CN103928783A - 用于高速运动金属飞片测试的组合式电探针及加工方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种用于高速运动金属飞片测试的组合式电探针，多根金属丝均匀分布于胶膜筒体的圆周壁上，不同的金属丝的前端均不齐平并与胶膜前端共同形成多个台阶，固定圆柱位于胶膜筒体内的后段并与胶膜筒体相互连接，固定圆柱的前端比所有金属丝的前端均更加靠近胶膜筒体的后端。本发明还公开了一种组合式电探针的加工方法，包括：制作带金属丝的胶膜板；加压固化；台阶切割和修整；引线编号；制作固定立柱；制作带金属丝的胶膜筒体；粘接并固化固定立柱；检验、包装后得组合式电探针成品。采用本发明所述组合式电探针进行实验，可以在一发实验中取得传统多发实验才能获得的实验数据，显著降低了研究成本、缩短了研究周期。

Description

用于高速运动金属飞片测试的组合式电探针及加工方法

技术领域

本发明涉及一种冲击波物理和爆轰物理测试用传感器领域的电探针及加工方法，用于高速运动金属飞片测试的组合式电探针及加工方法。

背景技术

在炸药的爆轰性能和冲击压缩下材料的高压物性等基础研究领域，飞片运动状态是基本的测量对象，用以表征炸药做功能力和金属材料的高压物理性能；在战斗部研制过程中，炸药爆轰做功驱动金属飞片运动是表征产品设计性能的重要特征，反映了产品的杀伤效果、穿甲能力和会聚压缩程度等性能，是评估产品能否达到设计指标的依据，也是检验库存产品经过长期贮存后性能是否下降的依据。国内外都投入了大量人力和物力进行这方面的专门研究，并且取得了很大进展。

由于飞片运动速度高，通常采用电探针测试飞片到达特定位置的时间。实验中将电探针接入电脉冲形成的网络电路中，实验前将该网络中的电容器充电，将金属飞片接入低电位，将电探针接入高电位。当高速运动的飞片与电探针碰撞时会输出一个电脉冲，由记录仪器采集作为时间信号，电探针的功能相当于电路中的高速脉冲开关。战斗部设计和可靠性检验以及相应的基础研究对时间测量的精度要求高，测量的不确定度要求在几十ns以内，因而对电探针的形状、尺寸、抗干扰能力和输出电性能都提出了特殊要求。

文献《经福谦.实验物态方程导引(第二版).北京：科学出版社，1999》和《孙承纬.应用爆轰物理学.北京：国防工业出版社，2000》中提供了多种用于冲击波物理和爆轰物理实验测试所用的电探针种类、形状、尺寸、材料和主要性能，具体如下：

球头式电探针：是一种结构简单的电探针，主体结构是一根金属导体，用于测量飞片飞行时间，测试飞片的的飞行速度一般小于1.5km/s。为了保证使用中的刚度，导体直径一般在1mm左右，如使用的探针较短，可以做到0.5mm直径。

螺纹电探针：是在球头式电探针的基础上，增加探针的定位结构，以利于测量特定位置的飞片飞行时间，测试飞片的飞行速度一般小于1.5km/s。

导电胶电探针：是在球头式电探针外部套一个金属管，内外两层金属用导电胶粘接，主要作用是要提高球头式电探针的刚度。测试飞片的的飞行速度一般小于1.5km/s。

盖帽式电探针：是在球头式电探针外部套一个金属管，内外两层金属用绝缘漆粘接，这种探针的头部还有金属盖帽作为加强结构。由于头部特殊结构，可以克服飞片前空气冲击波的干扰，所测试飞片的飞行速度一般在1km/s～5km/s。

同轴电缆电探针：可将同轴电缆直接用于飞片飞行时间测量，这种电探针抗空间电磁干扰能力强。测试飞片的飞行速度一般小于1.5km/s，由于需要进行结构加固，这种探针尺寸较大。

另有开口球头电探针和开口平头电探针，均是在球头式电探针外部包套不同的结构，用以增加探针的结构强度。测试飞片的飞行速度一般小于1.5km/s。

上述文献介绍的电探针和目前实际使用的电探针都是独立结构，其尺寸较大。对应测试飞片的飞行速度在1.5km/s的探针，其直径一般在1mm以上。测试飞片的飞行速度在1km/s～5km/s的盖帽式电探针，其直径一般在2mm以上。当高速运动的飞片与电探针碰撞时会产生金属喷溅物，成圆锥形分布，这种金属喷溅物速度高于飞片的速度，会在飞片到达前，对周围物体产生破坏作用。实验表明，当高速运动的飞片与金属细杆碰撞时，产生的金属喷溅物向周围扩散，其范围可以达到金属细杆直径的10倍。距离越近，喷溅物密度越高，当金属喷溅物的密度达到一定值后，可以形成导电的回路。对于飞片与电探针碰撞的场景，在5倍探针直径范围内，由于喷溅物密度较高，可以和飞片形成导电通道，导致探针周围5倍直径范围的电探针都会受其干扰，输出金属喷溅物到达的时间信号，而不是实验需要的飞片运动时间信号。

在炸药爆轰驱动飞片的实验中，由于边侧稀疏波的影响、炸药装药结构的影响和飞片结构的影响等，飞片在运动过程中变形严重，对应飞片上不同的位置，其运动速度不一样。由于每根电探针只能给出一个时间数据，所以要测量大变形飞片运动状态，必须要密集布设探针，才能反应不同位置的变形量。使用原有的电探针会带来两方面不利的后果：一是由于探针直径较大，在飞片下方不能够布置较密集的电探针，但由于战斗部设计的特殊性，炸药爆轰驱动的飞片在运动过程会产生较大的变形，布设间距过大的探针不能全面反映飞片的变形量；二是战斗部设计需要了解飞片上某个位置连续运动的行为，由于探针之间干扰严重，不可能将单根探针捆绑在一起使用，因而也就无法连续测量飞片上某一位置连续运动的行为，必须要多发爆轰实验才能获得飞片连续运动的数据，增大了研发成本和实验成本。

发明内容

本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种可一次获取多个实验数据的用于高速运动金属飞片测试的组合式电探针及加工方法。

本发明通过以下技术方案来实现上述目的：

一种用于高速运动金属飞片测试的组合式电探针，包括胶膜筒体、固定圆柱和多根金属丝，所述胶膜筒体为由胶膜制成的圆形筒体，多根所述金属丝均匀分布于所述胶膜筒体的圆周壁上，所述金属丝与所述胶膜筒体同轴向，以所述组合式电探针应用时与所述金属飞片接触的一端为前端，不同的所述金属丝的前端均不齐平并与所述胶膜的前端共同形成多个台阶，每根所述金属丝的前端与其周边对应的胶膜前端齐平，所有所述金属丝的后端均延伸至所述胶膜筒体的后端以外，所述固定圆柱位于所述胶膜筒体内的后段并与所述胶膜筒体相互连接，所述固定圆柱的前端比所有所述金属丝的前端均更加靠近所述胶膜筒体的后端。

上述结构中，胶膜筒体作为多根金属丝的安装载体，使金属丝的直径能够做到很小并保持位置固定，满足测试需求，且使多根金属丝呈圆形排列，在满足相邻金属丝之间的间距要求的同时，尽可能地实现固定金属丝和减小体积的目的，同时，胶膜筒体的胶膜也对高速运动的金属飞片碰撞时产生的喷溅物喷射范围起到了一定的限制作用；每一根金属丝均作为一个独立的电探针使用，金属丝的直径远小于传统的独立电探针，所以相比多根传统电探针集中安装的结构会显著节约占用空间，多根有序排列的金属丝组成整体的组合式电探针，实现多根传统电探针集中安装的功能；多根金属丝的前端呈台阶状排列，是为了使多根金属丝的前端与高速运动的金属飞片碰撞时间形成差异，达到测试目的，多根金属丝的后端延伸至胶膜筒体的后端以外是为了连接测试设备，将测试时产生的电信号传输给测试设备；固定圆柱用于确保胶膜筒体长期保持圆筒状，使其不变形，确保本组合式电探针的正常应用。

优选地，所述金属丝的直径不大于0.1mm，相邻的所述金属丝之间的距离为0.4～1mm；所述固定圆柱的前端与最近的所述台阶之间的距离不小于2.5mm；相邻的所述台阶之间的距离为2～20mm；所述胶膜筒体的胶膜厚度不大于0.08mm。上述参数只是一个优选的范围，具体应用时根据实际需求而定。

优选地，所述固定圆柱为实心玻璃柱。

为了提高绝缘性能，所述金属丝为漆包金属丝。

为了增强金属丝与胶膜筒体的连接稳定性，所述金属丝被所述胶膜筒体的胶膜包覆。此处的包覆，不代表胶膜筒体的胶膜厚度一定大于金属丝的直径，因为胶膜筒体在加工时可采用半固化状态的胶膜，具有较大的柔性，可以实现较薄胶膜包覆较大直径金属丝的目的。

一种用于高速运动金属飞片测试的组合式电探针的加工方法，包括以下步骤：

(1)制作带金属丝的胶膜板：准备半固化的下胶膜、半固化的上胶膜、表面包覆有绝缘漆的金属丝、胶粘剂和聚四氟乙烯薄膜，先将下胶膜平铺固定，然后将多根金属丝排列在下胶膜上，在金属丝及其周边的下胶膜上刷胶粘剂，待金属丝上的胶粘剂半固化后，在上胶膜的下表面刷胶粘剂并立即将上胶膜覆盖于下胶膜上，同时在上胶膜上覆盖一层聚四氟乙烯薄膜，隔着聚四氟乙烯薄膜并顺着金属丝长度方向指压，赶出两层胶膜中多余的胶液和空气，直到胶膜平整，金属丝位置固定，取出上胶膜、下胶膜和金属丝，得带金属丝的胶膜板，下称胶膜板；

(2)加压固化：理顺胶膜板上的金属丝引出线，并将胶膜板夹在上下两层聚四氟乙烯薄膜之间，上层聚四氟乙烯薄膜的上面和下层聚四氟乙烯薄膜的下面各设有一个硅橡胶板，通过钢板由上而下向上层的硅橡胶板施加压力并固定，将加压的整个装置放入电热干燥箱进行高温聚合固化处理，处理后取出固化的胶膜板；

(3)台阶切割和修整：根据设计参数在胶膜板的前端切割出多个与金属丝一一对应的台阶，并在显微镜下对台阶进行修整；

(4)引线编号：对各金属丝的后端进行编号；

(5)制作固定立柱：根据设计参数切割玻璃棒，修整、打磨、清洗后得固定立柱；

(6)制作带金属丝的胶膜筒体：将胶膜板卷成空心筒状，并在筒内放入定型杆，再整体置于定型筒内形成定型装置，最后将定型装置放在电热干燥箱内进行高温定型处理，处理后取出定型的胶膜筒体；

(7)粘接并固化固定立柱：在固定立柱外表面涂上粘接剂，将固定立柱从胶膜筒体的后端导入胶膜筒体内，用聚四氟乙烯薄膜包裹胶膜筒体的后段并指压，挤出多余粘接剂，将粘接固定立柱的胶膜筒体放入定型杆，再整体置于定型筒内形成固化装置，最后将固化装置放在电热干燥箱内进行高温固化处理，处理后取出带固定立柱的胶膜筒体；

(8)检验、包装后得组合式电探针成品。

具体地，所述步骤(2)中，电热干燥箱内的温度由室温匀速升温到120℃，恒温2h，再自然降温到室温后取出加压的整个装置。

所述步骤(6)中，电热干燥箱内的温度由室温均速升到140℃，恒温2h，再自然降温到室温后取出定型装置。

所述步骤(7)中，将固化装置在室内放置2h后放入电热干燥箱内，电热干燥箱内的温度由室温均速升到60℃，恒温1h，再自然降温到室温后取出固化装置。

本发明的有益效果在于：

采用本发明所述组合式电探针进行实验，由于在较小体积空间内集成了多根金属丝即多个独立的电探针，可以在一发实验中取得传统多发实验才能获得的实验数据，在获得相同结果的前提下省去了多发实验，显著降低了研究成本、缩短了研究周期。具体优点如下：

(1)传统的电探针头部直径在1mm以上，其中的盖帽式电探针头部直径在2mm以上，且在实验中只能获得一个时间信号；本发明所述组合式电探针直径可以做到1.25mm，且在1.25mm范围内布置多达6个电探针(即6根金属丝)且前端具有不同台阶，即相当于在传统电探针的空间内组合了6根不同高度的电探针，可以得到6个时间信号，达到了对金属飞片运动的连续测量的目的；如果金属飞片的平面性较好，可以采用直径2mm的组合式电探针，组合近12个电探针，最多可以获得金属飞片到达12个不同位置的时间信号。

(2)本组合式电探针的每一个电探针为直径不大于0.1mm的细金属丝，最大限度减小了电探针与高速运动的金属飞片碰撞时产生喷溅物的影响；胶膜筒体也对减小喷溅物喷射范围起到了一定的作用；经过大量爆轰实验研究验证，本组合式电探针的各电探针之间的间距可以做到小于0.4mm而不受干扰；由于喷溅物影响范围减小，所以本组合式电探针极大地提高了实验中电探针布置的密度，可以实现炸药爆轰驱动飞片运动全区域的测量，尤其适用于飞片变形较大的实验测量。

(3)本组合式电探针在加工过程中，对胶膜板的切割能够在现有技术下实现高精度切割，其前端的台阶高度精度可达0.01mm，完全可以达到传统单根电探针的定位精度，满足实验要求。

(4)采用胶膜筒体对多根金属丝即多个电探针进行胶膜封装，并经过高温固化，保证了长期存放后不变形，满足实验测量的精度要求。

附图说明

图1是本发明所述组合式电探针的主视结构示意图；

图2是图1中的A-A剖视图；

图3是图1中的B-B剖视图；

图4是本发明所述组合式电探针处于半成品状态的主视结构示意图；

图5是本发明所述组合式电探针加工用的胶膜板工装的立体结构示意图；

图6是本发明所述组合式电探针加工用的加压固化工装的立体结构示意图；

图7是本发明所述组合式电探针的胶膜筒体在定型过程中的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步说明：

如图1、图2和图3所示，本发明所述用于高速运动金属飞片测试的组合式电探针包括胶膜筒体14、实心玻璃圆柱7和多根金属丝，金属丝的数量由胶膜筒体14的直径和相邻金属丝之间的间距决定，本例中金属丝为六根，分别为第一金属丝1、第二金属丝2、第三金属丝3、第四金属丝4、第五金属丝5、第六金属丝6，胶膜筒体14为由胶膜制成的圆形筒体，多根金属丝均匀分布于胶膜筒体14的圆周壁上并被胶膜筒体14的胶膜包覆，金属丝与胶膜筒体14同轴向，以所述组合式电探针应用时与金属飞片(图中未示出)接触的一端为前端(即图1和图4的右端)，第一金属丝1的前端11、第二金属丝2的前端9、第三金属丝3的前端13、第四金属丝4的前端8、第五金属丝5的前端12和第六金属丝6的前端10均不齐平并与胶膜前端共同形成多个台阶，每根金属丝的前端与其周边对应的胶膜前端齐平，所有金属丝的后端均延伸至胶膜筒体14的后端以外，实心玻璃圆柱7位于胶膜筒体14内的后段并与胶膜筒体14相互连接，实心玻璃圆柱7的前端比所有金属丝的前端均更加靠近胶膜筒体14的后端。图3中示出了胶膜筒体14的中心通孔15。

上述结构中，所有金属丝均为漆包金属丝，如漆包铜线，所有金属丝的直径均不大于0.1mm，相邻的金属丝之间的距离为0.4～1mm；实心玻璃圆柱7的前端与最近的台阶(即图1和图4中的第四金属丝4的前端8所在的台阶)之间的距离不小于2.5mm；相邻的台阶之间的距离为2～20mm，即第三金属丝3的前端13与第五金属丝5的前端12之间、第五金属丝5的前端12与第一金属丝1的前端11之间、第一金属丝1的前端11与第六金属丝6的前端10之间、第六金属丝6的前端10与第二金属丝2的前端9之间、第二金属丝2的前端9与第四金属丝4的前端8之间的距离均为2～20mm；胶膜筒体14的胶膜厚度不大于0.08mm。上述参数的具体数值在应用时根据实际需求而定。

如图1、图2和图3所示，实验时，高速运动的金属飞片由右向左运动并在不同时间先后与第三金属丝3的前端13、第五金属丝5的前端12、第一金属丝1的前端11、第六金属丝6的前端10、第二金属丝2的前端9和第四金属丝4的前端8产生碰撞，第三金属丝3、第五金属丝5、第一金属丝1、第六金属丝6、第二金属丝2和第四金属丝4分别获得与不同时间对应的不同电信号，该电信号由各金属丝的后端传输给测试设备(图中未示出)，获得相应的实验数据。在此过程中，金属飞片与各金属丝碰撞时产生的喷溅物相比传统实验要少得多，因为碰撞时的接触面积要小得多；同时，胶膜筒体14的胶膜本身具有一定吸纳性能，而且筒体本身也有限位功能，所以，胶膜筒体14也对减小喷溅物喷射范围起到了一定的作用。经过一发(次)实验，即可获得与六个碰撞时间对应的实验数据，相当于采用传统的单电探针做了六发实验，节约了五次实验导致的研发成本和研发时间。

下面结合附图对本组合式电探针的加工过程进行具体说明：

本发明所述组合式电探针的加工方法，包括以下步骤：

(1)制作带金属丝的胶膜板：采用的胶膜板工装如图5所示，该工装包括底座26，底座26的中段安装有玻璃基板21，玻璃基板21的上表面与底座26的上表面齐平，底座26的上表面上位于玻璃基板21两侧的位置分别通过螺钉安装有用于压紧玻璃基板21的压板条22，压板条22的两端分别安装于玻璃基板21的两侧，底座26的上表面上位于压板条22两端外侧的位置分别通过螺钉安装有压线条23，底座26的上表面上位于两个压线条23外侧的位置设有凹槽，凹槽内安装有限位条24，限位条24的上表面略高于底座26的上表面，限位条24的上表面上设有多个用于对金属丝限位的线槽25，两个限位条24上的线槽25相互对应且同轴向；制作时，胶膜板工装的玻璃基板21、压板条22和压线条23均与底座26处于分离状态，首先准备半固化的下胶膜、半固化的上胶膜、表面包覆有绝缘漆的金属丝、胶粘剂和聚四氟乙烯薄膜，使用前用无水乙醇棉签清洁下胶膜和上胶膜，用透明胶纸将下胶膜固定在玻璃基板21上后，将玻璃基板21嵌入安装于底座26的中段，并用螺钉安装好压板条22，然后在多根漆包金属丝(即前面所述第一金属丝1、第二金属丝2、第三金属丝3、第四金属丝4、第五金属丝5和第六金属丝6)的两端绑上配重块，将金属丝按顺序码放到限位条24上的线槽25内并一一对应，金属丝的两端在配重块作用下自然垂下，金属丝的中段均匀排列在下胶膜上，用螺钉安装好压线条23，将金属丝紧紧地固定在底座26上；然后在金属丝及其周边的下胶膜上刷胶粘剂，待金属丝上的胶粘剂半固化后，在上胶膜的下表面刷胶粘剂并立即将上胶膜覆盖于下胶膜上，同时在上胶膜上覆盖一层聚四氟乙烯薄膜，隔着聚四氟乙烯薄膜并顺着金属丝长度方向指压，赶出两层胶膜中多余的胶液和空气，直到胶膜平整，金属丝位置固定，从胶膜板工装上取出上胶膜、下胶膜和金属丝，得带金属丝的胶膜板，下称胶膜板；

(2)加压固化：采用的加压工装如图6所示，该工装包括“匚”形框体33，“匚”形框体33的上面板38的中部位置通过螺纹安装有丝杆31，丝杆31穿过“匚”形框体33的上面板38，丝杆31的上端安装有手柄37，丝杆31的下端安装有用于向下加压的压头32，压头32与“匚”形框体33的底板39之间设有钢板34、硅橡胶板36和聚四氟乙烯薄膜35，由上而下依次排列的一个钢板34、一个硅橡胶板36、一个聚四氟乙烯薄膜35、一个聚四氟乙烯薄膜35和一个硅橡胶板36组成一个加压单元，图6中示出了两个上下排列的加压单元，可以同时对两个胶膜板进行加压；加工中，首先理顺胶膜板上的金属丝引出线，并将胶膜板夹在其中一个加压单元的上下两层聚四氟乙烯薄膜35之间，然后旋转手柄37，通过丝杆31的螺纹传动后，丝杆31带动压头32向下移动，并压紧上面的钢板34，通过该钢板34由上而下向上层的硅橡胶板36施加压力并固定，然后将加压工装整体放入电热干燥箱进行高温聚合固化处理，电热干燥箱内的温度由室温匀速升温到120℃，恒温2h，再自然降温到室温后取出加压工装，再取出固化的胶膜板；

(3)台阶切割和修整：采用常规的切割工装进行切割，根据设计参数在胶膜板的前端切割出多个与金属丝一一对应的台阶，并在显微镜下对台阶进行修整，此步骤后得到如图4所示的半成品组合式电探针，该半成品组合式电探针相当于图1的组合式电探针去掉实心玻璃圆柱7后并展开胶膜筒体14的结构；

(4)引线编号：对各金属丝的后端进行编号；

(5)制作图1和图2所示的实心玻璃圆柱7：根据设计参数切割玻璃棒，修整、打磨、清洗后得实心玻璃圆柱7；

(6)制作带金属丝的胶膜筒体：结合图7，将图4所示的胶膜板卷成空心筒状，并在筒内放入定型杆42，再整体置于定型筒41内形成定型装置，最后将定型装置放在电热干燥箱内进行高温定型处理，电热干燥箱内的温度由室温均速升到140℃，恒温2h，再自然降温到室温后取出定型装置，再取出定型的胶膜筒体14，图7中示出了金属丝16，金属丝16是第一金属丝1、第二金属丝2、第三金属丝3、第四金属丝4、第五金属丝5和第六金属丝6的统称；

(7)粘接并固化实心玻璃圆柱7：结合图1和图2，在实心玻璃圆柱7外表面涂上粘接剂，将实心玻璃圆柱7从胶膜筒体14的后端导入胶膜筒体14内，用聚四氟乙烯薄膜包裹胶膜筒体14的后段并指压，挤出多余粘接剂，将粘接实心玻璃圆柱7的胶膜筒体14放入定型杆(与图7的定型杆42相同)，再整体置于定型筒(与图7的定型筒41相同)内形成固化装置，将固化装置在室内放置2h后放入电热干燥箱内，电热干燥箱内的温度由室温均速升到60℃，恒温1h，再自然降温到室温后取出固化装置，再取出带实心玻璃圆柱7的胶膜筒体14；

(8)检验、包装后得图1所示的组合式电探针成品。

上述实施例只是本发明的较佳实施例，并不是对本发明技术方案的限制，只要是不经过创造性劳动即可在上述实施例的基础上实现的技术方案，均应视为落入本发明专利的权利保护范围内。

Claims (9)

1.一种用于高速运动金属飞片测试的组合式电探针，其特征在于：包括胶膜筒体、固定圆柱和多根金属丝，所述胶膜筒体为由胶膜制成的圆形筒体，多根所述金属丝均匀分布于所述胶膜筒体的圆周壁上，所述金属丝与所述胶膜筒体同轴向，以所述组合式电探针应用时与所述金属飞片接触的一端为前端，不同的所述金属丝的前端均不齐平并与所述胶膜前端共同形成多个台阶，每根所述金属丝的前端与其周边对应的胶膜前端齐平，所有所述金属丝的后端均延伸至所述胶膜筒体的后端以外，所述固定圆柱位于所述胶膜筒体内的后段并与所述胶膜筒体相互连接，所述固定圆柱的前端比所有所述金属丝的前端均更加靠近所述胶膜筒体的后端。

2.根据权利要求1所述的用于高速运动金属飞片测试的组合式电探针，其特征在于：所述金属丝的直径不大于0.1mm，相邻的所述金属丝之间的距离为0.4～1mm；所述固定圆柱的前端与最近的所述台阶之间的距离不小于2.5mm；相邻的所述台阶之间的距离为2～20mm；所述胶膜筒体的胶膜厚度不大于0.08mm。

3.根据权利要求1或2所述的用于高速运动金属飞片测试的组合式电探针，其特征在于：所述固定圆柱为实心玻璃柱。

4.根据权利要求1或2所述的用于高速运动金属飞片测试的组合式电探针，其特征在于：所述金属丝为漆包金属丝。

5.根据权利要求1或2所述的用于高速运动金属飞片测试的组合式电探针，其特征在于：所述金属丝被所述胶膜筒体的胶膜包覆。

6.一种如权利要求1所述的用于高速运动金属飞片测试的组合式电探针的加工方法，其特征在于：包括以下步骤：

(1)制作带金属丝的胶膜板：准备半固化的下胶膜、半固化的上胶膜、表面包覆有绝缘漆的金属丝、胶粘剂和聚四氟乙烯薄膜，先将下胶膜平铺固定，然后将多根金属丝排列在下胶膜上，在金属丝及其周边的下胶膜上刷胶粘剂，待金属丝上的胶粘剂半固化后，在上胶膜的下表面刷胶粘剂并立即将上胶膜覆盖于下胶膜上，同时在上胶膜上覆盖一层聚四氟乙烯薄膜，隔着聚四氟乙烯薄膜并顺着金属丝长度方向指压，赶出两层胶膜中多余的胶液和空气，直到胶膜平整，金属丝位置固定，取出上胶膜、下胶膜和金属丝，得带金属丝的胶膜板，下称胶膜板；

(2)加压固化：理顺胶膜板上的金属丝引出线，并将胶膜板夹在上下两层聚四氟乙烯薄膜之间，上层聚四氟乙烯薄膜的上面和下层聚四氟乙烯薄膜的下面各设有一个硅橡胶板，通过钢板由上而下向上层的硅橡胶板施加压力并固定，将加压的整个装置放入电热干燥箱进行高温聚合固化处理，处理后取出固化的胶膜板；

(3)台阶切割和修整：根据设计参数在胶膜板的前端切割出多个与金属丝一一对应的台阶，并在显微镜下对台阶进行修整；

(4)引线编号：对各金属丝的后端进行编号；

(5)制作固定立柱：根据设计参数切割玻璃棒，修整、打磨、清洗后得固定立柱；

(6)制作带金属丝的胶膜筒体：将胶膜板卷成空心筒状，并在筒内放入定型杆，再整体置于定型筒内形成定型装置，最后将定型装置放在电热干燥箱内进行高温定型处理，处理后取出定型的胶膜筒体；

(7)粘接并固化固定立柱：在固定立柱外表面涂上粘接剂，将固定立柱从胶膜筒体的后端导入胶膜筒体内，用聚四氟乙烯薄膜包裹胶膜筒体的后段并指压，挤出多余粘接剂，将粘接固定立柱的胶膜筒体放入定型杆，再整体置于定型筒内形成固化装置，最后将固化装置放在电热干燥箱内进行高温固化处理，处理后取出带固定立柱的胶膜筒体；

(8)检验、包装后得组合式电探针成品。

7.根据权利要求6所述的组合式电探针的加工方法，其特征在于：所述步骤(2)中，电热干燥箱内的温度由室温匀速升温到120℃，恒温2h，再自然降温到室温后取出加压的整个装置。

8.根据权利要求6所述的组合式电探针的加工方法，其特征在于：所述步骤(6)中，电热干燥箱内的温度由室温均速升到140℃，恒温2h，再自然降温到室温后取出定型装置。

9.根据权利要求6所述的组合式电探针的加工方法，其特征在于：所述步骤(7)中，将固化装置在室内放置2h后放入电热干燥箱内，电热干燥箱内的温度由室温均速升到60℃，恒温1h，再自然降温到室温后取出固化装置。