CN103956437A - 一种用于制造oled显示屏的封装装置和方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 28
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 title claims abstract description 22
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 17
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims abstract description 36
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 31
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims abstract description 27
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 27
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 23
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 22
- 239000003292 glue Substances 0.000 claims description 23
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 15
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 10
- 238000012856 packing Methods 0.000 claims description 6
- 239000013589 supplement Substances 0.000 claims description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 abstract description 13
- 230000007704 transition Effects 0.000 abstract description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 238000005429 filling process Methods 0.000 description 3
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 2
- 239000008246 gaseous mixture Substances 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67126—Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K50/844—Encapsulations
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
- H10K59/87—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K59/873—Encapsulations
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
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Abstract
一种用于制造OLED显示屏的封装装置，包括填充腔、过渡腔和手套箱，所述手套箱内置于填充腔中，填充OLED胶材，在过渡腔中内置用于填充胶材的胶管，所述过渡腔和填充腔之间通过隔离盖相阻隔，其中，在过渡腔内增设有安全防护盖，所述安全防护盖位于所述隔离盖下方，所述填充胶管置于安全防护盖下的过渡腔内。所述封装装置增设安全防护盖，将填充胶管内置于安全防护盖与外盖之间，安全防护盖与隔离盖之间具有一定间距，通过安全防护盖的触碰传感器对填充胶管的位置进行感测，若填充胶管被安全防护盖夹住时，通过报警提示重新调整填充胶管的位置，安全防护盖起到双重防护，有效防止隔离盖关闭不严现象，避免因水氧值过高而对填充胶材造成的污染。
Description
技术领域
本发明涉及一种液晶显示屏的封装装置和方法，尤其是指一种用于制造OLED显示屏的封装装置和方法。
背景技术
近些年，OLED技术发展迅猛，大有取代传统LCD之势，大量科研人员围绕OLED相关技术进行研发，而作为OLED技术关键技术之一的封装技术也成为研究热点之一。
因为OLED材料的特殊光电性能需要在维持在较低水氧环境之下，尤其在封装的涂布贴合工艺环节，如填充腔机台进行台阶铸型和胶材填充过程中，需要在严格的水氧环境下进行（一般在10PPM以下），而机台不能经常开腔作业，一是破坏了水氧环境不易恢复，二是会造成填充材料的浪费，三是耗费了保护气体，因此，在不开腔情况下而进行手套箱和过渡腔的配合操作显得十分必要。
过渡腔是连接填充腔与大气环境的过渡腔，在不需要开启填充腔的条件下，用来进行胶材等物品的取放操作，需配合手套箱完成。但因填充腔内视线容易被阻挡，手套箱操作也不够灵巧，常易于发生胶材等物品被过渡腔的隔离盖夹住等误操作。一旦发生该状况，轻则需开腔检查，重则因过渡腔不断抽气致使填充腔内出现负压而导致宕机，从而影响研发及生产进度。因此，对过渡腔的结构配件进行改进显得极为必要。
发明内容
基于现有技术的不足，本发明的主要目的在于提供一种可有效降低水氧值、避免因过渡腔的误操作对填充腔的干扰，提高胶材的填充精度和效率的用于制造OLED显示屏的封装装置和方法。
本发明提供了一种用于制造OLED显示屏的封装装置，包括填充腔、过渡腔和手套箱，所述手套箱内置于填充腔中，填充OLED胶材，在过渡腔中内置用于填充胶材的胶管，所述过渡腔和填充腔之间通过隔离盖相阻隔，其中，在过渡腔内增设有安全防护盖，所述安全防护盖位于所述隔离盖下方，所述填充胶管置于安全防护盖下的过渡腔内。
优选地，所述安全防护盖与隔离盖之间的间距为4-8cm。在所述安全防护盖上设有触碰传感器，用于测定安全防护盖的关闭是否紧密；在过渡腔和填充腔内壁上布设有若干个压力传感器和水氧传感器，用于测定过渡腔和填充腔的压力值和水氧值，根据两腔之间的压力差值和水氧差值来判定安全防护盖是否可开启。
优选地，所述过渡腔的侧壁设有凸台，所述安全防护盖置放于凸台上。通过凸台支撑安全防护盖，使其可顺畅地开启和关闭。
优选地，在过渡腔和填充腔之间设有连通管，所述过渡腔的侧壁设有抽真空阀门和进出气阀门，通过抽真空阀门对过渡腔和填充腔的腔室进行抽真空，通过进出气阀门将惰性气体充入其中。
本发明还提供了一种用于制造OLED显示屏的封装方法，其包括以下步骤：
步骤1）打开过渡腔的外盖，将待更换的胶管取出，将新胶管置入过渡腔中，关闭过渡腔的安全防护盖和隔离盖；
步骤2）通过抽真空阀门对过渡腔和填充腔抽真空，然后通过进出气阀门向过渡腔充入惰性气体，惰性气体通过连通管充入填充腔中，当过渡腔和填充腔中的压力差小于3000pa，且水氧差值小于10ppm时，则开启安全防护盖和隔离盖，通过胶管向手套箱补充胶材；
步骤3）填充完毕后，关闭隔离盖和安全防护盖，填充胶材制造OLED显示屏。
与现有技术相比，本发明一种用于制造OLED显示屏的封装装置在填充腔内增设安全防护盖，将填充胶管内置于安全防护盖与外盖之间，安全防护盖与隔离盖之间具有一定间距，通过安全防护盖的触碰传感器对填充胶管的位置进行感测，若填充胶管被安全防护盖夹住时，通过报警提示重新调整填充胶管的位置，这样，可避免填充胶管摆放不正，而被隔离盖所夹住，造成填充腔关闭不严而产生的宕机等现象，安全防护盖起到双重防护，防止更换填充胶管时，其被隔离盖所夹，有效防止隔离盖关闭不严而产生持续抽真空、报警、漏气、水气和氧气增加等现象，避免因水氧值过高而对填充胶材造成的污染，有效地控制填充腔中的水氧值环境，对所填充的胶材和内部精密设备起到一定的保护作用。
附图说明
图1为本发明一种用于制造OLED显示屏的封装装置的结构示意图；
图2为本发明一种用于制造OLED显示屏的封装装置的安全防护盖的示意图。
具体实施方式
由于OLED材料的特殊光电性能需要维持在较低的水氧环境下，尤其在封装的涂布贴合工艺环节时，如采用多腔室分注器的机台对OLED显示屏进行台阶铸型和胶材填充过程中，对水氧环境的要求精度更高，需要控制在10ppm以下，为了控制OLED显示屏制造时的水氧值，提高工艺精度，本发明对制造OLED显示屏的封装装置进行了改良，提供了一种可防止隔离盖不能正常开合而造成水氧值降低的封装装置。
参照图1所示，本发明一种用于制造OLED显示屏的封装装置，包括过渡腔1、填充腔2和手套箱3，所述手套箱3内置于填充腔2中，通过过渡腔1向手套箱3中鼓入OLED胶材。在过渡腔1中内置填充胶管10，所述过渡腔1和填充腔2之间通过隔离盖12相阻隔，在过渡腔1中增设有安全防护盖14，所述安全防护盖14位于所述隔离盖12下方，所述填充胶管10置于安全防护盖14下的过渡腔1内。
其中，过渡腔1为一个可闭合的腔体，其具有隔离盖12、安全防护盖14和外盖16，所述隔离盖12设于过渡腔1和填充腔2之间，用于将过渡腔1和填充腔2之间相互隔离，控制填充腔2中的水氧环境，避免外部空气进入对填充腔2造成干扰。安全防护盖14设置于隔离盖12的下方，置于过渡腔1之中，与安全防护盖14相互平行，其宽度与隔离盖12的宽度相当，其与隔离盖12之间设有一定的间隙，优选地，所述安全防护盖14与隔离盖12之间的间距为4-8cm，在本实施例中，所述间隙为5cm。所述外盖16设于隔离盖12相对的另一侧。所述填充胶管10置于安全防护盖14与外盖16之间，即置于安全防护盖14下的过渡腔1内，以防止在关闭隔离盖12时，被隔离盖12所夹住而造成报警，甚至宕机的状况。
在所述安全防护盖14上设有触碰传感器140，其设于安全防护盖14的两侧下方，当安全防护盖14在关闭过程中，若其夹住填充胶管10或其他物品时，安全防护盖14无法紧闭，这时触碰传感器140驱动报警装置报警，以向操作人员提示安全防护盖14未紧闭，并重新调整填充胶管10的位置，将安全防护盖14重新关闭。
参照图2所示，所述过渡腔1的侧壁102设有凸台102a，所述安全防护盖14平放于凸台102a上。通过凸台102a支撑和托起安全防护盖14。在过渡腔1和填充腔2之间设有连通管40，通过连通管40实现气体流通，可将过渡腔1导入填充腔2中。另外，所述过渡腔1的侧壁设有抽真空阀门42和进出气阀门44，通过抽真空阀门42对过渡腔1和填充腔2的腔室进行抽真空，通过进出气阀门44将惰性气体充入其中。所述惰性气体优选为氮气和氢气的混合气，其中，混合气中含有5%的氮气和95%的氢气。
在过渡腔1和填充腔2内壁上布设有若干个压力传感器和水氧传感器，通过压力传感器多方位地测定腔室内的气体压力值，通过水氧传感器多方位地测定腔室内的水氧值。在本发明中，当过渡腔1和填充腔2之间的压力差小于3000pa，且水氧差值小于10ppm时，过渡腔1和填充腔2之间的隔离盖12可打开相通，两个腔室之间的压力条件和水氧值相当时，填充胶管10可伸入手套箱3中进行胶材填充。
本发明提供了一种用于制造OLED显示屏的封装方法，其包括以下步骤：
步骤1）打开过渡腔的外盖，将待更换的胶管取出，将新胶管置入过渡腔中，关闭过渡腔的安全防护盖和隔离盖；
步骤2）通过抽真空阀门对过渡腔和填充腔抽真空，然后通过进出气阀门向过渡充入惰性气体，惰性气体通过连通管充入填充腔中，当过渡腔和填充腔中的压力差小于3000pa，且水氧差值小于10ppm时，则开启安全防护盖和隔离盖，通过胶管向手套箱补充胶材；当安全防护盖关闭过程中未能合拢闭合时，则安全防护盖上的触碰传感器发出警报；
步骤3）填充完毕后，关闭隔离盖和安全防护盖，填充胶材制造OLED显示屏。
在OLED胶材填充过程中，首先，将过渡腔的外盖开启，放入新的填充胶管，关闭外盖，通过抽真空阀门对过渡腔抽真空处理，通过连通管填充腔中的空气导出，使得过渡腔和填充腔都处于真空状态；然后，通过进出气阀门向过渡腔鼓入惰性气体，惰性气体通过连通管导入填充腔中，使得过渡腔和填充腔中均充满了惰性气体；经过多次抽真空和惰性气体的充入操作，控制两腔室内的水氧值。当两腔室之间的压力差值和水氧差值小于一定值时，启动安全防护盖和隔离盖，将填充胶材引入手套箱中，对胶材进行补充。这样，既可避免填充胶管或无纺布等耗材在更换过程中，因隔离盖的误夹而造成漏气等现象。在过渡腔中的耗材的更换和位置调整，不会对填充腔的环境造成影响，减少填充腔的开腔次数，有效地减少惰性气体的损耗，对所填充的胶材和手套箱中的精密仪器起到一定的保护作用。
Claims (10)
1.一种用于制造OLED显示屏的封装装置，包括填充腔、过渡腔和手套箱，所述手套箱内置于填充腔中，填充OLED胶材，在过渡腔中内置用于填充胶材的胶管，所述过渡腔和填充腔之间通过隔离盖相阻隔，其特征在于：在过渡腔内增设有安全防护盖，所述安全防护盖位于所述隔离盖下方，所述填充胶管置于安全防护盖下的过渡腔内。
2.根据权利要求1所述的用于制造OLED显示屏的封装装置，其特征在于：在所述安全防护盖上设有触碰传感器。
3.根据权利要求2所述的用于制造OLED显示屏的封装装置，其特征在于：所述过渡腔的侧壁设有凸台，所述安全防护盖置放于凸台上。
4.根据权利要求1所述的用于制造OLED显示屏的封装装置，其特征在于：所述安全防护盖与隔离盖之间的间距为4-8cm。
5.根据权利要求2所述的用于制造OLED显示屏的封装装置，其特征在于：在过渡腔和填充腔之间设有连通管。
6.根据权利要求5所述的用于制造OLED显示屏的封装装置，其特征在于：所述过渡腔的侧壁设有抽真空阀门和进出气阀门，通过抽真空阀门对过渡腔和填充腔进行抽真空，通过进出气阀门将惰性气体充入其中。
7.根据权利要求1所述的用于制造OLED显示屏的封装装置，其特征在于：在过渡腔和填充腔内壁上布设有若干个压力传感器和水氧传感器。
8.一种用于制造OLED显示屏的封装方法，其特征在于包括以下步骤：
步骤1）打开过渡腔的外盖，将待更换的胶管取出，将新胶管置入过渡腔中，关闭过渡腔的安全防护盖和隔离盖；
步骤2）通过抽真空阀门对过渡腔和填充腔抽真空，然后通过进出气阀门向过渡腔充入惰性气体，惰性气体通过连通管充入填充腔中，当过渡腔和填充腔中的压力差小于3000pa，且水氧差值小于10ppm时，则开启安全防护盖和隔离盖，通过胶管向手套箱补充胶材；
步骤3）填充完毕后，关闭隔离盖和安全防护盖，填充胶材制造OLED显示屏。
9.根据权利要求8所述的用于制造OLED显示屏的封装方法，其特征在于：当安全防护盖关闭过程中未能合拢闭合时，则安全防护盖上的触碰传感器发出警报。
10.根据权利要求8所述的用于制造OLED显示屏的封装方法，其特征在于：所述安全防护盖与隔离盖之间的间距为4-8cm。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201410033547.1A CN103956437B (zh) | 2014-01-23 | 2014-01-23 | 一种用于制造oled显示屏的封装装置和方法 |
| PCT/CN2014/071428 WO2015109547A1 (zh) | 2014-01-23 | 2014-01-24 | 一种用于制造oled显示屏的封装装置及方法 |
| US14/647,103 US9711753B2 (en) | 2014-01-23 | 2014-01-24 | Packaging device and method for manufacturing the OLED display screen |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201410033547.1A CN103956437B (zh) | 2014-01-23 | 2014-01-23 | 一种用于制造oled显示屏的封装装置和方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN103956437A true CN103956437A (zh) | 2014-07-30 |
| CN103956437B CN103956437B (zh) | 2016-01-06 |
Family
ID=51333686
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201410033547.1A Active CN103956437B (zh) | 2014-01-23 | 2014-01-23 | 一种用于制造oled显示屏的封装装置和方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
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| US (1) | US9711753B2 (zh) |
| CN (1) | CN103956437B (zh) |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN103956437B (zh) | 2016-01-06 |
| WO2015109547A1 (zh) | 2015-07-30 |
| US9711753B2 (en) | 2017-07-18 |
| US20160322596A1 (en) | 2016-11-03 |
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