CN103794895B - 一种射频电源接入器 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及电气设备，公开了一种射频电源接入器，以提高射频电源发生器向PECVD设备的有效输出功率。一种射频电源接入器，包括：两个条形导电板，用于电连接化学气相沉积PECVD设备的射频电源输入端的第一条形汇接板；以及用于电连接射频电源发生器的射频电源输出端的第二条形汇接板；其中：所述第一条形汇接板的两端分别连接一个条形导电板的一端，所述第二条形汇接板的两端分别电连接一个条形导电板的另一端。

Description

一种射频电源接入器
技术领域
本发明涉及电气设备，尤其涉及一种射频电源接入器。
背景技术
利用射频电源发生器产生等离子体，作为化学气相沉积(PECVD)设备的射频电源接入PECVD设备中，对半导体进行镀膜加工，是当前主流的半导体镀膜工艺之一，并广泛应用于液晶面板制造、薄膜太阳能电池制造等相关领域。
现有射频电源发生器和PECVD设备的连接，一般在射频电源发生器的射频电源输出端和PECVD设备的射频电源输入端之间采用电缆连接，这种采用电缆连接的方式的缺陷在于利用电容电感调节电缆输入阻抗的难度较大。造成射频电路匹配异常，且电缆的散热性能不好，从而影响射频电源的有效输出功率，严重时可能会损毁射频电源发生器。
为此，需要对射频电源发生器和PECVD设备之间的连接方式进行改进，以提高射频电源发生器的有效输出功率。
发明内容
本发明提供一种射频电源接入器，以提高射频电源发生器向PECVD设备的有效输出功率。
本发明的目的是通过以下技术方案实现的：
一种射频电源接入器，包括：两个条形导电板，用于电连接化学气相沉积PECVD设备的射频电源输入端的第一条形汇接板；以及用于电连接射频电源发生器的射频电源输出端的第二条形汇接板；其中：
两个条形导电板相对设置，所述第一条形汇接板的两端分别连接一个条形导电板的一端，所述第二条形汇接板的两端分别电连接一个条形导电板的另一端。
进一步，两个条形导电板的表面相对平行设置，每一个条形导电板相对平行的表面上，沿长度方向还焊接有一条冷却液管道。
更进一步，每一个条形导电板沿长度方向上具有多个贯穿厚度的散热孔。
或者，每一个条形导电板包括至少两个并联且有一定间距的条形导电子板。
进而，每一个条形导电板所包括的至少两个条形导电子板中，在任何相邻的两个条形导电子板之间沿长度方向还设置有两侧分别于一个条形导电子板焊接的冷却液管道。
以及，每一个条形导电子板沿长度方向上具有多个贯穿厚度的散热孔。
更进一步，还包括：固定连接在第二条形汇接板的绝缘体，以及与所述绝缘体固定连接并具有和PECVD设备表面固定连接结构的定位件。
以及，还包括：第一转接板，一端电连接第一条形汇接板，另一端用于电连接PECVD设备的射频电源输入端；
第二转接板，一端电连接第二条形汇接板，另一端用于电连接射频电源发生器的射频电源输出端。
本发明实施例提供的射频电源连接器为一个框架型连接器，框架型连接器起到对PECVD设备电源输入端的转接作用，利用第一条形汇接板可以方便连接PECVD设备的射频电源输入端，从而利用框架将PECVD设备的射频电源输入端转接到方便和射频电源发生器电连接的位置，达到保证较佳的接入位置的目的。且两个条形导电板为板型导体，并联后可以有效减小射频电源发生器和PECVD设备之间连接件所产生的输入阻抗，进一步板型导体的散热性能较好，还可以附加液体散热的冷却液管道辅助散热，因此可以提高射频电源的有效输出功率。
附图说明
图1为本发明实施例的一种射频接入器的结构示意图；
图2为本发明实施例提供另一种射频接入器的结构示意图；
图3为本发明实施例提供再一种射频接入器的结构示意图。
具体实施方式
本发明提供一种射频电源接入器，在保证PECVD设备上较佳接入位置的基础上，有效减小射频电源发生器和PECVD设备之间连接件所产生的输入阻抗，进一步利用冷却液管道进行散热，从而提高射频电源的有效输出功率。
下面以具体实施例并结合附图详细说明本申请。
实施例一
如图1所示，本发明实施例提供的第一种射频接入器1，具体包括：
两个条形导电板11，用于电连接化学气相沉积PECVD设备的射频电源输入端的第一条形汇接板12；以及用于电连接射频电源发生器的射频电源输出端的第二条形汇接板13；其中：
两个条形导电板11相对设置，第一条形汇接板12的两端分别连接一个条形导电板11的一端，第二条形汇接板13的两端分别电连接一个条形导电板的另一端。
图1所示为一种较佳的示例，两个条形导电板11为长条形导体，表面相对平行。
图1所示的射频电源连接器1为一个框架型连接器，框架型连接器起到电源输入端的转接作用，具体的：利用第一条形汇接板12可以方便连接PECVD设备的射频电源输入端，从而利用框架将PECVD设备的射频电源输入端转接到方便和射频电源发生器电连接的位置，达到保证较佳的接入位置的目的。且两个条形导电板11为板型导体，并联后可以有效减小射频电源发生器和PECVD设备之间连接件所产生的输入阻抗，进一步板型导体的散热性能较好，因此可以提高射频电源的有效输出功率。
第一条形汇接板12可以弯出一个和PECVD设备的射频电源输入端相连的结构，这样可以将框架型连接器支撑起一定高度，与PECVD设备的表面具有一定高度，再和第二条形汇接板13配合，将框架型连接器稳定的固定在PECVD设备上方。
实施例二
如图2所示，进一步为提高散热能力，每一个条形导电板11沿长度方向还焊接有一条冷却液管道14，如果两个条形导电板的表面相对平行设置，较佳的，冷却液管道焊接在每一个条形导电板11相对平行的表面上，即位于框架型连接器的内部。两条冷却液管道14可以如图2所示是连通的，即一条散热管道，两端分别连接有一个转接头，用于接通冷却液的输入管和输出管。两条冷却液管道也可以是各自独立的，在每一条冷却液管道的两端分别连接有一个转接头，分别用于接通冷却液的输入管和输出管。
更进一步如图1和图2所示，每一个条形导电板沿长度方向上具有多个贯穿条形导电板厚度的散热孔，散热孔一般为排列整齐的一排。
实施例三
进一步减小等效阻抗，每一个条形导电板11可以包括多个并联的导电子板，例如图3所示的两个并联且有一定间距的条形导电子板。
实施例四
进一步为增加散热效果，每一个条形导电板11所包括的至少两个条形导电子板中，在任何相邻的两个条形导电子板之间沿长度方向还设置有两侧分别于一个条形导电子板焊接的冷却液管道。以及，每一个条形导电子板沿长度方向上具有多个贯穿厚度的散热孔。仍如图3所示的两个条形导电子板中可以夹着一条冷却液管道，为清楚起见，图3中靠近外侧的一边绘制了两个并联的导电子板，另一边为方便观察冷却液管道，去除了内侧的另一个导电子板
实施例五
如图3所示，本发明实施例提供的射频电源接入器，还可以包括：
第一转接板15，一端电连接第一条形汇接板12，另一端用于电连接PECVD设备的射频电源输入端；
第二转接板16，一端电连接第二条形汇接板13，另一端用于电连接射频电源发生器的射频电源输出端。
为进一步固定框架型的射频电源接入器，本发明实施例提供的射频电源接入器，还可以包括：固定连接在第二条形汇接板的绝缘体17，以及与绝缘体固定连接并具有和PECVD设备表面固定连接结构的定位件18。较佳的，绝缘体为至少两个绝缘柱，例如图3所示的3个绝缘柱。这样，利用第一转接板15和绝缘柱的高度，可以很好的将框架型的射频电源接入器固定在PECVD设备上方。需要说明的是，为便于观察，图3所示结构为本发明实施例提供的射频电源接入器的倒置状态，实际使用中，第一转接板15和定位件18朝下，第一转接板15和PECVD设备的电源输入端电连接，定位件18固定在PECVD设备表面。
本发明实施例提供上述任何一个射频电源接入器，其中的条形导电板、第一条形汇接板、第二条形汇接板以及转接板均为具有良好导电性的导体制成，例如铜板。各个结构之间需要紧固连接的部分可以折弯搭接后采用多个螺钉或者螺栓连接，为本领域技术人员所熟知，这里不再详细描述。
本发明实施例提供的射频电源连接器为一个框架型连接器，框架型连接器起到电源输入端的转接作用，利用第一条形汇接板可以方便连接PECVD设备的射频电源输入端，从而利用框架型的射频电源接入器将PECVD设备的射频电源输入端转接到方便和射频电源发生器电连接的位置，达到保证较佳的接入位置的目的。且两个条形导电板为板型导体，并联后可以有效减小射频电源发生器和PECVD设备之间连接件所产生的输入阻抗，进一步板型导体的散热性能较好，还可以附加液体散热的冷却液管道辅助散热，因此可以提高射频电源的有效输出功率。
本发明实施例提供的射频电源连接器的散热性较好，输入阻抗较低，而且输入阻抗比较容易测量，从而可以较精确的利用PECVD设备中的调节电容调整电源连接器引入的输入阻抗。
显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种射频电源接入器，其特征在于，包括：两个条形导电板，用于电连接化学气相沉积PECVD设备的射频电源输入端的第一条形汇接板；以及用于电连接射频电源发生器的射频电源输出端的第二条形汇接板；其中：
两个条形导电板相对设置，所述第一条形汇接板的两端分别连接两个条形导电板的一端，所述第二条形汇接板的两端分别电连接两个条形导电板的另一端。
2.如权利要求1所述的射频电源接入器，其特征在于，两个条形导电板的表面相对平行设置，每一个条形导电板相对平行的表面上，沿长度方向还焊接有一条冷却液管道。
3.如权利要求2所述的射频电源接入器，其特征在于，每一个条形导电板沿长度方向上具有多个贯穿厚度的散热孔。
4.如权利要求1所述的射频电源接入器，其特征在于，每一个条形导电板包括至少两个并联且有一定间距的条形导电子板。
5.如权利要求4所述的射频电源接入器，其特征在于，每一个条形导电板所包括的至少两个条形导电子板中，在任何相邻的两个条形导电子板之间沿长度方向还设置有两侧分别与一个条形导电子板焊接的冷却液管道。
6.如权利要求5所述的射频电源接入器，其特征在于，每一个条形导电子板沿长度方向上具有多个贯穿厚度的散热孔。
7.如权利要求1～6任一所述的射频电源接入器，其特征在于，还包括：固定连接在第二条形汇接板的绝缘体，以及与所述绝缘体固定连接并具有和PECVD设备表面固定连接结构的定位件。
8.如权利要求7所述的射频电源接入器，其特征在于，还包括：
第一转接板，一端电连接第一条形汇接板，另一端用于电连接PECVD设备的射频电源输入端；
第二转接板，一端电连接第二条形汇接板，另一端用于电连接射频电源发生器的射频电源输出端。
9.如权利要求8所述的射频电源接入器，其特征在于，所述绝缘体为至少两个绝缘柱。
10.如权利要求9所述的射频电源接入器，其特征在于，所述的条形导电板、第一条形汇接板、第二条形汇接板以及转接板均为铜板。
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