CN103645858A - Wat测试曲线数据的保存方法和装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种WAT测试曲线数据的保存方法和装置，将曲线数据按照时间标记保存到WAT测试机台本地，每个WAT测试机台的测试数据彼此独立，彼此不受影响，可以有效防止不同WAT测试机台测试同一个测试程序时发生不同的机台同时向服务器中的一个数据文件里写数据而导致测试曲线无法区分开的情况；同时每个lot的WAT测试曲线数据也由带时间标记的数据块区分开，可以依据曲线数据保存的时间方便地从带有时间标志的数据块中迅速的找到曲线数据，无需手动处理区分曲线数据。

Description

WAT测试曲线数据的保存方法和装置

技术领域

本发明涉及微电子技术领域，尤其涉及一种WAT测试（WaferAcceptance Test，晶圆允收测试）曲线数据的保存方法和装置。

背景技术

在WAT测试中经常需要收集很多器件的电性曲线，目前通用的做法是将曲线数据保存在服务器上的一个公用目录，所有WAT测试机台都可以访问，但这样会有数据难以区分的问题。

如果有多个lot（货品）按时间排序来测试同一个测试程序，则测试数据会按顺序写入数据文件中，如果要想把各个lot的测试数据分开，只能计算每个lot测试曲线的条数再手动把数据区分开。如果有多个lot在不同的机台上测试同一个测试程序时，则多个机台就会同时向这个相同路径下的数据文件中写入数据，这样会导致数据文件中的数据无法区分开。

中国专利（公开号：CN101169628A）公开了一种数据保存方法，包括：接收数据后，根据当前文件中该数据对应位号下的记录的情况分配数据块和索引块；将所述数据写入所述数据块，并将对应该数据的索引信息写入所述索引块。该发明还公开了一种数据保存装置。该发明通过采用混合型记录或数据型记录和索引型记录的双重结构模式，当某些位号的数据较少时，则通过一个混合型记录保存所有数据和该数据的索引，当某些位号的数据较多时，则通过数据型记录和索引型记录分别保存数据和索引，对保存结构进行优化，因此无论对于混合型记录还是索引型记录，索引信息均能够高度集中，使得在处理数据量悬殊的位号数据时具有较强的灵活性，且极大提高了数据的检索效率。

中国专利（公开号：CN101909075A）公开了一种系统关键数保存方法及装置。该系统关键数据保存方法包括以下步骤:a.设置日志处理类型参数;b.获取数据来源;c.判断设置的日志处理类型参数,并根据设置的日志处理类型参数对获取的数据进行保存。采用本发明的技术方案以后,可以根据不同的需求调节关键数据的处理方式,在服务器性能和稳定之间达到平衡,另外,在服务器资源允许的情况下可以将日志处理线程调配到其他的物理服务器,以免对现有服务器的其他应用产生影响。

上述两个专利并未解决现有技术中不同WAT测试机台同时测试同一个测试程序时向服务器中同一个数据文件写入数据，并且需要手动地区分WAT测试曲线数据的问题。

发明内容

针对上述存在的问题，本发明公开一种WAT测试曲线数据的保存方法和装置，以克服现有技术中不同WAT测试机台同时测试同一个测试程序时向服务器中同一个数据文件写入数据，并且需要手动地区分WAT测试曲线数据的问题。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种WAT测试曲线数据的保存方法，应用于WAT测试机台中，其中，包括如下步骤：

S1，在WAT测试过程中，将得到的测试数据临时保存至所述WAT测试机台本地；

S2，在WAT测试完成后，判断临时保存的测试数据中是否存在曲线数据；

S3，在判定临时保存的测试数据中存在曲线数据时，获取当前时间，并根据所述当前时间在所述WAT测试机台本地创建时间标记数据块，将临时保存的测试数据中的曲线数据复制到所述时间标记数据块中。

上述的WAT测试曲线数据的保存方法，其中，还包括：

S3’，在判定临时保存的测试数据中不存在曲线数据时，清空临时保存的测试数据。

上述的WAT测试曲线数据的保存方法，其中，还包括：

S4，清空临时保存的测试数据。

上述的WAT测试曲线数据的保存方法，其中，在所述步骤S1中，在WAT测试前设置WAT测试程式库，将曲线测试程式保存至所述WAT测试机台本地。

上述的WAT测试曲线数据的保存方法，其中，在所述步骤S1中，在WAT测试开始后，调用所述WAT测试机台本地的曲线测试程式。

一种WAT测试曲线数据的保存装置，应用于WAT测试机台中，其中，包括：

主处理单元，用于在进行WAT测试过程中，将得到的测试数据临时保存至所述WAT测试机台本地的临时存储单元中；

临时存储单元，用于临时保存所述测试数据；

判断单元，用于在WAT测试完成后，判断所述临时存储单元中临时保存的测试数据中是否存在曲线数据；

数据后处理单元，用于在判定所述临时存储单元中临时保存的测试数据中存在曲线数据时，获取当前时间，并根据所述当前时间在所述WAT测试机台本地的主存储单元中创建时间标记数据块，将所述临时存储单元中临时保存的测试数据中的曲线数据复制到所述时间标记数据块中；以及，

主存储单元，用于保存复制到所述时间标记数据块中的曲线数据。

上述的WAT测试曲线数据的保存装置，其中，还包括：

清除单元，用于在判定临时保存的测试数据中不存在曲线数据时，清空临时保存的测试数据。

上述的WAT测试曲线数据的保存装置，其中，还包括：

清除单元，用于在所述临时存储单元中临时保存的测试数据中的曲线数据复制到所述时间标记数据块中后，清空临时保存的测试数据。

上述的WAT测试曲线数据的保存装置，其中，还包括：

设置单元，用于在WAT测试前，设置WAT测试程式库，将曲线测试程式保存至所述WAT测试机台本地的临时存储单元中。

上述的WAT测试曲线数据的保存装置，其中，还包括：

调用单元，用于在WAT测试开始后，调用所述WAT测试机台本地的曲线测试程式。

本发明具有如下优点或者有益效果：

采用本发明的方法和装置，将曲线数据按照时间标记保存到WAT测试机台本地，每个WAT测试机台的测试数据彼此独立，彼此不受影响，可以有效防止不同WAT测试机台测试同一个测试程序时发生不同的机台同时向服务器中的一个数据文件里写数据而导致测试曲线无法区分开的情况；同时每个lot的WAT测试曲线数据也由带时间标记的数据块区分开，可以依据曲线数据保存的时间方便地从带有时间标志的数据块中迅速的找到曲线数据，无需手动处理区分曲线数据。

具体附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明及其特征、外形和优点将会变得更加明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未可以按照比例绘制附图，重点在于示出本发明的主旨。

图1是本发明第一实施方式的流程图；

图2是本发明第二实施方式的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体的实施例对本发明作进一步的说明，但是不作为本发明的限定。

本发明第一实施方式涉及一种WAT测试曲线数据的保存方法，应用于WAT测试机台中，如图1所示，包括如下步骤：

S1，在WAT测试过程中，将得到的测试数据临时保存至WAT测试机台本地。

S2，在WAT测试完成后，判断临时保存的测试数据中是否存在曲线数据。判断是否存在曲线数据，主要是为了防止临时保存的测试数据中没有曲线数据时会在后续步骤中形成空的时间标记数据块，从而占据存储空间，避免后续工程师查看时间标记数据块时进行多余的操作，节约了测试时间。

S3，在判定临时保存的测试数据中存在曲线数据时，获取当前时间，并根据当前时间在WAT测试机台本地创建时间标记数据块，将临时保存的测试数据中的曲线数据复制到时间标记数据块中。

S4，清空临时保存的测试数据。

或者S3’，在判定临时保存的测试数据中不存在曲线数据时，清空临时保存的测试数据。

其中，在步骤S1中，在WAT测试前，设置WAT测试程式库，将曲线测试程式保存至WAT测试机台本地；在WAT测试开始后，调用WAT测试机台本地的曲线测试程式。因此，可以保证WAT测试中得到的测试数据会保存到每台WAT测试机台本地。

本发明第二实施方式涉及一种WAT测试曲线数据的保存装置，应用于WAT测试机台中，如图2所示，包括：

主处理单元，用于在进行WAT测试过程中，将得到的测试数据临时保存至WAT测试机台本地的临时存储单元中。

临时存储单元，用于临时保存测试数据。

判断单元，用于在WAT测试完成后，判断临时存储单元中临时保存的测试数据中是否存在曲线数据。判断单元的作用主要是为了防止临时保存的测试数据中没有曲线数据时会在后续单元中形成空的时间标记数据块，从而占据存储空间，避免后续工程师查看时间标记数据块时进行多余的操作，节约了测试时间。

数据后处理单元，用于在判定临时存储单元中临时保存的测试数据中存在曲线数据时，获取当前时间，并根据当前时间在WAT测试机台本地的主存储单元中创建时间标记数据块，将临时存储单元中临时保存的测试数据中的曲线数据复制到时间标记数据块中。

主存储单元，用于保存复制到时间标记数据块中的曲线数据。

清除单元，用于在判定临时保存的测试数据中不存在曲线数据时，清空临时保存的测试数据；或者，用于在临时存储单元中临时保存的测试数据中的曲线数据复制到时间标记数据块中后，清空临时保存的测试数据。

本实施方式的装置还包括：

设置单元，用于在WAT测试前，设置WAT测试程式库，将曲线测试程式保存至WAT测试机台本地的临时存储单元中。

调用单元，用于在WAT测试开始后，测试程序调用WAT测试机台本地的曲线测试程式。

本实施方式通过设置单元和调用单元，可以保证WAT测试中得到的测试数据会保存到每台WAT测试机台本地的临时存储单元中。

不难发现，本实施方式为与第一实施方式相对应的系统实施例，本实施方式可与第一实施方式互相配合实施。第一实施方式中提到的相关技术细节在本实施方式中依然有效，为了减少重复，这里不再赘述。相应地，本实施方式中提到的相关技术细节也可应用在第一实施方式中。

值得一提的是，本实施方式中所涉及到的各模块均为逻辑模块，在实际应用中，一个逻辑单元可以是一个物理单元，也可以是一个物理单元的一部分，还可以以多个物理单元的组合实现。此外，为了突出本发明的创新部分，本实施方式中并没有将与解决本发明所提出的技术问题关系不太密切的单元引入，但这并不表明本实施方式中不存在其它的单元。

采用本发明上述两个实施方式的方法和装置，将曲线数据按照时间标记保存到WAT测试机台本地，每个WAT测试机台的测试数据彼此独立，彼此不受影响，可以有效防止不同WAT测试机台测试同一个测试程序时发生不同的机台同时向服务器中的一个数据文件里写数据而导致测试曲线无法区分开的情况；同时每个lot的WAT测试曲线数据也由带时间标记的数据块区分开，可以依据曲线数据保存的时间方便地从带有时间标志的数据块中迅速的找到曲线数据，无需手动处理区分曲线数据。

本领域技术人员应该理解，本领域技术人员在结合现有技术以及上述实施例可以实现变化例，在此不做赘述。这样的变化例并不影响本发明的实质内容，在此不予赘述。

以上对本发明的较佳实施例进行了描述。需要理解的是，本发明并不局限于上述特定实施方式，其中未尽详细描述的设备和结构应该理解为用本领域中的普通方式予以实施；任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例，这并不影响本发明的实质内容。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。

Claims (10)

1.一种WAT测试曲线数据的保存方法，应用于WAT测试机台中，其特征在于，包括如下步骤：

S1，在WAT测试过程中，将得到的测试数据临时保存至所述WAT测试机台本地；

S2，在WAT测试完成后，判断临时保存的测试数据中是否存在曲线数据；

S3，在判定临时保存的测试数据中存在曲线数据时，获取当前时间，并根据所述当前时间在所述WAT测试机台本地创建时间标记数据块，将临时保存的测试数据中的曲线数据复制到所述时间标记数据块中。

2.根据权利要求1所述的WAT测试曲线数据的保存方法，其特征在于，还包括：

S3’，在判定临时保存的测试数据中不存在曲线数据时，清空临时保存的测试数据。

3.根据权利要求1所述的WAT测试曲线数据的保存方法，其特征在于，还包括：

S4，清空临时保存的测试数据。

4.根据权利要求1所述的WAT测试曲线数据的保存方法，其特征在于，在所述步骤S1中，在WAT测试前设置WAT测试程式库，将曲线测试程式保存至所述WAT测试机台本地。

5.根据权利要求4所述的WAT测试曲线数据的保存方法，其特征在于，在所述步骤S1中，在WAT测试开始后，调用所述WAT测试机台本地的曲线测试程式。

6.一种WAT测试曲线数据的保存装置，应用于WAT测试机台中，其特征在于，包括：

主处理单元，用于在进行WAT测试过程中，将得到的测试数据临时保存至所述WAT测试机台本地的临时存储单元中；

临时存储单元，用于临时保存所述测试数据；

判断单元，用于在WAT测试完成后，判断所述临时存储单元中临时保存的测试数据中是否存在曲线数据；

数据后处理单元，用于在判定所述临时存储单元中临时保存的测试数据中存在曲线数据时，获取当前时间，并根据所述当前时间在所述WAT测试机台本地的主存储单元中创建时间标记数据块，将所述临时存储单元中临时保存的测试数据中的曲线数据复制到所述时间标记数据块中；以及，

主存储单元，用于保存复制到所述时间标记数据块中的曲线数据。

7.根据权利要求6所述的WAT测试曲线数据的保存装置，其特征在于，还包括：

清除单元，用于在判定临时保存的测试数据中不存在曲线数据时，清空临时保存的测试数据。

8.根据权利要求6所述的WAT测试曲线数据的保存装置，其特征在于，还包括：

清除单元，用于在所述临时存储单元中临时保存的测试数据中的曲线数据复制到所述时间标记数据块中后，清空临时保存的测试数据。

9.根据权利要求6所述的WAT测试曲线数据的保存方法，其特征在于，还包括：

设置单元，用于在WAT测试前，设置WAT测试程式库，将曲线测试程式保存至所述WAT测试机台本地的临时存储单元中。

10.根据权利要求9所述的WAT测试曲线数据的保存方法，其特征在于，还包括：

调用单元，用于在WAT测试开始后，调用所述WAT测试机台本地的曲线测试程式。

Images