CN103531663B - CuInS2薄膜太阳能电池吸收层的制备方法 - Google Patents
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 26
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 32
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 claims abstract description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 21
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 19
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 claims abstract description 16
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000012153 distilled water Substances 0.000 claims description 8
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 7
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 claims description 6
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 4
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims description 2
- 239000005361 soda-lime glass Substances 0.000 claims description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 abstract description 5
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 21
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- BFAKENXZKHGIGE-UHFFFAOYSA-N bis(2,3,5,6-tetrafluoro-4-iodophenyl)diazene Chemical compound FC1=C(C(=C(C(=C1F)I)F)F)N=NC1=C(C(=C(C(=C1F)F)I)F)F BFAKENXZKHGIGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 description 2
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 2
- 241001269238 Data Species 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000010549 co-Evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000003912 environmental pollution Methods 0.000 description 1
- 235000019441 ethanol Nutrition 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000011031 large-scale manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000005118 spray pyrolysis Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
- H01L31/1876—Particular processes or apparatus for batch treatment of the devices
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02521—Materials
- H01L21/02568—Chalcogenide semiconducting materials not being oxides, e.g. ternary compounds
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02612—Formation types
- H01L21/02617—Deposition types
- H01L21/02623—Liquid deposition
- H01L21/02628—Liquid deposition using solutions
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
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- Power Engineering (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
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Abstract
CuInS2薄膜太阳能电池吸收层的制备方法,它涉及太阳能电池吸收层的制备方法。本发明要解决目前制备CuInS2薄膜太阳能电池吸收层成本高,不能制备大面积的薄膜,且原材料的利用率不高的问题。本发明的方法如下:一,对基底进行清洗;二、取10mmol·L-1的CuSO4,7.5mmol·L-1的In2(SO4)3,60mmol·L-1的Na2S2O3和8.5mmol·L-1的C6H5O7Na3配制成电解液,对基底进行电沉积;三、对基底进行热处理。本发明采用电化学沉积法制备出产业化的非真空、低成本CIS2薄膜。本发明应用于太阳能电池领域。
Description
技术领域
本发明涉及太阳能电池吸收层制备方法。
背景技术
由于21世纪能源问题已引起世界的极大关注,所以开发利用新型可再生能源势在必行,有望以此来改善世界能源和环境的压力。开发可再生清洁能源可望缓解世界能源和环境的压力,成为21世纪人类必须要解决的难题,所以发展可再生能源受到了极大的重视。
可再生能源主要包括水能、风能、潮汐、地热和太阳能等。其中太阳能被赞誉为“人类之父”,主要因其具有取之不尽、用之不竭的优势;并且太阳能不会导致“温室效应”、不会产生噪声、环境污染等问题;同时与其他可再生能源相比,太阳能不受地域的限制、利用成本低,因此是未来最有希望的绿色能源。
CuInS2(CIS2)材料的禁带宽度为1.50eV,接近太阳电池所需的最佳禁带宽度值,且对温度的变化不敏感,因此不需要添加其他元素来调整其禁带宽度,从而简化了太阳电池生产过程,提高了生产的稳定性。CuInS2材料的吸收系数高达105cm-1,以其作为太阳电池的光吸收层,厚度仅需1~2um,大大减少了原材料的损耗。
目前,CuInS2(CIS2)薄膜的制备方法主要有蒸发法、溅射法、分子束外延(MBE)、电化学沉积法、喷涂热解法、颗粒涂覆法等。其中,真空共蒸发法和溅射法是最为成功的方法,技术比较成熟,光电转换效率高,已实现产业化操作。但是,这两种方法都需要真空设备,因此制备成本比较高,而且不能沉积大面积的CIS2薄膜,并且原材料的利用率较低。
发明内容
本发明的目的是为了解决目前制备CuInS2薄膜太阳能电池吸收层成本高,不能制备大面积的薄膜,且原材料的利用率不高的问题,而提供了CuInS2薄膜太阳能电池吸收层。
本发明的CuInS2薄膜太阳能电池吸收层的制备方法,是按照以下步骤进行的:
一、将基底依次采用质量百分含量为50%的盐酸,丙酮、无水乙醇进行超声清洗20~40min后,采用蒸馏水清洗基底,备用;
二、电沉积CuInS2薄膜:取8~12mmol·L-1的CuSO4,7~8mmol·L-1的In2(SO4)3,55~65mmol·L-1的Na2S2O3和8~9mmol·L-1的C6H5O7Na3配制成电解液,并调节电解液pH值至4,然后将步骤一清洗后的基底置于装有电解液的双极电解槽中,进行电沉积处理30~60min后取出基底,用蒸馏水洗净,吹干;
三、将步骤二电沉积后的基底置于充满氮气的管式电阻炉中,在300~400℃条件下热处理30~60min后,即得CuInS2薄膜太阳能电池吸收层。
本发明CuInS2薄膜太阳能电池吸收层的制备方法的工艺流程图如图1所示。
本发明包含以下有益效果:
电沉积法是一种非真空、低成本方法。本发明采用电沉积法制备CIS2薄膜可以制备大面积薄膜,实现CIS2薄膜太阳电池工业大规模量产。本发明采用低成本、非真空的电沉积法制备出均匀致密的CIS2薄膜。
电化学沉积法是一种室温非真空、低成本的薄膜制备方法,设备简单,投资少。同时,与其他制备方法相比,电沉积法制备CIS2薄膜还具有沉积过程在室温下进行;原材料利用率高;可以制备大面积薄膜;产率高;镀层与基体间界面结合好;可以在形状复杂的表面制备均匀的薄膜;镀层的厚度、化学组成、结构都能够很好控制;废液可以回收,无污染等优点。电化学沉积法实现产业化的非真空、低成本CIS2薄膜制备方法。
CuInS2作为太阳能电池薄膜材料的优点:
①属于直接带隙半导体,吸收系数高达10-5cm-1,吸收层的厚度只需要2μm。
②稳定性好,不仅没有光致衰退现象,而且能抗高能离子辐射。
③通过控制本征缺陷能形成所需要的导电类型,不需要外来原子掺杂。
④本征缺陷浓度对电池性能的影响较小,能容许较大的原子计量比偏差。
附图说明
图1为本发明的电沉积工艺流程示意图;
图2为本发明的电沉积装置的结构示意图;
图3为试验制得的电沉积CuInS2薄膜宏观形貌图;
图4为试验制得的电沉积CuInS2薄膜伏安线性扫描图;其中,A为有光照伏安线性扫描曲线图,B为无光照伏安线性扫描曲线图;
图5为试验制得的电沉积CuInS2薄膜热处理前后的AFM图;
图6为试验制得的电沉积CuInS2薄膜的XRD图谱;
图7为试验制得的CuInS2薄膜全扫描谱图;
图8为试验制得的CuInS2薄膜中Cu的高分辨率窄谱图;
图9为试验制得的CuInS2薄膜的In的高分辨率窄谱图;
图10为试验制得的CuInS2薄膜的S的高分辨率窄谱图。
具体实施方式
本发明技术方案不局限于以下所列举具体实施方式,还包括各具体实施方式间的任意组合。
具体实施方式一:本实施方式的CuInS2薄膜太阳能电池吸收层的制备方法,是按照以下步骤进行的:
一、将基底依次采用质量百分含量为50%的盐酸,丙酮、无水乙醇进行超声清洗20~40min后,采用蒸馏水清洗基底,备用;
二、电沉积CuInS2薄膜:取8~12mmol·L-1的CuSO4,7~8mmol·L-1的In2(SO4)3,55~65mmol·L-1的Na2S2O3和8~9mmol·L-1的C6H5O7Na3配制成电解液,并调节电解液pH值至4,然后将步骤一清洗后的基底置于装有电解液的双极电解槽中,进行电沉积处理30~60min后取出基底,用蒸馏水洗净,吹干;
三、将步骤二电沉积后的基底置于充满氮气的管式电阻炉中,在300~400℃条件下热处理30~60min后,即得CuInS2薄膜太阳能电池吸收层。
具体实施方式二:本实施方式与具体实施方式一不同的是:步骤一中所述的超声清洗时间为30min。其它与具体实施方式一相同。
具体实施方式三:本实施方式与具体实施方式一或二不同的是:步骤二中所述的取10mmol·L-1的CuSO4,7.5mmol·L-1的In2(SO4)3,60mmol·L-1的Na2S2O3和8.5mmol·L-1的C6H5O7Na3配制成电解液。其它与具体实施方式一或二相同。
具体实施方式四:本实施方式与具体实施方式一至三之一不同的是:步骤三中所述的350℃条件下进行热处理。其它与具体实施方式一至三之一相同。
具体实施方式五:本实施方式与具体实施方式一至四之一不同的是:步骤二中所述的电解液pH值是用浓盐酸进行调节的。其它与具体实施方式一至四之一相同。
具体实施方式六:本实施方式与具体实施方式一至五之一不同的是:所述的基地为导电玻璃或溅射钼的钠钙玻璃。其它与具体实施方式一至五之一相同。
通过以下试验验证本发明的有益效果:
本试验的CuInS2薄膜太阳能电池吸收层的制备方法,是按照以下步骤进行的:
一、将导电玻璃依次采用盐酸、丙酮和乙醇进行超声清洗30min后,采用蒸馏水清洗导电玻璃,备用;
二、电沉积CuInS2薄膜:取10mmol·L-1的CuSO4,7.5mmol·L-1的In2(SO4)3,60mmol·L-1的Na2S2O3和8.5mmol·L-1的C6H5O7Na3配制成电解液,并用浓盐酸调节电解液pH值至4,然后将步骤一清洗后的导电玻璃置于装有电解液的两电极电解槽中,进行电沉积处理30~60min后取出导电玻璃,用蒸馏水洗净,吹干;
三、将步骤二电沉积后的导电玻璃置于充满氮气的管式电阻炉中,在350℃条件下热处理30~60min后,即得CuInS2薄膜太阳能电池吸收层。
本试验制得的CuInS2薄膜太阳能电池吸收层的宏观形貌如图3所示,从图3中可以看出CuInS2薄膜表面均匀,结合力好,呈黑色状态。
本试验制得的CuInS2薄膜太阳能电池吸收层的伏安线性扫描图如图4所示,
由图4可知其曲线偏移率达到169.23%,光电性能好,可以有效的吸收太阳光。
本试验制得的CuInS2薄膜太阳能电池吸收层的AFM图如图5所示,由图5可知,热处理后的CuInS2薄膜变得致密且形成了大量的团簇,这些团簇是由大量柱状晶体团聚形成的,更清晰地看出有大量的晶胞存在,表面平整,均匀性好,粗糙度也相对降低很多,Ra=86.3nm。
本试验处理后沉积层XRD结果如图6所示,由图6可知在26.47°、37.88°和51.58°附近出现了三个强衍射峰,经过与标准卡片对比得出,薄膜的晶面指数为(112)、(211)和(310),证实了CuInS2晶体的存在。
本试验热处理后沉积层的XPS结果如图7所示。图7为CuInS2薄膜全扫描谱图,从图中可以看出CuInS2薄膜中含有Cu、In和S三种元素。采用C1s(284.6eV)进行荷电效应校正,图8为CuInS2薄膜中Cu的高分辨率窄谱图,可以看出Cu2p3/2的结合能在933eV,Cu2p1/2的结合能为953eV,对比标准卡片,可得出获得了Cu+;图9为CuInS2薄膜的In的高分辨率窄谱图,可以看出In3d5/2的结合能在444eV,In3d3/2的结合能为452eV,对比标准卡,应为In3+的结合能;图10为CuInS2薄膜的S的高分辨率窄谱图,S2p3/2的结合能在164eV,S2p1/2的结合能为165eV,和S2-的结合能相符,所以热处理后的获得了CuInS2化合物,且其元素化合价为Cu+、In3+和S2-。
将本试验制得的CuInS2薄膜太阳能电池吸收层制成太阳能电池FTO/CuInS2/In2S3/Ag/FTO进行如下测试:
对面积为1.5cm2太阳能电池FTO/CuInS2/In2S3/Ag/FTO进行初步测试,获得的相应测试结果如表1所示。从表1中可以看出,测得11组平行数据,其中Voc的平均值为1.243V,Isc为0.2mA。
表1太阳能电池测试结果
编号 | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 | 8 | 9 | 10 | 11 | 平均值 |
Voc/V | 1.51 | 1.14 | 1.12 | 1.06 | 1.41 | 1.11 | 1.50 | 1.01 | 1.51 | 1.15 | 1.16 | 1.24 |
Isc/mA | 0.10 | 0.10 | 0.10 | 0.20 | 0.30 | 0.30 | 0.30 | 0.10 | 0.20 | 0.20 | 0.3 | 0.20 |
由上述验证试验可以证明,采用本试验制备的CuInS2薄膜太阳能电池吸收层具有光电转换性能,成本低,适合大规模生产。
Claims (4)
1.CuInS2薄膜太阳能电池吸收层的制备方法,其特征在于它是按照以下步骤进行的:
一、将基底依次采用质量百分含量为50%的盐酸,丙酮、无水乙醇进行超声清洗20~40min后,采用蒸馏水清洗基底,备用;
二、电沉积CuInS2薄膜:取10mmol·L-1的CuSO4,7.5mmol·L-1的In2(SO4)3,60mmol·L-1的Na2S2O3和8.5mmol·L-1的C6H5O7Na3配制成电解液,并调节电解液pH值至4,然后将步骤一清洗后的基底置于装有电解液的双极电解槽中,进行电沉积处理30~60min后取出基底,用蒸馏水洗净,吹干;
三、将步骤二电沉积后的基底置于充满氮气的管式电阻炉中,在350℃条件下热处理60min后,即得CuInS2薄膜太阳能电池吸收层。
2.根据权利要求1所述的CuInS2薄膜太阳能电池吸收层的制备方法,其特征在于步骤一中所述的超声清洗时间为30min。
3.根据权利要求1所述的CuInS2薄膜太阳能电池吸收层的制备方法,其特征在于步骤二中所述的电解液pH值是用浓盐酸进行调节的。
4.根据权利要求1所述的CuInS2薄膜太阳能电池吸收层的制备方法,其特征在于所述的基底为导电玻璃或溅射钼的钠钙玻璃。
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---|---|---|---|
CN201310515757.XA CN103531663B (zh) | 2013-10-28 | 2013-10-28 | CuInS2薄膜太阳能电池吸收层的制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103531663A CN103531663A (zh) | 2014-01-22 |
CN103531663B true CN103531663B (zh) | 2016-01-27 |
Family
ID=49933516
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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---|---|
CN (1) | CN103531663B (zh) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US7560641B2 (en) * | 2002-06-17 | 2009-07-14 | Shalini Menezes | Thin film solar cell configuration and fabrication method |
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2013
- 2013-10-28 CN CN201310515757.XA patent/CN103531663B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN102839375A (zh) * | 2012-09-28 | 2012-12-26 | 哈尔滨理工大学 | 制备cis柔性薄膜太阳能电池的光吸收层的方法 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
电沉积法制备CuInS_2和CuInSe_2薄膜的研究;刘红娟;《CNKI全国硕士学位论文全文数据库》;20100815;正文第26页第17行至第27页第9页(第四章4.2实验部分),正文第39页第6-8行,第9行至第40页第10行,表4.3,表4.4(第四章4.3.3.4实验部分) * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103531663A (zh) | 2014-01-22 |
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