CN103317431B - 主驱动抛光基盘的浮离抛光装置 - Google Patents

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Abstract

一种主驱动抛光基盘的浮离抛光装置，包括机座、悬浮基盘和研磨盘，悬浮基盘与加压组件连接，研磨盘通过主驱动器绕固定中心轴线转动，悬浮基盘与研磨盘相对面沿圆周方向设有楔形槽和用以放置待加工工件的加工工位，楔形槽中充满研磨液，楔形槽和加工工位间隔设置，悬浮基盘套装在研磨盘内且与研磨盘内壁有间隙，悬浮基盘中心有进料腔，悬浮基盘沿圆周方向均布径向通孔且与进料腔相通，进料管道通过储料盖与悬浮基盘连接，研磨盘内壁底面铺有研磨纸，研磨纸上开有供研磨液流出的通孔，研磨盘底部有出料口，通孔与出料口连通。本发明采用液体润滑消除摩擦和碰撞、研磨平稳、表面损伤小、质量高。

Description

主驱动抛光基盘的浮离抛光装置
技术领域
本发明涉及一种抛光装置，尤其是一种悬浮抛光装置。
背景技术
流体抛光现已成为获取超光滑表面的重要手段之一，与刚性接触式抛光相比，磨粒与工件表面的接触状态为软性接触，既可通过提升磨粒加工的等高性获取更低粗糙度的超光滑表面，又可改善磨粒与工件表面的接触状态获得少无损伤的加工效果。
悬浮抛光与目前常见的流体抛光具有较明显的优势。如专利申请号为201210140631.4的“可主动驱动的悬浮基盘抛光装置”就公布了一种使加工变质层厚度变小，同时又能获得较高的表面质量的可主动驱动的悬浮基盘抛光装置，该装置是在专利申请号为200910153716.4的“主动驱动研磨装置的修正环驱动机构”基础上，采用悬浮基盘在圆周上设有楔形槽的设计，运用流体力学现象和粉末作用，使得抛光颗粒和工件表面软性接触。但经过试验证明，该设备存在以下问题：
该装置是通过主动驱动装置驱动修正环，悬浮基盘卡在修正环内，由于悬浮基盘与修正环之间仅存在摩擦约束，高速旋转的悬浮基盘转动不平稳就会造成碰撞、卡死、倾斜等现象，从而影响抛光的表面质量。
发明内容
为了克服已有悬浮研磨抛光设备中存在的研磨不平稳、表面质量不高的不足，本发明提供一种采用液体润滑消除摩擦和碰撞、研磨平稳、表面损伤小、质量高的主驱动抛光基盘的浮离抛光装置。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种主驱动抛光基盘的浮离抛光装置，包括机座、悬浮基盘和研磨盘，所述悬浮基盘与加压组件连接，所述研磨盘通过主驱动器绕固定中心轴线转动，所述悬浮基盘与研磨盘相对面沿圆周方向设有楔形槽和用以放置待加工工件的加工工位，所述楔形槽中充满研磨液，所述楔形槽和加工工位间隔设置，所述悬浮基盘套装在研磨盘内且与研磨盘内壁有间隙，所述悬浮基盘中心有进料腔，所述悬浮基盘沿圆周方向均布径向通孔且与进料腔相通，进料管道通过储料盖与悬浮基盘连接，所述研磨盘内壁底面铺有抛光布，所述抛光布上开有供研磨液流出的通孔，所述研磨盘底部有出料口，所述通孔与所述出料口连通。
进一步，所述加压组件为砝码，所述砝码加压在悬浮基盘上。
更进一步，所述进料管道采用旋转供料装置。
本发明的技术构思为：研磨液通过供料管道进入进料腔，进料腔内的高压研磨液通过径向通孔在悬浮基盘外圆柱面和研磨盘之间形成润滑膜，减少了两者之间存在的接触摩擦力，避免了碰撞、卡死等现象。
悬浮基盘与研磨盘相对面沿圆周方向设有多个楔形槽，研磨液沿着悬浮基盘外圆柱喷出，悬浮基盘与研磨盘之间充满抛光液，即所述楔形槽中充满抛光液，加工工件贴于悬浮基盘带有楔形槽的平面上且不影响楔形槽，研磨盘随主轴旋转，研磨盘内壁底面铺有抛光布，悬浮基盘与研磨盘之间存在相对运动，楔形槽产生的液体动压使得基盘浮起一个高度H，从而抛光液中的颗粒在抛光工件时没有强力的刚性接触而是变为抛光颗粒的软性碰撞，进而减小了工件的损伤。多余的研磨液沿着研磨盘底部的出料口流出。
本发明的有益效果主要表现在：采用液体润滑消除摩擦和碰撞、研磨平稳、表面损伤小、质量高。
附图说明
图1是图1是一种悬浮动压抛光装置示意图。
图2是图1的A-A剖视图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步描述。
参照图1和图2，一种主驱动抛光基盘的浮离抛光装置，包括机座、悬浮基盘3和研磨盘1，所述悬浮基盘3与加压组件连接，所述研磨盘1通过主驱动器绕固定中心轴线转动，所述悬浮基盘3与研磨盘1相对面沿圆周方向设有楔形槽12和用以放置待加工工件13的加工工位，所述楔形槽12中充满研磨液10，所述楔形槽13和加工工位间隔设置，所述悬浮基盘3套装在研磨盘1内且与研磨盘内壁有间隙，所述悬浮基盘3中心有进料腔6，所述悬浮基盘3沿圆周方向均布径向通孔4且与进料腔6相通，进料管道8通过储料盖7与悬浮基盘3连接，所述研磨盘1内壁底面铺有抛光布2，所述抛光布2上开有供研磨液流出的通孔，所述研磨盘1底部有出料口11，所述通孔与所述出料口11连通。
进一步，所述加压组件为砝码5，所述砝码5加压在悬浮基盘3上。加工工件13贴于悬浮基盘3带有楔形槽的平面上且不影响楔形槽。所述供料管道8可采用旋转供料装置，不影响悬浮基盘3的转动。

Claims (3)

1.一种主驱动抛光基盘的浮离抛光装置，包括机座、悬浮基盘和研磨盘，所述悬浮基盘与加压组件连接，所述研磨盘通过主驱动器绕固定中心轴线转动，所述悬浮基盘与研磨盘相对的一面沿圆周方向设有楔形槽和用以放置待加工工件的加工工位，所述楔形槽中充满研磨液，所述楔形槽和加工工位间隔设置，其特征在于：所述悬浮基盘套装在研磨盘内且与研磨盘内壁有间隙，所述悬浮基盘中心有进料腔，所述悬浮基盘沿圆周方向均布径向通孔且与进料腔相通，进料管道通过储料盖与悬浮基盘连接，所述研磨盘内壁底面铺有抛光布，所述抛光布上开有供研磨液流出的通孔，所述研磨盘底部有出料口，所述通孔与所述出料口连通。
2.2.如权利要求1所述的主驱动抛光基盘的浮离抛光装置，其特征在于：所述加压组件为砝码，所述砝码加压在悬浮基盘上。
3.3.如权利要求1或2所述的主驱动抛光基盘的浮离抛光装置，其特征在于：所述进料管道采用旋转供料装置。
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4307036C1 (de) * 1993-03-05 1994-07-28 Kopp Kadia Maschinenbau Aufnahmevorrichtung
CN2511436Y (zh) * 2001-12-27 2002-09-18 飞利升工业股份有限公司 改进的光纤研磨机
CN102049712A (zh) * 2009-10-08 2011-05-11 株式会社Lg化学 用于抛光浮法玻璃的方法和系统
CN202283684U (zh) * 2011-08-04 2012-06-27 承澔科技股份有限公司 具有悬浮式工作台的立式加工机
CN102699809A (zh) * 2012-05-07 2012-10-03 浙江工业大学 可主动驱动的悬浮基盘抛光装置
CN203266381U (zh) * 2013-05-22 2013-11-06 浙江工业大学 主驱动抛光基盘的浮离抛光装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4307036C1 (de) * 1993-03-05 1994-07-28 Kopp Kadia Maschinenbau Aufnahmevorrichtung
CN2511436Y (zh) * 2001-12-27 2002-09-18 飞利升工业股份有限公司 改进的光纤研磨机
CN102049712A (zh) * 2009-10-08 2011-05-11 株式会社Lg化学 用于抛光浮法玻璃的方法和系统
CN202283684U (zh) * 2011-08-04 2012-06-27 承澔科技股份有限公司 具有悬浮式工作台的立式加工机
CN102699809A (zh) * 2012-05-07 2012-10-03 浙江工业大学 可主动驱动的悬浮基盘抛光装置
CN203266381U (zh) * 2013-05-22 2013-11-06 浙江工业大学 主驱动抛光基盘的浮离抛光装置

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