CN103645687A - 设备间同步创建处理作业的方法和系统 - Google Patents

Abstract

本发明涉及半导体制造技术领域，具体公开了一种设备间同步创建处理作业的方法和系统。本发明通过队列对货品排序，可以确保在任何情况下同步创建所有设备的处理作业，使各设备处理作业的创建进度保持一致，在所有设备的处理作业全部成功创建后才开始进行处理作业，不至于出现某一设备的处理作业完成但是另一设备的处理工作创建失败而出现晶圆报废或返工现象，不容易超出等待时间，从而降低了返工率，提高了inline机台的良率和生产能力。

Description

设备间同步创建处理作业的方法和系统

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种设备间同步创建处理作业的方法和系统。

背景技术

目前半导体芯片制作工艺极其精密和繁杂，而光刻工艺又是整个生产工艺流程中的重中之重，光刻机生产能力和速度决定整个FAB（晶圆厂）的工艺水平和出货速度。但是光刻机极其昂贵，使得FAB想尽一切办法来提高机台的良率和利用率。

由于目前实现光刻工艺的inline（内联）机台是由tracker（涂胶显影机）和scanner（扫描式光刻机）或者stepper（步进式光刻机）组成，tracker实现涂胶和显影的功能，scanner或stepper实现曝光的功能，这两种设备分别属于不用的厂家，所以FAB内的EAP（Equipment Automation Program，设备自动化）需要同时控制这两台设备，而MES（Manufacturing Execution System，制造执行系统）与EAP之间通信，如图1所示。目前业界一般的做法是先创建track Job（涂胶工作）并执行，当lot（货品）的第一片wafer（晶圆）完成涂胶后进入tracker和scanner之间的buffer（缓冲区），再创建scanner Job（曝光工作），但是如果这时scanner Job创建失败，那么对于涂胶后的wafer处理耗时耗力，而且容易超出Qtime（等待时间）产生rework（返工），降低inline机台的良率和生产能力。

中国专利（公开号：CN101523368A）公开了一种用于改进工厂中的设备的自动作业管理的实现的方法和装置。提供软件库,其允许诸如薄工作站控制器客户端的作业管理客户端与诸如设备接口桥(EIB)的设备服务器通信。该作业管理客户端能够利用工业标准协议方便和有效地创建、控制和监视作业。该设备服务器直接地与工厂设备实时通信。通过提供在作业管理客户端和设备服务器之间的接口，数据消费者客户端被有效地与作业管理客户端分离开，允许容易地实现用于监视和控制设备处理的下一代工作站控制器。

中国专利（公开号：CN103092692A）公开了一种适用于软件批处理作业的作业管理器实现方法，该方法基于定义的各作业信息，进行作业运行管理并生成作业报告，作业运行管理包括以下步骤：启动作业管理器；初始化作业队列；启动作业队列监视器，通过该作业队列监视器监控作业队列，并根据最新的作业定义随时更新作业队列，并根据各作业在作业列队中的排序依次提交运行；按序执行作业并报告进度，其中，在执行作业时，基于应用进程域同时运行多个作业；作业运行完毕。

上述两个专利并未解决inline机台tracker和scanner或stepper设备间同一lot的创建处理作业的一致性问题。

发明内容

针对上述存在的问题，本发明公开一种设备间同步创建处理作业的方法和系统，以克服现有技术中由于设备间同一lot的创建处理作业存在先后顺序导致的在后一设备处理作业创建失败时，对涂胶后的wafer处理耗时耗力，容易超出Qtime产生rework，从而降低inline机台的良率和生产能力的问题。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种设备间同步创建处理作业的方法，其中，所述方法包括：控制装置接收预作业货品信息，将所述预作业货品信息列于队列中，对所述队列中排在最前的预作业货品同步创建所有设备的处理作业，并在所有设备均成功创建处理作业后，向执行终端发送处理作业请求；所述执行终端在接收到所述处理作业请求后，向所述控制装置发送处理作业开始命令；所述控制装置在接收到所述处理作业开始命令后，控制设备对所述队列中排在最前的预作业货品开始处理作业，并将开始处理作业的预作业货品信息从等待队列中移除。

上述的设备间同步创建处理作业的方法，其中，所述方法进一步包括：控制装置接收预作业货品信息，将所述预作业货品信息列于队列中，并判断所述队列中的预作业货品的批次数量是否大于1，若否，则所述队列中当前只有一批次预作业货品，该批次预作业货品为所述队列中排在最前的预作业货品，对所述队列中排在最前的预作业货品同步创建所有设备的处理作业；若是，则所述队列中当前有多批次预作业货品，对所述队列中排在最前的预作业货品同步创建所有设备的处理作业，其余批次预作业货品等待。

所述的设备间同步创建处理作业的方法，其中，所述队列中的预作业货品的初始批次数量为0。

所述的设备间同步创建处理作业的方法，其中，所述方法进一步包括：将开始处理作业的预作业货品信息从等待队列中移除，并判断所述队列中的预作业货品的批次数量是否大于0，若否，则所述队列中当前没有预作业货品，无需创建处理作业；若是，则所述队列中当前有预作业货品，对所述队列中排在最前的预作业货品同步创建所有设备的处理作业，其余批次预作业货品等待。

所述的设备间同步创建处理作业的方法，其中，所述队列为先进先出队列。

所述的设备间同步创建处理作业的方法，其中，所述设备包括涂胶显影机，以及扫描式光刻机或者步进式光刻机。

一种控制装置，其中，包括：

用于接收预作业货品信息的单元；

用于将所述预作业货品信息列于队列中的单元；

用于对所述队列中排在最前的预作业货品同步创建所有设备的处理作业，并在所有设备均成功创建处理作业后，向执行终端发送处理作业请求的单元；以及，

用于在接收到所述处理作业开始命令后，控制设备对所述队列中排在最前的预作业货品开始处理作业，并将开始处理作业的预作业货品信息从等待队列中移除的单元。

一种设备间同步创建处理作业的系统，其中，所述系统包括：

控制装置，用于接收预作业货品信息，将所述预作业货品信息列于队列中，对所述队列中排在最前的预作业货品同步创建所有设备的处理作业，并在所有设备均成功创建处理作业后，向执行终端发送处理作业请求；同时用于在接收到所述处理作业开始命令后，控制设备对所述队列中排在最前的预作业货品开始处理作业，并将开始处理作业的预作业货品信息从等待队列中移除；

执行终端，用于在接收到所述处理作业请求后，向所述控制装置发送处理作业开始命令。

本发明具有如下优点或者有益效果：

本发明通过队列对货品排序，可以确保在任何情况下同步创建所有设备的处理作业，使各设备处理作业的创建进度保持一致，在所有设备的处理作业全部成功创建后才开始进行处理作业，不至于出现某一设备的处理作业完成但是另一设备的处理工作创建失败而出现晶圆报废或返工现象，不容易超出等待时间，从而降低了返工率，提高了inline机台的良率和生产能力。

具体附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明及其特征、外形和优点将会变得更加明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未可以按照比例绘制附图，重点在于示出本发明的主旨。

图1是本发明第一实施方式中的流程图；

图2是本发明第一实施方式中的具体流程示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体的实施例对本发明作进一步的说明，但是不作为本发明的限定。

本发明第一实施方式涉及一种设备间同步创建处理作业的方法，参见图1，该方法包括：

S1，控制装置接收预作业货品信息，将预作业货品信息列于队列中。

S2，对队列中排在最前的预作业货品同步创建所有设备的处理作业，并在所有设备均成功创建处理作业后，向执行终端发送处理作业请求。

S3，执行终端在接收到处理作业请求后，向控制装置发送处理作业开始命令。

S4，控制装置在接收到处理作业开始命令后，控制设备对队列中排在最前的预作业货品开始处理作业，并将开始处理作业的预作业货品信息从等待队列中移除。

具体流程如图2所示：

在步骤S1和S2中，队列中的预作业货品的初始批次数量为0，优选的，每隔一段时间可以对队列中的预作业货品的初始批次数量进行初始化，以保证队列中的预作业货品的批次数量的稳定性和准确性。控制装置接收预作业货品信息，将预作业货品信息列于队列中，并判断队列中的预作业货品的批次数量是否大于1，若否，则队列中当前只有一批次预作业货品，该批次预作业货品为队列中排在最前的预作业货品，对队列中排在最前的预作业货品同步创建所有设备的处理作业，并在所有设备均成功创建处理作业后，向执行终端发送处理作业请求；若是，则队列中当前有多批次预作业货品，对队列中排在最前的预作业货品同步创建所有设备的处理作业，其余批次预作业货品等待，并在所有设备均成功创建处理作业后，向执行终端发送处理作业请求。

在步骤S4中，将开始处理作业的预作业货品信息从等待队列中移除，并判断队列中的预作业货品的批次数量是否大于0，若否，则队列中当前没有预作业货品，无需创建处理作业；若是，则队列中当前有预作业货品，对队列中排在最前的预作业货品同步创建所有设备的处理作业，其余批次预作业货品等待，重复步骤S2-S4。

在本实施方式中，初始化队列中的预作业货品的批次数量后，控制装置接收一批次编号为lotA的预作业货品，将lotA列于队列中，并判断队列中的预作业货品的批次数量是否大于1，由于队列中当前有多批次预作业货品（即队列中的预作业货品的批次数量大于1），对队列中排在最前的预作业货品lotB同步创建所有设备的处理作业，预作业货品lotC等待，并在所有设备均成功创建处理作业后，向执行终端发送处理作业请求。执行终端在接收到处理作业请求后，向控制装置发送处理作业开始命令；控制装置在接收到处理作业开始命令后，控制设备对lotB开始处理作业，并将开始处理作业的lotB从等待队列中移除，并判断队列中的预作业货品的批次数量是否大于0，此时队列中当前没有预作业货品（即队列中的预作业货品的批次数量不大于0），无需创建处理作业。

接着，控制装置依次接收两批次编号分别为lotB和lotC的预作业货品，将lotB和lotC列于队列中，lotB在前，并判断队列中的预作业货品的批次数量是否大于1，由于队列中当前只有一批次预作业货品（即队列中的预作业货品的批次数量不大于1），lotA为队列中排在最前的预作业货品，对其同步创建所有设备的处理作业，并在所有设备均成功创建处理作业后，向执行终端发送处理作业请求。执行终端在接收到处理作业请求后，向控制装置发送处理作业开始命令；控制装置在接收到处理作业开始命令后，控制设备对lotA开始处理作业，并将开始处理作业的lotA从等待队列中移除，并判断队列中的预作业货品的批次数量是否大于0，此时队列中当前有预作业货品（即队列中的预作业货品的批次数量大于0），对队列中排在最前的预作业货品lotC同步创建所有设备的处理作业，其余批次预作业货品等待，重复步骤S2-S4。

在本实施方式中，队列为先进先出队列，保证优先处理早到达的预作业货品。此外，设备包括涂胶显影机，以及扫描式光刻机或者步进式光刻机。

采用本实施方式的方法，通过队列对货品排序，可以确保在任何情况下同步创建所有设备的处理作业，使各设备处理作业的创建进度保持一致，在所有设备的处理作业全部成功创建后才开始进行处理作业，不容易超出等待时间，从而降低了返工率，提高了inline机台的良率和生产能力。

本发明第二实施方式涉及一种控制装置，包括：用于接收预作业货品信息的单元；用于将预作业货品信息列于队列中的单元；用于对队列中排在最前的预作业货品同步创建所有设备的处理作业，并在所有设备均成功创建处理作业后，向执行终端发送处理作业请求的单元；以及，用于在接收到处理作业开始命令后，控制设备对队列中排在最前的预作业货品开始处理作业，并将开始处理作业的预作业货品信息从等待队列中移除的单元。

采用本实施方式中的控制装置，将本实施方式控制装置应用于EAP中，由于EAP控制设备进行处理作业，因此，在节约处理作业完成时间的同时，能够更好地确保同一lot在所有设备间创建处理作业的同步。

本发明第三实施方式涉及一种设备间同步创建处理作业的系统，系统包括：

控制装置，用于接收预作业货品信息，将预作业货品信息列于队列中，对队列中排在最前的预作业货品同步创建所有设备的处理作业，并在所有设备均成功创建处理作业后，向执行终端发送处理作业请求；同时用于在接收到处理作业开始命令后，控制设备对队列中排在最前的预作业货品开始处理作业，并将开始处理作业的预作业货品信息从等待队列中移除。

执行终端，用于在接收到处理作业请求后，向控制装置发送处理作业开始命令。

优选的，将控制装置应用于EAP中，执行终端为MES。

采用本实施方式的系统，可以确保在任何情况下同步创建所有设备的处理作业，使各设备处理作业的创建进度保持一致，在所有设备的处理作业全部成功创建后才开始进行处理作业，不至于出现某一设备的处理作业完成但是另一设备的处理工作创建失败而出现晶圆报废或返工现象。

本领域技术人员应该理解，本领域技术人员在结合现有技术以及上述实施例可以实现变化例，在此不做赘述。这样的变化例并不影响本发明的实质内容，在此不予赘述。

以上对本发明的较佳实施例进行了描述。需要理解的是，本发明并不局限于上述特定实施方式，其中未尽详细描述的设备和结构应该理解为用本领域中的普通方式予以实施；任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例，这并不影响本发明的实质内容。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。

Claims (8)

1.一种设备间同步创建处理作业的方法，其特征在于，所述方法包括：控制装置接收预作业货品信息，将所述预作业货品信息列于队列中，对所述队列中排在最前的预作业货品同步创建所有设备的处理作业，并在所有设备均成功创建处理作业后，向执行终端发送处理作业请求；所述执行终端在接收到所述处理作业请求后，向所述控制装置发送处理作业开始命令；所述控制装置在接收到所述处理作业开始命令后，控制设备对所述队列中排在最前的预作业货品开始处理作业，并将开始处理作业的预作业货品信息从等待队列中移除。

2.根据权利要求1所述的设备间同步创建处理作业的方法，其特征在于，所述方法进一步包括：控制装置接收预作业货品信息，将所述预作业货品信息列于队列中，并判断所述队列中的预作业货品的批次数量是否大于1，若否，则所述队列中当前只有一批次预作业货品，该批次预作业货品为所述队列中排在最前的预作业货品，对所述队列中排在最前的预作业货品同步创建所有设备的处理作业；若是，则所述队列中当前有多批次预作业货品，对所述队列中排在最前的预作业货品同步创建所有设备的处理作业，其余批次预作业货品等待。

3.根据权利要求2所述的设备间同步创建处理作业的方法，其特征在于，所述队列中的预作业货品的初始批次数量为0。

4.根据权利要求1所述的设备间同步创建处理作业的方法，其特征在于，所述方法进一步包括：将开始处理作业的预作业货品信息从等待队列中移除，并判断所述队列中的预作业货品的批次数量是否大于0，若否，则所述队列中当前没有预作业货品，无需创建处理作业；若是，则所述队列中当前有预作业货品，对所述队列中排在最前的预作业货品同步创建所有设备的处理作业，其余批次预作业货品等待。

5.根据权利要求1-4任一项所述的设备间同步创建处理作业的方法，其特征在于，所述队列为先进先出队列。

6.根据权利要求1-4任一项所述的设备间同步创建处理作业的方法，其特征在于，所述设备包括涂胶显影机，以及扫描式光刻机或者步进式光刻机。

7.一种控制装置，其特征在于，包括：

用于接收预作业货品信息的单元；

用于将所述预作业货品信息列于队列中的单元；

用于对所述队列中排在最前的预作业货品同步创建所有设备的处理作业，并在所有设备均成功创建处理作业后，向执行终端发送处理作业请求的单元；以及，

用于在接收到所述处理作业开始命令后，控制设备对所述队列中排在最前的预作业货品开始处理作业，并将开始处理作业的预作业货品信息从等待队列中移除的单元。

8.一种设备间同步创建处理作业的系统，其特征在于，所述系统包括：

控制装置，用于接收预作业货品信息，将所述预作业货品信息列于队列中，对所述队列中排在最前的预作业货品同步创建所有设备的处理作业，并在所有设备均成功创建处理作业后，向执行终端发送处理作业请求；同时用于在接收到所述处理作业开始命令后，控制设备对所述队列中排在最前的预作业货品开始处理作业，并将开始处理作业的预作业货品信息从等待队列中移除；

执行终端，用于在接收到所述处理作业请求后，向所述控制装置发送处理作业开始命令。

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