CN103639889A - 一种用于无蜡抛光设备的配液供液装置及其使用方法 - Google Patents

一种用于无蜡抛光设备的配液供液装置及其使用方法 Download PDF

Info

Publication number
CN103639889A
CN103639889A CN201310659439.0A CN201310659439A CN103639889A CN 103639889 A CN103639889 A CN 103639889A CN 201310659439 A CN201310659439 A CN 201310659439A CN 103639889 A CN103639889 A CN 103639889A
Authority
CN
China
Prior art keywords
liquid
dosing
bucket
polishing equipment
buckets
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201310659439.0A
Other languages
English (en)
Inventor
刘建伟
秦焱泽
严政先
董建斌
吕莹
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tianjin Zhonghuan Semiconductor Joint Stock Co Ltd
Tianjin Zhonghuan Advanced Material Technology Co Ltd
Original Assignee
Tianjin Zhonghuan Semiconductor Joint Stock Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tianjin Zhonghuan Semiconductor Joint Stock Co Ltd filed Critical Tianjin Zhonghuan Semiconductor Joint Stock Co Ltd
Priority to CN201310659439.0A priority Critical patent/CN103639889A/zh
Publication of CN103639889A publication Critical patent/CN103639889A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/34—Accessories

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

本发明提供一种用于无蜡抛光设备的配液供液装置及其使用方法，是针对无蜡抛光设备粗抛过程的最后一步使用醋酸时的配液供液装置，该装置包括一号液桶、二号液桶、无蜡抛光设备和总控制系统。本发明创造不需要停机便可以按要求进行配液和供液，可以保持抛光设备连续运行较长时间，具有结构简单，控制容易，制造成本低，维护费用少，安全性高，稳定性好的优点，可较好的应用于无蜡抛光设备的抛光过程中。

Description

一种用于无蜡抛光设备的配液供液装置及其使用方法
技术领域
本发明创造涉及设备配液、供液技术，特别涉及一种用于无蜡抛光设备的配液供液装置及其使用方法。
背景技术
无蜡抛光是利用Peter Wolters FL12P抛光机用化学机械抛光（CMP）的方法进行抛光。其中粗抛过程的最后一步需要利用醋酸来中和掉一部分抛光液的碱性，而原有的方法是将醋酸溶液按一定比例配好后，手动将其倒在抛光垫上。这种方法在操作上非常复杂，且醋酸溶液量无法有效控制，设备无法实现自动化，工作效率低，无法适应大批量生产的需要。
发明内容
本发明创造针对上述现有技术所存在的缺失，主要目的在于提供了一种用于无蜡抛光设备的配液供液装置及其使用方法。其可以在不用停机的状态下，按要求进行配液和供液。
为解决上述技术问题，本发明创造采用的技术方案是：
一种用于无蜡抛光设备的配液供液装置，包括一号液桶（1）、二号液桶（2）、无蜡抛光设备（5）和总控制系统（3），其中一号液桶（1）和二号液桶（2）的进液口通过分管道与总管道（13）的一端连接，一号液桶（1）和二号液桶（2）的出液口通过分管道与总管道（13）的另一端连接，无蜡抛光设备（5）也通过分管道与总管道（13）相连接，位于两个液桶进液口处的分管道上分别设置有一个阀门，位于两个液桶出液口处的分管道上都设置有泵和阀门，总控制系统（3）通过导线与装置内的各个泵相连接，用于控制泵的开启和关闭。
所述的一号液桶（1）和二号液桶（2）的底部均设置有低液位传感器（6），且所述低液位传感器（6）通过导线与设置在总控制系统（3）上的低液位传感报警器（4）相连接。
优选地，所述一号液桶（1）与二号液桶（2）的容量相同。
本发明的另一目的是提供一种所述的配液供液装置的使用方法，所述方法是将两个液桶中的一个始终作为配液桶，另一个作为供液桶为无蜡抛光设备供液。
本发明还包括另一种所述的配液供液装置的使用方法，所述方法是采用两液桶轮流供液或配液的方式为无蜡抛光设备进行供液。
本发明创造具有的优点和积极效果是：本发明创造提供的用于无蜡抛光设备的配液供液装置及其使用方法，在进行无蜡抛光工序时，可以在不用停机的状态下，按要求进行配液和供液，实现设备完全自动化，提高了工作效率。具有结构简单，控制容易，制造成本低，维护费用少，安全性高，稳定性好的优点，可较好的应用于无蜡抛光设备的抛光过程中。
附图说明
图1是本发明创造的结构示意图
图中：
1、一号液桶      2、二号液桶       3、总控制系统  4、低液位传感报警器
5、无蜡抛光设备  6、低液位传感器   7、一号阀门    8、二号阀门
9、三号阀门      10、四号阀门      11、一号泵     12、二号泵
13、总管道
具体实施方式
本发明创造所公开的无蜡抛光设备的配液供液装置，包括一号液桶1、二号液桶2、无蜡抛光设备5和总控制系统3，其中一号液桶1和二号液桶2的进液口通过分管道与总管道13的一端连接，一号液桶1和二号液桶2的出液口通过分管道与总管道13的另一端连接，无蜡抛光设备5也通过分管道与总管道13相连接，位于两个液桶进液口处的分管道上分别设置有一个阀门，位于两个液桶出液口处的分管道上都设置有泵和阀门，总控制系统3通过导线与装置内的各个泵相连接，用于控制泵的开启和关闭。
本发明创造的配液供液装置主要由两个液桶组成，两个液桶的出液口处均有一个泵使得两个液桶是相对独立的，即单一设备即可完成醋酸的配液和供液。除此之外，两个液桶彼此通过管道相连接形成配液回路，使得一号液桶1内的醋酸溶液可以流至二号液桶2内，同理二号液桶2内的醋酸溶液也可以流至一号液桶1内。
除此之外，在两个液桶上还装配了低液位报警装置，当液桶内的液位较低时，低液位传感器处于打开状态，此时连接在传感器上的报警器便会发出报警信号，提示操作人员需要进行配液，有效控制了醋酸配液和供液的时间，给生产和操作带来了很大的方便。
为了更清楚的理解本发明，下面结合具体实施例对本发明进行进一步详细描述：
实施例1
使用时，首先根据工艺要求，按照醋酸的配液比例为醋酸:去离子水=1:1000配制酸液，盛放醋酸溶液的一号液桶1容积为35L，所加冰醋酸应为35mL。用带刻度的量筒量取35mL的冰醋酸倒入配液桶内，将纯水加入一号液桶1至35L。整个配液过程仍需要人手动完成配液。
打开一号液桶1进液口处的一号阀门7，出液口处的三号阀门9及一号泵11的开关，同时关闭二号液桶2进液口处的二号阀门8，出液口处的四号阀门10及二号泵12的开关，此时一号液桶1用来供液，二号液桶2采用相同配液方法进行配液。待一号液桶1内的液体用完时，再关闭一号液桶1的相应的阀门和泵的开关同时打开液桶2的泵和阀门的开关。此时液桶2供液，同理液桶1可以用来配液。
实施例2
与实施例1中的配液方法相同，本实施中是采用固定一个液桶始终用于供液，另一个液桶则用来配液。具体方法为，打开一号液桶1的一号阀门7，三号阀门9及一号泵11的开关，同时打开二号液桶2的三号阀门8与四号阀门10的开关并关闭二号泵12的开关。使得两液桶之间形成一个配液回路。在一号液桶1供液时，由于一号泵11的作用，使得一号液桶与二号液桶内的液体存在压力差，因此二号液桶2内的溶液会不断的流向一号液桶1内。待二号液桶2内溶液完全消失且液桶1内的溶液剩余不多时，关闭配液回路上三号阀门8与四号阀门10，在二号液桶2内进行配液。配液完成后再打开三号阀门8与四号阀门10使得两个液桶之间重新形成配液回路。
以上对本发明创造的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本发明创造的较佳实施例，不能被认为用于限定本发明创造的实施范围。凡依本发明创造范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本专利涵盖范围之内。

Claims (5)

1.一种用于无蜡抛光设备的配液供液装置，其特征在于：包括一号液桶（1）、二号液桶（2）、无蜡抛光设备（5）和总控制系统（3），其中一号液桶（1）和二号液桶（2）的进液口通过分管道与总管道（13）的一端连接，一号液桶（1）和二号液桶（2）的出液口通过分管道与总管道（13）的另一端连接，无蜡抛光设备（5）也通过分管道与总管道（13）相连接，位于两个液桶进液口处的分管道上分别设置有一个阀门，位于两个液桶出液口处的分管道上都设置有泵和阀门，总控制系统（3）通过导线与装置内的各个泵相连接，用于控制泵的开启和关闭。
2.根据权利要求1所述的配液供液装置，其特征在于：所述的一号液桶（1）和二号液桶（2）的底部均设置有低液位传感器（6），且所述低液位传感器（6）通过导线与设置在总控制系统（3）上的低液位传感报警器（4）相连接。
3.根据权利要求1所述的配液供液装置，其特征在于：所述一号液桶（1）与二号液桶（2）的容量相同。
4.一种如权利要求1-3任一项所述的配液供液装置的使用方法，其特征在于：所述方法是将两个液桶中的一个始终作为配液桶，另一个作为供液桶为无蜡抛光设备供液。
5.一种如权利要求1-3任一项所述的配液供液装置的使用方法，其特征在于：所述方法是采用两液桶轮流供液或配液的方式为无蜡抛光设备进行供液。
CN201310659439.0A 2013-12-05 2013-12-05 一种用于无蜡抛光设备的配液供液装置及其使用方法 Pending CN103639889A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310659439.0A CN103639889A (zh) 2013-12-05 2013-12-05 一种用于无蜡抛光设备的配液供液装置及其使用方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310659439.0A CN103639889A (zh) 2013-12-05 2013-12-05 一种用于无蜡抛光设备的配液供液装置及其使用方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN103639889A true CN103639889A (zh) 2014-03-19

Family

ID=50245246

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201310659439.0A Pending CN103639889A (zh) 2013-12-05 2013-12-05 一种用于无蜡抛光设备的配液供液装置及其使用方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN103639889A (zh)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0913233A2 (en) * 1997-10-31 1999-05-06 Ebara Corporation Polishing solution supply system
WO1999029505A1 (fr) * 1997-12-08 1999-06-17 Ebara Corporation Distributeur de solution de polissage
US20010006882A1 (en) * 1997-04-17 2001-07-05 Merck Patent Gesellschaft Mit Beschrankter Haftung Supply system for chemicals and its use
CN1423307A (zh) * 2001-12-05 2003-06-11 富士通Vlsi株式会社 化学溶液输送装置和制备悬浮液的方法
CN1482943A (zh) * 2000-12-28 2004-03-17 液体空气乔治洛德方法利用和研究的具 混合及分配浆液的工艺和设备
CN202427611U (zh) * 2012-01-09 2012-09-12 宝山钢铁股份有限公司 一种用于重质颗粒悬浮液的供液装置
CN203579399U (zh) * 2013-12-05 2014-05-07 天津中环领先材料技术有限公司 一种用于无蜡抛光设备的配液供液装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20010006882A1 (en) * 1997-04-17 2001-07-05 Merck Patent Gesellschaft Mit Beschrankter Haftung Supply system for chemicals and its use
EP0913233A2 (en) * 1997-10-31 1999-05-06 Ebara Corporation Polishing solution supply system
WO1999029505A1 (fr) * 1997-12-08 1999-06-17 Ebara Corporation Distributeur de solution de polissage
CN1482943A (zh) * 2000-12-28 2004-03-17 液体空气乔治洛德方法利用和研究的具 混合及分配浆液的工艺和设备
CN1423307A (zh) * 2001-12-05 2003-06-11 富士通Vlsi株式会社 化学溶液输送装置和制备悬浮液的方法
CN202427611U (zh) * 2012-01-09 2012-09-12 宝山钢铁股份有限公司 一种用于重质颗粒悬浮液的供液装置
CN203579399U (zh) * 2013-12-05 2014-05-07 天津中环领先材料技术有限公司 一种用于无蜡抛光设备的配液供液装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN203424173U (zh) 金鱼缸自动换水装置
CN202767168U (zh) 多级远程加压泵站
CN203579399U (zh) 一种用于无蜡抛光设备的配液供液装置
CN103639889A (zh) 一种用于无蜡抛光设备的配液供液装置及其使用方法
CN205002955U (zh) 多功能变结构阀门特性测试系统
CN105526988A (zh) 一种气泡式水位计的用法及装置
CN203023801U (zh) 一种液体补充系统
CN203641744U (zh) 均衡水压分水器
CN104514242A (zh) 基于物联网的恒压给水装置
CN205101198U (zh) 一种树脂生产中真空泵用水路装置
CN205892813U (zh) 节能节水的反渗透制水系统
CN203525688U (zh) 一种用于水洗釜的液位控制装置
CN203728554U (zh) 一种真空罐自动排水装置
CN209368945U (zh) 一种用于解决供水管道超压运行的装置
CN201737746U (zh) 电镀废水处理在线控制装置
CN203627260U (zh) 一种泵出口压差调节装置
CN204370505U (zh) 基于物联网的恒压给水装置
CN204042446U (zh) 一种溶液输送泵站
CN204300696U (zh) 一种新型无底阀水泵排水系统
CN104335961A (zh) 金鱼缸自动换水装置
CN203281081U (zh) 一种钛白粉沉降时絮凝剂的加入装置
CN205557694U (zh) 一种液位控制自抽式装置
CN203342787U (zh) 放空收集罐液位控制系统
CN202451108U (zh) 环式集成可洗井组合装置
CN206823241U (zh) 一种分层器

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20140319

RJ01 Rejection of invention patent application after publication