CN103870698A - 一种校验工程数据收集正确性的方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种校验工程数据收集正确性的方法，涉及半导体制造工艺领域，包括以下步骤：数据导入模块将采集的数据导入校验模块；校验模块判断数据是否符合系统要求，并判断数据是否正确；如数据符合系统要求并正确，则数据导出模块将数据导出。本发明的技术方案在设置DCSpec数据到MES系统之前，通过使用校验工程数据收集正确性的系统，第一时间发生的错误信息提示给申请者并及时修正，这样确保了数据采集的准确性，有效降低了误操作。
Description
技术领域
本发明涉及用于半导体制造工艺领域，尤其涉及一种校验工程数据收集正确性的方法。
背景技术
MES(制造执行系统)中DCSpec(数据采集规格)都是由工程师直接输入，有关DCSpec相关性一些信息如目标值，上限目标值和下限目标值等的设置有效性规则系统是不会做任何判断的。
在半导体生产过程中，DCSpec(数据采集规格)是监控工艺流程的重要参考依据，一个DCSpec下可以设置多个chart(图表)，每个chart有自己采集数据的规格及收集的点数还有数据类型，但是目前系统中对于这些数据的设置正确与否是无法判断的，如spec设置必须符合LSL<Target<USL(下限目标值<目标<上限目标值)，但是有时申请者的表单中会出现LSL和USL设置颠倒，这些问题在实际生产时才会发出警报，导致该收集的数据未收集到。
中国专利(CN103187332A)公开了一种半导体工艺监测方法和半导体工艺监测装置。该方法包括：通过数据采集系统收集半导体工艺过程的工艺数据；在设定时间内向所述数据采集系统发送备份监测请求数据；若查询出指定时间内未接收到所述数据采集系统返回的监测应答数据，则生成数据采集系统停止运行的提示信息，提示用户选择备份监测系统继续收集工艺数据。当查询出指定时间内未接收到数据采集系统返回的监测应答数据后生成提示数据采集系统的停止运行的提示信息，提示用户选择备份监测系统继续收集工艺数据，从而有效避免了工艺过程中的工艺数据未被采集的情况。但该专利缺乏对数据有效性的判断。
中国专利（CN103491059A）公开了一种面向半导体制造设备的数据采集实现方法，步骤为：分别在客户和设备服务端建立Web服务，Web通信中使用代理类；基于安全套接层协议的客户安全认证；自定义SOAPHeader数据格式；建立设备信息数据库；使用委托代理的方式处理设备中各种事件异常；创建数据采集计划的状态机，实现数据采集计划的行为转换；使用COM组件，完成设备端与设备控制系统的连接，为半导体制造提供了通用设备数据采集方法，提高了半导体生产制造中生产者与工厂设备之间的数据采集能力。但该专利任然缺乏对数据有效性的判断。
发明内容
鉴于上述问题，本发明提供一种校验工程数据收集正确性的方法。
本发明解决技术问题所采用的技术方案为：
一种校验工程数据收集正确性的方法，适用于数据采集系统中，其中，所述数据采集系统包括数据导入模块、校验模块和数据导出模块，所述方法包括以下步骤：
步骤1，所述数据导入模块将采集的数据导入校验模块；
步骤2，所述校验模块判断数据是否符合系统要求，并判断数据是否正确；
步骤3，如数据符合系统要求并正确，则所述数据导出模块将数据导出。
其中，所述步骤2包括：
步骤2.1，所述校验模块判断所述数据格式是否符合系统要求；
步骤2.2，如符合，所述校验模块判断所述数据是否符合系统要求的规格。
其中，所述步骤2.2中还包括如不符合，则所述数据导入模块重新导入数据。
其中，所述步骤2.1中的数据格式包括所述数据采集系统中的属性栏位。
其中，所述步骤2.2中的系统要求的规格包括所述属性栏位的有效性。
其中，所述数据导出模块包括错误导出模块，所述步骤3中还包括如数据符合系统要求但不正确，则导出不正确的数据。
其中，所述错误导出模块通过表格形式导出错误数据。
本发明的技术方案在设置DCSpec数据到MES系统之前，通过使用校验工程数据收集正确性的系统，第一时间发生的错误信息提示给申请者并及时修正，这样确保了数据采集的准确性，有效降低了误操作。
附图说明
参考所附附图，以更加充分的描述本发明的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本发明范围的限制。
图1本发明实施例的流程示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，显然，所描述的实例仅仅是本发明一部分实例，而不是全部的实例。基于本发明汇总的实例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有实例，都属于本发明保护的范围。
需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明中的实例及实例中的特征可以相互自由组合。
以下将结合附图对本发明的一个实例做具体阐释。
如图1所示的本发明的实例是一种校验工程数据收集正确性的方法，包括以下步骤：
步骤1，数据导入模块将采集的数据导入校验模块；
步骤2.1，校验模块判断数据格式是否符合系统要求；
步骤2.2，如符合，校验模块判断数据是否符合系统要求的规格；
如不符合，则数据导入模块重新导入数据。
步骤3，如数据符合系统要求并正确，则数据导出模块将数据导出。
在本发明的实施例中，数据的表单格式必须符合系统要求，校验工程数据收集正确性的系统开始检查DCSpec设置信息是否符合DCSpec中图表中的规格。既包括对DCSpec所有的属性栏位的检查，也包括对每个属性栏位有效性的检查。如果正确检查结束，如果不符合规则则把错误结果信息同DCSpec一同以Excel形式导出。
本发明的实施例在设置DCSpec数据到MES系统之前，通过使用校验工程数据收集正确性的系统，第一时间发生的错误信息提示给申请者并及时修正，这样确保了数据采集的准确性，有效降低了误操作。
以上所述仅为本发明较佳的实施例，并非因此限制本发明的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本发明说明书及图示内容所做出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本发明的保护范围内。
Claims (7)
1.一种校验工程数据收集正确性的方法，适用于数据采集系统中，其特征在于，所述数据采集系统包括数据导入模块、校验模块和数据导出模块，所述方法包括以下步骤：
步骤1，所述数据导入模块将采集的数据导入校验模块；
步骤2，所述校验模块判断数据是否符合系统要求，并判断数据是否正确；
步骤3，如数据符合系统要求并正确，则所述数据导出模块将数据导出。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤2包括：
步骤2.1，所述校验模块判断所述数据格式是否符合系统要求；
步骤2.2，如符合，所述校验模块判断所述数据是否符合系统要求的规格。
3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述步骤2.2中还包括如不符合，则所述数据导入模块重新导入数据。
4.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述步骤2.1中的数据格式包括所述数据采集系统中的属性栏位。
5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述步骤2.2中的系统要求的规格包括所述属性栏位的有效性。
6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述数据导出模块包括错误导出模块，所述步骤3中还包括如数据符合系统要求但不正确，则导出不正确的数据。
7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述错误导出模块通过表格形式导出错误数据。
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| CN201410106626.0A CN103870698A (zh) | 2014-03-20 | 2014-03-20 | 一种校验工程数据收集正确性的方法 |
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| CN (1) | CN103870698A (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106126554A (zh) * | 2016-06-16 | 2016-11-16 | 西安科技大市场有限公司 | 一种基于科技资源大数据的采集方法 |
| CN112926204A (zh) * | 2021-02-24 | 2021-06-08 | 上海华力集成电路制造有限公司 | 工艺建模整合系统、储存介质及计算机设备 |
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