CN103335609B - 一种光学面形数据旋转中心、旋转角度和平移量确定方法 - Google Patents
一种光学面形数据旋转中心、旋转角度和平移量确定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103335609B CN103335609B CN201310279797.9A CN201310279797A CN103335609B CN 103335609 B CN103335609 B CN 103335609B CN 201310279797 A CN201310279797 A CN 201310279797A CN 103335609 B CN103335609 B CN 103335609B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- rotation
- theta
- anglec
- translational movement
- signature point
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
本发明公开了一种光学面形数据旋转中心、旋转角度和平移量确定方法,首先在被测光学元件表面上选取多个特征标记点,当被测光学元件绕光轴作多次旋转和平移操作时,其待测面面形检测数据中的特征标记点会相对旋转中心产生旋转和平移;然后采用特征标记点像素坐标配准原理,利用特征标记点的相对位置变化,构建非线性方程组,同时解算出旋转中心、旋转角度和平移量等参数。该方法以数据精确配准为基础,对实验装置的精度要求较低,可为实验的精确控制提供技术支持,并为后续的面形数据处理提供准确的参数信息,具有较大的应用价值。
Description
技术领域
本发明属于先进光学检测领域,涉及一种光学面形数据的旋转平移参量计算方法。
背景技术
随着现代光学技术的快速发展,光学系统对光学元件的面形质量要求越来越高,其相应的检测精度要求也愈加严格。干涉检测作为高精度面形检测的主要手段,其检测结果是被测面相对于参考面的面形误差。为有效分离检测结果中包含的参考面和被测面面形误差信息,需要保持干涉系统(参考面)不变,旋转和平移被测面,然后采用绝对检测算法(A.E.Jensen.“AbsolutecalibrationmethodforTwyman-Greenwavefronttestinterferometers”,Opt.Soc.Am,63,1313A,1973;B.S.Friz,″Absolutecalibrationofanopticalflat,″Opt.Eng.23,379-383,1984;HajimeIchikawaandTakahiroYamamoto.“Apparatusandmethodforwavefrontabsolutecalibrationandmethodofsynthesizingwavefronts,”U.S.patent5,982,490,1999;),分别计算出被测面和参考面的面形误差信息。由于绝对检测算法对旋转中心、旋转角度和平移量的精确控制有较高要求,KarlEdmundElssner等人(KarlEdmundElssner,RBurow,JGrzanna,etal.“Absolutesphericitymeasurement,”ApplOpt.28,4649-4661,1989)报道了一种八维调整装置用以实现旋转角度和平移量的精确控制,但这种装置结构复杂,难以实现,且随着被测光学元件数值孔径的增大其调整变得愈加困难。另外,也有采用被测面面形数据边缘(宋伟红,伍凡,侯溪,一种干涉检测同轴度控制方法,中国专利,专利申请号:201110386255.2)和其拟合面形Zernike多项式旋转对称项系数来实现旋转中心对准(侯溪,宋伟红,伍凡,一种绕光轴旋转对准误差分析方法,中国专利,专利申请号:201110383336.7)的方法,这些方法在实验的调整控制过程中比较耗时,不利于实验过程的快速调整与实现。同时,也存在采用特征标记点来控制旋转角度和数据匹配的分析方法(侯溪,杨鹏,伍凡,基于多特征匹配和平均法的球面绝对测量方法,中国专利,专利申请号:201110082661.X),该方法综合考虑了数据的旋转、平移、变比,可确定旋转角度、平移量和变比因子,但其旋转中心是由数据的几何中心确定的,实际操作中这一点很难保证,故以此为基础计算得到的旋转角度、平移量和变比因子均会存在一定偏差。实际上,在对被测面进行操作的过程中(旋转、平移),会保持干涉系统的稳定,其系统参数不应发生变化,故不应该考虑变比的操作。
发明内容
为了解决高精度面形检测过程中,被测面存在旋转和平移时,其参数无法准确快速确定的问题,本发明提出了一种光学面形数据旋转中心、旋转角度和平移量确定方法。
本发明为了实现上述的目的采用的技术方案为:一种光学面形数据旋转中心、旋转角度和平移量确定方法,包含以下步骤:
步骤S1:在光学元件被测面上选取n个特征标记点,初始位置处的面形检测数据为W1(x1,i,y1,i),依n个特征标记点的顺序提取面形检测数据特征标记点的像素坐标(x1,i,y1,i),i=1,2,…,n,n为选取的特征标记点数,n>2;
步骤S2:当光学元件被测面相对参考面存在一旋转角度时的面形检测数据为W2(x2,i,y2,i),依n个特征标记点的顺序提取特征点的像素坐标(x2,i,y2,i);
步骤S3:当光学元件被测面相对参考面存在一共心平移量时的面形检测数据为W3(x3,i,y3,i),依n个特征标记点的顺序提取特征点的像素坐标(x3,i,y3,i);
步骤S4:当光学元件被测面相对参考面存在一旋转角度和一共心平移量时的面形检测数据为W4(x4,i,y4,i),依n个特征标记点的顺序提取面形检测数据特征标记点的像素坐标(x4,i,y4,i);
步骤S5:利用步骤S1和步骤S2得到的面形检测数据特征标记点的像素坐标(x1,i,y1,i)和(x2,i,y2,i),A为坐标矩阵,构造矩阵方程B2=A·T2,其中,
解此矩阵方程,得转换矩阵表示为:T2=[AT·A]-1·[AT·B2],T为转置;
解得旋转角度表示为:θ2=arctan(T2(1,2)/T2(1,1)),
解得旋转中心像素坐标表示为:
xc、yc分别表示旋转中心像素坐标点;
步骤S6:对于被测面同时存在旋转和平移的面形检测数据,为求得其旋转角度和平移量,构造矩阵方程Bj=A·Tj,j=3,…m,m为旋转平移测量次数,其中,Tj为转换矩阵;
解此矩阵方程,得转换矩阵Tj=[AT·A]-1·[AT·Bj],
解得旋转角度为:θj=arctan(Tj(1,2)/Tj(1,1)),
平移量表示为:
tx、ty分别表示沿X和Y方向的平移量。
本发明与现有技术相比的优势在于:本发明提出的选取被测面上的特征标记点,提取其旋转和平移前后的像素坐标,通过计算转换矩阵的方法来同时确定旋转中心、旋转角度和平移量的方法简单有效,对检测实验装置精度要求较低。本发明提出的利用被测面上的特征标记点的像素坐标,采用计算转换矩阵的方法来同时确定旋转角度、旋转中心和平移量,计算方法简单,检测精度高。
附图说明
图1为本发明中,当被测面存在旋转时的面形检测示意图。
图2为本发明中,当被测面存在平移时的面形检测示意图。
图3为本发明中,当被测面存在旋转和平移时的面形检测示意图。
各图中符号说明:
1.初始位置被测面,
2.旋转一定角度后的被测面,
3.平移一段距离后的被测面,
4.存在一定角度旋转和一定距离平移量的被测面。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白,以下结合具体实施例,并参照附图,对本发明进一步详细说明。
本发明一种光学面形数据旋转中心、旋转角度和平移量分析方法,在被测光学元件表面上选取多个特征标记点,当被测光学元件绕光轴作多次旋转和平移操作时,其待测面面形检测数据中的特征标记点会相对旋转中心产生旋转和平移;然后采用特征标记点像素坐标配准原理,利用特征标记点的相对位置变化,构建非线性方程组,同时解算出旋转中心、旋转角度和平移量等参数。该方法以数据精确配准为基础,对实验装置的精度要求较低,可为实验的精确控制提供技术支持,并为后续的面形数据处理提供准确的参数信息,具有较大的应用价值。
本发明的光学面形数据旋转中心、旋转角度和平移量确定方法,其步骤如下:
步骤S1:在光学元件被测面上选取n个特征标记点,初始位置处的面形检测数据为W1(x1,i,y1,i),依n个特征标记点的顺序提取面形检测数据特征标记点的像素坐标(x1,i,y1,i),i=1,2,…,n,n为选取的特征标记点数,n>2;
步骤S2:当光学元件被测面相对参考面存在一旋转角度时的面形检测数据为W2(x2,i,y2,i),如图1所示,1表示旋转之前初始位置处的被测面,2表示旋转之后的被测面,依n个特征标记点的顺序提取特征点的像素坐标(x2,i,y2,i);
步骤S3:当光学元件被测面相对参考面存在一共心平移量时的面形检测数据为W3(x3,i,y3,i),如图2所示,1表示共心平移之前初始位置处的被测面,3表示平移之后的被测面,依n个特征标记点的顺序提取特征点的像素坐标(x3,i,y3,i);
步骤S4:当光学元件被测面相对参考面存在一旋转角度和一共心平移量时的面形检测数据为W4(x4,i,y4,i),如图3所示,1表示初始位置处的被测面,4表示旋转平移之后的被测面,依n个特征标记点的顺序提取面形检测数据特征标记点的像素坐标(x4,i,y4,i);
步骤S5:利用步骤S1和步骤S2得到的面形检测数据特征标记点的像素坐标(x1,i,y1,i)和(xi,2,y2,i),为了解算过程更清晰明了、计算方便引入坐标矩阵A、矩阵方程B2和转换矩阵T2,构造矩阵方程B2=A·T2,其中,
解此矩阵方程,得转换矩阵表示为:T2=[AT·A]-1·[AT·B2],T表示转置;
解得旋转角度表示为:θ2=arctan(T2(1,2)/T2(1,1)),
解得旋转中心像素坐标表示为:
xc、yc分别表示旋转中心像素坐标点;
步骤S6:对于被测面同时存在旋转和平移的面形检测数据,为求得其旋转角度和平移量,构造矩阵方程Bj=A·Tj,j=3,…m,m为旋转平移测量次数,其中,Bj为坐标矩阵,Tj为转换矩阵;
解此矩阵方程,得转换矩阵Tj=[AT·A]-1·[AT·Bj];
解得旋转角度为:θj=arctan(Tj(1,2)/Tj(1,1)),
平移量表示为:
tx、ty分别表示沿X和Y方向的平移量。
在所述光学元件被测面上选取至少3个特征标记点。
以上所述,仅为本发明中的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉该技术的人在本发明所揭露的技术范围内的局部修改或替换,都应涵盖在本发明的包含范围之内。
Claims (2)
1.一种光学面形数据旋转中心、旋转角度和平移量确定方法,其特征在于包含以下步骤:
步骤S1:在光学元件被测面上选取n个特征标记点,初始位置处的面形检测数据为W1(x1,i,y1,i),依n个特征标记点的顺序提取面形检测数据特征标记点的像素坐标(x1,i,y1,i),i=1,2,…,n,n为选取的特征标记点数,n>2;
步骤S2:当光学元件被测面相对参考面存在一旋转角度时的面形检测数据为W2(x2,i,y2,i),依n个特征标记点的顺序提取特征点的像素坐标(x2,i,y2,i);
步骤S3:当光学元件被测面相对参考面存在一共心平移量时的面形检测数据为W3(x3,i,y3,i),依n个特征标记点的顺序提取特征点的像素坐标(x3,i,y3,i);
步骤S4:当光学元件被测面相对参考面存在一旋转角度和一共心平移量时的面形检测数据为W4(x4,i,y4,i),依n个特征标记点的顺序提取面形检测数据特征标记点的像素坐标(x4,i,y4,i);
步骤S5:利用步骤S1和步骤S2得到的面形检测数据特征标记点的像素坐标(xi,i,y1,i)和(x2,i,y2,i),A为坐标矩阵,构造矩阵方程B2=A·T2,其中,
解此矩阵方程,得转换矩阵表示为:T2=[AT·A]-1·[AT·B2],T为转置;
解得旋转角度表示为:θ2=arctan(T2(1,2)/T2(1,1)),
解得旋转中心像素坐标表示如下:
xc、yc分别表示旋转中心像素坐标点;
步骤S6:对于被测面同时存在旋转和平移的面形检测数据,为求得其旋转角度和平移量,构造矩阵方程Bj=A·Tj,j=3,…,m,m为旋转平移测量次数,m>3,其中,Tj为转换矩阵;
解此矩阵方程,得转换矩阵Tj=[AT·A]-1·[AT·Bj],
解得旋转角度为:θj=arctan(Tj(1,2)/Tj(1,1)),
平移量表示为:
tx、ty分别表示沿X和Y方向的平移量。
2.根据权利要求1所述的光学面形数据旋转中心、旋转角度和平移量确定方法,在所述光学元件被测面上选取至少3个特征标记点。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201310279797.9A CN103335609B (zh) | 2013-07-05 | 2013-07-05 | 一种光学面形数据旋转中心、旋转角度和平移量确定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201310279797.9A CN103335609B (zh) | 2013-07-05 | 2013-07-05 | 一种光学面形数据旋转中心、旋转角度和平移量确定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103335609A CN103335609A (zh) | 2013-10-02 |
CN103335609B true CN103335609B (zh) | 2016-01-20 |
Family
ID=49243817
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201310279797.9A Expired - Fee Related CN103335609B (zh) | 2013-07-05 | 2013-07-05 | 一种光学面形数据旋转中心、旋转角度和平移量确定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN103335609B (zh) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105444673B (zh) * | 2015-12-21 | 2018-06-22 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 旋转平移绝对检测法中确定光学元件中心的装置及方法 |
CN105571514B (zh) * | 2015-12-21 | 2018-06-26 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 旋转平移绝对检测法中快速调节光学元件的装置及方法 |
RU2650418C2 (ru) * | 2016-08-04 | 2018-04-13 | Андрей Аркадьевич Шоломицкий | Способ высокоточного определения параметров поверхности и осей вращающихся агрегатов |
JP7090446B2 (ja) * | 2018-03-22 | 2022-06-24 | 株式会社キーエンス | 画像処理装置 |
WO2020188745A1 (ja) * | 2019-03-19 | 2020-09-24 | 株式会社Fuji | 演算装置、および入力装置 |
CN110340553B (zh) * | 2019-08-12 | 2022-01-04 | 浙江华工光润智能装备技术有限公司 | 一种大幅面玻璃激光切割切孔定位方法及系统 |
CN111336918A (zh) * | 2020-03-10 | 2020-06-26 | 深圳市兴华炜科技有限公司 | 一种插件夹爪检测工艺、系统及夹爪 |
CN111707191B (zh) * | 2020-06-30 | 2021-09-07 | 西安工业大学 | 一种平面光学元件旋转平移绝对检测中心对准方法 |
CN113624451B (zh) * | 2021-07-08 | 2023-10-24 | 中国电子科技集团公司第十一研究所 | 别汉棱镜光轴一致性检测组件及方法 |
CN114858090B (zh) * | 2022-04-27 | 2023-10-03 | 西安工业大学 | 一种阵列结构光学元件的面形误差测量方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4583298A (en) * | 1984-03-07 | 1986-04-22 | Hewlett-Packard Company | Auto calibration method suitable for use in electron beam lithography |
US5982490A (en) * | 1997-02-04 | 1999-11-09 | Nikon Corporation | Apparatus and method for wavefront absolute calibration and method of synthesizing wavefronts |
CN102128599A (zh) * | 2010-12-27 | 2011-07-20 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 接触式非球面面形检验装置 |
CN102221348A (zh) * | 2011-04-02 | 2011-10-19 | 中国科学院光电技术研究所 | 基于多特征匹配和平均法的球面绝对测量方法 |
CN102589472A (zh) * | 2012-03-15 | 2012-07-18 | 浙江大学 | 在球面面形干涉检测中高精度消除调整误差的方法 |
-
2013
- 2013-07-05 CN CN201310279797.9A patent/CN103335609B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4583298A (en) * | 1984-03-07 | 1986-04-22 | Hewlett-Packard Company | Auto calibration method suitable for use in electron beam lithography |
US5982490A (en) * | 1997-02-04 | 1999-11-09 | Nikon Corporation | Apparatus and method for wavefront absolute calibration and method of synthesizing wavefronts |
CN102128599A (zh) * | 2010-12-27 | 2011-07-20 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 接触式非球面面形检验装置 |
CN102221348A (zh) * | 2011-04-02 | 2011-10-19 | 中国科学院光电技术研究所 | 基于多特征匹配和平均法的球面绝对测量方法 |
CN102589472A (zh) * | 2012-03-15 | 2012-07-18 | 浙江大学 | 在球面面形干涉检测中高精度消除调整误差的方法 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
基于平移旋转的球面绝对检测技术仿真分析;宋伟红 等;《强激光与粒子束》;20111231;第23卷(第12期);第3229-3234页 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103335609A (zh) | 2013-10-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103335609B (zh) | 一种光学面形数据旋转中心、旋转角度和平移量确定方法 | |
CN103308925B (zh) | 一种一体化三维彩色激光雷达数据点云产生方法 | |
Cappa et al. | A sub-nanometre spindle error motion separation technique | |
CN107727007B (zh) | 测量两轴之间对中偏差量的方法 | |
CN103063151B (zh) | 一种激光测厚c形架机构及其调整方法 | |
CN103713467B (zh) | 一种掩膜板组及应用掩膜板组检测套刻精度的方法 | |
CN104391603A (zh) | 一种触控屏的校准方法、校准装置及校准系统 | |
CN103353388B (zh) | 一种具摄像功能的双目体式显微成像系统标定方法及装置 | |
CN105424024B (zh) | 一种基于全站仪的空间目标的位置和朝向标定方法 | |
CN109459058A (zh) | 一种基于三轴转台的多视场星敏感器的标定系统及方法 | |
CN103344195B (zh) | 一种传感器旋转的摆臂式轮廓仪测头对心校准装置 | |
CN104169709A (zh) | 多分析器角度的光谱椭圆偏光仪 | |
CN104504197A (zh) | 阿基米德螺旋线平面螺纹测量模型与其偏心参量修正方法 | |
CN105066910A (zh) | 电光晶体z轴偏离角测量装置及测量方法 | |
CN104123725B (zh) | 一种单线阵相机单应性矩阵h的计算方法 | |
CN104236501A (zh) | 一种二维栅格板的栅格点系统误差自校准方法 | |
CN103630085A (zh) | 多角度叶片测量装置及方法 | |
CN104677833A (zh) | 一种利用全穆勒矩阵椭偏仪进行光学测量的方法 | |
CN102494698A (zh) | 实验室内内方位元素标定方法 | |
CN103697811A (zh) | 一种相机与结构光源结合获取物体轮廓三维坐标的方法 | |
CN102494631B (zh) | 一种绕光轴旋转对准误差分析方法 | |
CN105004306A (zh) | 基于沟道轴向综合位置变差的轮毂轴承轴向游隙计算方法 | |
CN107328365B (zh) | 一种柔顺定位平台位移的鲁棒测量方法 | |
CN204286324U (zh) | 间隙测量装置 | |
CN103832966B (zh) | 半导体器件的形成方法及检测方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20160120 Termination date: 20210705 |