CN103507174A - 开方机晶托 - Google Patents

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CN103507174A
CN103507174A CN201310447793.7A CN201310447793A CN103507174A CN 103507174 A CN103507174 A CN 103507174A CN 201310447793 A CN201310447793 A CN 201310447793A CN 103507174 A CN103507174 A CN 103507174A
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CN
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crystal support
wire
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steel wire
cutting
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CN201310447793.7A
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Inventor
刘耀峰
潘振东
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WUXI RONGNENG SEMICONDUCTOR MATERIAL Co Ltd
Original Assignee
WUXI RONGNENG SEMICONDUCTOR MATERIAL Co Ltd
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Abstract

本发明公开一种开方机晶托,包括方形的本体,本体的上下表面均为平面,在本体的上表面的纵向和横向分别开有若干个等距的线槽,每个所述线槽均贯穿于本体的两端并且线槽的宽度至少为20mm。本发明设计的开方机晶托,总高度达到100mm,这样可以留有足够的空间来消化掉切割时产生的线弓,可以避免钢线切割到晶托的情况的发生,并且为后期提高切割速度提供了物质保障。可以保证母锭能够一次性切透,提高工作效率,并且省去扰曲复原时间并省去这部分时间所使用的钢线,降低成本;同时为后续对工艺的优化,特别是提高切割速度提供物质保障;实现了消除钢线切割到晶托底座的隐患,延长其使用寿命的目的。

Description

开方机晶托
技术领域
[0001] 本发明是一种开方机晶托,属于开方机设备领域。
背景技术
[0002] 开方机晶托是母锭的载体,切割前需要将母锭粘在晶托的规定位置。由于开方机的横向和纵向钢线不在同一平面内(高度差为25mm),故切割钢线在下行切割的过程中容易损伤到晶托。
发明内容
[0003] 本发明的目的是提供一种开方机晶托,可以有效的防止切割钢线在下行切割的过程中损伤到晶托。
[0004] 本发明的目的通过以下技术方案来具体实现:
开方机晶托,包括方形的本体,本体的上下表面均为平面,在本体的上表面的纵向和横向分别开有若干个等距的线槽,每个所述线槽均贯穿于本体的两端并且线槽的宽度至少为20mmo
[0005] 所述线槽的深度至少为100mm。
[0006] 相邻两个线槽之间的宽度为135mm。
[0007] 本体的边长为1090mm。
[0008] 本发明设计的开方机晶托,总高度达到100mm,这样可以留有足够的空间来消化掉切割时产生的线弓,可以避免钢线切割到晶托的情况的发生,并且为后期提高切割速度提供了物质保障。可以保证母锭能够一次性切透,提高工作效率,并且省去扰曲复原时间并省去这部分时间所使用的钢线,降低成本;同时为后续对工艺的优化,特别是提高切割速度提供物质保障;实现了消除钢线切割到晶托底座的隐患,延长其使用寿命的目的。
附图说明
[0009] 下面根据附图和实施例对本发明作进一步详细说明。
[0010] 图1是本发明实施例所述开方机晶托的平面结构图。
[0011] 图2是侧视图。
具体实施方式
[0012] 如图1-2所示,本发明实施例所述开方机晶托,包括方形的本体,本体的上下表面均为平面,在本体的上表面的纵向和横向分别开有若干个等距的线槽,每个所述线槽均贯穿于本体的两端并且线槽的宽度至少为20mm。
[0013] 所述线槽的深度至少为100mm。
[0014] 相邻两个线槽之间的宽度为135mm。
[0015] 本体的边长为1090mm。[0016] 本发明设计的开方机晶托,总高度达到100mm,这样可以留有足够的空间来消化掉切割时产生的线弓,可以避免钢线切割到晶托的情况的发生,并且为后期提高切割速度提供了物质保障。可以保证母锭能够一次性切透,提高工作效率,并且省去扰曲复原时间并省去这部分时间所使用的钢线,降低成本;同时为后续对工艺的优化,特别是提高切割速度提供物质保障;实现了消除钢线切割到晶托底座的隐患,延长其使用寿命的目的。

Claims (4)

1.开方机晶托,包括方形的本体,其特征在于,本体的上下表面均为平面,在本体的上表面的纵向和横向分别开有若干个等距的线槽,每个所述线槽均贯穿于本体的两端并且线槽的宽度至少为20mm。
2.如权利要求1所述的开方机晶托,其特征在于,所述线槽的深度至少为100mm。
3.如权利要求1所述的开方机晶托,其特征在于,相邻两个线槽之间的宽度为135mm。
4.如权利要求1所述的开方机晶托,其特征在于,本体的边长为1090mm。
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