高度,热偶(6)从热偶套管(3)穿入,然后将整根热偶套管(3)装入套管固定件(2)的圆槽中,再将套管固定件(2)插入固定立柱(1)的侧面通孔中,将套管固定件(2)的固定孔与立柱顶部的小孔调整到同轴心,嵌入固定销(4),调节热偶测温头与坩埚合适距离后旋紧热偶套管固定螺丝(5),稳妥起见,再用绝缘胶布将热偶套管(3)与套管固定件(2)缠绕几圈,最后将热偶正负极导线同炉内的热偶补偿导线相连,完成热偶安装固定过程。如附图3所示。当晶体生长上炉或下炉时,只需将固定立柱(1)旋转一角度,热偶安装支架可整体旋转,十分便捷。而需更换热偶时,只需将热偶套管取出,穿入新热偶后重新装入即可。

Claims (5)

1.一种提拉法晶体生长热电偶固定系统,包括测温热偶和热偶固定支架,热偶固定支架由固定立柱(1)、热偶套管(2)、套管固定件(3)、固定销(4)和热偶套管固定螺丝(5)五部分组成,其特征在于:固定立柱(1)底部有一较长的螺纹孔,用于固定整个安装支架以及调整支架的高度,立柱上部侧面有一通孔,顶部有一小孔贯穿侧通孔,作为固定销孔;热偶套管固定件有一圆槽,用于热偶套管安装,固定销用于将热偶套管固定件(2)与固定立柱(1)紧固。
2.根据权利要求书1所述的一种提拉法晶体生长热电偶固定系统,其特征在于所述热偶可以是铂铑30-铂铑6(B型),铂铑10-铂(S型),铱铑或钨铼热偶。
3.根据权利要求书1所述的一种提拉法晶体生长热电偶固定系统,其特征在于所述热偶套管(2)的材质为非金属陶瓷材料,可以是碳化硅,石英,刚玉或氧化锆,形状可以是两孔、四孔或一端封闭的棒状。
4.根据权利要求书1所述的一种提拉法晶体生长热电偶固定系统,其特征在于所述套管固定件(3)的圆槽开口可以全开也可半开,与热偶套管固定时可采用绝缘螺丝旋紧式或绝缘胶布捆绕方式固定。
5.根据权利要求书1所述的一种提拉法晶体生长热电偶固定系统,其特征在于所述固定立柱(1),套管固定件(3),固定销(4)和热偶固定螺丝(5)均为塑料绝缘材质,优选为聚四氟乙烯(PTFE),尼龙(PA)或亚克力(PMMA)。
CN201410352353.8A 2014-07-24 2014-07-24 一种提拉法晶体生长热电偶固定系统 Pending CN104164700A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410352353.8A CN104164700A (zh) 2014-07-24 2014-07-24 一种提拉法晶体生长热电偶固定系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410352353.8A CN104164700A (zh) 2014-07-24 2014-07-24 一种提拉法晶体生长热电偶固定系统

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN104164700A true CN104164700A (zh) 2014-11-26

Family

ID=51908679

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201410352353.8A Pending CN104164700A (zh) 2014-07-24 2014-07-24 一种提拉法晶体生长热电偶固定系统

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN104164700A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107976260A (zh) * 2017-11-08 2018-05-01 德淮半导体有限公司 热电偶结构及其形成方法

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20040044005A (ko) * 2002-11-20 2004-05-27 주식회사 포스코 연주 주형내 티형 열전대
CN2755536Y (zh) * 2003-10-14 2006-02-01 武东胜 热电偶检定装炉设备
CN2854539Y (zh) * 2005-12-09 2007-01-03 英业达股份有限公司 热电偶夹持装置
CN201532371U (zh) * 2009-11-13 2010-07-21 宝钢集团新疆八一钢铁有限公司 轨道式冶金熔渣熔化温度、熔速、析晶温度测定装置
CN102359826A (zh) * 2011-09-21 2012-02-22 江苏新华机电设备制造有限公司 拉晶炉的热电偶固定结构
CN202643882U (zh) * 2012-06-05 2013-01-02 湖南红太阳光电科技有限公司 一种多晶铸锭炉热电偶装置
CN102912415A (zh) * 2012-10-23 2013-02-06 宁夏日晶新能源装备股份有限公司 多晶硅铸锭炉测温装置
CN202786336U (zh) * 2012-09-27 2013-03-13 贵州航天计量测试技术研究所 一种升降式贵金属热电偶退火装置
CN202974479U (zh) * 2012-11-19 2013-06-05 昱成光能股份有限公司 测温装置
CN203163888U (zh) * 2013-03-19 2013-08-28 慈溪市桥头思域工业产品设计室 一种制管机预热头热电偶支架
CN103940252A (zh) * 2014-04-28 2014-07-23 北京七星华创电子股份有限公司 用于测量立式炉温度的热偶升降装置
CN203976972U (zh) * 2014-07-24 2014-12-03 福建福晶科技股份有限公司 一种提拉法晶体生长热电偶固定系统

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20040044005A (ko) * 2002-11-20 2004-05-27 주식회사 포스코 연주 주형내 티형 열전대
CN2755536Y (zh) * 2003-10-14 2006-02-01 武东胜 热电偶检定装炉设备
CN2854539Y (zh) * 2005-12-09 2007-01-03 英业达股份有限公司 热电偶夹持装置
CN201532371U (zh) * 2009-11-13 2010-07-21 宝钢集团新疆八一钢铁有限公司 轨道式冶金熔渣熔化温度、熔速、析晶温度测定装置
CN102359826A (zh) * 2011-09-21 2012-02-22 江苏新华机电设备制造有限公司 拉晶炉的热电偶固定结构
CN202643882U (zh) * 2012-06-05 2013-01-02 湖南红太阳光电科技有限公司 一种多晶铸锭炉热电偶装置
CN202786336U (zh) * 2012-09-27 2013-03-13 贵州航天计量测试技术研究所 一种升降式贵金属热电偶退火装置
CN102912415A (zh) * 2012-10-23 2013-02-06 宁夏日晶新能源装备股份有限公司 多晶硅铸锭炉测温装置
CN202974479U (zh) * 2012-11-19 2013-06-05 昱成光能股份有限公司 测温装置
CN203163888U (zh) * 2013-03-19 2013-08-28 慈溪市桥头思域工业产品设计室 一种制管机预热头热电偶支架
CN103940252A (zh) * 2014-04-28 2014-07-23 北京七星华创电子股份有限公司 用于测量立式炉温度的热偶升降装置
CN203976972U (zh) * 2014-07-24 2014-12-03 福建福晶科技股份有限公司 一种提拉法晶体生长热电偶固定系统

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107976260A (zh) * 2017-11-08 2018-05-01 德淮半导体有限公司 热电偶结构及其形成方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8500905B2 (en) Kyropoulos sapphire single crystal growing apparatus using elliptic crucible
WO2017209376A3 (ko) 탄화규소 단결정 잉곳의 성장장치 및 그 성장방법
JP2012513950A5 (zh)
CN104164700A (zh) 一种提拉法晶体生长热电偶固定系统
CN106048713A (zh) 一种碳化硅溶液法中实时监测并调整固液界面高度的方法
CN203976972U (zh) 一种提拉法晶体生长热电偶固定系统
JP6367469B2 (ja) シードチャックおよびこれを含むインゴット成長装置
KR20100085470A (ko) 테일 공정이 개선된 단결정 성장 방법 및 이를 위한 단결정성장장치
CN104790025A (zh) 氟化镁单晶镀膜材料的制备装置及制备工艺
JP2011140421A5 (zh)
CN207779586U (zh) 用于富水地区地源热泵系统的地温测量装置
CN203007472U (zh) 长晶炉
JP4930488B2 (ja) 単結晶直径の検出方法、及びこれを用いた単結晶の製造方法、並びに単結晶製造装置
KR101392239B1 (ko) 잉곳 성장장치 리플렉터의 스케일로드
CN204854335U (zh) 一种用于甩带炉中感应熔炼测温的石墨坩埚装置
CN207570431U (zh) 一种用于单晶炉热场安装快速校正工具
CN202610382U (zh) 用于直拉法制备单晶硅的籽晶夹持器
KR101600378B1 (ko) 결정성장장치
KR101186751B1 (ko) 멜트갭 제어장치, 이를 포함하는 단결정 성장장치
CN206089884U (zh) 一种泡生法蓝宝石晶体生长炉发热体结构
CN208949446U (zh) 一种单晶炉用电极结构
CN205653538U (zh) 多晶硅铸锭炉长晶速度自动测量装置
CN203420010U (zh) 温控蓝宝石生长炉
JP2011195375A (ja) 単結晶成長方法および装置
CN208455115U (zh) 一种单晶炉电极装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
EXSB Decision made by sipo to initiate substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20141126

WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication