CN103658140B - 一种手持式激光清洗机的光学整型装置 - Google Patents

一种手持式激光清洗机的光学整型装置 Download PDF

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Abstract

一种手持式激光清洗机的光学整型装置，包括：指示光发生器（11）、工作波长激光器（21）、第一反射镜（31）、合束镜（32）、分束镜（33）、第二反射镜（34）、第三反射镜（35）、第四反射镜（36）、第五反射镜（37）、前透镜（41）、后透镜（42）、第六反射镜（51）、振镜（52）和准直聚焦透镜（61）；所述前透镜（41）、后透镜（42）组成双镜光束整形系统；本发明实现了工作激光功率的高密度集中，克服了单轴系统体积过大的问题；采取了光学对焦的方法，取代了传统的激光测距法，用于指示最佳工作点位置，减少了元器件数量，使结构更为简单紧凑；同时实现了光学对焦，既给操作人员指明了清洗区域，又保障了人身安全。

Description

一种手持式激光清洗机的光学整型装置
技术领域
本发明涉及一种手持式激光清洗机的光学整型装置。
背景技术
激光清洗技术是采用高功率密度的激光直接照射在物体表面，使表面上附着的涂层、锈迹和油污瞬间蒸发、烧蚀或剥离。
手持式激光清洗机要求结构紧凑，体积小，重量轻。系统由光学设计开始，光学结构决定了整个系统的体积大小，对激光的整型处理决定了待清洗面上的聚焦光点面积，在激光器输出光功率不变的情况下直接影响清洗效果。聚焦光点的半径越小，则激光的功率密度越高，清洗厚度越深，但单位时间内能清洗的面积也会减少。
多数情况下，激光器的输出为圆形平行光束，能量呈高斯型分布，光功率越大对应的圆形光斑直径也越大，可达6mm～10mm。目前的激光清洗机进行扫描时，通常都是使用准直聚焦透镜直接将这种大直径光束进行聚焦，透镜的球差、慧差将导致聚焦效果变差，待清洗物表面的光点直径增大并变形，使光功率密度下降，严重时可能低于清洗阈值，导致无法完成清洗工作。本发明的第一个目标就是对激光束进行光学整型，以获得直径小、能量高度集中的激光光斑。
减小光斑直径，提高成像质量的方法主要有两种：一是采用非球面透镜或透镜组来矫正球差、慧差，二是根据透镜成像的原理，减小物的大小也能减小像的大小。第一种方法采用非球面透镜将大大提高设备成本，而透镜组又会带来光吸收率提高、透射率下降的缺点，因此应优先采用第二种方法减小光斑直径。理想的情况是先将6mm～10mm的激光光斑缩小5～10倍，然后通过振镜扫描和准直聚焦透镜，形成高功率密度的光点。
对于缩小激光聚焦光点直径的光学整型系统还有两个要求：不能改变光束质量、尽量减少光学元件数量。不能改变光束质量是指光学系统要实现平行光入射平行光出射，高斯分布的光束直径缩小后仍呈高斯分布；减小光学元件数量是为了减少元件对光的吸收，保证输出光能量。伽利略式或开普勒式双镜望远系统均能够满足这两方面要求。伽利略望远系统由一个凸透镜加一个凹透镜组成，凸透镜的后焦点与凹透镜的后焦点（虚焦点）重合；开普勒望远系统由两个凸透镜组成，前凸透镜的后焦点与后凸透镜的前焦点重合。这两种系统的缩小倍数均为前后两镜焦距之比。伽利略系统结构较紧凑，但是光路中没有聚焦点，会给调试过程带来一定困难，如果调试不准，同样会造成光斑聚焦质量差的问题，因此在系统长度具有裕量的情况下采用开普勒系统较为合适。准直聚焦镜为球面型单透镜，其相对孔径与像差大小直接相关。在直径一定的情况下，选择小的相对孔径（即大的焦距）能够获得较好的光束会聚效果。
为了指示最佳工作位置，一般的激光清洗机采取激光测距法直接测量输出端到待清洗物的距离，但是这种方法将引入大量的元器件，提高了设备成本，并使控制系统更加复杂化。本发明的第二个目标就是采用光学对焦的方法来取代传统的激光测距法，仅需使用几个固定不动的反射镜，利用光学原理，将指示光分为两束，从两个不同的位置分别入射到会聚透镜，会聚透镜的焦点处即为会聚光斑直径最小的地方，也就是最佳工作位置。两束指示光将在透镜的焦点处产生重合，如果待清洗物位于透镜焦点之外的其他位置，则操作人员将看到两个光斑，只有当待清洗物位于透镜焦点处时，操作人员看到两个光斑重合在一起，此时待清洗物与手持式激光清洗机处于最佳工作距离。由此即以光学的方法实现了最佳工作位置的对焦指示，同时对工作激光能量无任何衰减。
发明内容
本发明的技术解决问题是：克服现有技术的不足，提供了一种手持式激光清洗机的光学整型装置，将可见指示光和不可见工作激光进行合束和分束，再通过望远系统和折返式自由光路对两部分光束分别进行整型和移位，从而实现了工作激光功率的高密度集中，克服了单轴系统体积过大的问题；采取了光学对焦的方法，取代了传统的激光测距法，用于指示最佳工作点位置，减少了元器件数量，使结构更为简单紧凑；在不可见的工作激光中附加了可见指示光，同时实现了光学对焦，既给操作人员指明了清洗区域，又保障了人身安全。
本发明的技术解决方案是：一种手持式激光清洗机的光学整型装置包括：指示光发生器（11）、工作波长激光器（21）、第一反射镜（31）、合束镜（32）、分束镜（33）、第二反射镜（34）、第三反射镜（35）、第四反射镜（36）、第五反射镜（37）、前透镜（41）、后透镜（42）、第六反射镜（51）、振镜（52）和准直聚焦透镜（61）；所述前透镜（41）、后透镜（42）组成双镜光束整形系统；指示光发生器（11）发出的可见光和工作激光器（21）发出的工作激光利用第一反射镜（31）与合束镜（32）进行合束和转向，使指示光和工作激光处于同一光路中，然后通过分束镜（33），混合光被分为两部分，第一部分包含50%的指示光与99.5%以上的工作激光，经过前透镜（41）和后透镜（42）组成的双镜光束整型系统，利用望远镜的原理进行整型，将光斑直径缩小5～10倍，再利用第六反射镜（51）和振镜（52）使点状激光工作在角扫描状态，最后采用一个高透射率的准直聚焦镜（61）将激光由角扫描转化为线扫描状态，并会聚成一个直径较小的光点，从而使激光能量高密度集中在待清洗物的表面，超过清洗阈值功率，实现清洗功能；混合光的第二部分主要由可见的指示光组成，微量的工作激光可以忽略，经过分束镜（33）后被第二反射镜（34）反射，垂直于第一部分的光路平面向下行进一定距离，再经过第三反射镜（35）、第四反射镜（36）、第五反射镜（37），使之平行于第一部分光路入射到聚焦镜（61）的下部；根据透镜聚焦原理，当清洗物处于非工作距离时，两部分光路将离散，清洗物上出现两个光斑；当清洗物处于最佳工作距离时，第二部分指示光与第一部分指示光重合，表明该点为聚焦点，由此实现了光学对焦。
所述工作波长激光器（21）输出光束直径大于等于3mm。
所述的合束镜（32）和分束镜（33）表面镀有45°增反膜，对工作激光反射率为99.5%以上，对指示光波段透射率为20%～80%。
所述双镜光束整形系统采用采用开普勒望远镜或伽利略望远镜结构，前透镜（41）采用双凸、平凸或凹凸型聚焦镜，后透镜（42）采用凸透镜或凹透镜，前后两镜同轴且焦点重合。
所述前透镜（41）、后透镜（42）的材料为石英、CaF或ZnSe，表面镀增透膜。
所述振镜（52）的频率和幅度由外部三角波或正弦波信号控制调节，频率范围从1Hz到200Hz，最高角振动幅度为±20°，与控制信号的电压幅度呈线性关系。点状激光通过振镜后转化为角扫描状态，再由一个高透射率的聚焦镜转化为线扫描状态。
所述指示光发生器（11）是半导体激光器或氦氖激光器，输出光波长为可见光波段400nm～780nm。
该系统中包含的元件及特征为：指示光激光器为半导体激光器或氦氖激光器，输出为可见光波段400nm～780nm。工作激光器是光纤激光器、YAG激光器或CO2激光器，输出为连续激光或脉冲激光，波长段为0.532μm～10.64μm，输出功率5W～300W。合束镜表面镀有45°增反膜，对工作激光反射率为99.5%以上，对指示光的透射率为20%以上。分束镜与合束镜采用同一种光学元件。反射镜表面镀铝，可见光波段反射率大于90%。透镜材料为石英、CaF或ZnSe，表面镀增透膜。振镜的频率和幅度可由外部电信号控制调节，频率范围1Hz～200Hz，角振动幅度±20°。
本发明与现有技术相比的优点在于：
（1）通过对激光束的整型，将光束直径缩小了5～10倍。消除了大直径激光束经过准直聚焦透镜后，球差、慧差导致聚焦效果变差，光点直径增大并变形的问题，提高了待清洗物表面的光功率密度，使其高于清洗阈值。在不可见的工作激光中附加了可见指示光，给操作人员指明了清洗区域，保障了人身安全。
（2）整个光学系统采用了折返式自由光路，实现了光轴的转向，避免了单向光轴整型系统过长的问题，使手持头的设计更加人性化，便于操作。采用光学对焦的方法取代了传统的激光测距法，用于指示最佳工作点位置，减少了元器件数量，使结构更为简单紧凑，同时能够保证输出激光的能量。
附图说明
图1为本发明的光学系统结构俯视图；
图2为本发明的光学系统结构正视图（局部）。
具体实施方式
本发明所述的光学系统结构俯视图如图1，光学系统结构正视图（局部）如图2，由指示光发生器11、工作波长激光器21、第一反射镜31、合束镜32、分束镜33、第二反射镜34、第三反射镜35、第四反射镜36、第五反射镜37、前透镜41、后透镜42、第六反射镜51、振镜52和准直聚焦透镜61组成。各元件的技术参数为：指示光发生器11输出波长为632nm的红色可见平行光；工作波长激光器21输出波长为1064nm的近红外非可见脉冲激光，平行光光斑直径8mm，能量呈高斯分布；反射镜31表面镀铝，对红光反射率大于90%；合束镜32一面镀1064nm增反膜，反射率大于99.5%，另一面对红光透射率约50%；；分束镜33与合束镜32相同；前透镜41、后透镜42和准直聚焦透镜61为石英透镜，表面镀1064nm增透膜，焦距f1和f2之比为5：1，即放大倍数为1/5。振镜52与准直聚焦透镜61的距离为f3。
光学系统的工作过程如图1中箭头所示传播方向。指示光发生器11发出的红色指示光经第一反射镜31反射后，光轴偏转了90°，到达合束镜32并透射。同时，工作波长激光器21发出的激光被合束镜反射，偏转90°后与指示光合并。分束镜33将混和光分为两部分，第一部分通过由前透镜41和后透镜42构成的开普勒望远系统，其放大倍数为1/5，将8mm的激光光斑直径缩小到了1.6mm，保持平行光输出，第六反射镜51将光轴偏转90°，平行光到达振镜52，振镜52处于准直聚焦透镜61的焦点处，工作在角扫描状态，角扫描激光被准直聚焦透镜61准直成线扫描光，并聚焦于待清洗物的表面形成一个光点，此时准直聚焦透镜61引起的球差和慧差都得到了改善，从而使光点直径很小，光功率高密度集中，实现清洗功能。第二部分主要由可见的指示光组成，工作激光可以忽略，经过分束镜33后被第二反射镜34反射，垂直于第一部分的光路平面向下行进一定距离，再经过第三反射镜35、第四反射镜36、第五反射镜37，使之平行于第一部分光路入射到准直聚焦镜61的下部。根据透镜聚焦原理，当清洗物处于非工作距离时，两部分光路将离散，清洗物上出现两个光斑；当清洗物处于最佳工作距离时，第二部分指示光与第一部分指示光重合，表明该点为聚焦点，由此实现了光学对焦。
采用本发明后，光点的直径可由1mm缩小到0.2mm以下，面积减小了25倍，在激光器输出不变的情况下，光功率密度提高了25倍。设计了折返式光路，避免了单向光轴系统过长的缺点。
需要说明的是，本发明方法的适用范围是广泛的，适用的指示光激光器可以是半导体激光器或氦氖激光器，输出光波长为可见光波段400nm～780nm。工作波长激光器可以是光纤激光器、YAG激光器或CO2激光器，输出为连续激光或脉冲激光，波长段为0.532μm～10.6μm，输出功率5W～300W。合束镜表面镀有45°增反膜，对工作激光反射率为99.5%以上，对指示光波段透射率为20%以上。光束整型系统的结构可以为开普勒望远镜或伽利略望远镜结构，前透镜41和后透镜42同轴且焦点重合，且两透镜材料可以为石英、CaF或ZnSe，表面镀增透膜。整个光学系统为折返式自由光路，实现了光轴的转向，避免了单向光轴光路整型系统过长的问题，使手持头的设计更加人性化，便于操作。
本发明说明书中未作详细描述的内容属本领域技术人员的公知技术。

Claims (7)

1.一种手持式激光清洗机的光学整型装置，其特征在于包括：指示光发生器(11)、工作波长激光器(21)、第一反射镜(31)、合束镜(32)、分束镜(33)、第二反射镜(34)、第三反射镜(35)、第四反射镜(36)、第五反射镜(37)、前透镜(41)、后透镜(42)、第六反射镜(51)、振镜(52)和准直聚焦透镜(61)；所述前透镜(41)、后透镜(42)组成双镜光束整形系统；指示光发生器(11)发出的红色指示光经第一反射镜(31)反射后，光轴偏转了90°，到达合束镜32并透射，同时，工作波长激光器(21)发出的激光被合束镜反射，偏转90°后与指示光合并，使指示光和工作激光处于同一光路中，然后通过分束镜(33)，混合光被分为两部分，第一部分包含50％的指示光与99.5％以上的工作激光，经过前透镜(41)和后透镜(42)组成的双镜光束整型系统，利用望远镜的原理进行整型，将光斑直径缩小5～10倍，再利用第六反射镜(51)和振镜(52)使点状激光工作在角扫描状态，最后采用一个高透射率的准直聚焦镜(61)将激光由角扫描转化为线扫描状态，并会聚成光点，从而使激光能量高密度集中在待清洗物的表面，超过清洗阈值功率，实现清洗功能；混合光的第二部分由可见的指示光和忽略不计的微量工作激光组成，经过分束镜(33)后被第二反射镜(34)反射，垂直于第一部分的光路平面向下行进一定距离，再经过第三反射镜(35)、第四反射镜(36)、第五反射镜(37)，使之平行于第一部分光路入射到聚焦镜(61)的下部；根据透镜聚焦原理，当清洗物处于非工作距离时，两部分光路将离散，清洗物上出现两个光斑；当清洗物处于最佳工作距离时，第二部分指示光与第一部分指示光重合，表明该点为聚焦点，由此实现了光学对焦。
2.根据权利要求1所述的手持式激光清洗机的光学整型装置，其特征在于：所述工作波长激光器(21)输出光束直径大于等于3mm。
3.根据权利要求1所述的手持式激光清洗机的光学整型装置，其特征在于：所述的合束镜(32)和分束镜(33)表面镀有45°增反膜，对工作激光反射率 为99.5％以上，对指示光波段透射率为20％～80％。
4.根据权利要求1所述的手持式激光清洗机的光学整型装置，其特征在于：所述双镜光束整形系统采用采用开普勒望远镜或伽利略望远镜结构，前透镜(41)采用双凸、平凸或凹凸型聚焦镜，后透镜(42)采用凸透镜或凹透镜，前后两镜同轴且焦点重合。
5.根据权利要求1或4所述的手持式激光清洗机的光学整型装置，其特征在于：所述前透镜(41)、后透镜(42)的材料为石英、CaF或ZnSe，表面镀增透膜。
6.根据权利要求1所述的手持式激光清洗机的光学整型装置，其特征在于：所述振镜(52)的频率和幅度由外部三角波或正弦波信号控制调节，频率范围从1Hz到200Hz，最高角振动幅度为±20°，与控制信号的电压幅度呈线性关系。
7.根据权利要求1所述的手持式激光清洗机的光学整型装置，其特征在于：所述指示光发生器(11)是半导体激光器或氦氖激光器，输出光波长为可见光波段400nm～780nm。
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Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104043617A (zh) * 2014-05-19 2014-09-17 南京南车浦镇城轨车辆有限责任公司 金属表面油污激光清洗设备
CN107931251A (zh) * 2016-10-12 2018-04-20 中国科学院沈阳自动化研究所 一种大型腔体内壁污物自动化在线激光清洗装置及其方法
CN107931865A (zh) * 2016-10-12 2018-04-20 中国科学院沈阳自动化研究所 大型腔体内壁污物自动化在线激光清洗装置和方法
CN106903427A (zh) * 2017-04-24 2017-06-30 北京华岸科技有限公司 激光控制装置及激光加工装置
TWI651136B (zh) * 2017-06-14 2019-02-21 財團法人工業技術研究院 雷射清潔裝置及方法
CN107340302B (zh) * 2017-07-06 2019-09-03 武汉翔明激光科技有限公司 一种基于激光清洗装置的清洗质量监测装置及方法
CN107671078A (zh) * 2017-11-07 2018-02-09 英诺激光科技股份有限公司 一种手持式激光清洁仪
CN108309452A (zh) * 2018-02-28 2018-07-24 重庆西山科技股份有限公司 用于手术导航的激光扫描注册仪
TWI686256B (zh) * 2018-04-13 2020-03-01 財團法人工業技術研究院 雷射清潔裝置及方法
CN108538784B (zh) * 2018-06-19 2023-12-01 南通中铁华宇电气有限公司 一种图形化外延结构激光剥离装置
CN109226095B (zh) * 2018-08-08 2021-11-23 江苏大学 一种基于应力叠加作用的高效激光清洗装置及方法
CN110180837A (zh) * 2019-04-30 2019-08-30 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种激光清洗系统
CN110695005B (zh) * 2019-10-18 2020-12-01 深圳信息职业技术学院 用于电子元器件的激光清洗设备及方法
CN111085507B (zh) * 2020-01-08 2021-09-14 南通大学 一种圆筒镍网激光清洗机
CN111992891A (zh) * 2020-08-05 2020-11-27 武汉锐科光纤激光技术股份有限公司 热轧高碳钢表面氧化皮激光清洗装置及方法
CN112192029A (zh) * 2020-09-08 2021-01-08 武汉金顿激光科技有限公司 一种筒型构件内壁表面漆层的清除方法

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5859730A (en) * 1995-09-01 1999-01-12 Pioneer Electronic Corporation Optical apparatus having a luminous flux shaping filter
JP2002301439A (ja) * 2001-04-03 2002-10-15 Daisuke Hirao 携行型レーザークリーニング装置
CN1817549A (zh) * 2006-03-23 2006-08-16 北京工业大学 便携式激光清洗系统
CN201135982Y (zh) * 2008-01-04 2008-10-22 长春德信光电技术有限公司 半导体激光清洗机
CN201223863Y (zh) * 2007-09-30 2009-04-22 南开大学 窄脉宽激光自动除污机
CN102259103A (zh) * 2010-05-28 2011-11-30 三星Sdi株式会社 一种激光清洁装置及使用其的激光清洁方法
CN102327885A (zh) * 2011-11-04 2012-01-25 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 一种用于石质文物的便携式激光清洗机
CN202155335U (zh) * 2011-07-15 2012-03-07 重庆工商职业学院 激光清洁装置
CN103056517A (zh) * 2012-12-28 2013-04-24 江苏大学 一种三维激光清洗装置
WO2013133415A1 (ja) * 2012-03-09 2013-09-12 株式会社トヨコー レーザー照射装置、レーザー照射システム及び塗膜又は付着物除去方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020170897A1 (en) * 2001-05-21 2002-11-21 Hall Frank L. Methods for preparing ball grid array substrates via use of a laser
US20100192973A1 (en) * 2009-01-19 2010-08-05 Yoshifumi Ueno Extreme ultraviolet light source apparatus and cleaning method

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5859730A (en) * 1995-09-01 1999-01-12 Pioneer Electronic Corporation Optical apparatus having a luminous flux shaping filter
JP2002301439A (ja) * 2001-04-03 2002-10-15 Daisuke Hirao 携行型レーザークリーニング装置
CN1817549A (zh) * 2006-03-23 2006-08-16 北京工业大学 便携式激光清洗系统
CN201223863Y (zh) * 2007-09-30 2009-04-22 南开大学 窄脉宽激光自动除污机
CN201135982Y (zh) * 2008-01-04 2008-10-22 长春德信光电技术有限公司 半导体激光清洗机
CN102259103A (zh) * 2010-05-28 2011-11-30 三星Sdi株式会社 一种激光清洁装置及使用其的激光清洁方法
CN202155335U (zh) * 2011-07-15 2012-03-07 重庆工商职业学院 激光清洁装置
CN102327885A (zh) * 2011-11-04 2012-01-25 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 一种用于石质文物的便携式激光清洗机
WO2013133415A1 (ja) * 2012-03-09 2013-09-12 株式会社トヨコー レーザー照射装置、レーザー照射システム及び塗膜又は付着物除去方法
CN103056517A (zh) * 2012-12-28 2013-04-24 江苏大学 一种三维激光清洗装置

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