CN103955043A - 一种用于大尺寸光栅安装测试的五维高精度平台 - Google Patents

Abstract

一种用于大尺寸光栅安装测试的五维高精度平台，属于高精度调整装置技术领域。为解决现有大尺寸光栅安装测试平台受中心高限制无法实现五维调整，以及现有四维调整装置整体刚度低、稳定性差问题。两个x轴光电接近开关通过两个x轴光电接近开关座与平动底座固接，十字交叉导轨组件的两根长导轨固定于平动底座上，内侧滑座组件固定于十字交叉导轨组件的四个十字滑块之间，x轴平动驱动组件的x轴滚珠丝杠螺母固定在内侧滑座组件的滑座基体内，y轴平动驱动组件与绕x、y、z轴旋转组件及内侧滑座组件固接，绕x、y、z轴旋转组件与十字交叉导轨组件的两根短导轨固接，光栅安装组件与绕x、y、z轴旋转组件固接。本发明用于大尺寸光栅安装测试。

Description

一种用于大尺寸光栅安装测试的五维高精度平台

技术领域

本发明涉及一种用于光栅安装测试的五维高精度平台，属于高精度调整装置技术领域。 

背景技术

高精度大尺寸光栅是一种精密的KDP晶体分光元件，是高能激光脉冲装置的核心部件元件，光栅面积的需求己达到了米级甚至更大。高能短脉冲激光装置是实现惯性约束聚变快点火的必要工具，各光栅需要调整其相对位置来实现高能短脉冲，因此，需要能够实现其相对位置关系精确调整和姿态调整的安装平台。该装置同时需要调整五个自由度，满足中心高的要求，并且具有足够的刚度和极高定位精度，以及良好的总体稳定性。 

高精度安装平台涉及精密机械设计、微递给机构等多个学科，是激光核聚变领域中十分重要的关键技术。发明人前期对拼接光栅姿态调整装置进行过相关研究，并拥有专利号为2L201110080207·0、授权公告日为2011年08月17日、授权公告号为CN102156340A、名称为《拼接光栅的高精密位姿调整装置》的发明专利(下称该专利)；以及申请号为CN201310126855·4、公开日为2013年7月10日、公开号为CN103197397A、名称为《一种用于光栅拼接的整体四维高精度调整装置》的发明专利申请(下称该专利申请)。 

在该专利中采用的是滚动直线导轨和圆弧导轨作为支撑，在驱动部分采用弹簧分离式结构，整体的稳定性、刚度以及驱动刚度都受到影响，只能实现四维调整；在该专利申请中，平动采用滚动导轨支撑，旋转运动通过回转轴和高精度轴承来实现，驱动部分采用了弹性钢片式结构，整体的稳定性、刚度以及驱动刚度都有所提高。但对于大尺寸光栅来说，要求安装平台中心高小于330mm，绕y轴调整精度需要达到0.05角秒，并且需要实现五维运动，而这些要求都是现有技术无法实现的，因此需要设计一种全新的光栅安装调整装置。 

发明内容

本发明的目的是为了解决现有大尺寸光栅安装测试平台受中心高限制无法实现五维调整，以及现有四维调整装置整体刚度低、稳定性差的问题，递而提供一种具有较高的调整精度和整体稳定性的用于大尺寸光栅安装测试的五维高精度平台。 

本发明采取的技术万案是:一种用于大尺寸光栅安装测试的五维高精度平台，它包括平动组件、光栅安装组件以及绕x、y、z轴旋转组件，所述的平动组件包括平动底座、x轴 平动驱动组件、y轴平动驱动组件、十字交叉导轨组件、内侧滑座组件、x轴光电接近开关一、x轴光电接近开关座一、x轴光电接近开关二及x轴光电接近开关座二； 

所述的平动底座为长万形平动底座，所述的x轴光电接近开关一通过x轴光电接近开关座一与平动底座一端固接，所述的x轴光电接近开关二通过x轴光电接近开关座二与平动底座另一端固接；所述的十字交叉导轨组件的两根长导轨平行于平动底座长边固定于平动底座上表面，所述的内侧滑座组件水平设置在平动底座上万，且内侧滑座组件固定设置在十字交叉导轨组件的四个十字滑块之间，所述的x轴平动驱动组件与平动底座上表面固接，x轴平动驱动组件的x轴滚珠丝杠螺母固定在内侧滑座组件的滑座基体内，所述的y轴平动驱动组件通过y轴平动调整电机座与绕x、y、z轴旋转组件的转动托板固接；所述的y轴平动驱动组件通过y轴平动连接弯板与所述的内侧滑座组件固接，所述的绕x、y、z轴旋转组件设置于平动组件上，且绕x、y、z轴旋转组件的转动托板与十字交叉导轨组件的短导轨一和短导轨二固接；所述的光栅安装组件设置于绕x、y、z轴旋转组件上，且光栅安装组件的光栅安装板与绕x、y、，轴旋转组件的零件托板二上表面固接。 

本发明的有益效果在于:本发明实现了大尺寸光栅安装测试平台的五个自由度的复合调整，所述的五个自由度分别是绕x轴旋转、绕y轴旋转、绕z轴旋转、x轴平动、y轴平动。本发明解决了光栅安装测试平台中心高度受限的问题，并可使本发明的光栅安装测试平台中心高控制在330mm以内。同时，绕y轴旋转采用宏微结合的驱动万式，获得了较高的分辨率，其分辨率可达到0.02角秒，各个自由度采用电机、滚珠丝杠和滚动导轨相结合或者螺旋丝杆升降机的驱动万式，，轴旋转采用旋转轴和高精度轴承来实现，x轴旋转和y轴旋转采用高精度球面轴承三点支撑来实现，并且x轴旋转和y轴旋转互不干涉，x、，轴旋转精度可达10角秒，y轴旋转精度可达0·05角秒，x、y轴平动精度可达10微米。本发明具有结构紧凑、调整精度高和稳定性强等优点，机构中的电磁制动器和光电接近开关等停止、限位机构，安个性强。因此，本发明可以实现大尺寸光栅五维的高精度位置姿态调整。 

附图说明

图1是本发明的用于大尺寸光栅安装测试的五维高精度平台的三维视图； 

图2是平动组件1的总体结构三维视图； 

图3是y轴平动驱动组件5的士视图； 

图4是x轴平动驱动组件4的三维视图； 

图5是绕x、y、z轴旋转组件2的三维视图； 

图6是绕x、y、z轴旋转组件2过z旋转轴53的旋转轴线的主剖视图； 

图7是x轴旋转驱动组件47的三维视图； 

图8是y轴旋转驱动组件50的三维视图； 

图9是辅助艾承组件一55或辅助艾承组件二55-1的主视图； 

图10是x轴丝杆过渡连接组件70的主剖视图； 

图11是压电陶瓷驱动组件69的主视图； 

图12是光栅安装组件3的三维视图； 

图13是z轴旋转驱动组件49的主视图。 

图中的零部件名称及标号如下: 

平动组件1；绕x、y、z轴旋转组件2；光栅安装组件3；x轴平动驱动组件4；y轴平动驱动组件5；十字交叉导轨组件6；内侧滑座组件7；平动底座8；y轴平动连接弯板9；z轴电机托框1O；x轴光电接近开关一1l；x轴光电接近开关座一12；x轴光电接近开关二13；x轴光电接近开关座二14；十字滑块一15；十字滑块二15-1；十字滑块三15-2；十字滑块四15-3；短导轨一16；短导轨二16-1；长导轨一17；长导轨二17-1；滑座基体18；滑座调整连片19；滑座连片二20；滑座连片一20-1；滑座连片四21；滑座连片三21-1；滑座连片五22；x轴平动步进电机23；x轴平动减速器24；x轴平动联轴器25；x轴平动轴承座一26；x轴平动调整电机座27；x轴滚珠丝杠螺母28；x轴滚珠丝杠2g；x轴平动轴承座二30；x轴电磁制动器31；y轴平动步进电机32；y轴平动减速器33；y轴平动联轴器34；y轴平动轴承座一35；y轴滚珠丝杠螺母36；y轴滚珠丝杠37；y轴平动调整电机座38；y轴电磁制动器39；y轴平动轴承座二40；y轴光电接近开关一41；y轴光电接近开关二41-l；y轴光电开关座一42；y轴光电开关座二42-1；零件托板二43；零件托板一44；零件托板三45；转动托板46；x轴旋转驱动组件47；，轴驱动弯板48；，轴旋转驱动组件49；y轴旋转驱动组件50；支撑轴组件一51；支撑轴组件二51-1；支撑轴组件三51-2；支撑轴组件四51-3；，旋转轴53；辅助支承组件一55；辅助支承组件二55-1；角接触轴承压环56；角接触轴承端盖57；角接触背对背轴承58；y轴旋转步进电机59；y轴旋转联轴器60；y轴旋转电机座61；y轴涡轮丝杆升降机62；y轴涡轮丝杆升降机托板63；y轴旋转电磁制动器支座64；y轴旋转电磁制动器65；y轴升降螺母67；y轴转动连杆68；压电陶瓷驱动组件69；x轴丝杆过渡连接组件70；y轴旋转减速器71；压电陶瓷72；驱动 钢球73；锥孔螺钉74；压电陶瓷螺钉75；柔性铰链76；锁紧螺钉77；支撑螺钉78；x轴驱动球面轴承套79；x轴丝杆升降机连接套80；x轴驱动球面轴承81；x轴转动连杆82；x轴升降螺母83；x轴旋转电磁制动器85；x轴旋转电磁制动器支座86；x轴涡轮丝杆升降机87；x轴涡轮丝杆升降机托板88；x轴旋转联轴器89；x轴旋转电机座9O；x轴旋转步进电机91；x轴旋转减速器92；支撑轴97；球面轴承98；圆柱轴环99；圆柱轴环套100；支撑滚动导轨一101；支撑滚动导轨二102；导轨转接板103；吊装板104；光栅安装板105；大尺寸光栅106；光栅罩107；吊环108；聚氯四氟乙烯挡板一109；聚氯四氟乙烯挡板二109-1；锁紧板一110；锁紧板二110-1；连接柱111；聚氯四氟乙烯挡块一112；聚氯四氟乙烯挡块二112-1；聚氯四氟乙烯挡块三113；聚氯四氟乙烯挡块四113-1；z轴旋转步进电机114；z轴旋转减速器115；z轴旋转电机座116；z轴旋转联轴器117；z轴旋转轴承座118；，轴旋转滚珠丝杠119；，轴旋转滚珠丝杠螺母120；，轴旋转驱动钢片压板121；，轴旋转驱动钢片夹板一122；z轴旋转驱动钢片123；z轴旋转驱动钢片夹板二124；z轴旋转推板125；z轴旋转调整锁紧板126；z轴旋转调整锁紧垫板127；，轴旋转基座128；，轴旋转平面托板129；z轴旋转滚动导轨130；y轴丝杆过渡连接组件131；y轴驱动球面轴承套132；y轴丝杆升降机连接套133；y轴驱动球面轴承134。 

具体实施方式

下面将结合附图对本发明做进一步的详细说明:本实施方式在以本发明技术方案为前提下进行实施，但本发明的保护范围不限于下述实施方式。 

具体实施方式一:如图1、图2、图5及图12所示，本实施方式所涉及的一种用于大尺寸光栅安装测试的五维高精度平台，它包括平动组件1、光栅安装组件3以及绕x、y、z轴旋转组件2，所述的平动组件1包括平动底座8、x轴平动驱动组件4、y轴平动驱动组件5、十字交叉导轨组件6、内侧滑座组件7、x轴光电接近开关一1l、x轴光电接近开关座一12、x轴光电接近开关二13及x轴光电接近开关座二14； 

所述的平动底座8为长方形平动底座，所述的x轴光电接近开关一11通过x轴光电接近开关座一12与平动底座8一端固接，所述的x轴光电接近开关二13通过x轴光电接近开关座二14与平动底座8另一端固接；所述的十字交叉导轨组件6的两根长导轨平行于平动底座8长边固定于平动底座8上表面，所述的内侧滑座组件7水平设置在平动底座8上万，且内侧滑座组件7固定设置在十字交叉导轨组件6的四个十字滑块之间，所述的x轴平动驱动组件4与平动底座8上表面固接，x轴平动驱动组件4的x轴滚珠丝杠螺母28固 定在内侧滑座组件7的滑座基体18内，所述的y轴平动驱动组件5通过y轴平动调整电机座38与绕x、y、z轴旋转组件2的转动托板46固接；所述的y轴平动驱动组件5通过y轴平动连接弯板9与所述的内侧滑座组件7固接，所述的绕x、y、z轴旋转组件2设置于平动组件1上，且绕x、y、z轴旋转组件2的转动托板46与十字交叉导轨组件6的短导轨一16和短导轨二16-1固接，这样可以实现x、y万向的平动；所述的光栅安装组件3设置于绕x、y、，轴旋转组件2上，且光栅安装组件3的光栅安装板105与绕x、y、，轴旋转组件2的零件托板二43上表面固接。 

具体实施万式二:如图1、图2和图4所示，具体实施方式一所述的一种用于大尺寸光栅安装测试的五维高精度平台，所述的x轴平动驱动组件4包括x轴平动调整电机座27、x轴平动步进电机23、x轴平动减速器24、x轴平动联轴器25、x轴滚珠丝杠螺母28、x轴滚珠丝杠2g、x轴平动轴承座一26、x轴平动轴承座二30及x轴电磁制动器31；所述的x轴平动步进电机23通过x轴平动减速器24与x轴平动调整电机座27固接，所述的x轴滚珠丝杠29一端通过x轴平动轴承座一26支撑，所述的x轴平动轴承座一26与x轴平动调整电机座27上表面固接，x轴滚珠丝杠29所述的一端与x轴平动减速器24的轴端之间通过x轴平动联轴器25连接，x轴滚珠丝杠29另一端与x轴平动轴承座二30配合安装，所述的x轴电磁制动器31内环与x轴滚珠丝杠29所述的另一端相连，x轴电磁制动器31外环与x轴平动轴承座二30固接，所述的x轴滚珠丝杠螺母28与x轴滚珠丝杠29旋接，x轴平动驱动组件4通过x轴平动调整电机座27和x轴平动轴承座二30与所述的平动底座8上表面固接。选用步距角1.8°的8位步进电机，采用1:10减速比的减速器，输出扭矩可达40Nm，滚珠丝杠螺距l0mm，行程为1100mm，可以实现的最小分辨率为6.25μm，采用光电开关和电磁制动器实现限位防护。 

具体实施方式三:如图1-图3所示，具体实施方式二所述的一种用于大尺寸光栅安装测试的五维高精度平台，所述的y轴平动驱动组件5包括y轴平动调整电机座38、y轴平动步进电机32、y轴平动减速器33、y轴平动联轴器34、y轴滚珠丝杠37、y轴滚珠丝杠螺母36、y轴平动轴承座一35、y轴平动轴承座二40、y轴电磁制动器39、y轴平动连接弯板g、y轴光电开关座一42、y轴光电接近开关一41、y轴光电开关座二42-l及y轴光电接近开关二41-1；所述的y轴平动步进电机32通过y轴平动减速器33与y轴平动调整电机座38固接，所述的y轴滚珠丝杠37两端通过y轴平动轴承座一35和y轴平动轴承座二40支撑，所述的y轴平动轴承座一35和y轴平动轴承座二40与y轴平动调整电机座38上表面固接，所述的y轴平动减速器33与y轴滚珠丝杠37一端之间通过y轴平动联轴 器34连接，所述的y轴滚珠丝杠螺母36与y轴滚珠丝杠37旋接，y轴滚珠丝杠螺母36与y轴平动连接弯板9固接，所述的y轴光电接近开关一41设置于y轴光电开关座一42的螺纹孔内，所述的y轴光电接近开关二41-1设置于y轴光电开关座二42-1的螺纹孔内，所述的y轴光电开关座一42及y轴光电开关座二42-1均与y轴平动连接弯板9固接，所述的y轴电磁制动器39内环与y轴滚珠丝杠37另一端相连，y轴电磁制动器39外环与y轴平动轴承座二40固接，所述的y轴平动驱动组件5通过y轴平动调整电机座38与绕x、y、z轴旋转组件2的转动托板46固接。选用步距角1.8°的8位步进电机，采用1:10减速比的减速器，输出扭矩可达4ONm，滚珠丝杠螺距2mm，行程为166mm，可以实现的最小分辨率为1.25μm，采用光电开关和电磁制动器实现限位防护。 

具体实施方式四:如图2所示，具体实施方式三所述的一种用于大尺寸光栅安装测试的五维高精度平台，所述的十字交叉导轨组件6包括两根长导轨、两根短导轨及四个十字滑块，所述的两根长导轨分别是长导轨一17和长导轨二17-1，所述的两根短导轨分别是短导轨一16和短导轨二16-1，所述的四个十字滑块分别是十字滑块一15、十字滑块二15-1、十字滑块三15-2和十字滑块四15-3；所述的长导轨一17上滑动设置有十字滑块一15和十字滑块二15-1，所述的长导轨二17-1上滑动设置有十字滑块三15-2和十字滑块四15-3，且十字滑块二15-1与十字滑块三15-2相对设置，十字滑块一15与十字滑块四15-3相对设置，十字滑块二15-1与十字滑块三15-2上滑动设置有短导轨二16-1，十字滑块一15与十字滑块四15-3上滑动设置有短导轨一16。该导轨为实际产品，x轴万向上总长为2200mm，其平行度可达9.5μm，y轴万向上总长为520mm，其平行度可达5μm，可满足本装置的使用要求。 

具体实施方式五:如图2所示，具体实施方式四所述的一种用于大尺寸光栅安装测试的五维高精度平台，所述的内侧滑座组件7包括滑座基体18、滑座调整连片19、滑座连片一20-1、滑座连片二20、滑座连片三21-1、滑座连片四21及滑座连片五22；所述的滑座调整连片19通过锁紧螺钉固定于滑座基体18上表面，滑座调整连片19与十字滑块二15-1固接，所述的滑座基体18与十字滑块三15-2固接。可以通过调整锁紧螺钉来调整滑座调整连片19与滑座基体18的相对位置，来控制滑座基体18与十字滑块二15-1和十字滑块三15-2的相对位置，防止导轨受力，所述的滑座连片一20-1一端与滑座基体18相连，滑座连片一20-1另一端与滑座连片三21-1一端相连，所述的滑座连片二20一端与滑座基体18相连，滑座连片二20另一端与滑座连片四21一端相连，所述的滑座连片五22分别与滑座连片三21-1和滑座连片四21固接，此时内侧滑块组件7构成闭环，滑座连片三21-1与十字滑块一15固接，滑座连片 四21与十字滑块四15-3固接，可以通过调整滑座连片五22与滑座连片三21-1和滑座连片四21的相对位置，来控制滑座连片三21-1和滑座连片四21与十字滑块一15-1和十字滑块四15的相对位置，防止导轨受力，滑座基体18上设有轴孔，轴孔的轴线平行于平动底座8长边设置，所述的x轴平动驱动组件4的滚珠丝杠螺母28固定于滑座基体18的轴孔内。内侧滑座组件7可以将导轨的四个滑块连接在一起，使其具有相同的运动特性和很好的刚度，同时为y轴平动驱动组件5提供安装位置。 

具体实施方式六:如图1、图5、图6、图9-图11所示，具体实施方式一所述的一种用于大尺寸光栅安装测试的五维高精度平台，所述的绕x、y、z轴旋转组件2包括转动托板46、零件托板三45、零件托板一44、零件托板二43、2旋转轴53、角接触背对背轴承58、角接触轴承压环56、角接触轴承端盖57、2轴电机托框10、2轴驱动弯板48、辅助支承组件一55、辅助支承组件二55-1、支撑轴组件一51、支撑轴组件二51-1、支撑轴组件三51-2、支撑轴组件四51-3、z轴旋转驱动组件49、x轴旋转驱动组件47及y轴旋转驱动组件50；所述的转动托板46上设有轴承台肩孔，所述的角接触背对背轴承58安装于转动托板46的轴承台肩孔内，角接触背对背轴承58通过设置在转动托板46的轴承台肩孔内的角接触轴承端盖57压住角接触背对背轴承58外环，所述的角接触轴承端盖57与转动托板46通过螺钉固连，所述的零件托板三45上设有轴孔，零件托板三45的轴孔与z旋转轴53一端配合安装，z旋转轴53另一端与角接触背对背轴承58内环配合安装，角接触背对背轴承58内环通过角接触轴承压环56固定，以实现转动托板46和零件托板三45之间的相对旋转；2轴旋转驱动组件49的2轴旋转基座128通过z轴电机托框10与转动托板46的一侧固接，z轴旋转驱动组件49的z轴旋转推板125通过z轴驱动弯板48与零件托板三45固接，辅助支承组件一55和辅助支承组件二55-1结构相同且二者均固定于转动托板46上，所述的辅助支承组件一55和辅助支承组件二55-1沿z旋转轴53的旋转轴线对称布置，且辅助支承组件一55和辅助支承组件二55-1旋转半径相同。所述的z轴旋转驱动组件49在申请号为CN 201310126855·4的发明专利申请中己经采用。 

所述的辅助支承组件一55包括导轨转接板103、支撑滚动导轨一101、支撑滚动导轨二102、圆柱轴环99及圆柱轴环套100；所述的支撑滚动导轨一101和支撑滚动导轨二102十字交叉布置，支撑滚动导轨一101和支撑滚动导轨二102中间通过导轨转接板103连接，所述的圆柱轴环99外环配合安装在圆柱轴环套100内，圆柱轴环99内环与零件托板三45连接，所述的圆柱轴环套100与支撑滚动导轨一101的滑块连接，这样可以消除绕z轴回转半径径向和切向两个平动自由度和一个绕z轴旋转自由度； 

所述的支撑轴组件一51、支撑轴组件二51-1、支撑轴组件三51-2、支撑轴组件四51-3结构相同且均包括支撑轴97和球面轴承98；所述的支撑轴97一端与球面轴承98内环配合，所述的零件托板三45上沿x轴线万向上布置有两个轴孔，支撑轴组件一51和支撑轴组件二51-1的支撑轴97另一端分别配合安装于零件托板三45上所对应的轴孔内，所述的零件托板一44同样位置沿x轴线万向上布置有两个轴承孔，支撑组件一51和支撑组件二51-1的球面轴承98外环分别配合安装于零件托板一44相应的轴承孔内，这样布置可以实现绕x轴的旋转，零件托板一44上沿y轴线万向上布置有两个轴孔，支撑轴组件三51-2和支撑轴组件四51-3的支撑轴97另一端分别配合安装于零件托板一44的轴孔内；零件托板二43同样位置沿y轴线万向上布置有两个轴承孔，支撑轴组件三51-2和支撑轴组件四51-3的球面轴承98外环分别配合安装于零件托板二43相应的轴承孔内，这样布置可以实现绕y轴的旋转。z轴旋转驱动组件49选用步距角1.8°的 位步递电机，采用1:10减速比的减速器，输出扭矩可达4ONm，滚珠丝杠螺距4mm，行程为230mm，可以实现的最小分辨率为2.5μm，z轴回转半径为414mm，角度分辨率可达1.25角秒，采用机械式限位防护。x轴旋转驱动组件47选用步距角1.8°的8位步进电机，采用1:10减速比的减速器，输出扭矩可达40Nm，涡轮丝杆升降机减速比为1:4，螺距为5mm，行程为85mm，可以实现的最小分辨率为0.78μm，x轴回转半径为505mm，角度分辨率可达0.32角秒，采用电磁制动器防护。y轴旋转驱动组件50选用步距角1.8°的8位步进电机，采用1:10减速比的减速器，输出扭矩可达40Nm，涡轮丝杆升降机减速比为1:4，螺距为5mm，行程为85mm，可以实现的最小分辨率为0.78μm，y轴回转半径为703mm，角度分辨率可达0·23角秒，采用电磁制动器防护，涡轮丝杆升降运动到一定位置后，可以通过压电陶瓷驱动组件69继续运动，压电陶瓷分辨率为l0nm，角度分辨率可达0.0035角秒，满足机构的使用性能要求。 

具体实施方式七:如图5及图13所示，具体实施方式六所述的一种用于大尺寸光栅安装测试的五维高精度平台，所述的z轴旋转驱动组件49包括z轴旋转基座128、z轴旋转电机座116、z轴旋转步进电机114、z轴旋转减速器115、z轴旋转联轴器117、z轴旋转滚珠丝杠119、z轴旋转滚珠丝杠螺母120；z轴旋转轴承座118、z轴旋转平面托板129、z轴旋转调整锁紧板126、z轴旋转调整锁紧垫板127、z轴旋转推板125、z轴旋转滚动导轨130、z轴旋转驱动钢片夹板一122、z轴旋转驱动钢片夹板二124、两个z轴旋转驱动钢片压板121及两个z轴旋转驱动钢片123；具体实施方式七所述的z轴旋转驱动组件49的具体结构与申请号为CN 201310126855.4、公开日为2013年7月10日、公开号为CN103197397A、名称为《一种用于光栅拼接的整体四维高精度调整装置》的发明专利相同。 

具体实施方式八:如图5、图7和图10所示，具体实施方式六或七所述的一种用于大尺寸光栅安装测试的五维高精度平台，所述的x轴旋转驱动组件47包括x轴涡轮丝杆升降机托板88、x轴旋转步进电机91、x轴旋转减速器92、x轴旋转联轴器89、x轴旋转电机座90、x轴涡轮丝杆升降机87、x轴旋转电磁制动器85、x轴旋转电磁制动器支座86、x轴丝杆过渡连接组件70及x轴转动连杆82，所述的x轴丝杆过渡连接组件70包括x轴丝杆升降机连接套80、x轴驱动球面轴承81及x轴驱动球面轴承套79；所述的x轴丝杆升降机连接套80外环与x轴驱动球面轴承81内环配合连接，x轴驱动球面轴承81外环与x轴驱动球面轴承套79的轴孔配合安装；所述的x轴旋转电机座90固定设置于x轴涡轮丝杆升降机托板88上表面的一端，x轴旋转步递电机91通过x轴旋转减速器92与x轴旋转电机座90固接，所述的x轴旋转减速器92的轴与x轴涡轮丝杆升降机87的输入轴之间通过x轴旋转联轴器89连接；x轴旋转电磁制动器支座86固定设置于x轴涡轮丝杆升降机托板88上表面的另一端，x轴旋转电磁制动器85内环与x轴涡轮丝杆升降机87的另一输入端相连，x轴旋转电磁制动器85外环与x轴旋转电磁制动器支座86固接；x轴涡轮丝杆升降机87的x轴升降螺母83外环与x轴丝杆过渡连接组件70的x轴丝杆升降机连接套80内孔紧固安装，x轴丝杆过渡连接组件70的x轴驱动球面轴承套79与x轴转动连杆82一端固接，x轴转动连杆82的另一端与所述的零件托板一44固连，x轴涡轮丝杆升降机托板88与所述的零件托板三45固连，这样可以驱动零件托板一44绕x轴转动。x轴旋转驱动组件47选用步距角1.8°的8位步进电机，采用1:10减速比的减速器，输出扭矩可达4ONm，涡轮丝杆升降机减速比为1:4，螺距为5mm，行程为85mm，可以实现的最小分辨率为0.78μm，采用电磁制动器防护。 

具体实施方式九:如图5、图8和图10所示，具体实施方式六、七或八所述的一种用于大尺寸光栅安装测试的五维高精度平台，所述的y轴旋转驱动组件50包括y轴涡轮丝杆升降机托板63、y轴旋转步进电机59、y轴旋转减速器71、y轴旋转联轴器60、y轴旋转电机座61、y轴涡轮丝杆升降机62、y轴旋转电磁制动器65、y轴旋转电磁制动器支座64、y轴丝杆过渡连接组件131、y轴转动连杆68及压电陶瓷驱动组件69，所述的y轴丝杆过渡连接组件131包括y轴丝杆升降机连接套133、y轴驱动球面轴承134及y轴驱动球面轴承套132，所述的y轴丝杆升降机连接套133外环与y轴驱动球面轴承134内环配合连接，y轴驱动球面轴承134外环与y轴驱动球面轴承套132的轴孔配合安装；所述的压电陶瓷 驱动组件69包括柔性铰链76、驱动钢球73、锥孔螺钉74、压电陶瓷72、压电陶瓷螺钉75、锁紧螺钉77及支撑螺钉78，所述的压电陶瓷螺钉75与压电陶瓷72一端旋紧固接，支撑螺钉78与压电陶瓷螺钉75旋紧固接，所述的锥孔螺钉74与压电陶瓷72另一端固接，所述的柔性铰链76设有中空腔，压电陶瓷螺钉75、支撑螺钉78、压电陶瓷72及锥孔螺钉74均设置在柔性铰链76的中空腔内，且柔性铰链76的中空腔内与锥孔螺钉74相邻端面至锥孔螺钉74之间放入驱动钢球73，锁紧螺钉77与柔性铰链76螺旋配合，且锁紧螺钉77与支撑螺钉78位于同一侧，柔性铰链76通过锁紧螺钉77旋紧使压电陶瓷72预紧；所述的y轴旋转电机座61固定设置于y轴涡轮丝杆升降机托板63上表面的一端，y轴旋转步进电机59通过y轴旋转减速器71与y轴旋转电机座61固接，y轴旋转减速器71的轴与y轴涡轮丝杆升降机62的一个输入轴之间通过y轴旋转联轴器60连接；y轴旋转电磁制动器支座61固定设置于y轴涡轮丝杆升降机托板63上表面的另一端，y轴旋转电磁制动器65内环与y轴涡轮丝杆升降机62的另一输入轴连接，y轴旋转电磁制动器65外环与y轴旋转电磁制动器支座64固接；y轴涡轮丝杆升降机62的y轴升降螺母67外环面与y轴丝杆过渡连接组件131的y轴丝杆升降机连接套133内孔紧固安装，y轴丝杆过渡连接组件131的y轴驱动球面轴承套132与压电陶瓷驱动组件69的柔性铰链76固接，压电陶瓷驱动组件69的柔性铰链76输出端与y轴转动连杆68的中空内部的一端固接，y轴转动连杆68的另一端与所述的零件托板二43固连，y轴涡轮丝杆升降机托板63与所述的零件托板一44固接，这样可以驱动零件托板二43绕y轴转动，本结构采用宏微串联结合的方式，可以实现绕y轴的大行程和高分辨率，实现小于0·05角秒的目标。y轴旋转驱动组件50选用步距角1.8°的8位步进电机，采用1:10减速比的减速器，输出扭矩可达40Nm，涡轮丝杆升降机减速比为1:4，螺距为5mm，行程为85mm，可以实现的最小分辨率为0.78μm。涡轮丝杆升降运动到一定位置后，可以通过压电陶瓷驱动组件69继续运动，压电陶瓷分辨率为l0nm。 

具体实施方式十:如图1及图12所示，具体实施方式一所述的一种用于大尺寸光栅安装测试的五维高精度平台，所述的光栅安装组件3包括光栅安装板105、聚氯四氟乙烯挡块一112、聚氯四氟乙烯挡块二112-1、聚氯四氟乙烯挡块三113、聚氯四氟乙烯挡块四113-1、聚氯四氟乙烯挡板一109、聚氯四氟乙烯挡板二109-1、锁紧板一110、锁紧板二110-1、吊装板104、四恨连接柱111及四个吊环108；所述的光栅安装板105为长万形板，所述的大尺寸光栅106竖直且浮动设置于光栅安装板105上表面，聚氯四氟乙烯挡块一112、聚氯 四氟乙烯挡块二112-1、聚氯四氟乙烯挡块三113及聚氯四氟乙烯挡块四113-1分别固定于光栅安装板105的上表面四周，且聚氯四氟乙烯挡块一112与聚氯四氟乙烯挡块二112-1平行于光栅安装板105宽边设置，聚氯四氟乙烯挡块三113与聚氯四氟乙烯挡块四113-1平行于光栅安装板105长边设置，聚氯四氟乙烯挡块一112、聚氯四氟乙烯挡块二112-1、聚氯四氟乙烯挡块三113及聚氯四氟乙烯挡块四113-1用于对大尺寸光栅106的定位和夹紧，锁紧板一110固定于光栅安装板105上表面一端且与四氟乙烯挡块一112相邻设置，锁紧板二110-1固定于光栅安装板105上表面另一端且与聚氯四氟乙烯挡块二112-1相邻设置，光栅锁紧板一110和大尺寸光栅106之间用螺钉固定有聚氯四氟乙烯挡板一109，光栅锁紧板二110-1和大尺寸光栅106之间用螺钉固定有聚氯四氟乙烯挡板二109-1，四恨连接柱111一端分别与光栅安装板105上表面四角固接，另一端与吊装板104用螺母连接，吊装板104水平设置在大尺寸光栅106上万，所述的四个有吊环108分别固定于吊装板104上表面四角，万便吊装。大尺寸光栅106安装后可以用光栅罩107罩起，保护光栅。 

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，这些具体实施方式都是基于本发明整体构思下的不同实现方式，而且本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。 

工作原理: 

本发明工作时，电机控制器发出脉冲分别控制x轴平动步递电机23、y轴平动步进电机32、y轴旋转步进电机59、x轴旋转步进电机91、，轴旋转步进电机114转动。x轴平动步进电机23带动x轴滚珠丝杠29转动，从而使x轴滚珠丝杠螺母28带动内侧滑座组件7相对于平动底座8沿十字交叉导轨组件6的x轴万向运动，从而实现光栅安装组件3沿x轴平动。y轴平动步进电机32带动y轴滚珠丝杠37转动，从而使y轴滚珠丝杠螺母36带动y轴平动驱动组件5相对于内侧滑座组件7沿十字交叉导轨组件6的y轴万向运动，从而实现光栅安装组件3沿y轴平动。y轴旋转步进电机59带动y轴涡轮丝杆升降机62使y轴升降螺母67上下运动，从而实现零件托板二43和零件托板一44的相对运动，实现光栅安装组件3绕y轴的旋转，进一步驱动压电陶瓷驱动组件69实现高分辨率进给。x轴旋转步进电机91带动x轴涡轮丝杆升降机87使x轴升降螺母83上下运动，从而实现零件托板三45和零件托板一44的相对运动，实现光栅安装组件3绕x轴的旋转。z轴旋转步进电机114带动，轴旋转滚珠丝杠119转动，从而使，轴旋转滚珠丝杠螺母120带动，轴旋转推板 125，进而推动零件托板三45相对于转动托板46转动，实现光栅安装组件3绕，轴的旋转。 

Claims (9)

1.一种用于大尺寸光栅安装测试的五维高精度平台，其特征是：它包括平动组件(1)、光栅安装组件(3)以及绕x、y、z轴旋转组件(2)，所述的平动组件(1)包括平动底座(8)、x轴平动驱动组件(4)、y轴平动驱动组件(5)、十字交叉导轨组件(6)、内侧滑座组件(7)、x轴光电接近开关一(11)、x轴光电接近开关座一(12)、x轴光电接近开关二(13)及x轴光电接近开关座二(14)；

所述的平动底座(8)为长方形平动底座，所述的x轴光电接近开关一(11)通过x轴光电接近开关座一(12)与平动底座(8)一端固接，所述的x轴光电接近开关二(13)通过x轴光电接近开关座二(14)与平动底座(8)另一端固接；所述的十字交叉导轨组件(6)的两根长导轨平行于平动底座(8)长边固定于平动底座(8)上表面，所述的内侧滑座组件(7)水平设置在平动底座(8)上方，且内侧滑座组件(7)固定设置在十字交叉导轨组件(6)的四个十字滑块之间，所述的x轴平动驱动组件(4)与平动底座(8)上表面固接，x轴平动驱动组件(4)的x轴滚珠丝杠螺母(28)固定在内侧滑座组件(7)的滑座基体(18)内，所述的y轴平动驱动组件(5)通过y轴平动调整电机座(38)与绕x、y、z轴旋转组件(2)的转动托板(46)固接；所述的y轴平动驱动组件(5)通过y轴平动连接弯板(9)与所述的内侧滑座组件(7)固接，所述的绕x、y、z轴旋转组件(2)设置于平动组件(1)上，且绕x、y、z轴旋转组件(2)的转动托板(46)与十字交叉导轨组件(6)的短导轨一(16)和短导轨二(16-1)固接；所述的光栅安装组件(3)设置于绕x、y、z轴旋转组件(2)上，且光栅安装组件(3)的光栅安装板(105)与绕x、y、z轴旋转组件(2)的零件托板二(43)上表面固接。

2.根据权利要求1所述的一种用于大尺寸光栅安装测试的五维高精度平台，其特征是：所述的x轴平动驱动组件(4)包括x轴平动调整电机座(27)、x轴平动步进电机(23)、x轴平动减速器(24)、x轴平动联轴器(25)、x轴滚珠丝杠螺母(28)、x轴滚珠丝杠(29)、x轴平动轴承座一(26)、x轴平动轴承座二(30)及x轴电磁制动器(31)；所述的x轴平动步进电机(23)通过x轴平动减速器(24)与x轴平动调整电机座(27)固接，所述的x轴滚珠丝杠(29)一端通过x轴平动轴承座一(26)支撑，所述的x轴平动轴承座一(26)与x轴平动调整电机座(27)上表面固接，x轴滚珠丝杠(29)所述的一端与x轴平动减速器(24)的轴端之间通过x轴平动联轴器(25)连接，x轴滚珠丝杠(29)另一端与x轴平动轴承座二(30)配合安装，所述的x轴电磁制动器(31)内环与x轴滚珠丝杠(29)所述的另一端相连，x轴电磁制动器(31)外环与x轴平动轴承座二(30)固接，所述的x轴滚珠丝杠螺母(28)与x轴滚珠丝杠(29)旋接，x轴平动驱动组件(4)通过x轴平动调整电机座(27)和x轴平动轴承座二(30)与所述的平动底座(8)上表面固接。

3.根据权利要求2所述的一种用于大尺寸光栅安装测试的五维高精度平台，其特征是：所述的y轴平动驱动组件(5)包括y轴平动调整电机座(38)、y轴平动步进电机(32)、y轴平动减速器(33)、y轴平动联轴器(34)、y轴滚珠丝杠(37)、y轴滚珠丝杠螺母(36)、y轴平动轴承座一(35)、y轴平动轴承座二(40)、y轴电磁制动器(39)、y轴平动连接弯板(9)、y轴光电开关座一(42)、y轴光电接近开关一(41)、y轴光电开关座二(42-1)及y轴光电接近开关二(41-1)；所述的y轴平动步进电机(32)通过y轴平动减速器(33)与y轴平动调整电机座(38)固接，所述的y轴滚珠丝杠(37)两端通过y轴平动轴承座一(35)和y轴平动轴承座二(40)支撑，所述的y轴平动轴承座一(35)和y轴平动轴承座二(40)与y轴平动调整电机座(38)上表面固接，所述的y轴平动减速器(33)与y轴滚珠丝杠(37)一端之间通过y轴平动联轴器(34)连接，所述的y轴滚珠丝杠螺母(36)与y轴滚珠丝杠(37)旋接，y轴滚珠丝杠螺母(36)与y轴平动连接弯板(9)固接，所述的y轴光电接近开关一(41)设置于y轴光电开关座一(42)的螺纹孔内，所述的y轴光电接近开关二(41-1)设置于y轴光电开关座二(42-1)的螺纹孔内，所述的y轴光电开关座一(42)及y轴光电开关座二(42-1)均与y轴平动连接弯板(9)固接，所述的y轴电磁制动器(39)内环与y轴滚珠丝杠(37)另一端相连，y轴电磁制动器(39)外环与y轴平动轴承座二(40)固接，所述的y轴平动驱动组件(5)通过y轴平动调整电机座(38)与绕x、y、z轴旋转组件(2)的转动托板(46)固接。

4.根据权利要求3所述的一种用于大尺寸光栅安装测试的五维高精度平台，其特征是：所述的十字交叉导轨组件(6)包括两根长导轨、两根短导轨及四个十字滑块，所述的两根长导轨分别是长导轨一(17)和长导轨二(17-1)，所述的两根短导轨分别是短导轨一(16)和短导轨二(16-1)，所述的四个十字滑块分别是十字滑块一(15)、十字滑块二(15-1)、十字滑块三(15-2)和十字滑块四(15-3)；所述的长导轨一(17)上滑动设置有十字滑块一(15)和十字滑块二(15-1)，所述的长导轨二(17-1)上滑动设置有十字滑块三(15-2)和十字滑块四(15-3)，且十字滑块二(15-1)与十字滑块三(15-2)相对设置，十字滑块一(15)与十字滑块四(15-3)相对设置，十字滑块二(15-1)与十字滑块三(15-2)上滑动设置有短导轨二(16-1)，十字滑块一(15)与十字滑块四(15-3)上滑动设置有短导轨一(16)。

5.根据权利要求4所述的一种用于大尺寸光栅安装测试的五维高精度平台，其特征是：所述的内侧滑座组件97)包括滑座基体(18)、滑座调整连片(19)、滑座连片一(20-1)、滑座连片二(20)、滑座连片三(21-1)、滑座连片四(21)及滑座连片五(22)；所述的滑座调整连片(19)通过锁紧螺钉固定于滑座基体(18)上表面，滑座调整连片(19)与十字滑块二(15-1)固接，所述的滑座基体(18)与十字滑块三(15-2)固接，所述的滑座连片一(20-1)一端与滑座基体(18)相连，滑座连片一(20-1)另一端与滑座连片三(21-1)一端相连，所述的滑座连片二(20)一端与滑座基体(18)相连，滑座连片二(20)另一端与滑座连片四(21)一端相连，所述的滑座连片五(22)分别与滑座连片三(21-1)和滑座连片四(21)固接，滑座连片三(21-1)与十字滑块一(15)固接，滑座连片四(21)与十字滑块四(15-3)固接，滑座基体(18)上设有轴孔，轴孔的轴线平行于平动底座(8)长边设置，所述的x轴平动驱动组件(4)的滚珠丝杠螺母(28)固定于滑座基体(18)的轴孔内。

6.根据权利要求1所述的一种用于大尺寸光栅安装测试的五维高精度平台，其特征是：所述的绕x、y、z轴旋转组件(2)包括转动托板(46)、零件托板三(45)、零件托板一(44)、零件托板二(43)、z旋转轴(53)、角接触背对背轴承(58)、角接触轴承压环(56)、角接触轴承端盖(57)、z轴电机托框(10)、z轴驱动弯板(48)、辅助支承组件一(55)、辅助支承组件二(55-1)、支撑轴组件一(51)、支撑轴组件二(51-1)、支撑轴组件三(51-2)、支撑轴组件四(51-3)、z轴旋转驱动组件(49)、x轴旋转驱动组件(47)及y轴旋转驱动组件(50)；所述的转动托板(46)上设有轴承台肩孔，所述的角接触背对背轴承(58)安装于转动托板(46)的轴承台肩孔内，角接触背对背轴承(58)通过设置在转动托板(46)的轴承台肩孔内的角接触轴承端盖(57)压住角接触背对背轴承(58)外环，所述的角接触轴承端盖(57)与转动托板(46)固连，所述的零件托板三(45)上设有轴孔，零件托板三(45)的轴孔与z旋转轴(53)一端配合安装，z旋转轴(53)另一端与角接触背对背轴承(58)内环配合安装，角接触背对背轴承(58)内环通过角接触轴承压环(56)固定，以实现转动托板(46)和零件托板三(45)之间的相对旋转；z轴旋转驱动组件(49)的z轴旋转基座(128)通过z轴电机托框(10)与转动托板(46)的一侧固接，z轴旋转驱动组件(49)的z轴旋转推板(125)通过z轴驱动弯板(48)与零件托板三(45)固接，辅助支承组件一(55)和辅助支承组件二(55-1)结构相同且二者均固定于转动托板(46)上，所述的辅助支承组件一(55)和辅助支承组件二(55-1)相对于z旋转轴(53)的旋转轴线对称布置，且辅助支承组件一(55)和辅助支承组件二(55-1)旋转半径相同；

所述的辅助支承组件一(55)包括导轨转接板(103)、支撑滚动导轨一(101)、支撑滚动导轨二(102)、圆柱轴环(99)及圆柱轴环套(100)；所述的支撑滚动导轨一(101)和支撑滚动导轨二(102)十字交叉布置，支撑滚动导轨一(101)和支撑滚动导轨二(102)中间通过导轨转接板(103)连接，所述的圆柱轴环(99)外环配合安装在圆柱轴环套(100)内，圆柱轴环(99)内环与零件托板三(45)连接，所述的圆柱轴环套(100)与支撑滚动导轨一(101)的滑块连接；

所述的支撑轴组件一(51)、支撑轴组件二(51-1)、支撑轴组件三(51-2)、支撑轴组件四(51-3)结构相同且均包括支撑轴(97)和球面轴承(98)；所述的支撑轴(97)一端与球面轴承(98)内环配合，所述的零件托板三(45)上沿x轴线万向上布置有两个轴孔，支撑轴组件一(51)和支撑轴组件二(51-1)的支撑轴(97)另一端分别配合安装于零件托板三(45)上所对应的轴孔内，所述的零件托板一(44)同样位置沿x轴线万向上布置有两个轴承孔，支撑组件一(51)和支撑组件二(51-1)的球面轴承(98)外环分别配合安装于零件托板一(44)相应的轴承孔内，零件托板一(44)上沿y轴线万向上布置有两个轴孔，支撑轴组件三(51-2)和支撑轴组件四(51-3)的支撑轴(97)另一端分别配合安装于零件托板一(44)的轴孔内；零件托板二(43)同样位置沿y轴线万向上布置有两个轴承孔，支撑轴组件三(51-2)和支撑轴组件四(51-3)的球面轴承(98)外环分别配合安装于零件托板二(43)相应的轴承孔内。

7.根据权利要求6所述的一种用于大尺寸光栅安装测试的五维高精度平台，其特征是:所述的x轴旋转驱动组件(47)包括x轴涡轮丝杆升降机托板(88)、x轴旋转步递电机(91)、x轴旋转减速器(92)、x轴旋转联轴器(89)、x轴旋转电机座(90)、x轴涡轮丝杆升降机(87)、x轴旋转电磁制动器(85)、x轴旋转电磁制动器支座(86)、x轴丝杆过渡连接组件(70)及x轴转动连杆(82)，所述的x轴丝杆过渡连接组件(70)包括x轴丝杆升降机连接套(80)、x轴驱动球面轴承(81)及x轴驱动球面轴承套(79)；所述的x轴丝杆升降机连接套(80)外环与x轴驱动球面轴承(81)内环配合连接，x轴驱动球面轴承(81)外环与x轴驱动球面轴承套(79)的轴孔配合安装；所述的x轴旋转电机座(90)固定设置于x轴涡轮丝杆升降机托板(88)上表面的一端，x轴旋转步递电机(91)通过x轴旋转减速器(92)与x轴旋转电机座(90)固接，所述的x轴旋转减速器(92)的轴与x轴涡轮丝杆升降机(87)的输入轴之间通过x轴旋转联轴器(89)连接；x轴旋转电磁制动器支座(86)固定设置于x轴涡轮丝杆升降机托板(88)上表面的另一端，x轴旋转电磁制动器(85)内环与x轴涡轮丝杆升降机(87)的另一输入端相连，x轴旋转电磁制动器(85)外环与x轴旋转电磁制动器支座(86)固接；x轴涡轮丝杆升降机(87)的x轴升降螺母(83)外环与x轴丝杆过渡连接组件(70)的x轴丝杆升降机连接套(80)内孔紧固安装，x轴丝杆过渡连接组件(70)的x轴驱动球面轴承套(79)与x轴转动连杆(82)一端固接，x轴转动连杆(82)的另一端与所述的零件托板一(44)固连，x轴涡轮丝杆升降机托板(88)与所述的零件托板三(45)固连。

8.根据权利要求6或7所述的一种用于大尺寸光栅安装测试的五维高精度平台，其特征是:所述的y轴旋转驱动组件(50)包括y轴涡轮丝杆升降机托板(63)、y轴旋转步进电机(59)、y轴旋转减速器(71)、y轴旋转联轴器(60)、y轴旋转电机座(61)、y轴涡轮丝杆升降机(62)、y轴旋转电磁制动器(65)、y轴旋转电磁制动器支座(64)、y轴丝杆过渡连接组件(131)、y轴转动连杆(68)及压电陶瓷驱动组件(69)，所述的y轴丝杆过渡连接组件(131)包括y轴丝杆升降机连接套(133)、y轴驱动球面轴承(134)及y轴驱动球面轴承套(132)，所述的y轴丝杆升降机连接套(133)外环与y轴驱动球面轴承(134)内环配合连接，y轴驱动球面轴承(134)外环与y轴驱动球面轴承套(132)的轴孔配合安装；所述的压电陶瓷驱动组件(69)包括柔性铰链(76)、驱动钢球(73)、惟孔螺钉(74)、压电陶瓷(72)、压电陶瓷螺钉(75)、锁紧螺钉(77)及支撑螺钉(78)，所述的压电陶瓷螺钉(75)与压电陶瓷(72)一端旋紧固接，支撑螺钉(78)与压电陶瓷螺钉(75)旋紧固接，所述的锥孔螺钉(74)与压电陶瓷(72)另一端固接，所述的柔性铰链(76)设有中空腔，压电陶瓷螺钉(75)、支撑螺钉(78)、压电陶瓷(72)及锥孔螺钉(74)均设置在柔性铰链(76)的中空腔内，且柔性铰链(76)的中空腔内与锥孔螺钉(74)相邻端面至锥孔螺钉(74)之间放入驱动钢球(73)，锁紧螺钉(77)与柔性铰链(76)螺旋配合，且锁紧螺钉(77)与支撑螺钉(78)位于同一侧，柔性铰链(76)通过锁紧螺钉(77)旋紧使压电陶瓷(72)预紧；所述的y轴旋转电机座(61)固定设置于y轴涡轮丝杆升降机托板(63)上表面的一端，y轴旋转步递电机(59)通过y轴旋转减速器(71)与y轴旋转电机座(61)固接，y轴旋转减速器(71)的轴与y轴涡轮丝杆升降机(62)的一个输入轴之间通过y轴旋转联轴器(60)连接；y轴旋转电磁制动器支座(61)固定设置于y轴涡轮丝杆升降机托板(63)上表面的另一端，y轴旋转电磁制动器(65)内环与y轴涡轮丝杆升降机(62)的另一输入轴连接，y轴旋转电磁制动器(65)外环与y轴旋转电磁制动器支座(64)固接；y轴涡轮丝杆升降机(62)的y轴升降螺母(67)外环面与y轴丝杆过渡连接组件(131)的y轴丝杆升降机连接套(133)内孔紧固安装，y轴丝杆过渡连接组件(131)的y轴驱动球面轴承套(132)与压电陶瓷驱动组件(69)的柔性铰链(76)固接，压电陶瓷驱动组件(69)的柔性铰链(76)输出端与y轴转动连杆(68)的中空内部的一端固接，y轴转动连杆(68)的另一端与所述的零件托板二(43)固连，y轴涡轮丝杆升降机托板(63)与所述的零件托板一(44)固接。

9.根据权利要求1所述的一种用于大尺寸光栅安装测试的五维高精度平台，其特征是:所述的光栅安装组件(3)包括光栅安装板(105)、聚氯四氟乙烯挡块一(112)、聚氯四氟乙烯挡块二(112-1)、聚氯四氟乙烯挡块三(113)、聚氯四氟乙烯挡块四(113-1)、聚氯四氟乙烯挡板一(109)、聚氯四氟乙烯挡板二(109-1)、锁紧板一(110)、锁紧板二(110-1)、吊装板(104)、四恨连接柱(111)及四个吊环(108)；所述的光栅安装板(105)为长万形板，所述的大尺寸光栅(106)竖直且浮动设置于光栅安装板(105)上表面，聚氯四氟乙烯挡块一(112)、聚氯四氟乙烯挡块二(112-1)、聚氯四氟乙烯挡块三(113)及聚氯四氟乙烯挡块四(113-1)分别固定于光栅安装板(105)的上表面四周，且聚氯四氟乙烯挡块一(112)与聚氯四氟乙烯挡块二(112-1)平行于光栅安装板(105)宽边设置，聚氯四氟乙烯挡块三(113)与聚氯四氟乙烯挡块四(113-1)平行于光栅安装板(105)长边设置，锁紧板一(110)固定于光栅安装板(105)上表面一端且与四氟乙烯挡块一(112)相邻设置，锁紧板二(110-1)固定于光栅安装板(105)上表面另一端且与聚氯四氟乙烯挡块二(112-1)相邻设置，光栅锁紧板一(110)和大尺寸光栅(106)之间固定有聚氯四氟乙烯挡板一(109)，光栅锁紧板二(110-1)和大尺寸光栅(106)之间固定有聚氯四氟乙烯挡板二(109-1)，四恨连接柱(111)一端分别与光栅安装板(105)上表面四角固接，另一端与吊装板(104)用螺母连接，吊装板(104)水平设置在大尺寸光栅(106)上万，所述的四个有吊环(108)分别固定于吊装板(104)上表面四角。