CN103594317A - 一种改进型粉体材料表面等离子体处理装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种改进型粉体材料表面等离子体处理装置，包括外壳、电极组件、等离子发生器和气体分布板，外壳顶部设置有用于排出气体的抽气口，外壳底部设置有用于通入反应气体的气体入口，外壳内设置有反应腔室，电极组件设置于反应腔室外表面上，气体分布板设置于反应腔室内，电极组件设置于气体分布板上方，气体分布板上设置有若干用于反应气体进入的气孔，电极组件与等离子发生器电连接。本发明气体入口通入反应气体，反应气体从气体分布板的气孔进入反应腔室内并同时吹送粉体材料向上运动，电极组件通电形成高频电场将反应气体电离对粉体材料表面处理，避免了粉体材料堆积无法完全均匀的处理，处理效果好，提高工作效率。
Description
技术领域
本发明涉及等离子体处理装置，尤其涉及一种改进型粉体材料表面等离子体处理装置。
背景技术
低温等离子体表面处理是：在负压（真空）下，给反应气体环境施加高频电场，气体在高频电场的激励下电离，产生等离子体。等离子体是物质的第四态，其中含有大量的电子、离子和自由基等各种活性粒子，活性粒子与材料表面发生物理和化学反应，从而使材料表面的结构、成分和基团发生变化，得到满足实际要求的表面。等离子体反应速度快、处理效率高，而且改性仅发生在材料表面，对材料内部本体材料的性能没有影响，是理想的表面改性手段。
粉体是一种干燥、分散的固体颗粒组成的细微粒子。现有技术中，等离子体处理装置在处理粉体表面时，由于粉体堆积，微粒间的团聚使得没有暴露在等离子体气氛中的表面得不到处理，难以实现微粒表面全部处理，导致处理不完全、不均匀，处理效果差。
因此，亟需一种处理效果好的粉体材料表面等离子体处理装置。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术存在的缺陷，提供一种改进型粉体材料表面等离子体处理装置。
实现本发明目的的技术方案是：一种改进型粉体材料表面等离子体处理装置，包括外壳、电极组件、等离子发生器和气体分布板，所述外壳顶部设置有用于排出气体的抽气口，所述外壳底部设置有用于通入反应气体的气体入口，所述外壳内设置有反应腔室，所述电极组件设置于所述反应腔室外表面上，所述气体分布板设置于所述反应腔室内，所述电极组件设置于所述气体分布板上方，所述气体分布板上设置有若干用于反应气体进入的气孔，所述电极组件与所述等离子发生器电连接。
进一步的，所述电极组件为螺旋状电极。
进一步的，所述螺旋状电极为立体螺旋状电极或平面螺旋状电极。
进一步的，所述等离子发生器包括用于调节所述电极组件功率的电源和与所述电源连接的匹配器，所述匹配器还与所述电极组件电连接。
进一步的，还包括用于排出气体的气泵，所述气泵与所述抽气口连接，气泵与抽气口之间还设置有过滤器。
进一步的，还包括用于提供反应气体的气源，所述气源与所述气体入口连接。
本发明具有积极的效果：本发明气体入口通入反应气体，反应气体从气体分布板的气孔进入反应腔室内并同时吹送粉体材料向上运动，电极组件通电形成高频电场将反应气体电离对粉体材料表面处理，避免了粉体材料堆积无法完全均匀的处理，处理效果好，提高工作效率。
附图说明
为了使本发明的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本发明作进一步详细的说明，其中：
图1为本发明第一实施例的结构示意图；
图2为本发明第一实施例中电极组件的结构示意图；
图3为本发明第二实施例的结构示意图。
其中：1、气源，2、气体入口，3、气体分布板，4、电极组件，5、过滤器，6、气泵，7、匹配器，8、供电等离子发生器，9、抽气口，10、外壳。
具体实施方式
实施例1
如图1至图2所示，本发明第一实施例提供一种改进型粉体材料表面等离子体处理装置，包括外壳10、电极组件4、等离子发生器和气体分布板3，外壳10顶部设置有用于排出气体的抽气口9，外壳10底部设置有用于通入反应气体的气体入口2，外壳10内设置有反应腔室（图中未示出），电极组件4设置于反应腔室外表面上，气体分布板3设置于反应腔室内，电极组件4设置于气体分布板3上方，气体分布板3上设置有若干用于反应气体进入的气孔（图中未示出），电极组件4为平面螺旋状电极，等离子发生器包括用于调节电极组件4功率的电源8和与电源8连接的匹配器7，匹配器还与电极组件4连接。
本实施例气体入口2通入反应气体，反应气体从气体分布板3的气孔进入反应腔室内并同时吹送粉体材料向上运动，平面螺旋状电极通电并在附近形成高频电场将反应气体电离对粉体材料表面处理，避免了粉体材料堆积无法完全均匀的处理，处理效果好，提高工作效率；匹配器7可以根据需求调节电极组件4的功率，从而调节反应气体的电离效果。
实施例2
如图2所示，其余与实施例1相同，不同之处在于，本实施例还包括用于排出气体的气泵6和用于提供反应气体的气源1，气泵6与抽气口9连接，气泵6与抽气口9之间还设置有过滤器5，气源1与气体入口2连接，螺旋状电极为立体螺旋状电极。
本实施例增加过滤器5可以有效防止反应腔室内的粉体材料被抽出；立体螺旋状电极可以增大高频电场空间，提高工作效率。
以上所述的具体实施例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (6)
1. 一种改进型粉体材料表面等离子体处理装置，其特征在于，包括外壳、电极组件、等离子发生器和气体分布板，所述外壳顶部设置有用于排出气体的抽气口，所述外壳底部设置有用于通入反应气体的气体入口，所述外壳内设置有反应腔室，所述电极组件设置于所述反应腔室外表面上，所述气体分布板设置于所述反应腔室内，所述电极组件设置于所述气体分布板上方，所述气体分布板上设置有若干用于反应气体进入的气孔，所述电极组件与所述等离子发生器电连接。
2. 根据权利要求1所述的改进型粉体材料表面等离子体处理装置，其特征在于，所述电极组件为螺旋状电极。
3. 根据权利要求2所述的改进型粉体材料表面等离子体处理装置，其特征在于，所述螺旋状电极为立体螺旋状电极或平面螺旋状电极。
4. 根据权利要求1-3任一所述的改进型粉体材料表面等离子体处理装置，其特征在于，所述等离子发生器包括用于调节所述电极组件功率的电源和与所述电源连接的匹配器，所述匹配器还与所述电极组件电连接。
5. 根据权利要求4所述的改进型粉体材料表面等离子体处理装置，其特征在于，还包括用于排出气体的气泵，所述气泵与所述抽气口连接，气泵与抽气口之间还设置有过滤器。
6. 根据权利要求5所述的改进型粉体材料表面等离子体处理装置，其特征在于，还包括用于提供反应气体的气源，所述气源与所述气体入口连接。
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