CN103451629B - Mocvd自动控制器 - Google Patents

Mocvd自动控制器 Download PDF

Info

Publication number
CN103451629B
CN103451629B CN201310408518.4A CN201310408518A CN103451629B CN 103451629 B CN103451629 B CN 103451629B CN 201310408518 A CN201310408518 A CN 201310408518A CN 103451629 B CN103451629 B CN 103451629B
Authority
CN
China
Prior art keywords
module
data
integrated panel
interface
collection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201310408518.4A
Other languages
English (en)
Other versions
CN103451629A (zh
Inventor
叶益修
邓顺达
林溪汉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ambrose Crown (shandong) Photoelectric Technology Co Ltd
Original Assignee
Ambrose Crown (shandong) Photoelectric Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ambrose Crown (shandong) Photoelectric Technology Co Ltd filed Critical Ambrose Crown (shandong) Photoelectric Technology Co Ltd
Priority to CN201310408518.4A priority Critical patent/CN103451629B/zh
Publication of CN103451629A publication Critical patent/CN103451629A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103451629B publication Critical patent/CN103451629B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • General Factory Administration (AREA)
  • Control By Computers (AREA)

Abstract

MOCVD自动控制器，由权限控管模块、资料收集模块、控制接口、设备接口、外部控制器、MOCVD设备、命令执行模块、集成面板、程序控制模块组成，其特征是集成面板的一端上侧设置控制接口，控制接口的下侧设置设备接口，集成面板的一侧上部设置资料收集模块，集成面板的一侧下部设置程序控制模块，集成面板的另一侧上部设置权限控管模块，集成面板的另一侧下部设置命令执行模块，外部控制器通过馈线与控制接口相连接，MOCVD设备通过馈线与设备接口相连接，本发明的有益效果是MOCVD自动控制器开发成本较低，控制精度较高，系统控制的相关功能能够适应生产要求。

Description

MOCVD自动控制器
技术领域
本发明属于晶体生长设备技术领域，更具体的说是一种MOCVD自动控制器。
背景技术
目前，MOCVD的自动化需通过开发者的半导体通讯协定SECS与上层系统进行通讯,相关的功能开发与维护费用相当庞大,开发成本较高，现有技术的自动化控制系统层级繁多,问题厘清较困难，MOCVD设备结构设计较独立，与生产系统无法沟通，无法串连相关生产资讯，且现有MOCVD自动化控制技术的较不成熟，无法确切地解决生产的根本问题，使MOCVD自动化遇到了发展的瓶颈。
发明内容
为了解决上述问题，本发明提供了一种开发成本较低、控制精度较高、系统控制的相关功能能够适应生产要求的MOCVD自动控制器，其具体方案为：所述的MOCVD自动控制器由权限控管模块、资料收集模块、控制接口、设备接口、外部控制器、MOCVD设备、命令执行模块、集成面板、程序控制模块组成，其特征是集成面板的一端上侧设置控制接口，控制接口的下侧设置设备接口，集成面板的一侧上部设置资料收集模块，集成面板的一侧下部设置程序控制模块，集成面板的另一侧上部设置权限控管模块，集成面板的另一侧下部设置命令执行模块，外部控制器通过馈线与控制接口相连接，MOCVD设备通过馈线与设备接口相连接。
本发明所述的权限控管模块，其特征在于权限控管模块与资料收集模块通过数据线相连接，控管作业程序加密数据，对数据进行加密储存和解密卸载。
本发明所述的资料收集模块，其特征在于资料收集模块与程序控制模块通过数据线相连接，通过程序控制模块收集、传输MOCVD设备的相关数据资料。
本发明所述的命令执行模块，其特征在于命令执行模块与程序控制模块通过数据线相连接，将作业程序数据传入程序控制模块。
本发明所述的程序控制模块，其特征在于程序控制模块与资料收集模块通过数据线相连接，通过资料收集模块获取MOCVD设备的数据，结合命令执行模块选择的作业程序驱动MOCVD设备作业。
本发明的有益效果是MOCVD自动控制器开发成本较低，控制精度较高，系统控制的相关功能能够适应生产要求。
附图说明
附图1是本发明的结构示意图；附图1中：
1.权限控管模块，2.资料收集模块，3.控制接口，4.设备接口，5.外部控制器，6.MOCVD设备，7.命令执行模块，8.集成面板，9.程序控制模块。
具体实施方式
结合附图1对本发明进一步详细描述，以便公众更好地掌握本发明的实施方法，本发明具体的实施方案为：所述的MOCVD自动控制器由权限控管模块1、资料收集模块2、控制接口3、设备接口4、外部控制器5、MOCVD设备6、命令执行模块7、集成面板8、程序控制模块9组成，其特征是集成面板8的一端上侧设置控制接口3，控制接口3的下侧设置设备接口4，集成面板8的一侧上部设置资料收集模块2，集成面板8的一侧下部设置程序控制模块9，集成面板8的另一侧上部设置权限控管模块1，集成面板8的另一侧下部设置命令执行模块7，外部控制器5通过馈线与控制接口3相连接，MOCVD设备6通过馈线与设备接口4相连接。
本发明所述的权限控管模块1，其特征在于权限控管模块1与资料收集模块2通过数据线相连接，控管作业程序加密数据，对数据进行加密储存和解密卸载。
本发明所述的资料收集模块2，其特征在于资料收集模块2与程序控制模块9通过数据线相连接，通过程序控制模块9收集、传输MOCVD设备6的相关数据资料。
本发明所述的命令执行模块7，其特征在于命令执行模块7与程序控制模块9通过数据线相连接，将作业程序数据传入程序控制模块9。
本发明所述的程序控制模块9，其特征在于程序控制模块9与资料收集模块2通过数据线相连接，通过资料收集模块2获取MOCVD设备6的数据，结合命令执行模块7选择的作业程序驱动MOCVD设备6作业。
本发明的有益效果是MOCVD自动控制器开发成本较低，控制精度较高，系统控制的相关功能能够适应生产要求。

Claims (1)

1.MOCVD自动控制器，由权限控管模块（1）、资料收集模块（2）、控制接口（3）、设备接口（4）、外部控制器（5）、MOCVD设备（6）、命令执行模块（7）、集成面板（8）、程序控制模块（9）组成，其特征是集成面板（8）的一端上侧设置控制接口（3），控制接口（3）的下侧设置设备接口（4），集成面板（8）的一侧上部设置资料收集模块（2），集成面板（8）的一侧下部设置程序控制模块（9），集成面板（8）的另一侧上部设置权限控管模块（1），集成面板（8）的另一侧下部设置命令执行模块（7），外部控制器（5）通过馈线与控制接口（3）相连接，MOCVD设备（6）通过馈线与设备接口（4）相连接；所述权限控管模块（1）与资料收集模块（2）通过数据线相连接，控管作业程序加密数据，对数据进行加密储存和解密卸载；所述资料收集模块（2）与程序控制模块（9）通过数据线相连接，通过程序控制模块（9）收集、传输MOCVD设备（6）的相关数据资料；所述命令执行模块（7）与程序控制模块（9）通过数据线相连接，将作业程序数据传入程序控制模块（9）；所述程序控制模块（9）与资料收集模块（2）通过数据线相连接，通过资料收集模块（2）获取MOCVD设备（6）的数据，结合命令执行模块（7）选择的作业程序驱动MOCVD设备（6）作业。
CN201310408518.4A 2013-09-10 2013-09-10 Mocvd自动控制器 Expired - Fee Related CN103451629B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310408518.4A CN103451629B (zh) 2013-09-10 2013-09-10 Mocvd自动控制器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310408518.4A CN103451629B (zh) 2013-09-10 2013-09-10 Mocvd自动控制器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103451629A CN103451629A (zh) 2013-12-18
CN103451629B true CN103451629B (zh) 2016-07-06

Family

ID=49734452

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201310408518.4A Expired - Fee Related CN103451629B (zh) 2013-09-10 2013-09-10 Mocvd自动控制器

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN103451629B (zh)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1327082A (zh) * 2000-06-07 2001-12-19 中国科学院沈阳科学仪器研制中心 真空镀膜计算机控制装置
CN101329581A (zh) * 2008-07-28 2008-12-24 河南中光学集团有限公司 光学镀膜自动化控制系统及其控制方法
CN101592926A (zh) * 2009-06-25 2009-12-02 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 一种镀膜工艺控制方法及控制系统
US20100010658A1 (en) * 2008-07-11 2010-01-14 Tokyo Electron Limited Control device and control method of plasma processing system, and storage medium storing control program
CN103076829A (zh) * 2013-01-08 2013-05-01 东莞市台通电子科技有限公司 可程式多功能温湿度控制系统及方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1327082A (zh) * 2000-06-07 2001-12-19 中国科学院沈阳科学仪器研制中心 真空镀膜计算机控制装置
US20100010658A1 (en) * 2008-07-11 2010-01-14 Tokyo Electron Limited Control device and control method of plasma processing system, and storage medium storing control program
CN101329581A (zh) * 2008-07-28 2008-12-24 河南中光学集团有限公司 光学镀膜自动化控制系统及其控制方法
CN101592926A (zh) * 2009-06-25 2009-12-02 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 一种镀膜工艺控制方法及控制系统
CN103076829A (zh) * 2013-01-08 2013-05-01 东莞市台通电子科技有限公司 可程式多功能温湿度控制系统及方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN103451629A (zh) 2013-12-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2010107287A (ru) Управление распределением электрической энергии
WO2012143548A3 (en) Network architecture and protocol for cluster of lithography machines
CN107294778A (zh) 一种基于云物联平台实现工业设备采集的方法
CN102694705A (zh) 基于互联网的家电信息管理与服务装置与实现方法
CN103451629B (zh) Mocvd自动控制器
CN104363214A (zh) 一种IEC61850规约和TCPModbus规约可配置的转换方法
CN202067258U (zh) Led显示屏加密及智能监控、远程维护系统
CN202615173U (zh) 电子芯片烧录器
CN203812061U (zh) 基于嵌入式的无线电子看板智能管理装置
CN201974799U (zh) 一种新型程序更新装置
CN102736603B (zh) 基于plc网络的多操作开关仲裁方法
CN201380554Y (zh) 多线切割机远程控制系统
CN104328547A (zh) 细纱机在线监测管理装置
CN201859343U (zh) 一种数字化焊接电源监控装置
CN204325639U (zh) 细纱机在线监测管理装置
CN206057875U (zh) 一种基于stm32f103ze微控制器在应用程序中编程系统
CN209417615U (zh) 一种适用于自助终端的电源控制模块
CN103043507A (zh) 一种高空作业吊篮定时控制装置
TWM574256U (zh) 智能控制模組
CN107748549A (zh) 一种智能电器控制系统及方法
CN204028613U (zh) 普通家电智能控制器
CN106707822B (zh) 大滞后系统的基于综合监控的用测控装置代替plc的方法
CN205450686U (zh) 火电厂电除尘器电源自定义规约转换设备
CN208110653U (zh) 门禁卡牌自动化组装装置
CN205304879U (zh) 一种工业通讯设备用数据截取器

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20160706

Termination date: 20190910