CN103574281B - 一种特气架、监控特气架的方法及装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种特气架、监控特气架的方法和装置，涉及特气架技术领域，解决了现有技术中当特气架中的设备部件出现异常时，不能及时地给出提示信息，所述方法包括：接收LPG发送的低压报警信号，所述低压报警信号用于指示所述LPG出现异常，所述低压报警信号中包含所述LPG所属特气架的标识信息；根据所述低压报警信号中的标识信息，确定所述LPG所属的特气架；提示所述特气架出现异常。本发明实施例适用于对特气架的监控过程中。

Description

一种特气架、监控特气架的方法及装置

技术领域

本发明涉及特气架技术领域，尤其涉及一种特气架、监控特气架的方法及装置。

背景技术

特气架一般应用在半导体、微电子、太阳能等行业内的工艺制程中，由特气架中的气瓶通过管路为工艺制造提供所需气体。

在现有技术中，当特气架中的设备部件出现异常时，例如备用侧的HPI(气动隔膜阀，)无法正常开启，或者特气架中的HPG(HighPressureGauge，高压压力表)老化，导致指针卡住时，不能被及时发现。

发明内容

本发明的实施例提供一种特气架、监控特气架的方法及装置，实现了当特气架中的设备部件出现异常时，能够及时地给出提示信息。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

一种特气架，包括至少两套气体钢瓶和阀组面盘，一套气体钢瓶对应一套阀组面盘，所述阀组面盘由至少一路供气管路、吹扫管路和抽真空管路构成，所述供气管路由气体钢瓶出口通过管路依次连接所述气体钢瓶出口高压压力表HPG、气动隔膜阀HPI、减压阀REG、气体输送低压压力表LPG、过滤器LF、送气隔膜阀MIV接入供气口，其中，所述气体输送低压压力表LPG为带电接点信号输出的低压压力表。

一种监控特气架的方法，所述特气架包括气体钢瓶和阀组面盘，所述阀组面盘由至少一路供气管路、吹扫管路和抽真空管路构成，所述供气管路由气体钢瓶出口通过管路依次连接所述气体钢瓶出口高压压力表HPG、气动隔膜阀HPI、减压阀REG、气体输送低压压力表LPG、过滤器LF、送气隔膜阀MIV接入供气口，所述方法包括：

接收LPG发送的低压报警信号，所述低压报警信号用于指示所述LPG出现异常，所述低压报警信号中包含所述LPG所属特气架的标识信息；

根据所述低压报警信号中的标识信息，确定所述LPG所属的特气架；

提示所述特气架出现异常。

一种监控特气架的装置，包括：

接收单元，用于接收LPG发送的低压报警信号，所述低压报警信号用于指示所述LPG出现异常，所述低压报警信号中包含所述LPG所属特气架的标识信息；

处理单元，用于根据所述低压报警信号中的标识信息，确定所述LPG所属的特气架；

提示单元，用于提示所述特气架出现异常。

本发明实施例提供的一种特气架、监控特气架的方法及装置，特气架中的气体输送低压压力表LPG为带电接点信号输出的低压压力表。接收LPG发送的低压报警信号，所述低压报警信号用于指示所述LPG出现异常，所述低压报警信号中包含所述LPG所属特气架的标识信息；根据所述低压报警信号中的标识信息，确定所述LPG所属的特气架；提示所述特气架出现异常。本发明实施例实现了当特气架中的设备部件出现异常时，能够及时地给出提示信息。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对本发明实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面所描述的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例1提供的一种特气架的示意图；

图2为本发明实施例2提供的一种监控特气架的方法的流程图；

图3为本发明实施例2提供的另一种监控特气架的方法的流程图；

图4为本发明实施例3提供的一种监控特气架的装置的结构图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明实施例一种特气架、监控特气架的方法及装置、系统进行详细描述。

实施例1

如图1所示，本发明实施例提供一种特气架，包括至少两套气体钢瓶和阀组面盘，一套气体钢瓶对应一套阀组面盘，所述阀组面盘由至少一路供气管路、吹扫管路和抽真空管路构成，所述供气管路由气体钢瓶出口通过管路依次连接所述气体钢瓶出口高压压力表HPG、气动隔膜阀HPI、减压阀REG、气体输送低压压力表LPG、过滤器LF、送气隔膜阀MIV接入供气口，其中，所述气体输送低压压力表LPG为带电接点信号输出的低压压力表。

如图1所示，特气架中有两套气体钢瓶，一个为主用，另一个为备用，每一个气体钢瓶都有对应的一套阀组面盘。

本发明实施例提供的一种特气架，所述特气架中的气体输送低压压力表LPG(包括左右两个)为带电接点信号输出的低压压力表，以便能够将低压报警信号发送给监控特气架的装置，实现了当特气架中的设备部件出现异常时，能够及时地给出提示信息。

在具体应用时，图1中的气体钢瓶出口高压压力表HPG(包括左右两个)为带电接点信号输出的高压压力表，以便能够将报警信号发送给监控特气架的装置，通知所述装置主用侧的气体钢瓶中气体压力值低于预定压力值，使用备用侧的气体钢瓶。

实施例2

本发明实施例提供的一种监控特气架的方法，其中所述特气架为如图1所示的特气架，包括至少两套气体钢瓶和阀组面盘，一套气体钢瓶对应一套阀组面盘，所述阀组面盘由至少一路供气管路、吹扫管路和抽真空管路构成，所述供气管路由气体钢瓶出口通过管路依次连接所述气体钢瓶出口高压压力表HPG、气动隔膜阀HPI、减压阀REG、气体输送低压压力表LPG、过滤器LF、送气隔膜阀MIV接入供气口，且所述气体输送低压压力表LPG为带电接点信号输出的低压压力表，如图2所示，具体方法包括：

201、接收LPG发送的低压报警信号，所述低压报警信号用于指示所述LPG出现异常，所述低压报警信号中包含所述LPG所属特气架的标识信息。

由于所述特气架中的两个LPG均为带电接点信号输出的低压压力表，当所述特气架中的某一个LPG为主用时，另一个为备用。

当接收到所述LPG发送的低压报警信号时，表示与所述LPG同侧的某些设备部件出现异常，例如HPI无法正常开启，或者HPG指针卡住，导致所述LPG的压力值出现波动，就会接收到所述LPG发送的低压报警信号。

202、根据所述低压报警信号中的标识信息，确定所述LPG所属的特气架。

所述低压报警信号中包含所述LPG所属特气架的标识信息的作用，是由于监控的特气架不止一个，所以要对每一个特气架进行标识，以便在接收到低压报警信号，可以确定是哪一个特气架出现异常。

203、提示所述特气架出现异常。

当确定所述LPG所属的特气架后，给出所述特气架出现异常的提示信息，以便技术人员能够在第一时间发现所述特气架出现异常，并尽快解决所述特气架中出现异常的设备部件，保证所述特气架能够连续稳定地供应气体。

本发明实施例提供的一种监控特气架的方法，通过接收LPG发送的低压报警信号，所述低压报警信号用于指示所述LPG出现异常，所述低压报警信号中包含所述LPG所属特气架的标识信息，根据所述标识信息，确定所述LPG所属的特气架，并提示所述特气架出现异常。本发明实施例实现了当特气架中的设备部件出现异常时，能够及时地给出提示信息。

在具体应用时，所述特气架中的气体钢瓶出口高压压力表HPG为带电接点信号输出的高压压力表，如图3所示，除了接收LPG发送的低压报警信号，还会接收HPG发送的报警信号，具体步骤如下所示：

301、接收HPG发送的报警信号，所述报警信号用于指示所述HPG的压力值低于预定压力值，所述报警信号中包含所述HPG所属特气架的标识信息。

所述HPG用于指示同一侧气体钢瓶内气体的剩余量，当所述气体钢瓶内的气体过少时，使得所述HPG的压力值低于预定压力值时，所述HPG将发出报警信号，以便关闭本侧的HPI，开启另一侧的HPI，使用另一侧的气体钢瓶内的气体。

302、根据所述报警信号中的标识信息，确定所述HPG所属的特气架；

303、关断所述特气架中与所述HPG同一侧的气动隔膜阀HPI，并开启所述特气架中另一侧的HPI。

根据所述报警信号中的标识信息，确定所述HPG所属的特气架，将所述特气架中与所述HPG同一侧的HPI关断，并将所述特气架中另一侧的HPI开启，以便所述特气架能够连续稳定的供应气体。

304、提示所述特气架出现异常。

给出所述特气架出现异常的提示信息，以便技术人员能够在第一时间发现所述特气架出现异常，当发现是所述特气架中的一侧气体钢瓶中的气体将要用尽时，则更换气体钢瓶，以保证后续能够再继续使用该侧的气体钢瓶。

上述监控特气架的方法中，除了能够接收特气架中的HPG的报警信号，以便确定需要更换气体钢瓶以外，还可以接收特气架中的LPG的低压报警信号，确定出现设备部件异常的特气架，并提示技术人员进行及时地处理，保证特气架能够连续稳定的供应气体。

实施例3

本发明提供的一种监控特气架的装置，如图4所示，包括接收单元41、处理单元42和提示单元43。

其中，接收单元41，用于接收LPG发送的低压报警信号，所述低压报警信号用于指示所述LPG出现异常，所述低压报警信号中包含所述LPG所属特气架的标识信息；

处理单元42，用于根据所述低压报警信号中的标识信息，确定所述LPG所属的特气架；

提示单元43，用于提示所述特气架出现异常。

本发明实施例提供的一种监控特气架的装置，通过接收单元接收LPG发送的低压报警信号，由处理单元根据所述低压报警信号中的标识信息，确定所述LPG所属的特气架，并通过提示单元提示所述特气架出现异常。本发明实施例实现了当特气架中的设备部件出现异常时，能够及时地给出提示信息。

可选的，所述装置中的接收单元，还用于接收HPG发送的报警信号，所述报警信号用于指示所述HPG的压力值低于预定压力值，所述报警信号中包含所述HPG所属特气架的标识信息；

所述处理单元，还用于根据所述报警信号中的标识信息，确定所述HPG所属的特气架；关断所述特气架中与所述HPG同一侧的气动隔膜阀HPI，并开启所述特气架中另一侧的HPI；

所述提示单元，用于提示所述特气架出现异常。

上述装置的操作过程，参见上述监控特气架的方法的实现过程。

上述监控特气架的装置可以是PLC(ProgrammableLogicController，可编程控制器)，也可以是其他可编程逻辑控制器件，在这里不做限定。

通过以上的实施方式的描述，所属领域的技术人员可以清楚地了解到本发明可借助软件加必需的通用硬件的方式来实现，当然也可以通过硬件，但很多情况下前者是更佳的实施方式。基于这样的理解，本发明的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在可读取的存储介质中，如计算机的软盘，硬盘或光盘等，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)执行本发明各个实施例所述的方法。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (5)

1.一种监控特气架的方法，所述特气架包括至少两套气体钢瓶和阀组面盘，一套气体钢瓶对应一套阀组面盘，所述阀组面盘由至少一路供气管路、吹扫管路和抽真空管路构成，所述供气管路由气体钢瓶出口通过管路依次连接气体钢瓶出口高压压力表HPG、气动隔膜阀HPI、减压阀REG、气体输送低压压力表LPG、过滤器LF、送气隔膜阀MIV接入供气口，其特征在于，所述供气管路连接的所述气体输送低压压力表LPG为带电接点信号输出的低压压力表，所述方法包括：

接收LPG发送的低压报警信号，所述低压报警信号用于指示所述LPG出现异常，所述低压报警信号中包含所述LPG所属特气架的标识信息；

根据所述低压报警信号中的标识信息，确定所述LPG所属的特气架；

提示所述特气架出现异常。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述气体钢瓶出口高压压力表HPG为带电接点信号输出的高压压力表，所述方法还包括：

接收HPG发送的报警信号，所述报警信号用于指示所述HPG的压力值低于预定压力值，所述报警信号中包含所述HPG所属特气架的标识信息；

根据所述报警信号中的标识信息，确定所述HPG所属的特气架；

关断所述特气架中与所述HPG同一侧的气动隔膜阀HPI，并开启所述特气架中另一侧的HPI；

提示所述特气架出现异常。

3.一种监控特气架的装置，所述特气架包括至少两套气体钢瓶和阀组面盘，一套气体钢瓶对应一套阀组面盘，所述阀组面盘由至少一路供气管路、吹扫管路和抽真空管路构成，所述供气管路由气体钢瓶出口通过管路依次连接气体钢瓶出口高压压力表HPG、气动隔膜阀HPI、减压阀REG、气体输送低压压力表LPG、过滤器LF、送气隔膜阀MIV接入供气口，其特征在于，所述供气管路连接的所述气体输送低压压力表LPG为带电接点信号输出的低压压力表，所述装置包括：

接收单元，用于接收LPG发送的低压报警信号，所述低压报警信号用于指示所述LPG出现异常，所述低压报警信号中包含所述LPG所属特气架的标识信息；

处理单元，用于根据所述低压报警信号中的标识信息，确定所述LPG所属的特气架；

提示单元，用于提示所述特气架出现异常。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，

所述接收单元，还用于接收HPG发送的报警信号，所述报警信号用于指示所述HPG的压力值低于预定压力值，所述报警信号中包含所述HPG所属特气架的标识信息；

所述处理单元，还用于根据所述报警信号中的标识信息，确定所述HPG所属的特气架；关断所述特气架中与所述HPG同一侧的气动隔膜阀HPI，并开启所述特气架中另一侧的HPI；

所述提示单元，用于提示所述特气架出现异常。

5.根据权利要求3或4所述的装置，其特征在于，所述装置为可编程控制器PLC。